JPS5821111A - パタ−ン検査用の位置合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はＩＣ製造工程におけるマスクあるいはレチクル
に転写されたパターンが、そのパターンを形成する設計
データと比較し、正常に転写されているかどうかを、検
査するパターンの欠陥検査等に用いる位置合わせ装置に
関するものである。

従来この種の欠陥装置は、同一マスク上に同じパターン
群を持つチップ同志の比較による検査方法であるとか、
設計データを画（１１メモリ上にビットパターンとして
展開し、マスク又はレチクルから得られる画像データと
を画素単位で比較する検査方法が考えられていた。しか
し、前者の方法によると、チップ毎に同一の欠陥（共通
欠陥）を有していた場合には欠陥と認識することは不可
能であり、又マスクを作成する原版とな６レチクルでは
、単独のパターンである場合が多く、チップ比較法のよ
うな検査は不可能であった。一方、後者の方法によれば
、パターンを作成した設計データとの比較でおるから、
チップ同志の共通欠陥でも認識することは可能であり、
レチクルでも検査することはできる。しかし、このよう
な装置は、設計データに基づいて、画像メモリ上に展開
されたビットパターンと、例えば撮像したパターンとの
位置合わせが必要であり、この位置合わせがなされてい
ないと、検査結果は全て誤まったものになるという欠点
があった。

本発明は上記欠点を解決し、設計データに基づいて被検
査物上に作成されたパターンを、設計データと照合して
検査する際に、簡単な構成により例えば撮像されるパタ
ーンの位置と、そのパターンが設計上存在すべき位置と
を合わせる位置合わせ□装置を提供することを目的とす
る。

上記目的を達成するための本発明の要旨は、（３） 設計情報に基づいて被検査物上に形成された幾何学的な
パターンが設計通り作られているか否かを前記設計・清
報に基づいて検査する装置において、被検査物上の所定
領域中のパターンを走査して、該パターンの画１象を画
素化するだめの唾１象２値信号を発生する走査手段と；
前記パターンの画１象の各画素に対応した記憶ビットを
備えると共に、前記画Ｉ＃！２値化号の入力に基づいて
前記パターンの画（象に応じたビットパターンを記憶す
る画像メモリと；前記走査手段と被検査物を相対的に移
動して前記所定領域を被検査物上の任意の位置に設定す
る移動手段と；前記設計情報に基づいて前記所定領域中
に設計上存在すべきパターンの位置を算出し、前記画像
メモリ中のビットパターンの位置とのずれに応じて、該
位置ずれが所定量以下になる如く前記移動手段を制御す
る位置ずれ制御手段とを備えることを特徴とするパター
ン検査用の位置合わせ装置にある、 （４） 以下に図面を参照して本発明の実施例について詳細に説
明する。

第１図は、本発明の実施例を示すブロック図である。移
動ステージ１４に載置されると共に、パターンが描かれ
た被検査物、例えばレチクル１は、撮像装置２によって
、レチクル１上の所定の小領域のみが撮像される。この
領域が検査すべき１画面になる。またレチクル１は、ス
トロボ装置１５によって透過照明される。撮像装置２の
アナログ映嫁信号は次の２値化回路３によって２値画１
象信号に変換されると共に、必要に応じてスムージング
等の雑音除去処理が行なわれる。

切出回路４は２値画１象信号の入力に基づいて、検査す
べき１画面中の局所的な領域、例えば矩形領域に対応し
た２値情報を切出す。

この局所的な矩形領域は、−例として画像中の１６Ｘ１
６画素に相当する領域で構成されている。これを第２図
にＬシ、さらに詳しく説明する。第２図において、検査
すべき１画面の画ｆ＃１０Ｇは、撮像装置２の走査線１
０１によってラスク走査される。伺、実施例では、画（
Ｉ１１００内の走査線の本数は垂直方向に１０２４本で
あるものとする。

レチクル１上のパターンは一般にカラス板上にクロムに
よって描画されているので、アナログ映像信号は、明暗
、すなわち、白黒画像に応じた時系列信号になる。制御
回路５は画１象１００中の１走査線につき、１０２４回
クロックパルスを発生し、２値化回路３は各クロックパ
ルス毎に、アナログ映像信号をサンプリングして、画素
化した２値画１象信号を出力する。

切出回路４は、１６ビツトのシフトレジスタ１０４と１
０２４ビツトのシフトレジスタ１０５を直列接続にした
ものを１５段分直列に接続し、最後に１６ビツトのシフ
トレジスタ１０４を接続した直列レジスタ列で構成され
ているっ２値画ｆ象信号は、一番初めの１６ビツトシフ
トレジスタ１？４に入力されると共に、制御回路５が発
生するクロックパルスに同期して、直列レジスタ列内に
順次転送さく７） れていく。前述のように、１走査線分のアナログ映像信
号は１０２４回のサンプリングによって２値化されてい
るから、２値画像信号は画像１００を１０２４Ｘ１０２
４画素に分割して、１画素を「０」か「１」の２値論理
で表わした時系列信号となる２、２値化回路３で１回サ
ンプリングが行なわれると、直列レジスタ列は１回シフ
トされ、各画素に応じた論理値が次のビットに転送され
る。同、実施例において、２値化回路３は１疋査線を１
０２４クロツクでサンプリングし、その後の帰線期間中
は１６クロツクでサンプリングし、さらに切出回路４も
、帰線期間中、１６回シフトされる。そして、１６個の
シフトレジスタ１０４から成る切出部１０３は、画像１
０　Ｇ中、１６Ｘ１６画素の局所的な矩形領域（以下、
窓と呼ぶ）１０２の２値画素情報を保持する。捷た窓１
０２は、走査が進むにつれて画像１００中ｔ−１画素率
位（１クロツクパルス毎）に移動して、画像１００の全
面から順（（Ｐ） 次２値画素情報を切出す。さて、この窓１０２で切出さ
れた１６Ｘ１６画素の２値情報は、第１図に示す角検出
回路６とエツジ検出回路７に入力する。角検出回路６は
、窓１０２内の明暗のエツジ（これはレチクル１上のパ
ターンエツジに対応する）が、あらかじめ用意された所
定の角パターンのとき、その角に応じて４つに分類した
４種類の情報を出力する。

