JPS5826320A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS5826320A JPS5826320A JP56124324A JP12432481A JPS5826320A JP S5826320 A JPS5826320 A JP S5826320A JP 56124324 A JP56124324 A JP 56124324A JP 12432481 A JP12432481 A JP 12432481A JP S5826320 A JPS5826320 A JP S5826320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- thickness
- titanium
- deposited
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
- G11B5/722—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing an anticorrosive material
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空蒸着、スパッタ蒸着及び他の類似の方法
で被膜形成された磁性金属薄膜を磁気記録層として有す
る磁気記録媒体に関する。
で被膜形成された磁性金属薄膜を磁気記録層として有す
る磁気記録媒体に関する。
２ 。
７＋−
磁気記録用の磁性材料に磁性金属薄膜を用いる事の優位
性は、飽和磁束密度が犬である故、厚さの薄い磁気記録
層とする事ができ、また、抗磁力も比紋的高いものが得
られるので高密度記録に有利となることである。磁性金
属薄膜の他の利点は真空蒸着、スパッタ蒸着及び他の類
似の方法で薄く且つ厚さの一様な膜が容易に得られるこ
とである。これらの理由から磁性金属薄膜を磁気記録用
の材オド１として用いる傾向は近年増加しつつある。
性は、飽和磁束密度が犬である故、厚さの薄い磁気記録
層とする事ができ、また、抗磁力も比紋的高いものが得
られるので高密度記録に有利となることである。磁性金
属薄膜の他の利点は真空蒸着、スパッタ蒸着及び他の類
似の方法で薄く且つ厚さの一様な膜が容易に得られるこ
とである。これらの理由から磁性金属薄膜を磁気記録用
の材オド１として用いる傾向は近年増加しつつある。
例えばポリエチレンテレフタレートなどのプラスチック
基体−ににコバルトを主体とした合金の磁性層が形成さ
れたビデオ用磁気テープが開発されている。しかし、磁
性金属薄膜は薄い金属の膜として形成されるため空孔が
多く、空気中で酸化し易くそのだめに記録・再生時に磁
気ヘッドが摺接することに」二り磁性層がはがれてノイ
ズが発生したり、あるいは記録・再生がまったく不能と
々る実用上致命的な欠陥となる。従来、耐食性を改善す
る方法として、ワンクスなどの有機物を塗布する方法、
高硬度、且つ耐食性を有する金属酸化物を真空蒸着スパ
ッタ蒸着等の方法で表面に被着せＩ７める方法、磁（／
、１金属簿膜を乾燥空気中、丑たは活性ガス中で加熱し
表面を酸化ぜしめて酸化物よりなる保護酸化皮膜を形成
する熱処理方法が提案さねた。しかし、これらの方法で
ｄ［次のよう庁欠点を有している。まず、有機物層を形
成さぜる方法は、一時的に耐食性およびすべり性が向上
するが磁気ヘッドとの繰り返し摺接に」：り有機物層が
削り取られるためその効果を持続することができない。
基体−ににコバルトを主体とした合金の磁性層が形成さ
れたビデオ用磁気テープが開発されている。しかし、磁
性金属薄膜は薄い金属の膜として形成されるため空孔が
多く、空気中で酸化し易くそのだめに記録・再生時に磁
気ヘッドが摺接することに」二り磁性層がはがれてノイ
ズが発生したり、あるいは記録・再生がまったく不能と
々る実用上致命的な欠陥となる。従来、耐食性を改善す
る方法として、ワンクスなどの有機物を塗布する方法、
高硬度、且つ耐食性を有する金属酸化物を真空蒸着スパ
ッタ蒸着等の方法で表面に被着せＩ７める方法、磁（／
、１金属簿膜を乾燥空気中、丑たは活性ガス中で加熱し
表面を酸化ぜしめて酸化物よりなる保護酸化皮膜を形成
する熱処理方法が提案さねた。しかし、これらの方法で
ｄ［次のよう庁欠点を有している。まず、有機物層を形
成さぜる方法は、一時的に耐食性およびすべり性が向上
するが磁気ヘッドとの繰り返し摺接に」：り有機物層が
削り取られるためその効果を持続することができない。
Ａ、た一般にワックス′ｌｒどの有機物を塗布する方法
は数ミクロン以上と比１咬的膜厚が厚いものである。し
