JPS5827657B2

JPS5827657B2 - テ−プキヤリア方式のボンデイング方法及びその装置

Info

Publication number: JPS5827657B2
Application number: JP4211478A
Authority: JP
Inventors: 泰夫中川; 利満浜田; 幹雄本郷
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1978-04-12
Filing date: 1978-04-12
Publication date: 1983-06-10
Also published as: JPS54134974A

Description

【発明の詳細な説明】本発明はテープキャリア方式のボンディング方法及びそ
の装置に関するものである。

従来、テープキャリア方式のボンディングにおけるリー
ドフレームとペレットの接合部の位置合せは、ペレット
とリードフレームを撮像する装置を設け、その映像信号
を作業者がモニタし、リードフレームの位置がペレット
上の接合部に合うように、テープ位置を移動させること
により行なっている。

しかし、このような方式の場合、作業は、ペレット全体
を観察するため、眼の疲労が大きい欠点を有すると共に
自動化できない欠点を有する。

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、リ
ードフレームとペレットの接合部の位置合せを自動化し
たテープキャリア方式のボンディング方法及びその装置
を提供するにある。

即ち本発明は、テープ上に所定のターゲットマークを付
はターゲットマークを検出して一定の目標位置に合せる
ことにより、テープ上のリードフレームをペレット上の
接合部に位置決めしてボンディングすることを特徴とす
るテープキャリア方式のボンディング方法であり、他の
発明は上記テープキャリア方式のボンディング方法を実
施する装置を特徴とするものである。

以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体的に説明
する。

本発明の具体例をターゲットマークとして第１図及び第
２図のように明部から形成された正方形パターン１ａ暗
部から形成された一足方形パターン１ｂを付けたとして
以下に説明する。

テープキャリア方式のボンディング装置に通常用いられ
るテープ３はカプトンフィルムであり、両側には送り用
の穴３ａが形成され、中央にはチップを入れる穴３ｂを
形成し、リード領域に切断用の穴３ｃを形成し、フィル
ム上に銅と錫のメッキであるインナリードの如くリード
フレーム２がエツチングにより形成されている。

よってターゲットマーク１ｂをリードフレーム２（イン
ナリード）と同じ材質でフィルム上に形成するか、ある
いはターゲットマーク１ａの周囲をリードフレーム２（
インナリード）と同じ材質で形成すれば、第３図に示す
ような照明を行なうと、ターゲットマークとその周囲の
明暗は著しく異なる映像を撮像装置４により得られる。

即ち第３図において、３はテープ、５ａ、ｓｂは光源
、６ａ、６ｂはテープ用のリールである。

ターゲットマーク１ｂをリードフレーム２（インナリー
ド）と同じ材質でエツチングにより形成したとして以下
、説明する。

このとき、ターゲットマーク１は明るく、フィルム面は
暗くなる。

ＴＶカメラ等の撮像装置４により得られるターゲットマ
ーク１の映像からターゲットマーク１の位置を検出する
ため、撮像装置４からの映像信号を２値化し、２値映像
と予め設定された標準パターンの相関を求め、相関が最
も大きい位置を求めることにより行なう。

第４図にその処理回路の概略構成を示す。

７はＴＶカメラ等の撮像装置４からの映像信号を２値化
する２値化回路であり、８は予め設定された標準パター
ン９と、２値化回路１の出力である２値映像との相関を
計算する相関計算回路であり、１０は相関の最も大きい
位置を検出する位置検出回路であり１１は位置検出回路
１０で求まった相関の最も大きい位置座標と基準位置座
標レジスタ１２に記憶された基準位置座標との偏差を求
める位置ずれ検出回路であり、１３はテープの位置修正
量である。

第５図は上記相関計算回路８の具体的構成を示す。

２値信号１４はシフトレジスタ群１５を介し、シフトレ
ジスタで構成される２次元切出回路１６へ局部映像が切
出される。

２次元切出回路１６で切出された局部映像は標準パター
ン９と排他的論理和回路群１７により排他的論理和をと
られ、加算回路１８により、排他的論理和の出力が１“
である個数が求まる。

