JPS5831122Y2 - Ｘ↓−ｙ移動装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、Ｘ−Ｙ移動装置に関する。

従来、Ｘ−Ｙ移動装置として、側面をテーパ状に形成し
た移動部材を基準台上に設け、ばね部材により該側面に
接する如く付勢した１つの押圧ピンと、２つの調整ねじ
とを前記基準台に設けると共に、該３つの部材で前記移
動部材を３点支持したＸ−Ｙ移動装置が知られている。

第１図及び第１図のＡ−Ａ断面である第２図を用いて上
記移動装置が顕微鏡対物レンズの心合わせ装置として用
いられた例を具体的に説明する。

基準台１には中心部に図示なき対物レンズをねじ込み固
定する対物保持部２が載置されている。

対物保持部２の側面は基準台１に向かってテーパ状に広
か゛つている。

対物保持部２の側面にはばね３に押圧されたピン３′と
２つの右ねじ４，５が接しており、従って対物保持部２
は３点支持されている。

対物保持部２に固定された図示なき対物レンズの心合わ
せをする場合には、右ねじ４，５をそれぞれ右回転すれ
ば、対物保持部２はばね３の押圧力に抗して移動し、右
ねじ４，５をそれぞれ左回転すれば、対物保持部２はば
ね３の押圧力によって移動する。

しかしながら、このような従来のＸ−Ｙ移動装置では右
ねじ４を右回転、左回転した場合の対物保持部２の軌跡
と、右ねじ５を右回転、左回転した場合の対物保持部２
の軌跡と、が有するヒステリシスが異なってしまうとい
う欠点があった。

従来のＸ−Ｙ移動装置の軌跡を心合わせ装置を用いた顕
微鏡において測定した例を第４図に示す。

第４図は顕微鏡の被検物としてマイクロ方眼紙を眺き、
右ねじ４，５をそれぞれ独立に操作した時の視野の移動
をレチクル（十字線）を基準として測定しプロットした
一例を第４図に示す。

第４図のＡは右ねじ４を一定量右回転し、再び一定量左
回転した場合の対物保持部２の動きであり、第４図のＢ
は右ねじ５を一定量右回転し、再び一定量左回転した場
合の対物保持部２の動きである。

軌跡Ｂのヒステリシスの大きさｌは偏光顕微鏡用のもの
で数ミクロン程度であった。

本考案の目的は、側面をテーパ上に形成した移動部材を
１つの押圧ピンと２つの調整ねじとで３点支持したＸ−
Ｙ移動装置において、２つの調整ねしによる移動部材の
軌跡のヒステリシスをほぼ同程度に威したＸ−Ｙ移動装
置の提供にある。

以下、図面に示した実施例に基づいて本考案を説明する
。

第５図は本考案の一実施例であって、従来装置である第
１図のものと異なる点は、ねし５０として左巻のねじを
用いたことにある。

他の横取は第１図の従来例と同じである。

このように従来の右ねじ５を左りじ５０にすることによ
って、左右のねじ４，５０の操作時に生ずる対物保持部
２の軌跡のヒステリシスの大きさを等しくすることがで
き、本例の場合はほとんど零とみなして良い程度になる
。

その理由を従来装置と比較しながら以下に説明する。

初めに、第１図と、第２図の点線部分を拡大した場合を
考える。

右ねし５を右回転すると、第３図かられかるように、右
ねじ５と対物保持部２の側面との接点Ｐは右ねじ５の中
心線Ｏ上にないので、右ねじ５の回転に伴ない右ねじ５
と対物保持部２の側面との間には滑りの摩擦力が働く。

その為、対物保持部２は第１図のｍ方向へ滑り摩擦力の
作用を受け、又反作用として右ねじ５は第１図のｎ方向
へ滑り摩擦力の作用を受ける。

従って右ねし５はばね３より受ける力により寄せられる
方向（第１図のｍ方向）に逆って第１図のｎ方向に寄せ
られる。

従って右ねじ５はねじのガタ分だけ対物保持部２を押す
方向に押出されることになる。

一方、右ねじ５の右回転によって右ねし４が受ける力を
考えると、対物保持部２に働らくｍ方向の摩擦力は、対
物保持部２が右ねじ４を押圧する方向の力となる。

従って、対物保持部２と右ねじ４との間の押圧力は右ね
じ５を右回転すると大きく増加するのでこの押圧力によ
って対物保持部２と右ねじ４との間に生ずる変形量が大
きくなる。

次に、右ねじ５を左回転した場合を考えると上述の場合
とは逆に右ねじ５はばね３による押圧力及び対物保持部
２との間の滑り摩擦力によって第１図のｍ方向に寄せら
れる。