だがって磁気ヘッドとの摺接により削り取られる部分が
多量になり、磁気ヘッドや他の部分に付着、蓄積し易く
、磁気特性に悪い影響を及ぼす。次に高硬度、且つ而・
１食性を有する金属酸化物、例えば酸化グイ素、酸化ア
ルミ、酸化クロト等を真空蒸着、スパック蒸着等で表面
に被着せしめる方法では厚みが１．０／１ｍ以−１―の
場合で１制食件ならびに面１摩耗性等の改善にある程度
効果をあげることができる。しかし磁気特性を考えた場
合、薄くおさえなければならなく、このため往々にして
磁性金属薄膜表面に形成される金属酸化物の蒸着膜層は
厚みが不均一で空孔の多いものになりがちである。し／
ζがって耐食性の向−にはあ寸り望めないものとなる。
は数ミクロン以上と比１咬的膜厚が厚いものである。し
だがって磁気ヘッドとの摺接により削り取られる部分が
多量になり、磁気ヘッドや他の部分に付着、蓄積し易く
、磁気特性に悪い影響を及ぼす。次に高硬度、且つ而・
１食性を有する金属酸化物、例えば酸化グイ素、酸化ア
ルミ、酸化クロト等を真空蒸着、スパック蒸着等で表面
に被着せしめる方法では厚みが１．０／１ｍ以−１―の
場合で１制食件ならびに面１摩耗性等の改善にある程度
効果をあげることができる。しかし磁気特性を考えた場
合、薄くおさえなければならなく、このため往々にして
磁性金属薄膜表面に形成される金属酸化物の蒸着膜層は
厚みが不均一で空孔の多いものになりがちである。し／
ζがって耐食性の向−にはあ寸り望めないものとなる。
寸だ、金属酸化物の場合は、金属との密着力は弱いこと
から磁気ヘッドとの繰り返し走行により徐々にばくりか
起こる。そしてばくりし）こ金属酸化物は高硬度である
ため、磁気ヘッドあるいは走行時に磁性金属薄膜表面が
接する部分でひっかき摩耗が発生し易く々る。
から磁気ヘッドとの繰り返し走行により徐々にばくりか
起こる。そしてばくりし）こ金属酸化物は高硬度である
ため、磁気ヘッドあるいは走行時に磁性金属薄膜表面が
接する部分でひっかき摩耗が発生し易く々る。
磁性金属薄膜表面を乾；、・■空気中才たば、活性ガス
中で加熱し酸化ぜしめて保護酸化皮膜を形成する方法で
は、磁性金属薄膜表面に形成される保護酸化皮膜の厚み
が約０．０１μｍ 以下と薄く、磁気特性の低下Ｉ７Ｉ
：はとんどない。しかしこの熱処理方法では面１食性の
良い酸化保護皮膜を形成させるためには、加熱温度を２
５０℃以−にに上げる必要があり、したがって基体とし
てポリエステル系のプラスチックフィルムを用いた場合
、基体の耐熱性が低いため、熱劣化が著るしくなり、条
件設定が非常に困知となる。寸だ、酸化皮膜は比較的硬
度が高いため、金属酸化物を真空蒸着、スパック蒸着し
た場合と同様に、繰り返し走行に」：って磁気−＼ソド
、ｉｉ、るいけ磁性金属薄膜表面が接する部分の摩耗が
起こる。
中で加熱し酸化ぜしめて保護酸化皮膜を形成する方法で
は、磁性金属薄膜表面に形成される保護酸化皮膜の厚み
が約０．０１μｍ 以下と薄く、磁気特性の低下Ｉ７Ｉ
：はとんどない。しかしこの熱処理方法では面１食性の
良い酸化保護皮膜を形成させるためには、加熱温度を２
５０℃以−にに上げる必要があり、したがって基体とし
てポリエステル系のプラスチックフィルムを用いた場合
、基体の耐熱性が低いため、熱劣化が著るしくなり、条
件設定が非常に困知となる。寸だ、酸化皮膜は比較的硬
度が高いため、金属酸化物を真空蒸着、スパック蒸着し
た場合と同様に、繰り返し走行に」：って磁気−＼ソド
、ｉｉ、るいけ磁性金属薄膜表面が接する部分の摩耗が
起こる。
この」：うに従来は、いずれの方法も特にビデオ用蒸着
磁気テープの実用的な耐食性の改善には至っていない。
磁気テープの実用的な耐食性の改善には至っていない。
本発明は、とＪｑ、らの方法での問題点を解決し、実用
的な面１食性を備えだ高密度記録用の磁気記録媒体を提
供する事を目的とし、例えばポリエステル系フィルム基
体上に蒸着されたコバルト−ニラクル合金磁性薄膜表面
に厚み、ｏ、００６〜０．０２８ｍのチタンから成る蒸
着保護層を形成するものである。
的な面１食性を備えだ高密度記録用の磁気記録媒体を提
供する事を目的とし、例えばポリエステル系フィルム基
体上に蒸着されたコバルト−ニラクル合金磁性薄膜表面
に厚み、ｏ、００６〜０．０２８ｍのチタンから成る蒸
着保護層を形成するものである。
々おここで本発明において使用するチタンに１、化学的
にも極めて安定であり真空度１×１０ での蒸発温度が
約１３００″Ｃで種々の酸化物（約２５００℃Ｉソ、上
）に１にぺて低い温度で賓易に蒸メ・′１できる。本発
明に係る磁気記録媒体は、磁性薄膜表面に形成されるチ
タン蒸着保護層の膜厚が厚くなるに従ってその而・１食
