JPS6326016A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS6326016A JPS6326016A JP18339886A JP18339886A JPS6326016A JP S6326016 A JPS6326016 A JP S6326016A JP 18339886 A JP18339886 A JP 18339886A JP 18339886 A JP18339886 A JP 18339886A JP S6326016 A JPS6326016 A JP S6326016A
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- electrodes
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- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、非対称フィルタ特性を実現する新規な構造の
弾性表面波装置に関するものである6弾性表面波装置、
特に注目されている弾性表面波フィルタは、一般に、第
1図に示すように圧電性基板1の表面に、電気信号を弾
性表面波に変換するための入力電極2、弾性表面波の伝
搬路3、弾性表面波装置び電気信号に変換するための出
力電極4により構成されている。入出力電極には、櫛の
歯が互いに交差した構造のすだれ状電極が通常使用され
、フィルタ特性はこのすだれ状電極の形状で決定される
。すなわち、所望のフィルタ特性を得るためには、すで
にシーニス・ハートマン等(C,S、Hartrnan
、 at al 。
弾性表面波装置に関するものである6弾性表面波装置、
特に注目されている弾性表面波フィルタは、一般に、第
1図に示すように圧電性基板1の表面に、電気信号を弾
性表面波に変換するための入力電極2、弾性表面波の伝
搬路3、弾性表面波装置び電気信号に変換するための出
力電極4により構成されている。入出力電極には、櫛の
歯が互いに交差した構造のすだれ状電極が通常使用され
、フィルタ特性はこのすだれ状電極の形状で決定される
。すなわち、所望のフィルタ特性を得るためには、すで
にシーニス・ハートマン等(C,S、Hartrnan
、 at al 。
IEEE TrarLs7oI MTT −21Jli
4162(1973))により指摘された如く、すだれ
状電極の交差幅および間隔を変化させることに得られる
のであるが、従来技術により非対称振幅特性を有する弾
性表面波フィルタを作成すると、すだれ状電極のピッチ
(電極間隔)に狭い個所が生じ、製造上の不具合である
短絡が生じ、歩留低下をおこす。
4162(1973))により指摘された如く、すだれ
状電極の交差幅および間隔を変化させることに得られる
のであるが、従来技術により非対称振幅特性を有する弾
性表面波フィルタを作成すると、すだれ状電極のピッチ
(電極間隔)に狭い個所が生じ、製造上の不具合である
短絡が生じ、歩留低下をおこす。
そのためにそれを避けるため吉川等(特開昭49−46
′550 )は、2個の入力電極(あるいは2個の出力
電極)を設けた3電極構成のフィルタを発明しているが
、特性上の問題は一応解決されるものの、実用的には全
体的構造の複雑さと、それに起因する製作プロセス上の
困難さ、さらに電極数の増加によるワイヤボンデング工
程数の増加、およびチップサイズの増大等設計上、製作
上の問題があり、さらに進んだ構成の弾性表面波フィル
タが要望されていた。
′550 )は、2個の入力電極(あるいは2個の出力
電極)を設けた3電極構成のフィルタを発明しているが
、特性上の問題は一応解決されるものの、実用的には全
体的構造の複雑さと、それに起因する製作プロセス上の
困難さ、さらに電極数の増加によるワイヤボンデング工
程数の増加、およびチップサイズの増大等設計上、製作
上の問題があり、さらに進んだ構成の弾性表面波フィル
タが要望されていた。
本発明の目的は、上記した欠点をなくシ、すだれ状電極
のピッチ(電極間隔)を変えることなくしたがって、設
計上においても、製作プロセス上においても問題がなく
、シかも2電極構成で非対称振幅特性を実現する弾性表
面波フィルタを堤供することにある。
のピッチ(電極間隔)を変えることなくしたがって、設
計上においても、製作プロセス上においても問題がなく
