JPS5922995A

JPS5922995A - 金属薄膜

Info

Publication number: JPS5922995A
Application number: JP13272782A
Authority: JP
Inventors: Yuji Takashima; 祐二高島; Keiichi Yubagami; 弓場上　惠一; Hiromu Matsuda; 宏夢松田; Tokihiko Shimizu; 清水　時彦; Masashi Moriwaki; 正志森脇
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1982-07-28
Filing date: 1982-07-28
Publication date: 1984-02-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、金属薄膜の防錆、防食および表面の滑性に関
する。具体的には、金属薄膜の銅候慴三の向」二とずベ
リ摩擦係数の低減に関する。

不発明が適用できる金属薄膜は、膜厚力；１０μｍ以下
の金属の薄層を有する材料全般であり、特に有効な金属
としてはコバルト、ニッケル、銅、アルミニウムもしく
はこれらを含む合金が対象となる。このような金属薄膜
を有する材ｔ１は、各神センサ、電イ部品などの工業材
料、電子材料に広く利用されている。例えば、コバルト
を主成分とする磁性材料をポリエステルなどのフィルム
ニ蒸着した磁気テープがある。他には、アルシミニウム
全ポリカーボ不−１−などの絶縁性フィルムに蒸着した
Ｎ　極フィルム等がある・しかし、従来これらの金属薄膜は例えば６０°ｃ。

９０％圏のような高温高湿の雰囲気に暴すと数時間で錆
や腐食が発生したり、さらに長時開基ずと膜が剥離する
などして、金属薄膜の固有物性や要求特性が失われる問
題があった。さらに前述した磁気テープの例で説明する
と、前記テープを磁気、ｒ’Ｆ２録再生装置に装填して
走行した場合、前記テープの金属薄膜面と例えばステン
レスのテープ走行ガイドあるいは記録・再生ヘッドとの
摩擦力が大きいため、その接触部で摩擦音が発生し／こ
り、金属薄膜が摩耗したりする問題があった。また、走
行不良を起こし易く記録・再生画像が歪む問題があった
。

一般に、金属表面の防錆、防食および滑性に対してつぎ
のような方法が知られている。例えば、弗光系活性剤を
少量添加したエポキシ・シ′リコンなどの樹脂で金属表
面を被覆する方法、あるいはナフト−ル系、リン酸エス
テル系などの防錆剤で保護膜を形成する方法がある。し
かし、このような方法では、保護膜の膜厚を０．１μｍ
以上にしないど先の効果を得ることが困ψ（（である。

ところが例えば磁気テープに０．１μｍ厚の保護膜を形
成した場合、仮に記録再生ヘッドと金属薄膜との間隙が
０．１μｍになったとすると、画信号のレベルシカ；約
１０ｄＢ　　低下するため、一般的な方法は使えない問
題があった・そこで本発明の目的は、かかる従来の欠点２問題点を克
服した金属薄膜を提供することにある。

具体的には、金属薄膜の固有物性を失なわず、しかも空
気酸化、結露、湿気などによる錆や腐食に強く、摩擦係
数の小さい金属薄膜を提供することにある。

本発明による代表的な金属薄膜の構成を第１図に示す。

図において、１は例えばポリエチレンテレフタレート、
ポリイミド、アクリル樹脂などのプラスチックあるいは
シリコン、セラミックなど４かもなる基本である。２は例えばコバルト、ニッケル、
銅、アルミニウムもしくはこれらを主成分とする合金を
真空蒸着あるいはスパッタリングで膜厚１〜１ｏＩｉｍ
に形成した金属薄膜である。３は膜厚５ｏ〜２Ｑ○人の
沃化銅を主成分とする薄層である。薄層３は金属薄膜２
０表面および表面に露出している細孔の内壁に何着して
いる。

沃化銅を金属薄膜に付着するには、スパッタリング、蒸
着、塗工あるいは浸漬法など通常の方法で成し得る。特
に、塗工および浸漬法の場合は金属薄膜との密度をよく
するために沃化銅の重量に７１シて２０重量％以下の例
えば、アクＩＪ　／し樹脂。

セルロース誘導体などの樹脂結着剤を併用することも可
能である。また、実験によるといずれの方法にしても、
沃化銅を主成分とする薄膜は、沃化銅を非晶質化した方
が結晶化したものより効果が人きく、望ましい結果が得
られた。

したがって、本発明の主眼は、」二連したように金属薄
膜の表面を沃化銅で表面処理することにあり、その特徴
は沃化銅の膜厚が数１０〜数１００人の極めて薄い膜厚
で、防錆、防腐、滑性に効果がある点にある。また、前
述のように沃化銅の膜厚が極めて薄くても効果があるた
め、金属薄膜の固有物性に影響を与え難い特徴があり、
金属薄膜を有する磁気テープに特に著しい効果が得られ
る。

つぎに実施例を挙げてさらに詳しく説明する。

〈実施例１〉１ｏ　ｌ１ｍ　厚のポリエステルフィルムにコバ／Ｉ／
１−・ニッケル合金を１６００人厚に真空蒸着した磁気
テープを、下記処方の沃化銅溶液に浸漬した後、過剰の
溶液を１．５〜２に９／ｃａ圧のエアージエｙｌ−で吹
き飛ばし、速やかに８０　’Ｃの温風で乾燥した。

その結果、コバルト・ニッケル合金の金属薄膜面に、非
晶質の沃化銅の薄層が形成された。この薄層の膜厚は約
１００人であった。

〈溶液の組成〉つぎに、上記テープを６Ｑ′Ｃ，３０％ＲＨの恒温恒湿
湿槽中に１２時間放置したところ、錆や腐食は観察され
なかった。比較のために、沃化銅で処理しない生テープ
を上記と同様の条件で試験したところ錆が多数発生し、
局部的にコバルト・ニッケ〜の合金薄膜がポリエステル
フィルムかう剥離しているのが観察された。

つぎに、直径５Ｉｌｆｆｌのステンレス棒に磁気テープ
の金属薄膜を接触して、すべり摩擦係数を７１Ｉ１１定
したところ、沃化銅で処理したテープは０．４であるの
に対して、未処理のテープは０．６５であった。

以上のように本発明によると、防錆、防食性および滑性
にすぐれた金属薄膜を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明による金属薄膜の断面図である。１・・・・・・基体、２・・川・金属薄膜、３・・・・
・沃化鋼を含む薄層。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）表面に沃化銅が付着していることを特徴とする金
属薄膜。
（２）金属薄膜が磁性材料からなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の金属薄膜。
（３）磁性制料がコバルト合金であることを特徴とする
特許請求の範囲第２項記戦の金属薄膜。
（４）　　コバ／ｌ／　１．　合金がコバルト・二・ノ
ケル合金であることを特徴とする特許請求の範囲第３項
記戦の金属薄膜。
（５）沃化銅が非結晶質であること全特徴とする特πＩ
捕°ｉ求の範囲第１項記載の金属薄膜。