性は向」−するが、膜厚が０．０２μｍ 以上になると
極端に電気的信号の出力レベルが低下する傾向にあるの
でこれ以下の膜厚が適当である。丑た鉦１食性の効果を
発揮し得る膜厚は０１Ｑ１／１ｍ以上である。
にも極めて安定であり真空度１×１０ での蒸発温度が
約１３００″Ｃで種々の酸化物（約２５００℃Ｉソ、上
）に１にぺて低い温度で賓易に蒸メ・′１できる。本発
明に係る磁気記録媒体は、磁性薄膜表面に形成されるチ
タン蒸着保護層の膜厚が厚くなるに従ってその而・１食
性は向」−するが、膜厚が０．０２μｍ 以上になると
極端に電気的信号の出力レベルが低下する傾向にあるの
でこれ以下の膜厚が適当である。丑た鉦１食性の効果を
発揮し得る膜厚は０１Ｑ１／１ｍ以上である。
次に本発明の効果を実施例の場合について説明する。約
１０１ｔＴｎ厚のポリエチレンテレフタレート基体フィ
ルム上に厚み約０．１〜０．２μｍのコバルＩ・−ニッ
ケル合金より外る磁性層を真空蒸着により形成した後、
磁性層表面にチタンを蒸着し、その膜厚を０．００５
、０．０１ 、０．０２ μｍとしたものを作製した。
１０１ｔＴｎ厚のポリエチレンテレフタレート基体フィ
ルム上に厚み約０．１〜０．２μｍのコバルＩ・−ニッ
ケル合金より外る磁性層を真空蒸着により形成した後、
磁性層表面にチタンを蒸着し、その膜厚を０．００５
、０．０１ 、０．０２ μｍとしたものを作製した。
寸だ比較用にクロム酸化物を同条件で、酸化ケイ素をス
パッタ蒸着でそれぞれ膜厚を０．０２ ｌ１ｍにしだも
のを作製した。各試料について４０ ′ＣＩ時間蒸気吹
き利け、２０℃２時間乾燥の条件に設定した発露腐食試
験装置内に１［１〜１ｓ）１間放置し、磁性層表面を光
学顕微鏡で観察し腐食１１−代物の発生の有無を調べだ
。
パッタ蒸着でそれぞれ膜厚を０．０２ ｌ１ｍにしだも
のを作製した。各試料について４０ ′ＣＩ時間蒸気吹
き利け、２０℃２時間乾燥の条件に設定した発露腐食試
験装置内に１［１〜１ｓ）１間放置し、磁性層表面を光
学顕微鏡で観察し腐食１１−代物の発生の有無を調べだ
。
この結果を第１図に示す。第１図より、磁性層表面に厚
み０．０２μｍ の酸化ケイ素、酸化クロムを形成した
ものでは腐食生成物が２０ないしは５日で発生していた
。これに対し厚み０．０２μｍのチタンを形成した場合
は、試験［］数５［−１ではほとんど腐食生成物の発生
はみられず、試験口数１４〜１５０で腐食生成物の発生
がようやくみられ面・１食件が一段と向上していること
がわかった。
み０．０２μｍ の酸化ケイ素、酸化クロムを形成した
ものでは腐食生成物が２０ないしは５日で発生していた
。これに対し厚み０．０２μｍのチタンを形成した場合
は、試験［］数５［−１ではほとんど腐食生成物の発生
はみられず、試験口数１４〜１５０で腐食生成物の発生
がようやくみられ面・１食件が一段と向上していること
がわかった。
一方、チタンの厚みを０．００５μｍとした場合は、少
し効果を示す程度であったが、厚みを０．０１μｍ と
した場合は、試験口数８〜１０「１で腐食生成物があら
れれ厚み０．０２μｍのクロム酸化物、酸化ケイ素の場
合に比べても而・１食性が向上していることがわかった
。
し効果を示す程度であったが、厚みを０．０１μｍ と
した場合は、試験口数８〜１０「１で腐食生成物があら
れれ厚み０．０２μｍのクロム酸化物、酸化ケイ素の場
合に比べても而・１食性が向上していることがわかった
。
さらに、チタンを厚み０．０２μｍ に形成したものに
ついて、恒温、恒湿試験（６０℃、９０％）およびテー
プ表面と裏面とがかさなり合うようにしだ状態で恒温、
恒湿（６ｏ″Ｇ、９０％）槽内に放置し、テープ間のは
がれ具合を評価するブロッキング試験をそれぞれ行なっ
た。恒温恒湿試験で１〜２週間で表面に腐食生成物が現
われたが、チタン蒸着保護膜を形成したものは１ケ月以
上の放置でも腐食生成物はあられれず、耐食性が向上し
ていることがわかった。一方、ブロッキング試験でも、
チタンの蒸着保護膜を形成していないものは１日でテー
プ間がはがれ々くなるのに対し、チタンの蒸着保護膜を
形成したものは４日以上なんら変化が々かった。寸だ、
チタン蒸着保護膜形成後の磁性金属薄膜の密着強度を磁
気ヘッドによるひっかき試験に」：り測定した。この結
果を第２図に示す。第２図」：リチタン蒸着保護膜の形
成していないものは、発露腐食試験前では荷重５０〜６
ｏｇで膜のはがれはなかったが、発露腐食試験装置内に
１日放置すると荷重数ｇで磁性金属薄膜がポリエチレン
テレフタレート基体上よりはがれ密度強度の低下が著る
しかった。これに対し、チタン蒸着保護膜を形成したも
のは、発露腐食試験装置に１０日放置した後でひっかき