エツジ検出回＆ｉ８７は、例えば撮像したレチクル１上
のパターンの角が撮ｆ象光学系の影響で丸みをおびて、
角検出回路６では検出されないときにも、窓１０２内に
角らしきエツジが存在することを検出する、 一方、磁気テープ（以下ＭＴとする）９に保存されたレ
チクル１のパターン作成時の設計データは、計算機１０
に読み込まれる。

ＭＴ９の設計データは一例として、８ｇ３図に示すよう
な矩形パターンの集合として、レチクル全面分を保存し
ている。実際の回路パターンは、これら矩形パターンを
複雑に組み合わせて作成される。ここで１つの矩形パタ
ーンは幅Ｗ、＾さＨ、レチクル上の所定のｘｙ座標系に
おける中心座標値（Ｘ、Ｙ）、及び１転角θの５つのパ
ラメータで表わされる。

第１図において、計算機１０は、撮像装置２によって撮
像されるレチクル１上の１画面の領域に相当する設計デ
ータ中出力する。その設計データの入力に基づいて記憶
回路１１は、前述の角検出回路６と同時に設計上のパタ
ーンエツジの角のみを検出し、４１１１Ｉ類の角情報を
抽出して、記憶する。

伺、記憶回路１１は、この時、設計データ中から、前述
の窓１０２の移動に従う順序で設計−ヒエ画面中に存在
すべき角情報を順次記憶する。そして記憶回路１１には
、し１１えば１画面に存在するパターンエツジの全ての
角情報が保持される。１画面分の角情報は、計算機１０
の不図示の記憶装置に、１画面分の情報として記憶され
る。この間に、ｉｆｔ算機１゜け、次の１画面分の設片
１データを出力する。

以上、設計データから角情報を抽出し、記憶回路１１か
ら計誹磯１０の中の記憶装置にレチクル１の−「べての
画面に対応する角情報を記憶する゛までの操作は、実際
の比較検査の前に行なわれる。

このようにして、計算機１０の記憶装置に角ｔＷ報がＳ
績されると、次に央除の検査が開始さ−れる。このとき
計−Ｈ機１０は、ステージ１４を２次元的に移動する駆
動手段１３を制御して、撮１象すべきレチクル１上の１
画面分の領域に位ｔを合わせる。同時に、計算機１０は
昭１意装置から、その１　＋ｉｈｉ而分の面・情報を記
憶回路１１に転送する。

そして、Ｉｆｆ！制御回路５のクロックパルスに応じて
、記憶回路１１の角情報は、角情報切出回路１２に１幀
次送られる。角１＃報切出回路１２（以下争に角切出回
路１２とする）の切出領域は、前述の窓１０２よりも小
さく定められている。角切出回路１２は、設計データに
基づく角１′＃報”をクロックパルスに同期して（グ） 順次切出す。

先にも述べたように、制御回路５のクロックパルスは、
慾１０２を１画面中で移動させるから、角切出回路１２
の切出領域（以下、参照窓とする）と窓１０２は、クロ
ックパルスに同期して同方向に移動する。

比較回路８は、角検出回路６が出力する角情報と、エツ
ジ検出回路Ｔが出力する構出結果、及び角切出回路１２
の情報を入力とし、レチクル上のパターンと設計データ
上のパターンが異なるときは、計算機１０に欠陥情報を
出力する。

具体的には、参照窓の情報中に角検出回路６の角ｊ＃報
と同じ′Ｍｉ類の角情報が１つでもあれば欠陥なしとす
る。又、参照窓の中心部にある角情報が位置したとき、
エツジ検出回路Ｉ、が窓１０２中に角エツジらしきもの
、又、単なる直線エツジを検出していれば欠陥なしとす
る。

以上のように、比較回路８は、＠１象された（／乙） 一画面から得られる角情報と、記憶回路１１に保持され
た角ｆ＃報とを順次比較して、計算機１０にリア元タイ
ムに欠陥情報を出力する。

そして、このような操作をレチクル全面に行なうことに
より、レチクル１枚の欠陥検査が完了する。

向、第１図においで、ストロボ装置１５の制御について
は後述する。

次に、角検出回路６について、具体的に説明するが、そ
の前に、ＩＣパターンの特徴について述べる。一般に、
ＩＣパターンは、第３図に示したような矩形パターンを
多数組合わせて作られている。

また、ＩＣパターンは、レチクル上のＸｙ座標系に対し
て、矩形パターンの回転角０が４５°又は１３５°にな
るように決められている。回転角０がその他の場合は極
めてまれである。従って、ここではこれら矩形パターン
を組合わせてできる設計上あるいはレチクル１上のパタ
ーンエツジの角として９００と１３５°を考えることに
する。

第４図は、パターンエツジの角の分類を示す図である。

図において、Ａ−ＦＦ−ｊでの３２個の正方形は、切出
口路４によって切出される窓１０２に相当する領域を示
す。そして各正方形において、斜線部は例えばクロム面
に対応したＷａ理「１」の領域を、山部は、ガラス面に
対応した論理ｒＯＪの領域を示す。パターンエツジの角
を９０’と１３５°の角度に限れば、窓１０２内に表わ
れる角は、縞４図の３２種類に限られる。角の分類の方
法として、この３２種類をそのまま３２に分類すること
、すなわち３２の異なる符号を与えることも考えられる
が、そのようにすると、３２の分類のために２進数表現
で５ビツト（２５＝３２）が必要となる。そこで、第４
図のように、この３２種類を４つに分類する。

