SU1430779A1

SU1430779A1 - Устройство дл контрол коэффициентов передачи модул ции объективов

Info

Publication number: SU1430779A1
Application number: SU874210513A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Дмитриевич Заболотский; Вячеслав Геннадиевич Брежнев; Юрий Михайлович Моляшов; Сергей Павлович Малышев; Анатолий Викторович Подобрянский; Феликс Павлович Хлебников
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6670
Priority date: 1987-01-04
Filing date: 1987-01-04
Publication date: 1988-10-15

Abstract

Изобретение .относитс к области измерительной техники и может быть использовано дл контрол коэффици- ентов передачи модул ции объективов в услови х сборочного цеха. Целью изобретени , вл етс повышение производительности контрол при измерении коэффициентов передачи модул ции. Посредством коллиматора 1, контролируемого объектива 38, микрообъектива 7, вход щего в состав анализатора 6, в плоскости вращающегос растра 10 с трем дорожками создаетс изображение щели. Сигнал, возникающий в цепи фотоприемного устройства 11, оптически сопр женного с дорожками растра, обрабатываетс схемой, содержащей, в частност, фильтры 17, 18, 27, 28, 29, блок компараторов 30, детекторы 19, 20, фазовый детектор 24, и используетс дл автоматической фокусировки микрообъектива и измерени коэффициента передачи модул ции испытуемого объектива. Измерение производитс в центре и на зоне пол , дл чего анализатор 6 перемещаетс по механизму перемещени 13 до упора 14, а коллиматор 1 поворачиваетс на угол пол зрени испытуемого объектива 38. Автоматическа отработ- 2 в сл

Description

4:

СО

о К| ч

со

ка угла производитс благодар использованию фотоприемного устройства 12, оптически сопр женного с одной из дорожек растра 10, Результаты измерени отражаютс на индикаторах 33 и табло 34. Управление работой осуществл етс блоком программ 15. , 1 ил.

1

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл контрол коэффициентов передачи модул ции объективов в услови х сборочного цеха.

Целью изобретени вл етс повышение производительности контрол при измерении коэффициентов передачи модул ции.

На чертеже представлена функциональна схема устройства (плоскость анализатора на чертеже условно повернута на 90).

Установка содержит последовательно расположенные по ходу лучей коллиматор 1, выполненный в виде осветител 2, щелевой диафрагмы 3, объектива 4, в фокальной плоскости которо го расположена диафрагма 3, и установленный с возможностью поворота вокруг оси, перпендикул рной оптической оси установки, объективодержател 5, выполненный с возможностью вращени и перемещени вдоль оптической оси установки, анализатор 6, выполненный В виде микрообъектива 7, вибратора 8, скрепленного с микрообъективом 7, датчика 9 частоты вибратора растра 10 с. трем дорожками, реали- , зующёго частоты fо, f, 7. установ- ;ленного с возможностью вращени вокруг оси, параллельной оптической оси установки , фотоприемного устройства 11, выполненного, например, в виде кон- денсорной линзы фотоэлектролного умножител и усилител (не показаны фотодатчика 12, оптически сопр женного с дорожкой растра 10, реализующей частоту fg. Анализатор установлен на механизме 13 перемещени , на котором имеютс два ограничител 14, определ ющие его предельные положени при измерении в центре пол зрени и на зоне пол . Поворот коллиматора 1, смещение объективодержател

0

5

0

5

30

5

0

5

вдоль оптической оси установки, перемещение анализатора 6 осуществл ют приводы коллиматора, фокусировки и анализатора (не показаны). Блок 15 программ определ ет последовательность выполнени операций по контролю объектива. Дл обеспечени требуемой частоты вибрации микрообъектива 7 генератор 16 подключен к вибратору 8,

Выход фотоприемного устройства 11 подключен к входам полосовых фильтров 17 и 18 частот fo и f,. Выходы полосовых фильтров 17 и 18 подклюг чены к входам соответственно первого 19 и второго 20 детекторов. Выход первого 19 и второго 20 детекторов подключены к входам первого 21 и второго 22 сглаживающих фильтров. Выходы первого 21 и второго 22 сглаживающих фильтров подключены к входу сумматора 23, выход которого подключен к входу фазового детектора 24, Другой вход фазового детектора 24 подключен к выходу датчика 9 частоты вибратора. Выход фазового детектора 24 подключен к входу блока 25 управлени приводом фокусировки.

