JPS58220517A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPS58220517A JPS58220517A JP10439182A JP10439182A JPS58220517A JP S58220517 A JPS58220517 A JP S58220517A JP 10439182 A JP10439182 A JP 10439182A JP 10439182 A JP10439182 A JP 10439182A JP S58220517 A JPS58220517 A JP S58220517A
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- Japan
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- electrode
- interdigital
- electrodes
- common electrode
- impulse response
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、中心周波数に対し非対称の周波数応答特性を
得るための電極パターンの改良に関する。
得るための電極パターンの改良に関する。
従来、単一のインターディジタルトランスジューサーで
非対称の周波数応答特性を得る方法の1つとし′Cは、
隣接する電極フィンガーの中心間の距M(以下電極ピッ
チと(へり)を弾性表面波伝播方向く沿って変化させる
手法が知られC1へる。(^わゆる可変ピッチ形インタ
ーディジタル電極で。
非対称の周波数応答特性を得る方法の1つとし′Cは、
隣接する電極フィンガーの中心間の距M(以下電極ピッ
チと(へり)を弾性表面波伝播方向く沿って変化させる
手法が知られC1へる。(^わゆる可変ピッチ形インタ
ーディジタル電極で。
次1c述べるようなものである。すなわち、周波数応答
特性をフーリエ逆変換すると、例えば、第1図に示すよ
うなインパルス応答が得られる。このインパルス応答は
1周波数応答特性が非対称であるため、フーリエ逆変換
の結果虚数部を含み、虚 、敷部が零となる各ピーク点
間の時間゛間隔が不均一となる。そし°C1得られたイ
ンパルス応答に対応させ゛Cインターディジタル電極を
形成すれば、この電極で所期の周波数応答特性が実現で
きる。その対応のさせ方は、隣接する電極フィンガー間
の交さ幅(表面波動受振領域)を、インパルス応答にお
ける各ピーク点(矢印で示す)の大きさに比例させ、か
つ電極ピッチを、インパルス応答におけるピーク点間の
時間に比例させ゛〔行えばよ(へ。
特性をフーリエ逆変換すると、例えば、第1図に示すよ
うなインパルス応答が得られる。このインパルス応答は
1周波数応答特性が非対称であるため、フーリエ逆変換
の結果虚数部を含み、虚 、敷部が零となる各ピーク点
間の時間゛間隔が不均一となる。そし°C1得られたイ
ンパルス応答に対応させ゛Cインターディジタル電極を
形成すれば、この電極で所期の周波数応答特性が実現で
きる。その対応のさせ方は、隣接する電極フィンガー間
の交さ幅(表面波動受振領域)を、インパルス応答にお
ける各ピーク点(矢印で示す)の大きさに比例させ、か
つ電極ピッチを、インパルス応答におけるピーク点間の
時間に比例させ゛〔行えばよ(へ。
ところが、ピーク点間の時間が不均一であるから。
インターディジタル電極の電極ピッチも不均一となり、
この結果インターディジタル電極は可変ピクチ形となる
。
この結果インターディジタル電極は可変ピクチ形となる
。
上述した従来の手法は、所期の特性を満足できるが、電
極が不等ピッチであるため、電極パターンの設計が困難
な上に、大聖へ電極と細蒐へ電極が出来るため高周波用
に設計すると電極が短絡しやす1^と−へう欠点を有し
−[mる。
極が不等ピッチであるため、電極パターンの設計が困難
な上に、大聖へ電極と細蒐へ電極が出来るため高周波用
に設計すると電極が短絡しやす1^と−へう欠点を有し
−[mる。
上述の問題点を解決するため等ピッチのインターディジ
タル電極で非対称の周波数応答特性を得ようとする試み
がなされ、後述する奇−偶関数法ならびにミラー法又は
リフレクション法と1へり手法が提案されC1へる。
タル電極で非対称の周波数応答特性を得ようとする試み
がなされ、後述する奇−偶関数法ならびにミラー法又は
リフレクション法と1へり手法が提案されC1へる。
前者の奇−偶関数法は、所望周波数応答特性をリニア表
示したものをH,(→とすると、H+(ω−ωo)=H
2(ω0−ω)なるH2(ハ)を想定する手法である。
