JPS58211883A - ロボツトハンド - Google Patents
ロボツトハンドInfo
- Publication number
- JPS58211883A JPS58211883A JP9475382A JP9475382A JPS58211883A JP S58211883 A JPS58211883 A JP S58211883A JP 9475382 A JP9475382 A JP 9475382A JP 9475382 A JP9475382 A JP 9475382A JP S58211883 A JPS58211883 A JP S58211883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fingers
- rosette
- cylinder
- robot hand
- buffer means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
０）発明の技術分野
本発明は工業用ロボットに関し、特に空気圧で指を駆動
するロゼツトハンドの改良に関するものである。
するロゼツトハンドの改良に関するものである。
０）技術の背景
各種製造工業において、製造の自動化のために工業用ロ
ゼツトが用いられ、中間製品あるかは材料等を口がット
ハンドで掴み運搬移動作業が行われている。このような
工業用口ピットを半導体製造過程で用いそのロゼツトハ
ンドで半導体ウェーハやフォトマスクを処理しようとし
た場合、半導体ウェーハ、フォトマスクは硬く脆いもの
であるため掴むときの衝撃を小さくシシかも確実に掴む
ことができるロボットハンドを用いなければならない。
ゼツトが用いられ、中間製品あるかは材料等を口がット
ハンドで掴み運搬移動作業が行われている。このような
工業用口ピットを半導体製造過程で用いそのロゼツトハ
ンドで半導体ウェーハやフォトマスクを処理しようとし
た場合、半導体ウェーハ、フォトマスクは硬く脆いもの
であるため掴むときの衝撃を小さくシシかも確実に掴む
ことができるロボットハンドを用いなければならない。
（３）従来技術と問題点
従来ロゼツトハンドの物を掴むための指を駆動する場合
、指に連結したシリンダに圧縮空気を導入して指を動作
さ七る構成が用いられる場合があった。このような空気
圧駆動のロボットハンドにおいて物を確実に掴むために
空気圧を大きくすれば掴む瞬間の衝撃力が大きくなシ特
に半導体ウェーハ等の脆性部材を扱う場合にはウェー・
・が破損するおそれがある。また、所定の空気圧で物を
指先に保持した状態で、ロボットハンドの移動等により
指先に振動が加わると掴んだ物が落下するおそれがある
。
、指に連結したシリンダに圧縮空気を導入して指を動作
さ七る構成が用いられる場合があった。このような空気
圧駆動のロボットハンドにおいて物を確実に掴むために
空気圧を大きくすれば掴む瞬間の衝撃力が大きくなシ特
に半導体ウェーハ等の脆性部材を扱う場合にはウェー・
・が破損するおそれがある。また、所定の空気圧で物を
指先に保持した状態で、ロボットハンドの移動等により
指先に振動が加わると掴んだ物が落下するおそれがある
。
（４）発明の目的
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、物を掴む瞬間の衝撃力および物を保持中の振動等を
吸収して物を破損することなく大きな空気圧を作用させ
ることが可能でしかも常に一定の力で確実に物を把持で
きるロボットノ・ンドの提供を目的とする。
て、物を掴む瞬間の衝撃力および物を保持中の振動等を
吸収して物を破損することなく大きな空気圧を作用させ
ることが可能でしかも常に一定の力で確実に物を把持で
きるロボットノ・ンドの提供を目的とする。
（５）発明の構成
この目的を達成するため本発明では空気圧駆動ノ指を有
するロデットノ・ンドにおいて、上記指近傍の空気配管
上に圧力変動吸収用パックァ手段を連結している。
するロデットノ・ンドにおいて、上記指近傍の空気配管
上に圧力変動吸収用パックァ手段を連結している。
図面は本発明に係るロボットハンドの一実施例の構成図
である。支点１ａ、Ｉｂを中心に回転動作可能な指２
ａ ＊ ２ ｂはシリンダ３を介して相互に連結される
。シリンダ３には空気配管４を介して圧縮空気源５より
高圧空気が導入される。６゜７は弁、８は復帰用スプリ
ングである。空気配管４上にはイム風船９が連結される
。
である。支点１ａ、Ｉｂを中心に回転動作可能な指２
ａ ＊ ２ ｂはシリンダ３を介して相互に連結される
。シリンダ３には空気配管４を介して圧縮空気源５より
高圧空気が導入される。６゜７は弁、８は復帰用スプリ
ングである。空気配管４上にはイム風船９が連結される
。
このような構成のロボットハンドにおいて、弁６を開き
、弁７を閉じて圧縮空気をシリンダ３に導入すれば復帰
用スプリング８に抗してシリンダ３が広がり両相２ａ、
２ｂの指先間隔を狭めて両相先間に物ｌＯを挾持する。
、弁７を閉じて圧縮空気をシリンダ３に導入すれば復帰
用スプリング８に抗してシリンダ３が広がり両相２ａ、
２ｂの指先間隔を狭めて両相先間に物ｌＯを挾持する。
両相先が物１ｏを掴んだ瞬間およびそれ以後も圧縮空気
は導入され続けるが、このときの衝撃力および物１ｏを
掴んだときの反力による空気圧の上昇はこの指２ａ、２
ｂの近傍に配置したイム風船９の膨張によって吸収され
る。指２ ａ ｔ ２ ｂの振動等により指先間隔が広
がろうとすればゴム風船９がこの動きに直ちに追従して
ゴム風船９内の圧力をシリン／３に作用させるため指先
が広がることはない。物１０を離すために指先を広げる
場合には弁６を閉じか７を開いてシリンダ３内の圧縮空
気を逃し復帰用スプリング８によシ指先を広ける。イム
風船９に代えて、空気圧変動に容易に追従して伸縮する
イローズによシ構成したバッファ室を設けてもよい。ま
た、空気配管４上又はこれに分岐してシリンダ３の近傍
に圧力変動を吸収できる程度にシリンダ３の容積に比べ
充分大きな容積の空間をバッファ室として設けでもよい
。
は導入され続けるが、このときの衝撃力および物１ｏを
掴んだときの反力による空気圧の上昇はこの指２ａ、２
ｂの近傍に配置したイム風船９の膨張によって吸収され
る。指２ ａ ｔ ２ ｂの振動等により指先間隔が広