加算回路１８の出力は標準パターンと局部映像の不一致
の個数であり、相関が大きいほど小さな値を示す。

第６図は位置検出回路１０の具体的構成を示す。

１９は、相関値を記憶する相関値レジスフであり、初め
は大きな値を入れておき、加算回路１８と相関値レジス
タ１９は比較回路２０により比較される。

比較回路２０において、加算回路１８の出力が相関値レ
ジスタ１９より小さいと加算回路１８の出力がゲート回
路２１を介し相関値レジスフ１９へ入力され、相関値レ
ジスタ１９の値が更新される。

２２は座標発生回路であり、加算回路１８の出力が相関
値レジスタ１９より小さいときの座標値がゲート回路２
３を介し座標レジスタ２４へ入力される。

このようにして、画面全体について相関計算を行えば、
座標レジスタ２４には相関が最も大きいときの位置座標
が入力されている。

而してまず初めにテープ３を基準位置に置き、ターゲッ
ト１の位置を上記の方法で求め、座標レジスタ２４に記
憶されたその位置座標を基準位置座標として基準位置座
標レジスタ１２へ記憶し、以後テープ３が送り込まれ、
テープ３に形成されたターゲットマーク１の位置を検出
して座標レジスタ２４に記憶された位置座標と、上記基
準位置座標レジスタ１２に記憶された基準位置座標とを
比較することにより、テープ位置修正量を求める。

また、テープ位置の修正は、上記の方法で求めた修正量
に従い１回だけ行なう方式と、撮像装置４の線形性を考
慮し、目標位置と求めたターゲット位置が一致するまで
、あるいは無視できるほど接近するまで複数回行なう方
式がある。

また、ターゲットマークの位置検出に関し、上記の方法
の他に、テープの位置ずれの範囲を±Ｄとすれば、ター
ゲートマークの一辺の長さを２（Ｄ＋、Ｊ）（、（は適
当な値）にとり、撮像装置の視野の大きさを４０＋２４
とすれば、下記のような方法でターゲットの中心を求め
ることができる。

第７図はターゲットマーク１が画面の中央にある場合、
第８図はターゲットマークが右上へＤだけずれた場合を
示す。

本発明では長方形領域を第７図、第８図のように４つ発
生させ、２値映像の各領域２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２
５ｄ内の１１“の個数を計数することにより、ターゲッ
ト１の中心を求める、長方形領域２５ａ、２５ｂ。

２５ｃ、２５ｄは第９図に示すような大きさを持ち、
ターゲットマークで除かれた各領域２５ａ。

２５ｂ、２５ｃ、２５ａ内での計数値をｓ、＋
８２５８３、Ｓ４とすれは、ターゲット中心位置（Ｘｏ
。

Ｙｏ）は次のように求まる。

ここで（ｘｏ、ｙｏ）は両面中装置座標である。

第１０図はＳｌ、Ｓ２．Ｓ３．Ｓ４を求める具体例であ
る。

第１０図において、３８．４０は撮像装置の走査位置座
標を示す座標発生回路で、それぞれＸ座標、Ｙ座標を発
生している。

Ｘｓ用レしスク２６、Ｘｅ用レしスク２７．Ｙｓ用
レジスタ２８゜Ｙｅ用レジスタ２９は第１１図に示すよ
うに領域２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄを指定
する座標値用レジスタであり、それぞれ、Ｘｓ、Ｙ
ｓ、Ｘｅ。

Ｙｅを記憶している。

３０，３１，３２，３３は比較回路でありそれぞれ一致
すると出力を出す。

３４は、比較回路３０，３１，３２，３３の出力を入力
とし、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ領域内に
走査があると出力を出す領域発生回路である。

３５はゲート回路であり、２５ａ、２５ｂ。２５ｃ
、２５ｄの領域内の２値信号だけを出力するものであ
り、ゲ゛−ト回路３５の出力はカウンタ３６へ入力され
、ゲート回路３５において、領域２５ａ、２５ｂ＋
２５ｃ、２５ｃｔの２値信号の１１“が計数される
−１これら４つの領域２５ａ。