示したものをH,(→とすると、H+(ω−ωo)=H
2(ω0−ω)なるH2(ハ)を想定する手法である。
すると、それらの関数d第3図のようになる。
また、 H,(→は1式11)、(2)よりat(→、
= HR(→−jH工(→ (3)となる。
= HR(→−jH工(→ (3)となる。
そし゛〔、インパルス応答は1式(3)をフーリエ変換
したもので。
したもので。
となる。
式(4)のり、R(t)と−jh工(t)で示すインパ
ルス応答はそれぞれ第4図の実線と破線のようになる。
ルス応答はそれぞれ第4図の実線と破線のようになる。
同図のふたつのインパルス応答曲線は(八ずれもビー均
一であり、かつ両曲線のピーク点が互(八に相手側のピ
ーク点間の真中に位置する。実線のインバ□11 ルス応答に対応するインターディジタル電極が偶成分を
構成し、破線のインパルス応答が奇成分を構成する。
一であり、かつ両曲線のピーク点が互(八に相手側のピ
ーク点間の真中に位置する。実線のインバ□11 ルス応答に対応するインターディジタル電極が偶成分を
構成し、破線のインパルス応答が奇成分を構成する。
第4図のふたつのインパルス応答に基+Q’Cイアター
ディジタル電極を2段に分け”C構成し、電気的に並列
接続したのが第6図の電極パターンで。
ディジタル電極を2段に分け”C構成し、電気的に並列
接続したのが第6図の電極パターンで。
これは、中村、清水による[弾性表面波フィルタの一般
計法J (1972年9月28日発行、東北大学電気通
信研究所第172回音響工学研究会資料)に開示され”
C(へる。第6図にお1へC1一方のインターディジタ
ル電極1が伝播方向と直角方向に配置された2つのイン
ターディジタル電極2,3で構成され、電極2が偶成分
を、電極3が奇成分を励受振するように構成され、2つ
の電極2,3の伝播路をカバーするように他方のインタ
ーディジタル電極4が形成され′〔1へる。
計法J (1972年9月28日発行、東北大学電気通
信研究所第172回音響工学研究会資料)に開示され”
C(へる。第6図にお1へC1一方のインターディジタ
ル電極1が伝播方向と直角方向に配置された2つのイン
ターディジタル電極2,3で構成され、電極2が偶成分
を、電極3が奇成分を励受振するように構成され、2つ
の電極2,3の伝播路をカバーするように他方のインタ
ーディジタル電極4が形成され′〔1へる。
しかし、上記第6図の電極1では、等ピッチで非対称の
周波数応答特性を実現できるが、インターディジタル電
極を伝播方向と直角方向に2個配置するので1表面波の
励受振領域が広がり、表面波基板が広くなると1Qう欠
点がある。また1表面波の励受振強度の大き鬼^中心部
分が両側に分かれ。
周波数応答特性を実現できるが、インターディジタル電
極を伝播方向と直角方向に2個配置するので1表面波の
励受振領域が広がり、表面波基板が広くなると1Qう欠
点がある。また1表面波の励受振強度の大き鬼^中心部
分が両側に分かれ。
また電極の中央部が共通電極となるので、電極パターン
とし°〔好ましいものではな一^。
とし°〔好ましいものではな一^。
上述の問題点を除去し゛〔1つの等ピッチのインターデ
ィジタル電極で非対称の周波数応答特性を実現するため
、第4図の2つのインパルス応答を第5図のように合成
し、この合成したインパルス応答に基1へ゛C第7図(
a)+ (b)のように電極パターンを構成することが
できる。同図にお(へ°C1一方のインターディジタル
電極5が、−λOの電極幅をもつ主電極フィンガー6、
7.8.9を一λ。の電極ピッチで配置し、隣接する2
個の主電極フィンガー6および718および9ずつ異電
位の共通部で接続しかつこれら2個の主電極フィンガー
の長さを異ならせ、しかも、各主電極フィンガー6.7
゜8.9の遊端と対峠し、かつ異電位の共通部に接続さ
れるーλGの幅をもつ補助電極フィンガー10゜11.
12.13を一ス0の電極ピッチで配置し゛C形成礁 される。このインターディジタル電極によれば。
ィジタル電極で非対称の周波数応答特性を実現するため
、第4図の2つのインパルス応答を第5図のように合成
し、この合成したインパルス応答に基1へ゛C第7図(
a)+ (b)のように電極パターンを構成することが
できる。同図にお(へ°C1一方のインターディジタル
電極5が、−λOの電極幅をもつ主電極フィンガー6、
7.8.9を一λ。の電極ピッチで配置し、隣接する2
個の主電極フィンガー6および718および9ずつ異電
位の共通部で接続しかつこれら2個の主電極フィンガー
の長さを異ならせ、しかも、各主電極フィンガー6.7
゜8.9の遊端と対峠し、かつ異電位の共通部に接続さ
れるーλGの幅をもつ補助電極フィンガー10゜11.