試験を行なっても磁性金属薄膜とポリエチレンテレフタ
レート基体との境界でのはがれは少なかった。
ついて、恒温、恒湿試験（６０℃、９０％）およびテー
プ表面と裏面とがかさなり合うようにしだ状態で恒温、
恒湿（６ｏ″Ｇ、９０％）槽内に放置し、テープ間のは
がれ具合を評価するブロッキング試験をそれぞれ行なっ
た。恒温恒湿試験で１〜２週間で表面に腐食生成物が現
われたが、チタン蒸着保護膜を形成したものは１ケ月以
上の放置でも腐食生成物はあられれず、耐食性が向上し
ていることがわかった。一方、ブロッキング試験でも、
チタンの蒸着保護膜を形成していないものは１日でテー
プ間がはがれ々くなるのに対し、チタンの蒸着保護膜を
形成したものは４日以上なんら変化が々かった。寸だ、
チタン蒸着保護膜形成後の磁性金属薄膜の密着強度を磁
気ヘッドによるひっかき試験に」：り測定した。この結
果を第２図に示す。第２図」：リチタン蒸着保護膜の形
成していないものは、発露腐食試験前では荷重５０〜６
ｏｇで膜のはがれはなかったが、発露腐食試験装置内に
１日放置すると荷重数ｇで磁性金属薄膜がポリエチレン
テレフタレート基体上よりはがれ密度強度の低下が著る
しかった。これに対し、チタン蒸着保護膜を形成したも
のは、発露腐食試験装置に１０日放置した後でひっかき
試験を行なっても磁性金属薄膜とポリエチレンテレフタ
レート基体との境界でのはがれは少なかった。
以上の各試験結果より、磁性金属簿膜の致命的な問題点
である腐食は表面にチタンの蒸着、保護膜を形成せしめ
ることにより１屑決でき実用にも十分使用可能であるこ
とがわかった。
である腐食は表面にチタンの蒸着、保護膜を形成せしめ
ることにより１屑決でき実用にも十分使用可能であるこ
とがわかった。
また、連続走行に」：る、チタン蒸着保護膜の寿命（摩
耗やはくり）が考えられるが、このととについてはチタ
ン蒸着保護膜表面に滑剤を非常に薄く塗布するか、一般
に磁気テープの裏面に用いられている滑剤の転写を利用
することにより寿命が伸びることも確認した。
耗やはくり）が考えられるが、このととについてはチタ
ン蒸着保護膜表面に滑剤を非常に薄く塗布するか、一般
に磁気テープの裏面に用いられている滑剤の転写を利用
することにより寿命が伸びることも確認した。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の効果を示す図で、こ
のうち第１図はコバルト−ニッケル磁１〈１ミ金属」：
りなる磁性層表面にチタン、酸化クロム。 および酸化ケイ素の蒸着保護膜を形成させた後の発露腐
食試験結果を示し、第２図はコバルト−ニッケル磁性金
属よりなる磁性層表面にチタンを形成し、発露腐食試験
前、試験５日および１０口での磁性層とポリエチレンテ
レフタレート基体上Ｉソ 密着強度を磁気ヘッドによるひっかき試験で測定した結
果を示す。
のうち第１図はコバルト−ニッケル磁１〈１ミ金属」：
りなる磁性層表面にチタン、酸化クロム。 および酸化ケイ素の蒸着保護膜を形成させた後の発露腐
食試験結果を示し、第２図はコバルト−ニッケル磁性金
属よりなる磁性層表面にチタンを形成し、発露腐食試験
前、試験５日および１０口での磁性層とポリエチレンテ
レフタレート基体上Ｉソ 密着強度を磁気ヘッドによるひっかき試験で測定した結
果を示す。
Claims (4)
- （１）基体上に設けられ金属磁性体からなる磁性層の表
面にチタン膜を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。 - （２）基体がポリエステル系フィルムからなることを特
徴とする特πＦ請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。 - （３）金属磁性体がコバルトまたはコバルト−ニラクル
合金であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の磁気記録媒体。 - （４）チタン膜の厚みを０．００５〜０．０２μｍとし
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56124324A JPS5826320A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56124324A JPS5826320A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5826320A true JPS5826320A (ja) | 1983-02-16 |
Family