まず、パターンエツジの角が９０ｏと１３５゜の角度に
より２分類し、その２分類についてさらに、窓１０２中
の中心点（切出された１６Ｘ１６画素のほぼ中央の画素
）に対して点対称の関係にあるものが同一グループに入
らないように２分類して、その４つの分類に各々異なる
符号を与える。また、同−角腿の反転パターンは同一グ
ループに入れる。すなわち、同図中、例えば角ＡとＢは
反転関係にあり、この２つの角は同一グループとする。

こうして、９０°の角のうち、角Ａ〜Ｈは２進数で００
とし、角Ｉ−Ｐは２進数で０１として分類、し、１３５
°　の角のうち、角Ｑ〜Ｘは２進数で１０とし、角Ｙ−
Ｆ’Ｆは１１として、４つに分類して２ビツトで表わす
。尚、以下４つの分類を表わす２進数（００，０１゜１
０．１１）をコードと呼ぶ。例えば、角のＢとＬは共に
９０°角であるが、点対称の関係にあるので゛、異なる
コードを与える。同一角度でも点対称によって分類する
のは、角の欠陥の様子と、比較回路８・の゛比較動作に
関連している。このことについては、後述する。

角検出回路６は、この３２ａｉ類の角のバタく／３“） として備えでいて、窓１０２中に現われるパターン（ビ
ットパターン）とのマツチングを行なう。

第５図は、第２図で述べた切出回路４によって切出され
る窓１０２に対応した、１６段のレジスタ１０４による
１６Ｘ１６′ビツトを示す。

ここで、例えば第４図に示したＡ又はＢの角を検出する
には、１６Ｘ１６、ビシト中、（Ｌ）〜■のビットと■
〜■　のビットの論理値を調べればよい。

第６図は、この人又はＢのうち、Ａの角を検出するアン
ド回路でアシ、入力■〜■が全て「１」でアシ、入力■
〜■が全て「０」のとき、「１」を出力する。伺、Ｂの
角を検出するには、入力の〜■のインバータを取υのぞ
き、入力■〜■め“□゛各々インバータを通せばよい。

このようなアンド回路は、第４図の３２種ｔ／ｌ″） 類の角のパターン毎に３２個用意されていて切出回路４
の１６Ｘ１６ビツト中の参照パターンに応じた所定のビ
ットからの２値情報を各々入力する。

上述のようなアンド回路で角を検出して、２ビツトのコ
ードを出力する角検出回路６の構成を第７図に示す。マ
ツチング回路１０６は、第４図で示したＡ〜２２の３２
８類の角を検出したとき、それぞれ論理「１」を出力す
る３２個のアンド回路から構成される。同各アンド回路
は、第２図に示した切出回路４の切出部１０３からの２
値情報を入力する。

マツチング回路１０６の３２個の出力信号は４つにグル
ープ分けされる。すなわち、第４図に示したＡ−Ｈを検
出する８つのアンド回路の出力を８ビツトのデータＤ１
、■〜Ｐを検出する８つのアンド回路の出力を８ビツト
のデータＤｔＸＱ−Ｘを検出する８つのアンド回路の出
力を８ビツトのデータＤ３、そして、Ｙ〜ＦＦ゛を検出
する８つのアンド回路の出力をＢビットのデータＤ４と
して、各々、４つの８ビツト入力のオア回路１０７，１
０８，１０９゜１１０に入力する。エンコーダ１１１は
、各オア回路の４つの出力信号を入力し、・その４ピツ
゛トの２値化号をエンコードして、コードＣ，、Ｃ，と
して出力する。　　　　　４次に、この回路の動作を説
明する。

例えば第４図に示したＣの角が窓１０２中に表われると
、マツチング回路１０６中の３２個のアンド回路のうち
Ｃの角を検出するアンド回路のみが論理「１」を出力し
、他のアンド回路は「０」を出力する。そこで、データ
ＤＩの８ビツトのうち、１ビツトが「１」、７ビツトが
「０」となるから、オア回路１０１の出力が「１」を出
力し、他の３つのオア回路１ｏａ、　１ｏｓ、　１ｔｏ
は共に丁０」を出力する。この時エンーコーダ１１１は
、入力ＢＩが「１」で入力Ｂｚ　、　Ｂｓ　、　Ｂ４が
「０」の２値化号をエンコードした２進数から１を引い
た２進数を２ビツトのコードｃ、　Ｉ　Ｃ１として出力
する。すなわち、上述の場合ｃ、　ｃ、　＝ｏｏとなる
。

また、第４図に示したＦＦの角が窓１０２中に表われる
と、エンコーダ１１１０入力は入力Ｂ１〜Ｂ、が「０」
、入力Ｂ４が「１」となるので、コードはＣ，Ｃ，＝１
１　となる。同、エンコーダ１１１は、入力Ｂ１〜Ｂ、
のいずれか１つが「１」になったとき、すなわち角が検
出されたとき、フラグＦを出力する、フラグＦは角が検
出されれば「１」が、検出されなければ「０」が立てら
れる。

次に、第１図に示したエツジ検出回路７について説明す
る。第８図は、エツジ検出のために設定された、９Ｘ９
画素の矩形領域を示す。この領域は前述の１６Ｘ１６画
素中のほぼ中央部に位置する。従って、第２図に示した
１６Ｘ１６画素の情報を切出す、１６　Ｘ　１６ビツト
の切出部１０３のうち、９×９ビツトで構成された領域
１２０からの情報に基づいてエツジ検出を行なう。伺９
×９ビットの領域１２０の中心ビット（中央画素に相当
する）の位置は、第５図に示した１６Ｘ１６ビツトのう
ち縦横で（Ｈ，９）のビットに定められている。債Ｊ１
エツジ検出のために着目するビットは、９×９ビツト中
の周囲に４ビツト毎に位置したビット■〜■の８つであ
る。