12.13を一ス0の電極ピッチで配置し゛C形成礁 される。このインターディジタル電極によれば。
隣接する異電位の主電極フィンガー7.8が交さする領
域(右上り領域)で偶成分が励受振され、隣接する主電
極フィンガー6.9と補助電極フィンガー11.12が
交さする領域(右下り領域)される。このようなインタ
ーディジタル電極を用1^ると1表面波伝播方向と直角
方向の電極幅を狭くでき、表面波基板を小さくできるが
、電極フィンガー6および8.7および9で交差するm
V(クロス斜線)でも表面波が励受撮されるので、周波
数応答特性に誤差が生じ、棟たその誤差を予め考慮し゛
C設計するのは非常に煩わしhものである。また、電極
フ・fンガー6,8間や7,9間の励受振による影響を
無視できる程度に小さくするため、それらの間に位置す
る電極フィンガー7および11,8および12のフィン
ガー先端を接近させ〔クロス斜線の領域を小さくすると
、パターン形成時に両フィンガー7および11,8およ
び12が先端で短絡し°Cしまう危険性が生ずる。
域(右上り領域)で偶成分が励受振され、隣接する主電
極フィンガー6.9と補助電極フィンガー11.12が
交さする領域(右下り領域)される。このようなインタ
ーディジタル電極を用1^ると1表面波伝播方向と直角
方向の電極幅を狭くでき、表面波基板を小さくできるが
、電極フィンガー6および8.7および9で交差するm
V(クロス斜線)でも表面波が励受撮されるので、周波
数応答特性に誤差が生じ、棟たその誤差を予め考慮し゛
C設計するのは非常に煩わしhものである。また、電極
フ・fンガー6,8間や7,9間の励受振による影響を
無視できる程度に小さくするため、それらの間に位置す
る電極フィンガー7および11,8および12のフィン
ガー先端を接近させ〔クロス斜線の領域を小さくすると
、パターン形成時に両フィンガー7および11,8およ
び12が先端で短絡し°Cしまう危険性が生ずる。
後者のりフレクション法ある1/1はミラー法は。
所定の周波数特性の中心周波数をf、とすると、2fo
K対し゛C線対称となるン中心周波数が3f。
K対し゛C線対称となるン中心周波数が3f。
の虚像を想定する手法であり、得られるインパルス応答
は上述の奇−偶関数法の場合と同様となり、電極パター
ンも第6図および第7図(a)、 (t’)のものと同
じように決定し、上述したと同様の問題点を有しC1八
る。
は上述の奇−偶関数法の場合と同様となり、電極パター
ンも第6図および第7図(a)、 (t’)のものと同
じように決定し、上述したと同様の問題点を有しC1八
る。
本発明は、上述した従来技術の欠点をことごとく除去し
たもので、上記第7図記載の場合と同程度の基板寸法で
構成でき、インパルス応答に基づ覧へてそのま′ま電極
パターンを設定しCも所望特性が得られ、しかもミラー
法の大きな欠点であった計算の煩雑さもなく、さらには
スプリット電極でもシングル電極でも構成できる弾性表
面波フィルタを提供することを目的とする。
たもので、上記第7図記載の場合と同程度の基板寸法で
構成でき、インパルス応答に基づ覧へてそのま′ま電極
パターンを設定しCも所望特性が得られ、しかもミラー
法の大きな欠点であった計算の煩雑さもなく、さらには
スプリット電極でもシングル電極でも構成できる弾性表
面波フィルタを提供することを目的とする。
すなわち本発明は、偶成分を構成するインターディジタ
ル電極の包絡線に沿つ゛C共通電極を設け。
ル電極の包絡線に沿つ゛C共通電極を設け。
この共通電極の片側あるInは両側に奇成分をもつイン
ターディジタル電極を構成するようにしたものである。
ターディジタル電極を構成するようにしたものである。
以下1本発明の実施例を図面を参照しつつ詳述する。
第8図におIn ’ (−L i N b Os +
P Z T+ガラス基板上のZnO膜などからなる表面
波基板20上に、人出力側インターディジタル電極21
+ 22が所定圧離隔゛〔゛で形成され′C1へる。
P Z T+ガラス基板上のZnO膜などからなる表面
波基板20上に、人出力側インターディジタル電極21
+ 22が所定圧離隔゛〔゛で形成され′C1へる。
一方のインターディジタル電極21は、第1および第2
のインターディジタル電極25.24で構成され゛〔1
^る。第1電極23は、第4図の偶成分を規定するイン
パルス応答(実線)に基(^・C通常の方法で交差幅重
付けが施され、2つの共通電極部23Ll 23bのう
ち一方231)が重付けの包絡線にほぼ沿うように形成
されC1へる。第2電極24は、第1電極23の共通電
極部251)の外側すなわち非交差領域であつ゛C1第
1電極23の伝播路上もしくは少しはみ出る範囲を含む
領域に形成され・口へる。この第2電極24は、第1電
極23の共通電極部23bと。
のインターディジタル電極25.24で構成され゛〔1
^る。第1電極23は、第4図の偶成分を規定するイン
パルス応答(実線)に基(^・C通常の方法で交差幅重
付けが施され、2つの共通電極部23Ll 23bのう