、シかも2電極構成で非対称振幅特性を実現する弾性表
面波フィルタを堤供することにある。
本発明の要点は、その上記所望のフィルタ特性のフーリ
エ変換関数が一般に互に直交する2つの関数で構成され
、それらがπ/2の位相差を有していることに鑑み、上
記2つの関数に対応するすだれ状電極のパターンをよく
知られた方法により別々に求め、それらを合成してその
交差幅をその部分として有している一つのすだれ状電極
を構成し、その一方の交差幅を有する電極部から励起さ
れる弾性表面波が他の電極部から励起される弾性表面波
との間に上記のπ/2の位相差が生ずるように弾性表面
波伝搬面に導電性膜を布設した構造を有する弾性表面波
装置である。
エ変換関数が一般に互に直交する2つの関数で構成され
、それらがπ/2の位相差を有していることに鑑み、上
記2つの関数に対応するすだれ状電極のパターンをよく
知られた方法により別々に求め、それらを合成してその
交差幅をその部分として有している一つのすだれ状電極
を構成し、その一方の交差幅を有する電極部から励起さ
れる弾性表面波が他の電極部から励起される弾性表面波
との間に上記のπ/2の位相差が生ずるように弾性表面
波伝搬面に導電性膜を布設した構造を有する弾性表面波
装置である。
以下、本発明の弾性表面波装置の実施例企図面を用いて
説明する。
説明する。
実施例の説明に入る前にこ−で、上記に述べた本発明の
要旨を支持する理論的手続を示すならば、所与のフィル
タ特性f(α)に対してフーリエ変換関数A (t)を
次式により求める。
要旨を支持する理論的手続を示すならば、所与のフィル
タ特性f(α)に対してフーリエ変換関数A (t)を
次式により求める。
ここで、。
/ (W)= s (W) g ’″ノφ1″)J(
W) : 所望のフィルタの振幅特性φ(W):
位相特性(1)式は、さらに、次の
様に変形することが出来る。
W) : 所望のフィルタの振幅特性φ(W):
位相特性(1)式は、さらに、次の
様に変形することが出来る。
h(t)=a(t)cos−u6 t −1−b(t)
yirLIIIot (2)ここで、 J’(W’)= r (w’+ Wo)
(5)φ′(W′)=φ(W′
+W0)(6)w = w −wo(7) Wo:中心角周波数(+#o=2πfo>w、 = W
、−W。
yirLIIIot (2)ここで、 J’(W’)= r (w’+ Wo)
(5)φ′(W′)=φ(W′
+W0)(6)w = w −wo(7) Wo:中心角周波数(+#o=2πfo>w、 = W
、−W。
W2’ = W2−W。
w、 、 w、 ;所望のフィルタの角周波数であり
、s (w)= s (−W) 、φ(W)=−φ(−
W)とした°。
、s (w)= s (−W) 、φ(W)=−φ(−
W)とした°。
(2)式のサンプリングの手法として、従来は、−方の
すだれ状′電極の電極交差幅F71を(8)式の様に他
方の電極交差幅FrL′を(9)式に従い求め、それを
、別々に作成し、それらの電極から励起される弾性表面
波が、π/2の位相差を生じる様にそれらの電極の位置
をずらせて配置していた。
すだれ状′電極の電極交差幅F71を(8)式の様に他
方の電極交差幅FrL′を(9)式に従い求め、それを
、別々に作成し、それらの電極から励起される弾性表面
波が、π/2の位相差を生じる様にそれらの電極の位置
をずらせて配置していた。
Wn C(A(27o ) = (−1)’ 弓(57
−) (8)ぐ、’)n=−N l −#
+11 ・・・・・ −11011121−−・・
4ところがこの場合、前述した如く不具合が生じる。
−) (8)ぐ、’)n=−N l −#
+11 ・・・・・ −11011121−−・・
4ところがこの場合、前述した如く不具合が生じる。
そこで、本発明の要点の一つは、(8)l(9)式で求
めの波長)の導電性屡を設けることにより、前述分をた
とえば、WrLに下半分をFrL′の交差幅になるよう
に、合成すれば良い。
めの波長)の導電性屡を設けることにより、前述分をた
とえば、WrLに下半分をFrL′の交差幅になるよう
に、合成すれば良い。
さらに、この考え方を発展させ、下記(10)。
(11)に示すようなサンプリング3行うことにより、
FrLとWrIを、はぼ同じものが得られ、すだれ状電
極形状として、パターン化し?すい構成となる。
FrLとWrIを、はぼ同じものが得られ、すだれ状電