ｆ４９図は、エツジ検出回路７の構成を具体的に示した
回路図である。８つの排他的論理和回路（以下、ＥＸ−
ＯＲとする。）１２１は９Ｘ９ビツト領域１２００周辺
の８ピツト■〜■から２値化号を入力する。そして、こ
の８ビツトのうち、ひとつでも論理値が異なれば、オア
回路１２２が論理値「１」を出力して、何らかのエツジ
が検出されたことを示す、。

８つのＥＸ−ＯＲ１２１０入力のそれぞれは、９×９ビ
ツト領域１２０中で着目した８つのビットのうち、互い
に隣υに位置する２つのビットからＪ保シ出される。

例えば第１０図のような角らしきものが９×９ビツト領
域１２０中に現われたとする。

斜線部は論理値「１」の領域である。するとエツジ検出
回路７の入力■と■、及び入力（１）と■は互に論理値
が異なるから、オア回路１２２は論理値「１」を出力す
る。また、単に領域１２０中に、直線状のエツジが表わ
れた場合でも、上述の動作により、オア回路１２２は論
理値「１」を出力する。

以上に述べたエツジ検出回路７は、レチクルの検査時に
撮像装置２の走査と共に、実時間で動作する。同、この
９×９ビツトの領域１２０甲に、何らかのパターンエツ
ジが現われたことをより確実に検出するには、９×９ビ
ツトの周囲に位置する３２ビツトの全ての２値化号を入
力して、その状態を前述のように調べればよい。この場
合、周囲３２ビツトが全て同−論理値であれば、パター
ンのエツジではなく、３２ビツトのうち、１つでも論理
値が異なれば、エツジを検出したことになる。

次に、第１図で示しだＭＴ９から設計データを読み込ん
で、角情報を保持する記憶回路１１について第１１図に
より説明する。

記憶回路１１には設計データから、１ｌｌＩ面に対応す
る設計上のパターンとして、「０」、「１」の２値画像
に変換する１０２４Ｘ１０２４ビツトのフレームメモリ
１３０と、そのフレームメモリ１３０から、撮像装置２
の走査の順番に応じて時系列的な２値１Ｍ号を読み出す
読出回路１３１が設けられている。スイッチＳ、は、非
検査時にａ　１１１１１　Ｋ−、検査時にｂ側に切換え
られる。ｂ側には、第２図で示した２値化回路３の２値
画欺イ６号が入力する。読出回路１３１の出力信号から
、前述の切出回路４によって、フレームメモリ１３０中
の局所的な矩形領域の２値情報１３３が取り出される。

ただし、その矩形領域は、フレームメモリ１３０中に生
成されたビットパターンが設計データに基づいているた
め、「１」、「０」の境界の直線性がよく、角もはっき
りしていて切出回路４の１６Ｘ１６ビツト、Ｃυも小さ
な領域から取り出すことができる。取シ出されだ２値情
報１３３は前述の角検出回路６と同様の検出回路１３５
に入力し、４Ｐｔ１類に角を分類する。検出回路１３５
の出力１３４は分類を表わすコード（００，０１，１０
゜１１）と、角を検出したか否かのフラグからなる。入
出力制御回路（以下、■１０　回路という）１３６は出
力１３４０入力に基づいて、コードは参照データメモリ
１３７に格納し、フラグは、フラグメモリ１３８に格納
する。

以上の格納の操作は非検査時に行なわれる。

検査時には、スイッチＳ、がｂ側にな、す、切出回路４
の出力情報は、前述した角検出回路６とエツジ検出回路
７０入力となる。同時にＩｌｏ　回路１３６は、参照デ
ータメモリ１３７とフラグメモリ１３８に格納されたコ
ードとフラグを参照情報１３９として、出力する。

同、読出回路１３１、Ｉｌｏ　　回路１３６、ｑノ出回
路４は、＠１図で示しだ制御回路５のクロックパルスに
基づいて動作する。また参照データメモリ１３７ｉ＝Ｊ
：、フレームメモリ１３０は） 中で角が存在する水平方向（走査方向）のビット列のみ
の角情報を保持し、フラグメモリ１３８は、フレームメ
モリ１３０（１）垂１区方向のビット数、ここでは１０
２４ビツトと同じビット数から構成され、フレームメ省
り１３０の水平方向のビット列（１０２４列分）に角が
あれば、対応するフラグメモリ１３８のビットに「１」
が、なければ「ｏ」が保持される。この操作は、全てＩ
ｌｏ　回路１３６によって行なわれる。

次に、第１２図を用いて、参照データメモリ１３７が角
情報を保持する動作について述べる。

第１２図において、切出回路４によって切出され７Ｉｉ
ｃ２値情報１３３け、図中矩形領域１４０（以下、窓１
４０とする。）に相当する。この悠１４０は、矢印のよ
うに、フレームメモリ１３０中□を゛走査する。参照デ
ータメモリ１３１は、窓１４０の水平方向の１走査分に
対して、５１２ビツトが用意されている。

（４） （以下、この５１２ビツトを１ライン分のメモリと呼ぶ
。）窓１４０が、図のように角のある部分を水平に走査
すると、走査の初めのところでは、角がないので、検出
回路１３５のフラグは「０」であシ、１ライン分のメモ
リの初めの部分にはｒＯＪが書き込まれる。

