JPS58216219A - ピンホ−ル位置決め方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）１発明の技術分野 本発明は光学系内に設けられているピンホールを光ビー
ムの最も集光している位置に合わせる方式の改良に関す
る。

（２）、技術の背景 従来、光学系内に設けられるピンホールを最集光位置に
位置決めするのに、ピンホールからの透過光を検知する
ことを利用する手段が用いられているが、この種手段の
光学的性質上その位置決めを正確に決定することが難し
く、ピンホールの位置決めに不都合を来たし°Ｃおシ、
これを解決しうる技術的手段の開発が要望されている。

（３）、従来技術と問題点 光学系内に設けられるピンホールの位置決めに従来用い
られている手段は、ピンホールからの透過光を検知し、
その透過光量を最大にする光ビーム位置にピンホールを
位置決める如きものであった。この手段では光軸方向の
光ビームのＦナンバーが大きいためピンホールをビーム
最小点に正確に位置決めることが困難である。

（４）１発明の目的 本発明は上述のような従来技法の有する欠点に鑑みて創
案されたもので、その目的は検出感度よくビームの最集
光位置にピンホールを位置決めしうるピンホール位置決
め方式を提供することにある。

（５）１発明の構成 そして、この目的は最も集光した位置に光学系のピンホ
ールを位置決めする方式において、鏡面の入射面を有す
るピンホールの前方に反射光検知系を設けると共に１該
ピンホールの後方に透過光検知系を設け、上記両検知系
の出力が予め決められた値になるまでピンホール移動機
構を移動させることによって達成される。

（６）９発明の実施例 以下、添付図面を診照しながら、本発明の詳細な説明す
る。

第１図は本発明を実施する装置構成を示す。

図において、１は光学系内の、鏡面の入射面を有するピ
ンホールで、このピンホール１の前方に反射光検知系２
が設けられる一方、ピンホールの後方に透過光検知系３
が設けられている。

反射光検知系２は中央に孔４を有する凹面鏡５と凹面鏡
５で反射されて来る光を検知する反射光検知器６とから
成シ、これらはピンホール１と共に支持体７上に取付け
られている。この支持体７は光軸方向の前後にモータ８
によって移動されるように構成されており、この構成が
ピンホール移動機構９である。

透過光検知系３には、透過光検知器１０が設けられてお
シ、その出力は差動増幅器１１の＋入力へ接続されてい
る。

差動増幅器１１の一人力へは反射光検知器６の出力が接
続されており、増幅器１１の出力はアナログ−ディジタ
ル変換器１２を経てコントローラ１３へ接続されている
。このコントローラ１３の制御によってモータ８は制御
されるように構成されている。

次に、本発明を実施する上述構成装置の動作について説
明する。

入射光ビームＢは第２図に示すように、最も集光してい
る位置Ｐ。を通って凹面鏡５の孔４を通過してピンホー
ル１に至る。このピンホール１の位置は第２図で示すピ
ンホールＩＰｌに相当　　　　“する。このピンホール
１に至った光ビームＢの一部はピンホール１の鏡面で反
射し、残部は透過する。

３− このような状態において、コントローラ１３の制御の下
にモータ８を駆動して反射光検知系２を、例えば光軸方
向であって位置Ｐ。の方向（Ｘ軸方向）へ単位距離だけ
移動させると、透過光検知系３で受ける透過光量がΔだ
け増えるのに対し、反射光検知系２で受ける反射光量は
Δだけ減少する。従って、差動増幅器１１の出力は２Δ
に相当する量で変化する（第３図参照）。

この第３図はピンホール１での反射光及び透過光のピン
ホール１の移動距離に対する変化量が直線近似しうる範
囲にあるように構成されている場合を示す。

そして、位置Ｐ、における２Δは第３図に示すようにあ
る値を有しているから、その値及び極性がアナログ−デ
ィジタル変換器１２を経てコントローラ１３に与えられ
、その値が零になるように、モータ８はコントローラ１
３によって制御される。この制御が終了したときには、
ピンホール１は位置Ｐ。に位置決めされている。

又、ピンホール１が第２図の位置Ｐ、に位置し４− ている場合には、差動増幅器１１から出力値が第３図の
位置Ｐ２に示す値と極性を示すから、モータ８の駆動は
上記の場合とは逆向きに切換えられ、ピンホール１は位
置Ｐ。へ位置決めされる。

□この場合にも、ピンホール１が位置Ｐ。に来たときに
は増幅器１１の出力変動量は零となる。

このように、ピンホール１の位置Ｐ。への位置決めは従
来の透過光のみを用いた場合に比し、２倍の検出感度で
遂行されるから、その位置決めを正確になしうる。

（７）０発明の効果　　　・ 以上要するに、本発明によれば、透過光のみでなく反射
光も位置決めを制御するファクタとして考慮したことに
より、ピンホールの位置決めを従来より２倍の感度で正
確になし得るばかりでなく、その構成も比較的に簡単で
ある等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は第１図装
置のピンホールの取りうる位置を示す図、第３図は距離
の変化に対する差動増幅器出力の関係を示す図である。 図において、１はピンホール、２は反射光検知系、３は
透過光検知系、９はピンホール移動機構、１１は差動増
幅器、１２はアナログ−ディジタル変換器、１３はコン
トローラである。 特許出願人富士通株式会社 ７− 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 最も集光した位置に光学系のピンホールを位置決めする
   方式において、鏡面の入射面を有するピンホールの前方
   に反射光検知系を設けると共に、該ピンホールの後方に
   透過光検知系を設け、上記両検知系の出力が予め決めら
   れた値になるまでピンホール移動機構を移動させるよう
   にしたことを特徴とするピンホール位置決め方式。