極形状として、パターン化し?すい構成となる。
T、 f
換言すれば、po1L伊tea変換関数ん(t)を、電
極指交差幅と極性との関係を定めるために忠実にサンプ
リングし、電極指配列の極性を決めてゆくと、一般には
電極指交差幅が極小値をとる個所ですだれ状電極指の極
性を変えなければならない場合が多い。この場合、必ら
ずしも第2図に示した技術が使えるとはかぎらない。本
発明によって下式(10) 、 (11)に示した如く
サンプリングをすると、この場合でもFrL、WrL′
の極大値および極小値かは丈同じ位置となり、電極指の
極性を決定する時のトラブルが解消され、電極のパター
ン化が容易となる。
極指交差幅と極性との関係を定めるために忠実にサンプ
リングし、電極指配列の極性を決めてゆくと、一般には
電極指交差幅が極小値をとる個所ですだれ状電極指の極
性を変えなければならない場合が多い。この場合、必ら
ずしも第2図に示した技術が使えるとはかぎらない。本
発明によって下式(10) 、 (11)に示した如く
サンプリングをすると、この場合でもFrL、WrL′
の極大値および極小値かは丈同じ位置となり、電極指の
極性を決定する時のトラブルが解消され、電極のパター
ン化が容易となる。
ここで、
一7≦θ≦7 である。
れたすだれ状電極の上半分と下半分は、はぼ、同一の形
状Pしていることが分かる。ついで、すだれ状電極指位
置(ルに対応)に対して、上記関係式(th)、(ロ)
に示される長さの分布−比論的に述へれば、度数分布を
示すヒストグラムを構成し、ヒストグラムの横軸を共通
軸にして両者を合わせる如く、合成する一つのすだれ状
電極を構成する。この際、両者には比例常数を掛けてお
き、合成したすだれ状電極のインピーダンス、外部回路
のインピーダンス等に合わせて、その比例常数を求め、
最終形状を決定する。
状Pしていることが分かる。ついで、すだれ状電極指位
置(ルに対応)に対して、上記関係式(th)、(ロ)
に示される長さの分布−比論的に述へれば、度数分布を
示すヒストグラムを構成し、ヒストグラムの横軸を共通
軸にして両者を合わせる如く、合成する一つのすだれ状
電極を構成する。この際、両者には比例常数を掛けてお
き、合成したすだれ状電極のインピーダンス、外部回路
のインピーダンス等に合わせて、その比例常数を求め、
最終形状を決定する。
以上示した手続による具体的な弾性表面波装置の実施例
として、テレビジョン受信機の中間周波用弾性波フィル
タを以下に述べる。
として、テレビジョン受信機の中間周波用弾性波フィル
タを以下に述べる。
第2図は本発明の弾性表面波装置の第1の実施例である
弾性表面波フィルタの配置構造を示す概略上面図である
。ここで1は圧電性基板で127.8°回転Yカットの
ニオブ酸リチウムであり、λ、4はそれぞれ入力電極、
出力電極であり、約0.8μmの膜厚を有するアルミニ
ウム蒸着膜からできている。本実施例における入力電極
又は50対の重みつき?!極(図においては電極の一部
を間引きして示す)であり、出力電極は15対の正規型
電極(′電極ピッチ、電画文差幡一定;図では間引きし
て示す)である。入力電極λは本発明の要旨を実現する
ために上記2式(10)、(11)でθ=0とした2つ
の交差幅のエンベロープ、2′と2′とをは!中心の線
AA’で合成して構成した合成的交差幅のエンベロープ
を有している。丘は位相差生成部であり、本実施例にお
いては2つの交差幅のエンベローフ’ 2’、 2“を
構成する電極部からそれぞれ励起される弾性搬路方向の
長で幅570μmを有するアルミニウム導電体を設けで
ある。
弾性表面波フィルタの配置構造を示す概略上面図である
。ここで1は圧電性基板で127.8°回転Yカットの
ニオブ酸リチウムであり、λ、4はそれぞれ入力電極、
出力電極であり、約0.8μmの膜厚を有するアルミニ
ウム蒸着膜からできている。本実施例における入力電極
又は50対の重みつき?!極(図においては電極の一部
を間引きして示す)であり、出力電極は15対の正規型
電極(′電極ピッチ、電画文差幡一定;図では間引きし
て示す)である。入力電極λは本発明の要旨を実現する
ために上記2式(10)、(11)でθ=0とした2つ
の交差幅のエンベロープ、2′と2′とをは!中心の線
AA’で合成して構成した合成的交差幅のエンベロープ
を有している。丘は位相差生成部であり、本実施例にお