Выход фотоприемника устройства 1.1 подключён к входу регулируемого уси лител 26, выход которого соединен с входами полосовых фильтров 27 частоты fg. и полосовых фильтров 28 и 29 частот f и f. Выход полосовых фильтров 27-29 подключен к входу блока 30 компараторов. Кроме того, выход полосовых фильтров 27 и 28 подключен к входу первого делител 31, а выход полосовых фильтров 27 и 29 - к входу второго делител 32, Выходы делителей 31 и 32 подключены к индикаторам 33, а выход блока 30 компараторов - к табло 34. Выход полосового фильтра 27 подключен к входу блока 35 регулировки усилени , выход которого соединен с управл ющим входом регулируемого усилител 26.

Выход полосового фильтра 17 частоты fo соединен с входом фазового детектора 36 привода коллиматора. Второй вход фазового детектора 36 соединен с входом блока 37 управлени привода коллиматора. Выход фотоприемно- гр устройства 11 соединен также с входом блока 15 программ. Выход блока 15 программ соединен с входами блока 25 управлени приводом фокусию цую направлению отклонени , поступает на вход блока 25 управлени привода фокусировки. Привод фокусировки (не показан) обеспечивает перемещение объективодержател 5 в положение, при котором плоскость наибольшего контраста контролируемого объектива 38 совпадает с предметной плоскостью микрообъектива 7 при отсутствии сигнала с выхода генератора 16. Одновременно сигнал с выхода полосового фильтра 27 частоты f(, поступает на вход блока 35 регу-

ровки, блока 37 управлени приводом коллиматора, генератором 16. На объек-15 лировки усилени , который обеспечи- тиводержатель 5 устанавливают конт- вает заданную амплитуду электрическо- ролируемый объектив 38.

го сигнала, соответствующего нормирующей дорожке растра 10.

Устройство работает следующим образом.

Световой пучок после коллиматора 1 20 рамм формирует сигнал выключени гене (осветитель 2, диафрагма 3, объектив 4) собираетс контролируемым объективом 38 в его задней фокальной плоскости. Пучки света, пройд через микрообъектив 7 и растр Ю, попадают на фотоприемное устройство 11. По сигналу с выхода фотоприемного.устройства 11 блок 15 программ включает генератор 16, при этом вибратор 8 приводит в колебательное движение микрообъектив 7, который производит глубинное сканирование изображени щелевой диафрагмы 3 и тем самым модулирует выходные сигналы фотоприемного устройства. Изображение диафрагмы 3 перекрывает все три дорожки растра 10, который модулирует световой поток с частотами fо , f, f.

Амплитуды первых гармоник электрических сигналов на выходе фотопр ием- ного устройства 11 пропорциональны коэффициентам передачи модул ции на пространственных частотах, определ емыми периодами решеток растра 10.

ратора 16 и привода фокусировки и на включение привода вращени объективодержател 5 (не показан), а также на блок 30 компараторов. Сигналы

25 с выходов полосового фильтра 27 частоты fjj , полосовых фильтров 28 и 29 частот f и f,2 поступают на блок 30 компараторов, который сравнивает амплитуды электрических сигналов с

30 пороговыми значени ми и формирует сигнал Годен или Брак на табло 34. Параллельно эти сигналы поступают на входы первого 31 и второго 32 делителей и на индикаторах 33 вы25 свечиваетс величина коэффициента - передачи модул ции на двух пространственных частотах. После завершени цикла изменени в центре пол зрени блок 15 программы формирует сигнал

40 на включение привода анализатора (не показан) и анализатор 6 перемещаетс до второго ограничител 14. После этого по сигналу блока 15 программ включаетс привод коллимаС выхода фотоприемного устройства 45 тора (не показан) и коллиматор 1 на- сигнал проходит полосовые фильтры 17 и 18 частот fj, и f ,детектируетс первым 19 и вторым 20 детекторами,сглаживаетс первым 21 и вторым 22сглаживачинает поворачиватьс на угол W пол зрени контро.чируемого объектива 38, при этом изображение диафрагмы 3 начинает перемещатьс по дорожкам раст- ющими фильтрами,суммируетс сумматором -gQ pa 10 и фаза электрического сигнала 23 и поступает на вход фазового детек- на выходе фотоприемного устройства

тора 24. На второй вход фазового детектора 24 поступает сигнал с датчика частоты вибратора 9.