がろうとすればゴム風船９がこの動きに直ちに追従して
ゴム風船９内の圧力をシリン／３に作用させるため指先
が広がることはない。物１０を離すために指先を広げる
場合には弁６を閉じか７を開いてシリンダ３内の圧縮空
気を逃し復帰用スプリング８によシ指先を広ける。イム
風船９に代えて、空気圧変動に容易に追従して伸縮する
イローズによシ構成したバッファ室を設けてもよい。ま
た、空気配管４上又はこれに分岐してシリンダ３の近傍
に圧力変動を吸収できる程度にシリンダ３の容積に比べ
充分大きな容積の空間をバッファ室として設けでもよい
。
（７）発明の詳細
な説明したように本発明に係るロゴツレ・ンドにおいて
は、物を捌む指の近くの空気配管上にゴム風船又はその
他の圧力変動吸収用ノｉツファ手段を連結しているため
、物を掴むときの衝撃力や物を把持中の振動による空気
圧変動は吸収され、大きな空気圧を作用させても物を掴
むときの衝撃による物の破損は防止され、また・々ツフ
ァ手段は指の振動に直ちに追従して物を掴むための圧力
の弱まりを補充するだめ物を保持中に指先に振動、衝撃
等が加わっても物が落下することはなく確実に保持され
る。
は、物を捌む指の近くの空気配管上にゴム風船又はその
他の圧力変動吸収用ノｉツファ手段を連結しているため
、物を掴むときの衝撃力や物を把持中の振動による空気
圧変動は吸収され、大きな空気圧を作用させても物を掴
むときの衝撃による物の破損は防止され、また・々ツフ
ァ手段は指の振動に直ちに追従して物を掴むための圧力
の弱まりを補充するだめ物を保持中に指先に振動、衝撃
等が加わっても物が落下することはなく確実に保持され
る。
図面は本発明に係る口？ットノ・ンドの一実施例の構成
図である。 ２ｍ、２ｂ・・・指、３・・・シリンダ、４・・・空気
配管、５・・・圧縮空気源、９・・・ゴム風船、１０・
・・物。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士 山 口 昭 之
図である。 ２ｍ、２ｂ・・・指、３・・・シリンダ、４・・・空気
配管、５・・・圧縮空気源、９・・・ゴム風船、１０・
・・物。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青 木 朗 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士 山 口 昭 之
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 空気圧駆動の指を有するロゼットノ・ンドにおいて
、上記指近傍の空気配管上に圧力変動吸収用バッファ手
段を連結したことを特命とするロゼツトハンド。 ２、特許請求の範囲第１項記載のロデットノ・ンドにお
いて、デム風船によシ上記・々ソファ手段を構成したこ
とを特徴とするロ、ｙｙトノ・ンド。 ３ 特許請求の範囲第１項記載のロボットノ・ンドにお
いて、ベローズによシ伸縮するノ々ツファ室を用いて上
記バッファ手段を構成したことを特徴とするロゼットノ
・ンド。 ４、特許請求の範囲第１項記載の口ｙｔｒ、ｙし・ンド
において、圧力変動を吸収できる程度の一定大容積のバ
ッファ室により上記・々ツファ手段を構成したことを特
徴とするロデットノ・ンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9475382A JPS58211883A (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | ロボツトハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9475382A JPS58211883A (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | ロボツトハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58211883A true JPS58211883A (ja) | 1983-12-09 |
Family
ID=14118871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9475382A Pending JPS58211883A (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | ロボツトハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58211883A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61121892A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | ソニー株式会社 | 部品チヤツク機構 |
| JPS62106783U (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-08 | ||
| JPH0483562U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-21 |
-
1982
- 1982-06-04 JP JP9475382A patent/JPS58211883A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61121892A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | ソニー株式会社 | 部品チヤツク機構 |
| JPS62106783U (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-08 | ||
| JPH0357437Y2 (ja) * | 1985-12-24 | 1991-12-27 | ||
| JPH0483562U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-21 |
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