２５ｂ、２５ｃ、２５ｄを指定するには第１０図の構成
を４つ設けるか、あるいはＸｓ、Ｘｅ、Ｙｓ２
Ｙｅを遂次変更することにより実現できる。

以上のようにして撮像装置４が設置された座標をもとに
予め設定された基準位置座標にテープ３の各チップ毎に
形成されたターゲットマーク１ａ。

または１ｂを位置決めすることができるっ次に第１２図
及び第１３図に第３図よりより具体的に示した自動イン
ナリードボンダの一実施例を示す。

即ちこの装置は、基板４１上に一定なる間隔でペレツｌ
□ ４２ａ毎にダイシングされて貼付けされたウェハ
４２を真空チャック４３により固定したθ移動台４４ａ
、Ｘ移動台４４ｂ、Ｙ移動台４４ｃと、テープ３を巻
付けて収納するためのり−ル６ａ＋６ｂと、テ
ープ３をウェハ４２に接近させるようにガイドする共に
圧着ツール４９が上方から入り込める穴を穿設した弧状
のテープガイド４５と、第１２図に示す左側の方におい
てテープ３を溝にはめて前後方向に高精度よく案内する
ガイドローラ４６と、テープ３に形成された送り穴３ａ
に噛合せてテープ３を送り方向及び第１２図の前後方向
に高精度に位置決めして案内するスプロケットホイール
４７と、該スプロケットホイール４７を一定なる回転量
回転させてテープ３を単位間隔づつ移動させるテープ送
り機構４８と、テープ３上にエツチング等によって１０
〜１００本程度形戒されたインナリード２を、接着テー
プ等で一定なる間隔で接着されたペレット４２ａ上のバ
ンプ４２ｂに一度Ｑこギヤングボンデングするように形
成された圧着ツール４９と、該圧着ツール４９を先端に
支持してテープアライメント時には上昇後退させ、ボン
デング時には前進下降させるように第１３図において「
形の形路をもって一ヒ下・左右に移動させる移動機構５
０と、テープ３を案内する上記テープガイド４５、ガイ
ドローラ４６、スプロケットホイール４７及び移動機構
５０を取付けた部材５１をＸ軸方向及びｙ軸方向に２０
０〜３００μｍ程度の範囲で微調整してペレツｈ４２ａ
のバンプ４２ｂに対してテープ３のインナーリード２を
位置合せするマニピュレータ５２（Ｘ軸方向テーブル５
２ａを微動させる駆動源５２ｂ、及びｙ軸方向テーブル
５２ｃを微動させる１駆動源５２ｄを有する。

）と、ペレット４２ａ及びテープ３のギヤングボンディ
ング位置の像を撮像するＩＴＶカメラ５３と、該ＩＴＶ
カメラ５３で撮像した儂を映し出すモニタＴＶ５４と、
上記ギヤングボンディング位置を照明する照明装置５ａ
、５ｂと、上記モニタＴＶ５４に映し出された像に合せ
て正方形の基準線を発生させる基準線発生装置５５と、
θ移動台４４ａを回転駆動するパルスモータ等の７駆動
源５６ａ、Ｘ移動台４４ｂをＸ軸方向に移動させるパル
スモータ等の駆動源５６ｂ、Ｙ移動台４４ｃをｙ軸方向
に移動させるパルスモータ等の駆動源５５ｃと、上記駆
動源５２ｂ、５２ｄ駆動源５６ａ、５６ｂ、５６
ｃテープ送り機構槌及び移動機構５０等に定められた指
令を出す操作盤５γと、グイランプされたペレット４２
ａのバンプ４２ｂの像を撮像してバンプ４２ｂの位置を
検出する一対のウェハ検出ヘッド５８ａ、５８ｂと、テ
ープ３の位置を検出するために対物レンズ５９の映像を
ガ割するハーフミラ−６０と、上記対物レンズ５９で得
られた映像を拡大するための光学系を備えた光学系６１
と、該光学系６１によって拡大されたテープ３上のター
ゲットマーク１ａまたは１ｂの像を撮像するためにＸ−
Ｙテーブル６３上に載置されたＴＶカメラ等からなるテ
ープ位置検出撮像装置４と、該ＴＶカメラ４で撮像した
像をモニタするためのモニタＴＶ６４と、上記ウェハ検
出ヘッド５８ａ、５８ｂから得られる映像信号に
もとづいてウェハ４２の位置を検出して予め設定された
基準位置とのずれ量を算出して、そのずれ量がなくなる
ように駆動装置５６ａ。