同、窓１４０の走査が２ビツト行なわれる毎に、１ライ
ン分のメモリでは１ビツトづれた隣漫のビットに２値論
理を格納していく。従って、１ライン分のメモリは、フ
レームメモリ１３０の水平方向の１０２４ビツトの情報
を１／２に圧縮して保持することになる。

さらに走査が進み、窓１４０がパターン１３２の左上の
角をとらえると、１ライン分のメモリ中の対応するビッ
トに角の存在を示す「１」が保持され、そのビットに続
く２ビツトに、検出回路１３５が出力するコードＣ，Ｃ
ｔが保持される。そして、角の存在しないところは、１
ライン分のメモリの対応するビットに「０」が書き込ま
れる。このように窓１４０が角の存在する部分を１走査
すると、第１２図のように１ライン分の参照データが作
られる。

そこで、夾際必パターンとして、第１１図に示すフレー
ムメモリ１３０中に設計データに基づいて２値画１象化
されたビットパターン１３２が存在した場合、参照デー
タメモリ１３７と、フラグメモリ１３Ｂには、第１３図
のような情報が保持される。ビットパターン１３２上で
角は４つぁシ、それぞれの角のコードは、第４図の分類
に従って、検出回路１３５が出力する。同、フレームメ
モリ１３０中のビットパターンに角が存在するのは、２
本の水平ビット列上のみであるので、参照データメモリ
１３７には、２ライン分のメモリＬ、　、　Ｌ、のみに
参照データが保持される。一方、フラグメモリ１３８に
は、１０２４ビツトのうち、フレームメモリ１３０の２
本の水平ビット列に対応した２つのビットに「１」を、
他のビットには全て「ｏ」を立てた１画面分のフラグデ
ータが作成され・る。同、以上の説明で、参照データメ
モリ１３７とフラグメモリ１３８は、１０２４Ｘ１０２
４ビツトの１画面に相当する領域のみを保持するが、実
際には娑チクルの欠陥を撮ｆ象装置２の映像信号の入力
に基づいて検査する前に、レチクル上の１画面分毎に設
計データから、参照データとフラグデータが作成され、
前述の計に機１０の記憶装置に保持される。例えばレチ
クル全面を１０×１０、すなわち１００画面に分けて、
検査するとすれば、その記憶装置はフラグデータの記憶
用として、１０２４Ｘ１００ビツトの固定されたビット
長のメモリ谷祉が心安となる。一方、参照データの記憶
用として、フラグメモリ１３８中の論理「１」のビット
数だけ５１２ビツトの１ライン分のメモリ容量が必要と
なる。従って、例えばフラグメモリ１３Ｂ中の１０２４
Ｘ１００ビツトに「１」の数が１０００あれば、参照デ
ータの記憶用として、５１２ビツトＸ　１０００ライン
分の容量（ｚ７） が必要となる。

ところで、Ｉｌｏ　　回路１３６は、参照データメモリ
１３７とフラグメモリ１３８に検出回路１３５の出力１
３４に基づいて、上述のようにデータを格納する。１だ
、検査時には格納されたデータを、各々のメモリから順
番に参照情報１３９として出力するように制御する。参
照情＠１３９は、フラグメモ１月３８のフラグが「０」
ならば、時系列の論理信号として、「０」を５１２ビツ
ト分出力し、フラグが「１」ならば、そのフラグに対応
した参照データメモリ１３７の１ライン分のデータを時
系列的に出力する。

次に、第１図で示した検査時に働く角切出回路１２と比
較回路８について第１４図により説明する。

角切出回路１２は、直列シフトレジスタ列から構成され
ている。直列シフト１ノジスタ列□ のうち、１０ビツトレジスタ１６０が９段並んだところ
を参照窓１５０とする。各１０ビ（７ｔ） ットレジスタ１６０には、５１２ビツトのレジスタ１６
１が直列に接続されている。

Ｉｌｏ　回路１３６からの参照情報１３９は、１０ビツ
トのレジスタ１６０から、制御回路５のクロックパルス
に同期して、１ビツトずつ直列シフトレジスタ列に転送
され、シフトされる。同、シフトするタイミングは、実
際には、クロックパルスの２クロツクで１回シフトする
ようになっている。参照窓１５０の１０×９ビツトの９
０ビツト分の２値情報１５１は、そのまま比較回路８に
入力する。

ここで、Ｉ１０回路１３６と角切出回路１２及び比較回
路８の動作について説明する。

制御回路５が、第２図で示した１水平走を線の初めの１
クロツクを出力する前に、Ｉ１０回路１３６Ｈ，フラグ
メモリ１３８中のその走査線に対応したビットのフラグ
が「０」か「１」かを＾）４べて、それが「１」ならば
、参照データメモリ１３７中のその１ライン分の参照デ
ータ（５１２ビツト）を、２クロツクパルス毎に１ビツ
トずつ参照情報１３Ｂとして出力する。もしフラグが「
０」ならば、その水平走査の期間中（１０２４クロツク
）は、参照情報１３９として５１２ビツト分の「０」を
２クロツクパルス毎に出力する。それら出力は、直列シ
フトレジスタ列によって、順次シフトされていく。また
撮像装置２の帰線時間中は、１０ビット分の「０」を参
照情報１３９として発生し、直列シフトレジスタ列も１
０回シフトされる。このように、検査の開始に応答して
、参照データメモリ１３８の参照データは、順次、参照
窓１５０によって切出される。同、検査の開始から、角
検出回路６、エツジ検出回路７も作動し、レチクル上の
パターンの角情報を出力する。

第１５図（ａ）は、参照窓１５０に表われる角情報を示
した一例である。矩形状の参照窓１５０の１０×９ビツ
トのビット位置ｔ（Ｘ。

ｙ）で表わすと、Ｆ＝４とｙ＝ｓのＸ方向のビット列は
、参照データから取り込まれた論理値であり、他のｙ列
は、フラグ「０」により、論理値「０」が取り込°まれ
でいる。同、これは図中１・」印で表わす。