従って右ねじ５はガタ分だけ退避することになる。

また、右ねじ５の左回転によって対物保持部２は第１図
のｎ方向の摩擦力を受けるが、この摩擦力の方向ｎは対
物保持部２と右ねし４とを遠さ゛ける方向の力であるか
ら、対物保持部２と右ねじ４との間の押圧力は減少する
方向にあるので、その押圧力に見合った小さな変形量に
なる。

このように右ねじ５を右回転した場合と左回転した場合
との条件の違いから、第４図に示すＢのようなヒステリ
シスが生ずることになる。

今度は、右わじ４を右回転した場合を考えると、右ねし
４は対物保持部２から第１図のｍ′方向へ滑り摩擦力の
作用を受ける。

従って右ねヒ４はこの摩擦力及び゛は゛ね３による押圧
力によって、第１図のｍ′方向に寄せられる。

一方、右ねじ４の回転によって右ねじ５が受ける力を考
えると、対物保持部２に働ら（ｎ’方向の摩擦力は、対
物保持部２が右ねじ５から遠さ゛かる方向の力となる。

従って対物保持部２と右ねじ５との間の変形量は小さい
。

また右ねじ４を左回転した場合には、右ねじ４は対物保
持部２からｎ′方向の摩擦力を受けるが、右ねじ４はば
ね３の押圧力に順する方向に退避するので上記摩擦力は
小さい。

従って右ねし４はばね３の強い押圧力によってｍ′方向
に寄せられたままである。

また上述の理由にて対物保持部２の受けるｍ′方向の摩
擦力も小さいから、対物保持部２と右ねじ５との間に働
らく押圧力の増加も少ない。

従って対物保持部２と右ねに５との間に生ずる変形量も
小さくなる。

このように右ねじ４の場合には、その回転方向を変えて
も条件の違いが右ねじ５に比し少ないから第４図に示す
Ａのようにヒステリシスも小さくなる。

次に、第５図に示した本考案の実施例の左ねじ５０を回
転させた場合を考えると、左ねじ５０の左回転によって
左ねじ５０はｍ方向への滑り摩擦力を対物保持部２から
受ける。

この摩擦力は左ねじ５０がばね３の押圧力によって寄せ
られている方向と同じであるから左ねヒ５０はほとんど
押出されることがない。

一方、左ねじ５０の左回転によって右ねじ４が受ける力
を考えると、対物保持部２に働らくｎ方向への摩擦力は
、対物保持部２と右ねじ４とを遠さ゛ける方向の力であ
るから、対物保持部２と右わし４との間に働らく押圧力
は減少気味になる。

従って対物保持部２と右ねじ４との間の変形量は小さい
。

また左ねじ５０を右回転した場合には、左わじ５０は対
物保接部２からｎ方向への摩擦力を受けるが、左ねじ５
０はばね３の押圧力に順する方向に退避するので上記摩
擦力は小さく、従って左ねじ５０はばね３の強い押圧力
によってｍ方向に寄せられたままである。

また左ねじ５０の右回転によって対物保持部２に働らく
ｍ方向への摩擦力は上述の理由にて小さいから、対物保
持部２と右ねじ４との間に働らく押圧力は小さく、従っ
て両者の変形量も小さい。

右ねじ４に関しては従来と同様に考えることができる。

すなわち、第５図の場合には、２つのねしそれぞれを回
転した場合の力関係が全く対称になる。

本考案の他の実施例は、第５図の右ねじ４と左ねじ５０
とを交換したものである。

それによって右ねし、左ねしそれぞれを回転させた場合
の対物保袴部２の軌跡が有するヒステリシスは大きい状
態でほは゛等しくなる。

このようなヒステリシスの大きさは数ミクロン程度であ
るから、微少な線幅の測定等に使用することができる。

以上述べた如く、本考案によれば、２つのねしそれぞれ
による移動部材の軌跡がほぼ等しいヒステリシスを有す
るようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の移動装置が顕微鏡対物レンズの心合わ
せ装置として用いられた例を、第２図は第１図のＡ−Ａ
矢視断面図、第３図は第１図と第２図の点線部分を拡大
した図であり、第４図は顕微鏡の被検物としてマイクロ
方眼紙を眺き、右ねじ４，５をそれぞれ独立に操作した
ときの視野の移動をレチクルを基準として測定し、プロ
ットした例、第５図は本考案の一実施例である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・基準台、２・・
・・・・対物保持部、３・・・・・・ばね、３′・・・
・・・ピン、４．５・・・・・・右ねし、５０・・・・
・・左ねし。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 側面をテーパ状に形成した移動部材を基準台上に設け、
   ばね部材により該側面に接する如く付勢した１つの押圧
   ピンと、２つの調整ねじとを前記基準台に設けると共に
   、該３つの部材で前記移動部材を３点支持したＸ−Ｙ移
   動装置において、前記２つの調整ねじを互いに逆ねじに
   威したことを特徴とするＸ−Ｙ移動装置。