５５ｂ、５６Ｃを作動させ、上記テープ位置検出撮像
装置４から得られる映像信号にもとづいてテープ３の位
置を検出して予め設定された基準位置とのづれ量を算出
してそのずれ量がなくなるように１駆動源５２ｂ、
５２ｄｆ作動させる制御装置６５とから構成されて
いる。

次にウェハ位置検出ヘッド５８ａ、ｓｓｂについて第
１４図、第１５図及び第１６図にもとづいて具体的に説
明する。

即ちウェハ位置検出ヘッド５８ａ、５８ｂは、ウェハ４
２の一部を拡大するための対物レンズ６６と、ウェハ４
２を落射照明するための照明装置６７（図ではランプの
みを示しである）およびハーフミラ−６８と、肉眼によ
り検出位置の観察やピント合せを行うための接眼レンズ
６９およびハーフミラ−７０と、対物レンズ６８による
映像を２つに分割するハーフミラ−γ１と、分割された
映像をそれぞれ直角をなす２方向へ直線状に集光するた
めのシリンドリカルレンズ７２ａ＋７２ｂおよ
び直線状に集光された映像を受光するためのフォトダイ
オードアレイ等から形成された一次元撮像素子７３ａ
＋７３ｂよりなっている。

上記の構成をもつ検出ヘッド５８ａｔ５８ｂに
より第１５図に示す様なウェハ４２上の一部（ダイシン
グ溝４２ｃ、バンプ４２ｂ、回路パターン４２ｄを有す
る）を検出することによりフォトダイオードアレイ７３
ａ２．７３ｂではそれぞれシリンドリカルレンズ
７２ａ、７２ｂによってＸ方向、Ｙ方向に圧縮し
た映像７４．７５の信号７６が第１６図に示す様に得ら
れる。

図中の■。は反射率の高いウェハ表面（配線パターン部
４２ｄも含む）の信号レベル、■１はバンプ部４２ｂの
信号レベル、■２はダイシング溝部４２ｃの信号レベル
である。

この様な信号を第１２図に示す制御装置６５により適当
な演算処理すると、たとえばダイシング溝部４２ｃの中
心位置、あるいはとなり合うペレット４２ａのダイシン
グ溝４２ｃをはさんだバンプ４２ｂの列の中間位置を求
めることは容易であり、Ｘ方向に圧縮した映像７４をＹ
方向に整列した一次元撮像素子７３ｄで受光することに
よりＹ座標を、同様にＹ方向に圧縮した映像７５をＸ方
向に整列した一次元撮像素子７３ｂで受光することによ
りＸ座標が求まる。

２つの検出ヘッド５８ａ、ｓｓｂにより一定距離隔て
た２点の座標が求まれば、それぞれの点における設定座
標（あるいは目標座標）と比較することにより、θ方向
、Ｘ方向、Ｙ方向のずれ量が求まる、このずれ量を修正
するのに必要な信号を駆動装置５６ａ、５６ｂｙ５６ｃ
へ送ったウェハ４２を設定位置へ調整することができる
。

また２つの検出ヘッド５８ａ。５８ｂを用いる代りに１
つの検出ヘッド５８によりまず１点の座標を求め、ウェ
ハ４２を一定方向へ一定距離移動させた後この検出ヘッ
ド５８によりもう１点の座標を求めることにより同様の
性能でウェハ４２の位置検出、修正が行えることは明ら
かである。

なおもつと具体的には特許願昭和５２年第９５０６２号
に記載されている。

また、ウェハ４２のアライメントはボンデング位置では
上方にテープ３が存在して行えないので予めボンデング
位置からペレット４２ａの間隔Ｐの整数Ｎ倍離れた前方
位置で行なう。