前述のように、角切出回路１２の切出動作に同期して、
第２図で示した、レチクルのパターンを撮像した一画面
中の窓１０２も移動する。このとき、窓１０２が第１５
図（ｂ）のようなパターンの角をとらえると、角検出回
路６は、フラグＦを「１」にし、コードとしてｃ、ｃ、
＝ｏｏを出力する。

比較回路８はフラグＦの「１」を慣用したとき、参照窓
１５０の２値情報１５１を（ｘ、ｙ）＝（１，１＞から
（ｘ、ｙ）＝（１０，９）まで１ビツト毎に調べて、「
１」になっているビットを見つけたら、それに続く２ビ
ツトの論理値と、角検出回路６が出力するコードとを比
較する。もし、そのコードが参照窓１５０中に１つも存
在しなければ、□比較回路８は欠陥ありとする情報ＥＲ
Ｒを出力する。この比較は、レチクル上に設計データ通
りのパター（、、？／） ンの角が形成されているときに行なわれる。

ところが、パターンの角が不確実に形成されていて、角
検出回路６がフラグＦを出力しなければ、この比較は行
なわれないから、レチクル上の該当する位置に角自体が
存在しなかったものとみなされる。このような場合を考
慮して、第１５図（，３の参照窓１５０の中央のビット
、例えば＜ｘ、ｙ）＝（６，ｓ）のビットが「１」にな
ったとき、すなわち、設計データ上で角があるとき、エ
ツジ検出回路７が何らかのエツジを検出して、その結果
が「１」であれば、比較回路８は欠陥なしとする情報Ｅ
ＲＲを出力する。同、この情報ＥＲＲは、欠陥の有無の
みではなく、その欠陥の位置に関する情報も含んでいる
。これは、制御回路５のクロックを計数すれば容易に得
られる。

また、角検出回蕗゛６の４つの分類方法は、上述の比較
の方法に関連する。このことを第１６図により説明する
。図中、斜線部は参照（）Ｚ） 窓１５０の領域に応対したレチクル上のパターンを示し
、点線は、設計データ上の角Ｄ１を示す。レチクル上の
パターンの角は、欠陥として一部が欠落している。角検
出回路６によって、レチクル上のパターンの角Ｒ１，，
Ｒｔ　、Ｒｓを分類すると、コードは、Ｒ１（０１）、
　Ｒｔ　＜ｏｏ）。

Ｒｓ（ＯＸ）になる。一方、参照窓１５０中にはコード
としてＤＩ（０１）のみが存在する。

上述の比較回Ｗ＆８の動作からパターンの角Ｒ２が検知
されたとき、参照窓１５０中には、同じコードが１つも
存在しないから、これは欠陥として検出される。

このように、レチクル上のパターンの角の一部が参照窓
１５０に対応した領域内で欠落または変形が生じた場合
、Ｒ，、Ｒ，のような角とＲ１のような角とを別の分類
、すなわち異なるコードにすることによって、少ないコ
ードでも欠陥が検出できる。

このように、比較回路８は角検知回路６がコードを出力
したとき、参照窓１５０中に存在するフラグやコードを
調べているので、撮像装置２が撮像する１画面が、あら
かじめ設計データから定められた設計上の領域と微小に
ずれたときでも、そのずれを何ら修正することなく検査
可能となる。

また、本発明の実施例において、角検出回路６中のマツ
チング回路は、１つの角パター゛ンを検出するのに、例
えば第５図のように１６Ｘ１６ビツト中の■〜■の１３
ビツトから２値化号を取シ出している。この図で示した
ように、１６Ｘ１６ビツト中、ビットパターンのエツジ
が通過する取り出しビット、例えばビット■と０１ビツ
ト■と■の間は、１ビツトの余裕がある。一般に、ＩＴ
Ｖ等によって、撮像され、２値化されたビットパターン
は、直線が滑らかではなく凹凸が生じやすい。そこで、
この凹凸を許容して、角検出ができなくなるのを防ぐた
めに、その余裕が設けられている。

以上の実施例の説明で不図示ではあるが、ステージ１４
０２次元的な位置は、光波干渉計等によって常に座標値
として計測されている。このステージ１４の座標値は、
計算機１０へ入力されている。撮像装置として、例えば
ＩＴＶ２がレチクル１をｍ像して実際の検−１￥を開始
するとき、計算機１０は、駆動手段１３を、ステージ１
４の座標値に応じて制御する。

すなわち、ステージ１４は、ＩＴｖ２がレチクル１の１
画面分の領域を撮像して、前述のような比較動作が完了
すると、隣りの１画面分の領域を撮ｆ象するように移動
する。このとき第１図に示したストロボ装置１５の発光
によって、ＩＴｖ２は１画向を入力する。このことにつ
いて、第１７図に基づいて説明する。

第１７図において、波形（４）はストロボ装置１５の発
光タイミングを、波形（Ｂ）は、前述したような、比較
検査の動作タイミングを、波形（Ｃ）は、計算機１０の
記憶装置から１画向分の参照データとフラグデータとを
記憶回ｗｒ１１へ転送する動作タイミングを、及びＩＴ
Ｖ２の（Ｊり 受光面に画像に応じて放電した電荷を充電する、いわゆ
る残像消去のタイミングを表わす。