ID=14882515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56124324A Pending JPS5826320A (ja) | 1981-08-07 | 1981-08-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5826320A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5672425A (en) * | 1991-06-28 | 1997-09-30 | Sony Corporation | Magnetic recording medium and a method of fabricating the same |
-
1981
- 1981-08-07 JP JP56124324A patent/JPS5826320A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5672425A (en) * | 1991-06-28 | 1997-09-30 | Sony Corporation | Magnetic recording medium and a method of fabricating the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2572745B2 (ja) | 耐摩耗・耐腐触性の磁気記録膜の作成方法 | |
| JPH0766528B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63220420A (ja) | 記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH0520658A (ja) | 磁気記録媒体用基板及びその製造方法 | |
| JPS5826320A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02139714A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6126135B2 (ja) | ||
| JPS6246434A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH03273525A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6379230A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS60209929A (ja) | 磁気記憶体およびその製造方法 | |
| JPS61236017A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH02281413A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5922995A (ja) | 金属薄膜 | |
| JPS5817537A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| JPS6020319A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体の生産方法 | |
| JPS62128021A (ja) | 磁気デイスク基板 | |
| JPS62112210A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6124023A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6218624A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6180522A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5990233A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体の生産方法 | |
| JPS62110619A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS59185028A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02289920A (ja) | 磁気記録媒体 |