次にテープ位置検出部およびモニタ光学系の概略図を第
１７図に示す。

上記光学系は対物レンズ５９によるテープ３の１チツプ
素子分の映像をハーフミラ−６０により分割し、一方を
モニタ用ＴＶカメラ５３に入力してモニタし、他方の映
像の一部分、たとえばインナリード２と一緒にエツチン
グ等によって加工されてインナリード２と一定の位置関
係にあるターゲットマーク１ａ、１ｂを光学系６１によ
り拡大してＴＶカメラ等から構成されたテープ位置検出
撮像装置４に入力するためのもので、全体を筐体に納め
たものである。

ニー例としてテープ３上にインナリード２を形成す
る時に同時に、第１図に示した様なエツチングで形成し
た窓による正方形のターゲットマーク１ａまたは第２図
に示した様なリード部と同材質の金属膜でエツチング時
に残留させて形成した正方形のターゲットマーク１ｂを
、インナリード２と常に一定の位置関係を保って形成し
、テープ位置検出撮像装置４に入力した場合について説
明する。

ターゲットマーク１ａまたは１ｂ付近を拡大して入力し
、それを走査して得られる映像信号を、適当な値で２
値化処理することにより第１８図Ｂに示す２値化信号７
７がＸ方向、Ｙ方向について得られる。

これらの信号を演算処理することによりターゲットパタ
ーンｌａ、または１ｂの中心座標を算出することはで
き、算出された中心座標と、設定された基準座標とのず
れを算出し、マニプユレータである駆動源５２ｂ、５
２ａを各々駆動すればそのずれをなくすことができ、テ
ープ３を基準位置にアライメントすることができる。

なおテープ３は弾力性を有すると共に送り穴３ａにスプ
ロケットを噛合せて位置決めされるものであるため、テ
ープを１チツプ素子分送ると前と同じ状態では位置決め
されず１００μｍ〜２００１１ｍ程度の誤差が生じてし
まい、■チップ素子分毎にテープ位置検出撮像装置４を
用いて位置決めしなければならない。

またテープガイド４５に形成された穴４５ａ（第１７図
に示す）を通して観察されるテープ３の領域７８は約ペ
レット４２ａの倍の大きさを有することからして、この
領域７８内で、且リードフレーム２から離間させて一定
な大きさのターゲットマーク１ｂを形成すれば、リード
フレーム２の直線部分を撮像して自動的に位置ずれを求
めてアライメントする場合に比較して、拡大光学系及び
光像検出手段は１つでよく、しかもリードフレームが密
集して配例されている関係で隣接したリードフレームを
撮像してしまって誤認する可能性もなく、より有効であ
る。

即ちリードフレーム２の直線部分を撮像してｘ、ｙの２
軸方向についてアライメントする場合、少くとも２ケ所
拡大して撮像しなければならないことからして拡大光学
系及び光像検出手段は少なくとも２つ必要となり構造が
複雑になる。

ところで前記実施例においてテープ位置検出撮像装置４
としてＴＶカメラを用い場合について説明したがｘ、ｙ
軸方向にスリット等を用いて機械的、光学的、または電
気的に走査でき、且光像を電気信号に変換できるもの、
例えばホトダイオードアレイ等でもよい。

次にインナリードボンダのボンディング手順を次に説明
する。

（１）即ち基板４１上にポリイミドのフィルムを貼付し
たものを真空チャック４３で吸着ローディングして圧着
ツール４９をボンデング位置でフィルム上に押しあてて
焼跡をつけ、テープガイド４５に形成された穴４５ａを
通してその焼跡をモニタ用ＴＶカメラ５３で撮像してそ
れをモニタＴＶ５４でモニタしながら、基準線発生装置
５５からの指令でモニタ光学系に弁状の基準線を発生さ
せて上記焼跡をこの基準線で囲む。

（２）次にポリイミドフィルムを除いたあと、基板４１
に貼付したタイミング後のウェハ４２をウェハ供給装置
（図示せず）によりローディングする。

（３）次にウェハ４２のペレツ）４２ａをテープガイド
４５の窓４５ａを通してＴＶカメラ５３で撮像し、例え
ばＸ移動台４４ｂをＸ軸方向に移動させながらＴＶモニ
タ５４上の井基準線とダイシング溝４２ｃまたはバンプ
４２ｂの列を比較しながら操作盤５７で指令を与えてθ
移動台４４ａを微回転させて回転方向のずれをなくす。

