JPS5824898B2 - 電子顕微鏡等の試料交換装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡の試料交換装置に係り、特に複数個
の試料を装着できる試料台を着脱容易に取付けた試料交
換棒を有する試料交換装置に関する。

試料交換装置を備えた試料微動装置には試料微動皿を含
むものと含まないものとがあるが、微動器を含むものは
機構的に複雑であり、大量の試料を処理するのには適し
ていない。

本発明は、特に試料微動皿を含まない試料微動装置に用
いられる試料交換装置に関する。

透過形電子顕微鏡の試料は通常、直径３．２ｍ１７）薄
いメツシュ上に固定されている。

このメツシュを試料台に装着し、電子顕微鏡の試料室に
入れて、観察に供する。

メツシュは保存携帯用のプラスチック容器に納められた
ものをピンセットにより、試料台へ移しかえたり、その
逆の操作を行うのが普通である。

これ等の操作の際メツシュは薄く、機械的に弱いもので
あるからピンセットにより曲げられることがある。

試料はメツシュに密着していなげれば試料ドリフトの原
因となるし、また、はがれて紛失することもある。

これらの欠点を除去するためには試料台を大量に用意し
、作成された試料は直ちに試料台に収納し、その状態で
、適当な容器に保存しておき、必要に応じて試料台を取
出して観察に供するようにすればよい。

本発明はこの目的のため、複数個の試料を収納し得る試
料台を、試料交換棒に着脱可能に取付け、試料台中の任
意の試料を観察可能にするため、試料選択のための機構
を試料交換棒に設けたことにある。

以下図面について説明する。１は試料室で、試料交換棒
６は右方より筒体４の貫通孔５に挿入され、その先端に
取付けられた試料１１が電子線通路２１にとｙ（ように
なっている。

Ｏリング７には右側より大気圧がかへっており、試料交
換棒６は常に左方に押されている。

試料室１の右側には試料をＸ軸方向に動かすための試料
微動機構がある。

ねじ棒１９を回転させると、てこ１８、微動軸１５、連
結棒１２を経て、試料１１をＸ軸方向に動かすことにな
る。

微動ツマミ８ａまたは８ｂを回転させると、筒体４は軸
承２の球面３に沿ってＸ軸と直角の方向（すなわちＹま
たはＺ軸方向）に動き、試料１１はこれと同じ動きをす
る。

試料交換棒６には試料微動装置とは無関係な試料メツシ
ュ選択のための機構が設けられており、試料台に収納さ
れた任意のメツシュを観察視野に持って（る機能を備え
ている。

第２〜４図によりこの機構を説明する。

試料交換棒６はピボット２３をその先端に有する筒体２
５と移動軸３５を主体とし、これに試料台４２を着脱可
能に取付ける構造とし、更に試料台４２を筒体２５に対
し移動可能としたものである。

筒体２５の先端部は板状部２２（第３図）を形成し、そ
こには電子線通過孔４５があり、試料台４２に収納され
た任意の試料メツシュをこの位置に持ってこれるように
なっている。

試料台４２は止めねじ４３により、移動軸３５に固定さ
れている。

嫡子２９を回転すると円筒２８は一体となって回転し。

これに固定されているピン３０は節体２５に設けられた
カム溝２７に沿って移動し、円筒２８と、ねじ３１、ボ
ールベアリング３２を介して連結されている移動軸３５
は、節体２５に対しその軸方向に移動することになる。

第３図は、試料交換棒先端部の詳細図で、試料台４２は
複数個の試料４４ａ、・・・・・・・・・４４ｄを収納
駿ている。

第４図は、筒体２５のカム溝２７の詳細図で。

節体２５に斜めにあげられた溝であるが、これには２７
ａ、・・・・・・・・・２７ｄで示す凹のひつか反りが
設けられており、ピン３０はこの凹部２７ａ、・・・２
７ｄに係合して安定状態となる。

ピン３０が２７ａの位置にある時、試料４４ａが観察位
置にあり、次にピン３０が２７ｂに送られると、試料４
４ｂが観察位置にくる。

ピン３０の位置を嫡子２９の回転で選択することにより
試料台に収納された任意の試料を観察することができる
。

ガイドピン４０は試料交換棒６を第１図の筒体４に挿入
する際のガイド、ピボット２３は連結棒１２と接触係合
する部分、また３７はガイドピン、３８はガイド溝であ
る。

以上のように、本発明によれば試料交換棒６が試料室１
に挿入された状態で、嫡子２９により試料台の任意の試
料をステップ状に移動させて観察位置に持って（ること
かできるので、試料の微動（視野選択）動作と全く独立
に、試料台に収納された全試料を、極めて短時間（例え
ば数秒間）で、簡単に入れ換えて観察することができる
。

さらに、試料台４２の試料交換棒６からの着脱が容易で
あるので、次から次へと試料台を取り換えることにより
、大量の試料を損うことなく容易に観察することができ
るので、実用に供して大変便利である。

本実施列では、試料台の試料交換棒に対する移動をカム
を用いてステップ状に行うようにしているが、他の機構
によるステップ状の移動でも効果は全く同様である。

試料交換棒の試料室への出し入れに、第１図ではエアロ
ツク機構を図示していないが、エアロツク機構のあるの
が普通である。

なお、本発明の試料交換装置が走査形の電子顕微鏡にも
使用できることはもちろんである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施列の断面図、第２図は本発明の
要部の断面図、第３図、第４図は第２図の一部詳細説明
図である。 １・・・試料室、４・・・筒体（第１）、６・・・試料
交換棒、２５・・・筒体（第２）、２７・・・カム溝、
２９・・・嫡子、３０・・ゼン、３５・・・移動軸、４
０・・・ガイドピン、４２・・・試料台、４４・・・試
料。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 電子顕微鏡試料室の側壁に取付けられた第１の筒体
   に挿入された第２の筒体と、前記第２筒体に挿入された
   移動軸と、前記移動軸の先端に着脱可能に取付けられ、
   複数個の試料を収納し得る試料台と、前記移動軸を前記
   第２筒体に対して軸方向移動させる手段とを具備し、移
   動軸を第２筒体に対して軸方向移動させる手段が、試料
   台に収納された試料間の間隔に応じて移動軸をステップ
   状に移動させるように構成されたことを特徴とする電子
   顕微鏡等の試料交換装置。