С выхода фазового детектора 24 сигнал в виде посто нного напр же- ни , пропорционального отклонению от плоскости наибольшего контраста и имеющего пол рность, соответству11 определ ет положение щели относительно вращени растра 10. Фотодатчик 12 оптически сопр жен с дорожкой 55 растра частоты f и формирует опорный сигнал этой частоты. Сигнал с выхода полосового фильтра 17 частоты fp -. поступает на вход фазового детектора 36 привода коллиматора. На другой

направлению отклонени , поступает на вход блока 25 управлени привода фокусировки. Привод фокусировки (не показан) обеспечивает перемещение объективодержател 5 в положение, при котором плоскость наибольшего контраста контролируемого объектива 38 совпадает с предметной плоскостью микрообъектива 7 при отсутствии сигнала с выхода генератора 16. Одновременно сигнал выхода полосового фильтра 27 частоты f(, поступает на вход блока 35 регу-

лировки усилени , который обеспечи- вает заданную амплитуду электрическо

После фокусировки блок 15 npoi-

40 на включение привода анализатора (не показан) и анализатор 6 перемещаетс до второго ограничител 14. После этого по сигналу блока 15 программ включаетс привод коллима11 определ ет положение щели относительно вращени растра 10. Фотодатчик 12 оптически сопр жен с дорожкой 55 растра частоты f и формирует опорный сигнал этой частоты. Сигнал с выхода полосового фильтра 17 частоты fp -. поступает на вход фазового детектора 36 привода коллиматора. На другой

514

вход фазового детектоса 36 поступает опорный сигнал с выхода фотодатчнка 12, Сигнал на выходе фазового детектора 36 привода коллиматора пропор- ционален отклонению угла положени коллиматора 1 относительно угла W. Когда изображение диафрагмы 3 проходит через ось вращени растра 10, угол наклона коллиматора 1 равен W и сигнал на выходе фазового детектор 36 равен нулю. Привод -коллиматора отключаетс и производитс измерение коэффициентов передачи модул ции на зоне пол зрени аналогично измерени

Claims

м, проведенным в центре пол зрени Формула изобретени

Устройство дл контрол коэффициентов передачи модул ции объективов, содержащее коллиматор, установленный с возможностью поворота вокруг оси, перпендикул рной оптической оси устройства , и последовательно установленные по ходу лучей коллиматора объективодержатель, выполненный с возможностью вращени вокруг оптической оси устройства и перемещен11 вдоль этой оси с помощью привода, анализатор, выполненный в виде микро объектива, вибратора, скрепленного с микрообъективом, датчика частоты вибратора,, .растра с дорожками, имеющими пространственные частоты f, .f , f,j, установленного с возможностью вращени вокруг оси, параллелной оптической оси устройства, фотоприемного устройства, привод перемещени анализатора с двум ограничи

тел ми, привод коллиматора, два блока дд а выход соединен с входами вторых

полосовых фильтров частот f, и f.

управлени , подключенные соответст-. венно к приводам коллиматора и анализатора , генератор, выход которого подключен к вибратору, два полосовых фильтра частоты f(j, вход первого из которых подключен к выходу фотоприемного устройства, два полосовых фильт45

и полосового фильтра частоты f . блоком регулировани усилени , вхо которого подключен к выходу второг полосового фильтра частоты fо, а выход соединен с управл ющим вход регулируемого усилител .

Ра частоты f, вход первого из которых подключен к выходу фотоприемного устройства, два детектора, входы которых подключены к выходам первых полосовых фильтров частот fj и f,, сумматор, вход которого подключен к выходам детекторов, фазовый детектор, один вход которого подключен к выходу сумматора,-а другой - к выходу датчика частоты вибратора, блок управлени фокусировкой, один вход которого подключен к выходу фазового детектора , а выход - к входу привода объективодержател , полосового фильт0

5

о 5

ра частоты f, блока компараторов, входы которого подключены к выходам вторых полосовых фильтров частот fo и f., и полосового фильтра частоты f, индикаторное табло, вход которого подключен к выходу блока компараторов , блок программ, выходы которого подключены к управл ющим входам блоков управлени фокусировкой и приводов коллиматора и анализатора, о т л и ч а ю щ е е с тем, что, с целью повыщени производительности контрол , оно снабжено фотодатчиком в виде пары светодиод-фотодиод, оптически сопр женным с дорожкой растра, имеющей частоту f, , вторым фазовым детектором, один вход которого подключен к выходу первого полосового фильтра частоты fо, второй - к выходу фотодатчика, а выход под-, ключен к входу блока управлени привода коллиматора, регулируемым усилителем, вход которого подключен к выходу фотоприемного устройства.

и полосового фильтра частоты f . блоком регулировани усилени , вход которого подключен к выходу второго полосового фильтра частоты fо, а выход соединен с управл ющим входом регулируемого усилител .