その後ウェハ４２上にある所定のペレット４２ａのバン
プ４２ｂがＸ軸方向及びｙ軸方向に上記基準線で囲まれ
るように操作盤５７で指令を与えてＸ移動台４４ｂ及び
Ｙ移動台４４ｃを微動調整して正確に合せる。

（４）次ニヘレット４２ａの間隔Ｐは定められているの
で、操作盤５７で指令を与えてＮＰなる距離（但しＮは
整数とする。

）、Ｘ移動台４４ｂを前方へ移動させる。

そしてその最−ヒに位置しているウェハ検出ヘッド５８
ａの一次元撮像素子７３ａ、７３ｂで上記ペレット４２
ａのバンプ４２ｂの光像を撮像し、それによって得られ
る映像信号の内、第１６図に示すようにｖｌの信号レベ
ルの位置をＸ軸方向及びｙ軸方向について水平同期信号
を基準にして求めて、ウェハの基準位置として制御装置
６５の内部にあるレジスタに記憶させる。

従って以後新らしいウェハ４２が真空チャック４３に吸
着載置される度に、上記レジスタに記憶されたウェハの
基準位置に位置整合することになる。

（５）次に操作盤５１を作動させてテープ送り機構４８
を作動させてスプロケットホイール４７を一定量回転さ
せて一定なるピッチテープ３を送り出して、テープ３上
のインナリード２の先端トヘレット４２ａのバンプ４２
ｂとをＴＶ全モニタ４を見ながら操作盤５７を操作して
マニプユレータ５２の各駆動源５２ｂ、５２ｄを微動
させてＴＶ全モニタ４に映し出されている基準線に一致
させる。

これにより、予めテープの基準位置（座標）とペレット
の基準位置とを求めるために、手動によりＴＶ全モニタ
４を見ながらペレットのバンプ位置と、テープのインナ
リード部および圧着ツールとの位置整合が行なわれたこ
とになる。

（６）次にテープ位置検出撮像装置４の視野をＸ・Ｙテ
ーブル６３を移動調整してテープ３上のターゲットマー
ク１ａまたは１ｂが中央に来るようにしてＸ−Ｙテーブ
ル６３を固定する。

この後テープ位置検出撮像装置４によりターゲットマー
ク１ａまたは１ｂをスキャンして映像信号を抽出し、こ
れを２値化回路７により２値化し、こ０）２値化信号
により水平同期信号及び垂直同期信号を基準にしてター
ゲットマークの中心位置座標を求め、その座標を第４図
に示す基準座標レジスター２に記憶させる、従って以後
テープ３を１チップ毎送り込んだとき上記基準座標レジ
スター２に記憶された値にテープ３が位置整合されるこ
とになる。

以上がまずボンデング作業をする前にテープ３を位置決
めするための基準座標、及びウェハ４２を位置決めする
ための基準位置を求めて各々のレジスタに記憶させる方
法である。

７）以後ボンデングのやり方を説明する。

ダイシングされたペレット４２ａを等間隔で基板４１に
貼付けしている新らしいウェハ４２を真空チャック４３
に載置吸着固定し、所定のペレット４２ａをウェハ位置
検出ヘッド５８ａ、ｓｓｂの各々の視野内に入れる。

そして各々の検出ヘッド５８ａ、５８ｂの一次元
撮像素子７３ａから得られるＹ軸方向の映像信号７６同
志を比較し、その偏差Ａｙａ−Ａｙｂ（但しｌは両横
出ヘッド５８ａ＋５８ｂによって検出されるペレット間
の距離）を求めてこの偏差がなくなるように制御装置６
５からの指令で駆動源５６ａを作動させてθ移動台４４
ａを回転させてペレット４２ａの行・列がＹ軸に平行ま
たは垂直になるように位置ずける。