いては2つの交差幅のエンベローフ’ 2’、 2“を
構成する電極部からそれぞれ励起される弾性搬路方向の
長で幅570μmを有するアルミニウム導電体を設けで
ある。
第6図は本発明の弾性表面波装置の他の実施例として、
弾性表面波フィルタの上面構造の概略図を示すものであ
る。本実施例において入力電極2の構成は、本発明の要
旨を実現するために上記2式(10)、(11)でθ=
π/4としたものであり、さらに位相差生成部旦として
は、入力電極λと出力電極4との間で生ずる電気信号の
直接結合による信号伝搬雑音を防止するアース電極を兼
用させた構成を有するもので、他の全体的構成は第2図
図示の第一の実施例と同様である。
弾性表面波フィルタの上面構造の概略図を示すものであ
る。本実施例において入力電極2の構成は、本発明の要
旨を実現するために上記2式(10)、(11)でθ=
π/4としたものであり、さらに位相差生成部旦として
は、入力電極λと出力電極4との間で生ずる電気信号の
直接結合による信号伝搬雑音を防止するアース電極を兼
用させた構成を有するもので、他の全体的構成は第2図
図示の第一の実施例と同様である。
以上述べた事はその発明の要旨から明らかな如く、入力
電極として使用する場合に限られず出力i極として使用
する場合も同様であることは容易に理解できるであろう
。
電極として使用する場合に限られず出力i極として使用
する場合も同様であることは容易に理解できるであろう
。
以上述べたごとく、本発明による弾性表面波装置によれ
ば、そのすだれ状電極が一定ピッチを有して非対称性周
波数特性が容易に実現できる。すなわち、周波数特性の
異なる二つの部分を一体化して一つの一定ピッチを有す
るすだれ状電極で実現しているので、従来技術による電
極間間隔の短い部分における電極間短絡による歩留り低
下をなくすができるばかりでなく、さらに外部回路との
接続のためのボンディング個所の低減およびチップサイ
ズの小型化等の派生的な効果も有しており、本発明のこ
の技術分野に対する寄与には大きいがある。
ば、そのすだれ状電極が一定ピッチを有して非対称性周
波数特性が容易に実現できる。すなわち、周波数特性の
異なる二つの部分を一体化して一つの一定ピッチを有す
るすだれ状電極で実現しているので、従来技術による電
極間間隔の短い部分における電極間短絡による歩留り低
下をなくすができるばかりでなく、さらに外部回路との
接続のためのボンディング個所の低減およびチップサイ
ズの小型化等の派生的な効果も有しており、本発明のこ
の技術分野に対する寄与には大きいがある。
第1図は一般的な弾性表面波装置の構成を示す上面説明
図、第2図は本発明の弾性表面波装置の一実施例として
の弾性表面波フィルターの構成を示す上面説明図、第6
図は本発明の弾性表面波装置の他の実施例としての弾性
表面波フィルターの構成を示す上面説明図である。 1 ;圧電性基板、2;入力電極、6;弾性表面波伝搬
路、4;出力電極、5;アース電・甑、2’、2’;電
極交差幅のエンベロープ曲線。 茅 1 図 茅 2 閉
図、第2図は本発明の弾性表面波装置の一実施例として
の弾性表面波フィルターの構成を示す上面説明図、第6
図は本発明の弾性表面波装置の他の実施例としての弾性
表面波フィルターの構成を示す上面説明図である。 1 ;圧電性基板、2;入力電極、6;弾性表面波伝搬
路、4;出力電極、5;アース電・甑、2’、2’;電
極交差幅のエンベロープ曲線。 茅 1 図 茅 2 閉
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電気信号を弾性表面波に変換する第1のすだれ状電極
と、これにより生じる弾性表面波を伝搬せしめる媒体と
弾性表面波を電気信号に変換する第2のすだれ状電極よ
りなり、上記第1ないし第2の電極の少くとも1つが電
極交差幅の一定でない重みつき電極である弾性表面波装
置において上記重みつき電極の構造として弾性表面波の
進行方向に平行な境界により分割された第一領域と第二
領域からなり、第一領域の電極の交差幅Wnは下記(1
)の条件を満たし、第二領域の電極の交差幅Wn′は下
記(2)の条件を満たすものであり、かつ上記の二領域
の一方の側の電極により励起された弾性表面波の位相が
、他の側の電極により励起された弾性表面波の位相に対
して、所定の距離を伝搬後にπ/2だけ相互に位相差が
生ずるように弾性表面波の伝搬路に位相差生成部が布設