今、レチクル１上の検査すべき１画面分の領域がＩＴＶ
２の直下に位置すると、すなわち計算機１０が、ステー
ジ１４の座標値を所定値と判断すると、時刻ｔ１におい
て、ストロボ装＠１５に発光開始信号を出力する。そし
て時刻ｔ、においてＩＴＶ２の受光面には、検査すべき
レチクル１上の領域のパターン像に応じて荷電が生じる
。時刻ｔ、から、ＩＴＶ２は走査を開始すると共に、前
述のように、記憶回路１１の参照データ中のコードと、
角検知回路６が出力するコードとを比較回路８によって
比較し、検査を始める。そして、時刻ｔ３において、１
画面分の検査が完了する。時刻１ｓ以後に、計算機１０
の記憶装置に蓄積された、次の１画面分のデータ（参照
及びフラグ）が記憶回路１１の参照データメモリ１３７
、フラグメモリ１３８に転送される。時刻ｔ、で転送が
完了すると、計算機１０は、再び発光量（ｊ（１ 始（ｉｔ号をストロボ装置１５に出力する。時刻ｔ、と
ｔ４の間、いわゆる転送期間中に、ＩＴＶ２の残１象消
去が行なわれる。ここで、レチクル１を動かすステージ
１４は、時刻ｔ、からｔ、の間に、次の１画面をＩＴＶ
２が撮像するように駆動手段１３によって移動される。

以上の動作は、レチクル１の全面に渡ってくり返し行な
われる。

このように、ストロボ装置１５の閃光発光時にのみ、Ｉ
Ｔｖ２が画像を入力しているので、実際には、ステージ
１４を歩進移動させるのではなく、連続的に速度制御を
行ない移動させておくことができる。そして、干渉計に
よって計測されるステージ１４の座標値が、レチクル１
０次の１画面に対応する値のとき、計痺機１０が発光開
始信号を出力するようにしてもよい。まだ、ステージ１
４を等速度で移動させ、その速度に応じて一定時間毎に
ストロボ装［１５の閃光発光を行なうようにして、発光
間隔中に、上述の比較検査、転送及び残像消去の動作を
行なうこともできる。このようにすれば、ステージ１４
を歩進移動するよシも高速に検査できる。

また、前述の実施例で、ＩＴＶ２がレチクル１を撮像す
る１画面は、設計データに基づいて、あらかじめ１画面
分として用意された設計上の領域と一致させる必要があ
る。このため、レチクル１をステージ１４に載置する際
に、レチクルの回転ずれの補正やステージ１４の座標の
原点を設定する。このことについて第１８図によシ説明
する１、 第１８図（、）は、レチクル１中のパターン描画領域２
０１を、マトリックス状に細分した様子を示す図である
。同図中、マトリックスの１つの正方形は、ＩＴＶ２が
撮像する１画面の領域に対応する。レチクル１が、第１
図に示したステージ１４上に簡単な位置合わせによって
載置されると、ステージ１４の２次元的な移動、すなわ
ち座標の基準となる原点を設定する。この原点の設定は
、駆動手段１３中の不図示のカウンタを零にクリアする
ことによって行なわれる。このカウンタはステージ１４
の座標値を表わすようになっていて、ステージ１４の移
動に伴って、計数値が増減する。

この原点は、描画領域２０１上の角部分に位置した、例
えば３×３画向分の領域２０２から決められる。本来な
らば、左上角の１画面領域８だけで原点を設定できるが
、領域ａに、パターンが形成されていないと、原点が定
まらないので、一応３×３画面の９つの領域ａ　％　ｉ
を考慮し、との９つの領域のうち、いずれか１つを選ん
で原点設定に用いる。

今、この９つの領域のうち、１画面領域蚤に、何らかの
パターン２０６が形成されているとすると、１画面領域
ｉを原点として定める。第１８図（ｂ）に示した実線は
領域１１すなわち、ＩＴＶ２で撮１ｊｊされ今１（画面
を宍わす。

そこで、１画面領域ｉに対応した針設データを、前述の
ように計算機１０から、読み出しく３／） て、第１１図に示した記憶回路１１中のフレームメモリ
１３０に、設計上存在すべきパターンをビットパターン
として展開する。そして、読出回路１３１が出力する時
系列の２値化号を、画（象再生装置、すなわち、モニタ
テレビに入力して、１画面領域ｉに対応した設計上のパ
ターンをテレビ画面に再生する。このテレビ画面の領域
は、第１８図（ｂ）に破線で示す設計領域２０５で表わ
す。このテレビ画面にＩＴＶ２の画像信号を同時に再生
すると、レチクル１」二のパターン２０６と、設計上の
パターン２０７との重ね合わせ状態が観察できる。

レチクル１土のパターン２０ｆｉｉｊ：、ステージ１４
の移動に伴って、テレビ画面中を移動するから、実際に
原点を定めるには、ステージ１４を動かして、テレビ画
面中の設計上のパターン２０７と重ね合わせたところで
、前述のカウンタをクリアすればよい。

次に、レチクル１の微小な回転誤差を補正仔１） する。これには、レチクル１上、なるべく周辺側に離れ
た２ケ所に位置する領域２０３と２０４中の１画面に対
応した領域を用いる。

ここで、レチクル１に、第１８図（＆）に示した仮想的
な！７座標を考えてみると、マトリックス状に細分され
た各１画面領域は、このＸＦ座標に従っている。このｘ
ｙ座備の各軸を、ステージ１４０２次元的な移動方向と
一致させないと、ステージ１４の移動に伴って、ＩＴｗ
ｌ取込む１画面が設計上の領域とずれてしまう。