次にウェハ位置検出ヘッド５８ａの一次元撮像素子７３
ａ、及び７３ｂでペレット４２ａの像を撮像してｖルー
ベルのバンプの位置を求め、この位置とレジスタに記憶
された基準位置ｗ（ｘｏ、ｙｏ）とＸ軸成分、ｙ軸成
分について比較しＣ偏差（ＷＪｘａ＝ＷＸａ−Ｗｘｏ
）、（ＷＪｙａ＝Ｗｙａ−Ｗｙｏ）を求め、この偏差
がなくなるように制御装置６５からの指令で駆動源５６
ｂ、及び５６ｃを作動させてＸ移動台４４ｂ、及びｙ移
動台４４ｃを微移動させてペレット４２ａの位置が基準
位置にセットされるように位置整合する。

ところでペレット４２ａは等間隔Ｐで高精度に基板４１
に配置されていると共に制御装置６４からの指令でＸ移
動台４４ｂ及びＹ移動台４４ｃ共に数μ程度の精度をも
って移動させることができるので、制御装置６４からＸ
軸方向及びｙ軸方向にＮＰなる距離（但しＮ＝０〜γ０
）ステップバイステップで移動させてやれば、圧着ツー
ル５４９が降下するボンディング位置にウェハ４２の
ペレツｈ４２ａのバンプ４２ｂ位置をＩＯμｍ程度
の高精度に位置整合することができる。

（８）以上のようにウェハ４２の各ペレット４２ａはボ
ンディング位置に位置整合されているので、Ｕまず操作
盤５７からの指令でテープ送り機構４８を作動させてス
プロケットホイール４７を所定量回転させてテープ３を
１ペレツト分移動させる。

そしてテープ位置検出撮像装置４によって１ペレット毎
形成されたターゲットマーク１ａ１．５または１ｂを撮
像して映像信号を得、その座標位置とレジスタ１２に記
憶された基準座標Ｔ（ｘｏ＋ｙｏ）との偏差（ＴＡＸ−
ＴＸ−ＴＸｏ）。

（ＴＪｙ＝Ｔｙ−Ｔｙｏ）を求め、この偏差がなくなる
ように制御装置６５からの指令でマニピ２Ｇユレータ５
２の駆動装置５２ｂ、及び５２ｄを作動させてＸテーブ
ル５２ａ、Ｙテーブル５２ｃを１００〜２００μｍの
範囲内で微動させて位置整合する。

次に操作盤５７からの指令で圧着工具４９を前進させて
降下させることによって２５リードフレーム２の先端と
ペレット４２ａのボンダ４２ｂとが一緒に加熱圧着され
てギヤングボンデングされる。

このようにしてウェハは１ペレツトずつ歩進されてボン
ディング位置に来た新らしいペレットに、テープ３の新
らしいす３０−ドの部分を１ペレツト歩進させてその度
に位置整合してギヤングボンデングする。

以上説明したように本発明によれば、テープ上の高密度
で配列されているリードフレームを認識することなく自
動的にテープ上のリードフレーム３５とペレットのバン
プとを高精度に位置整合してボンデングすることができ
る効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るターゲットマークを付したテープ
のリードフレームとペレットのバンプと栃を位置整合
させた状態を示した図、第２図は第１図と異なるターゲ
ットマークを付した状態を示した図、第３図はターゲッ
トマークの位置を検出するテープ位置検出装置の光学系
を示した概略構成を示した図、第４図はテープ位置検出
装置の信号処理関係の概要を示した図、第５図は第４図
に示した相関計算回路を具体的に示した図、第６図は第
４図に示した位置検出回路を具体的に示した図、第７図
乃至第９図はターゲットマークの中心を求める方法を説
明するための図、第１０図は第９図に示すＳｌ、Ｓ２．
Ｓ３．Ｓ４を求める回路構成を示した図、第１１図は領
域指定の仕方を示した図、第１２図は本発明によるテー
プキャリア方式のボンディング装置の一実施例を示した
正面図、第１３図は第１２図の側面図、第１４図は第１
２図及び第１３図に示したウェハ位置検出ヘッドを拡大
して示した図、第１５図は第１４図に示すウェハ位置検
出ヘッドによって撮像される光像を示した図、第１６図
は第１５図に示す一次元撮像素子から得られる映像信号
波形を示した図、第１７図は第１２図及び第１３図に示
したＴＶカメラ等の観察光学系及びテープ位置検出撮像
装置を具体的に示した図、第１８図は第１７図に示すテ
ープ位置検出撮像装置によって撮像する光像及びその２
値化信号を示した図である。符号の説明、Ｉａ、Ｉｂ・・・ターゲットマーク、２・
・・リードフレーム（インナーリード）、３・・・テー
プ、３ａ・・・送り穴、４・・・テープ位置検出撮像装
置、１２・・・レジスタ、４１・・・基板、４２・・・
ウェハ、４２ａ・・・ペレット（チップ）、４２ｂ・・
・バンプ、４３・・・真空チャック、４４ａ・・・θ移
動台、４４ｂ・・・Ｘ移動台、４４ｂ・・・Ｙ移動台、
４５・・・テープガイド、４６・・・ガイドローラ、４
７・・・スプロケットホイール、４８・・・テープ送り
機構、４９・・・圧着工具、５１・・部材、５２・・・
マニピュレータ、５２ａ・Ｘテーブル、５２ｂ、５２
ｄ−・・駆動源、５２ｃ・・・Ｙテーブル、５３・・・
ＴＶカメラ、５４・・・ＴＶモニタ、５５・・・基準線
発生装置、５６ａ、５６ｂ。５６ｃ−駆動源、５７−・・操作盤、５８ａ＋
５８ｂ・・・ウェハ位置検出ヘッド、６１・・・拡大
光学系、６３・Ｘ −Ｙテーブル、７２ａ、７２ｂ−シ
リンドリカルレンズ、７３ａ＋７３ｂ・・・一
次元撮像素子。