ち一方231)が重付けの包絡線にほぼ沿うように形成
されC1へる。第2電極24は、第1電極23の共通電
極部251)の外側すなわち非交差領域であつ゛C1第
1電極23の伝播路上もしくは少しはみ出る範囲を含む
領域に形成され・口へる。この第2電極24は、第1電
極23の共通電極部23bと。
第1電極25の最大交差幅の部分に接近し゛C形成され
九別個の共通電極部24aとから電極指を突出させ゛C
構成され、第4図の奇成分(破線)を規定するインパル
ス応答に基(へて通常の方法で交差幅重付けが施されC
いる。第4電極24の共通電極部24aと第1電極23
の共通電極部23aとは、シールド電極25によって結
合され′Cいる。
九別個の共通電極部24aとから電極指を突出させ゛C
構成され、第4図の奇成分(破線)を規定するインパル
ス応答に基(へて通常の方法で交差幅重付けが施されC
いる。第4電極24の共通電極部24aと第1電極23
の共通電極部23aとは、シールド電極25によって結
合され′Cいる。
端子電極26.27.28.29が基板20 の四隅に
形成され、それぞれ所定の共通電極部に接続されて1八
る。
形成され、それぞれ所定の共通電極部に接続されて1八
る。
第9図は他の実施例を示し、上記実施例との相違点は、
奇成分を構成する第2電極が第1電極23の両側に分け
゛C形成されたことKある。すなわ ゛ち、第1電極2
3のもう一つの共通電極部23aも重付けの包絡線にほ
ぼ沿うように湾曲させられ、第1電極23の最大交差幅
付近にのびる別の共通電極部24 alが設けられ、共
通電極部23aと24 alから電極指を突出させてイ
ンターディジタル電極24’が構成されてI八る。共通
電極部23bと共通電極部24a’とが電極の外側を通
し′C接続され”口^る。電極24と電極241とで、
奇成分を規定する第2電極が構成される。
奇成分を構成する第2電極が第1電極23の両側に分け
゛C形成されたことKある。すなわ ゛ち、第1電極2
3のもう一つの共通電極部23aも重付けの包絡線にほ
ぼ沿うように湾曲させられ、第1電極23の最大交差幅
付近にのびる別の共通電極部24 alが設けられ、共
通電極部23aと24 alから電極指を突出させてイ
ンターディジタル電極24’が構成されてI八る。共通
電極部23bと共通電極部24a’とが電極の外側を通
し′C接続され”口^る。電極24と電極241とで、
奇成分を規定する第2電極が構成される。
上記各実施例では、シングル形の電極で非対称の周波数
特性を構成できるので、従来のバリアプルピッチ法や第
7図のミラー法(又はリフレクション法)と比較しC1
同じ電極幅ではるかに高1八周波数のフィルタが実現で
きる。
特性を構成できるので、従来のバリアプルピッチ法や第
7図のミラー法(又はリフレクション法)と比較しC1
同じ電極幅ではるかに高1八周波数のフィルタが実現で
きる。
第10図はさらに他の実施例を示し、・上記2つの実施
例との相違点は、TTII!除去の効果をもた亡るため
に、電極23.24をスプリット電極形に構成したこと
にある。この実施例によれば、スプリット電極の対の電
極指を同一長さで構成でき、従来のミラー法(又はリフ
レフシコン法)と比較し゛C計算誤差が少なくなる。
例との相違点は、TTII!除去の効果をもた亡るため
に、電極23.24をスプリット電極形に構成したこと
にある。この実施例によれば、スプリット電極の対の電
極指を同一長さで構成でき、従来のミラー法(又はリフ
レフシコン法)と比較し゛C計算誤差が少なくなる。
上記各実施例における電極は非常にシンプルな包絡線を
もつものを例示し゛〔(へるが1本発明はhかなる包絡
線をもつ電極であつ°Cも適用可能なものである。
もつものを例示し゛〔(へるが1本発明はhかなる包絡
線をもつ電極であつ°Cも適用可能なものである。
以上説明したように1本発明によれば、ミラー法と同程
度の基板寸法でもつ゛C1所望周波数特性が誤差なく確
実に得られ、しかも設計時の煩雑な計算も軽減され、さ
らにはシングル電極でもスプリット電極でも構成するこ
とができる。
度の基板寸法でもつ゛C1所望周波数特性が誤差なく確
実に得られ、しかも設計時の煩雑な計算も軽減され、さ
らにはシングル電極でもスプリット電極でも構成するこ
とができる。
第1図は従来の可変ピッチmft極におけるインパルス
応答特性図、第2〜5図は従来例及び本発明の説明に用
1へる図で、第2図はH+(→とH,に)インパルス応
答特性図、第6図は従来のフィルタを示す図、第7図(
a)は他の従来フィルタを示す図、同図(b)は部分拡
大図、第8図、第9図および第10図はそれぞれ本発明
によるフィルタを示す図である。 特許出願人 株式会社村田製作所 □ 第、1 図 第2−図 葛3図 晃41¥1 第5図 瓦 斗 第を図 系7図 第70図
応答特性図、第2〜5図は従来例及び本発明の説明に用
1へる図で、第2図はH+(→とH,に)インパルス応
答特性図、第6図は従来のフィルタを示す図、第7図(