された構造をなしていることを特徴とする弾性表面波装
置。 条件として; (1)▲数式、化学式、表等があります▼ (2)▲数式、化学式、表等があります▼ ここで、n=−N,−N+1,・・・・・0、1、2・
・・・・M▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼ S(ω):所望のフィルタの振幅特性 φ(ω):〃位相特性 ω:角周波数 ω_0:中心角周波数(=2πf_0) f_0:中心周波数 ω_1、ω_2:所望するフィルタの角周波数(ω_2
−ω_1:角帯域幅) −π/2≦θ≦π/2である。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18339886A JPS6326016A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18339886A JPS6326016A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6326016A true JPS6326016A (ja) | 1988-02-03 |
Family
ID=16135081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18339886A Pending JPS6326016A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6326016A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100762053B1 (ko) | 2005-08-23 | 2007-09-28 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 장치 |
US7482896B2 (en) | 2005-08-23 | 2009-01-27 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave apparatus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4946350A (ja) * | 1972-09-04 | 1974-05-02 | ||
JPS5111545A (ja) * | 1974-07-19 | 1976-01-29 | Sharp Kk | Hyomenhadenpasochi |
JPS5341937A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-15 | Hitachi Ltd | Dfc address searching system |
-
1986
- 1986-08-06 JP JP18339886A patent/JPS6326016A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4946350A (ja) * | 1972-09-04 | 1974-05-02 | ||
JPS5111545A (ja) * | 1974-07-19 | 1976-01-29 | Sharp Kk | Hyomenhadenpasochi |
JPS5341937A (en) * | 1976-09-29 | 1978-04-15 | Hitachi Ltd | Dfc address searching system |
Cited By (2)
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KR100762053B1 (ko) | 2005-08-23 | 2007-09-28 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 탄성 표면파 장치 |
US7482896B2 (en) | 2005-08-23 | 2009-01-27 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave apparatus |
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