Claims

【特許請求の範囲】１テープ上にリードフレームとターゲットマークとを
形成し、ボンディング位置でテープのリードフレームと
ペレットのバンプとを観察して両者を位置整合してその
ときターゲットマークをテープ撮像装置で撮像してテー
プ基準位置を求めて記憶し、上記ペレットをボンディン
グ位置から所定の位置へ移動させてその位置にあるウェ
ハ撮像装置によりペレットを撮像してそのバンプまたは
外周等のペレット基準位置を求めて記憶し、ボンディン
グしようとするペレット群を移動台に載置してそのペレ
ットを上記ウェハ撮像装置により撮像してそのバンプま
たは外周等の位置を求めて上記ペレット基準位置に一致
するようにペレットを修正位置整合してペレットの間隔
の整数倍移動させてボンディング位置に位置付けし、ボ
ンディングしようとするリードフレームをペレット毎に
送り込んでターゲットマークを上記テープ撮像装置で撮
像してその位置を求めて上記テープ基準位置に一致する
ようにリードフレームを位置整合し、位置整合された上
記リードフレームとペレットのバンプとをギヤングボン
ディングすることを特徴とするテープキャリア方式のボ
ンディング方法。２テープ上に形成されたターゲットマークを撮像して
その位置を検出するテープ位置検出装置と、ボンディン
グ位置とは異なる所定の位置に設置され、且つ上記ペレ
ットのバンプまたは外等を撮像してその位置を検出する
ウェハ位置検出装置と、上記テープをペレット毎ボンデ
ィング位置へ送り込むテープ送り込み手段と、上記ペレ
ットをペレット間隔をもってボンディング位置へ移動す
るウェハ移動手段と、ウェハをウェハ移動手段の移動台
に載置するとき、上記ウェハ位置検出装置によってペレ
ットのバンプまたは外周等の位置を求めて記憶手段に記
憶されたペレット基準位置に一致するようにウェハを載
置した移動台を微移動させて位置整合するウェハ位置整
合手段と、上記テープ送り込み手段によって送り込まれ
たターゲットマークを上記テープ位置検出装置によって
ターゲラ１−マークの座標を求めて記憶手段に記憶され
たテープ基準位置に一致するようにテープを案内しなが
ら送り込むものを取付けた部材を微移動させて位置整合
するテープ位置整合手段とを備え、上記ウェハ位置整合
手段によって位置整合されたペレットをウェハ移動手段
でボンディング位置へ移動させ、圧着工具を降下させて
上記テープ位置整合手段で位置整合されたテープのリー
ドフレームとペレットのバンプとをギャングボイングす
るように構成したことを特徴とするテープキャリア方式
のボンディング装置。