a)は他の従来フィルタを示す図、同図(b)は部分拡
大図、第8図、第9図および第10図はそれぞれ本発明
によるフィルタを示す図である。 特許出願人 株式会社村田製作所 □ 第、1 図 第2−図 葛3図 晃41¥1 第5図 瓦 斗 第を図 系7図 第70図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 中心周波数に対し非対称の周波数応答特性を得るための
、少々くとも入出力側電極を有する弾性表面波フィルタ
であつC1 少なくとも一方の電極が、交さ幅重付けを施し゛C周波
数応答特性の偶成分を規定するインターディジタル電極
と、主とし′C上記インターディジタル電極の非交さ領
域に配置される。交さ幅重付けを施し′C周波数応答特
性の奇成分を規定する一吋のくし歯状軍事とで構成され
たことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10439182A JPH0244171B2 (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Danseihyomenhafuiruta |
GB838315675A GB8315675D0 (en) | 1982-06-16 | 1983-06-08 | Surface acoustic wave device |
US06/504,271 US4604595A (en) | 1982-06-16 | 1983-06-14 | Surface acoustic wave device having interdigitated comb electrodes weighted for odd/even response |
GB08316298A GB2123637B (en) | 1982-06-16 | 1983-06-15 | Surface acoustic wave device |
DE19833321843 DE3321843A1 (de) | 1982-06-16 | 1983-06-16 | Bauteil mit ausnutzung akustischer oberflaechenwellen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10439182A JPH0244171B2 (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Danseihyomenhafuiruta |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58220517A true JPS58220517A (ja) | 1983-12-22 |
JPH0244171B2 JPH0244171B2 (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=14379436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10439182A Expired - Lifetime JPH0244171B2 (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Danseihyomenhafuiruta |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0244171B2 (ja) |
GB (1) | GB8315675D0 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06334477A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
-
1982
- 1982-06-16 JP JP10439182A patent/JPH0244171B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1983
- 1983-06-08 GB GB838315675A patent/GB8315675D0/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06334477A (ja) * | 1993-05-20 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0244171B2 (ja) | 1990-10-03 |
GB8315675D0 (en) | 1983-07-13 |
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JPS5847090B2 (ja) | 弾性表面波フイルタ | |
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