そこで、第１８図（ｂ）で説明したのと同様にまず、領
域２０３中の、ｌｌｌｉＩｉ面領域ｊに、Ｘ軸と平行な
特定のエツジ（第１水平エツジとする。）を廟するパタ
ーン’１ＩＴＶ　によって見つける。このとき、設計デ
ータから、エツジのｙ座標値も求めておく。水平エツジ
が見つかると、この１画面領域ｊを、前述のようにテレ
ビ画面上に再生する。そして、領域２０４中の１画面領
域ｍに対応した設計データから、１画面領域ｊで見つけ
た第１水平ニジと同じｙ座標値の第２水平エツジを有す
る設計−ヒのパターンを見つける。伺、この操作は計算
機１０により行なわれる。そのパターンが見つかれば、
ステージ１４をＸ軸と平行に移動する。そして、１画面
領域ｍをＩＴＶで撮ｆ１１Ｉ！シ、テレビ画向上に再生
して、第１水平エツジと、第２水平エツジを重ね合わせ
る。

もし、同−ｙｆ＠標値の第２水平エツジがなければ、領
域２０３中の１画面領域ｋについて第１水平エツジを見
つけることから繰返される。同、この重ね合わせは、ス
テージ１４に設けられた不図示の微小回転機構によって
、レチクル１をステージ１４に対して微小回転して行な
われる、この際、その回転中心は、レチクル１の領域２
０３の近傍が望ましい。

また、上述したように、原点設定では、パターンが形成
されている１画面の領域を９つの領域ａ　％　ｉから選
ぶ必要があるが、これは、非検査時に用意された各領域
の設計上の峙黴情報を計算機１０によって調べれば、極
めて簡単にできる。

同、以上の説明は、モニタテレビ上に画像を再生して手
動で位置合わ猪を行なうためのものであり、上述の動作
を自動的に行なうためには第１８図（ｃ）のように構成
すればよい。

すｈわち、撮像装置２．２値化回路３によって撮像され
たパターンの２値画像を、前述のフレームメモリ１３０
中に生成し、その２値情報を計算機１０に送る。！′ｉ
′算機１０はフレームメモリ１３０中の２値画像とＭＴ
９からの設計データに基づくパターンの設計上の２値画
像とを比較してそのずれの方向と量を計算する。この計
算結果に基づいて駆動手段１３を制御してステージ１４
を移動させて位置合わせする。

具体的には、第１８図（ａ）に示す領域ａ〜１１領域ｊ
　”　１％及び領域ｍ〜０の各領域に存在すべきパター
ンの設計データ、すなわち第３′図に示した矩形状パタ
ーンの５つのパラメータを計算機１０の記憶装置に格納
しておく。

そして例えば原点設点の際、前述のように領域ａ　％　
Ｉのうち、いずれか１つの領域を撮像装置２が撮像する
ようにステージ１４は粗い位置決めのために移動する。

次に、撮像装置２は、例えば領域ｉを略１画面として撮
像して、２値化回路３によって２値画像化されたパター
ンの情報をフレームメモリ１３０中に生成する。このと
きフレームメモリ１３０中のビットパターンはそのまま
２値情報として計算機１０に読み込まれる。

そして、領域量に対応した設計データから例えばあるパ
ターンの水平、垂直エツジの設計上の位置を計算し、一
方、フレームメモリ１３０の２値情報から、対応するパ
ターンの水平、垂直エツジの位置を引算し、両エツジの
位置の差を算出することによって、設計データに基づく
設計上のパターンの画像を基準としたフレームメモリ１
３０中の２値画ｆ象の２次元的なずれ（第１８図（ａ）
に示したｘｙ力方向ずれ）を検出する。そして検出され
たずれ量に基づいて、駆動手段１３を制御すればよい。

この駆動手段１３の制御によって原点設定するのは、実
際の検査時の前、すなわちレチクルやマスクをステージ
１４に載置したときに行なってもよいが、計算機１０が
ずれ量を算出したとき、その値を原点オフセット量とし
て記憶しておき、検査時にステージ１４が移動するとき
、このオフセット奮発だけ補正しつつ移動させて位置合
わせすることもできる。

また、回転誤差を補正するのに、先に微小回転機構を用
いて行なうと述べたが、微小回転機構はレチクルやマス
クの回転ずれ（傾き）を粗い補正のために使い、精密な
回転ずれの補正は、実際の検査時にステージ１４の移動
によって行なうことができる。この場合、レチクルやマ
スクの左右の領域をＩ　ＴＶ２で撮像して、フレームメ
モリ１３０を介して計算機１０に読み込む。そして計算
機１０は、左右の領域に存在する第１と第２水平エツジ
のｙ方向のずれを算出して、その結果を回転オフセット
緻として記憶する。

こうして、実際の検査時には、前述の原点オフセット量
と共に、回転オフセット量分だけ補正しつつステージ１
４を移動させることもできる。この補正のための演算は
計算機１０によって行なわれ、計算機１０は原点設定の
ためにステージ１４の座標値を原点オフセット−ｉで増
減し、回転誤差の精密な補正には、ステージ１４の２次
元的な移動がレチクルやマスク内の直交する座標系に従
って行なわれるように、回転オフセット量に基づいて座
標変換の演算をする。その演算結果に基づいて駆動手段
１３が制御される。

また、第１１図の説明で述べたように、実際の検査時に
は、フレームメモリ１３０、読出回路１３１は動作しな
いが、第１９図のように接続することによって、撮鍼装
置２の受光面に付着したゴミや傷に対して比較回路Ｂの
比較動作を禁止することができる。第１９図は、実際の
検査時の接続を示し、スイッチＳ、はｂ側に切替えられ
ている。実際の比較検査の前に、撮像装置２は、パター
ンのない無地の画像、すなわち、受光面のゴミや傷のみ
の画像を走査する。このとき出力される２値画像信号を
、フレームメモリ１３Ｇに入力して、ゴミや傷に対応し
７’Ｃ２値画像を生成する。

ゴミや傷が存在すると、フレームメモリ１３０の対応す
るビットには、例えば論理「１」が入力し、存在しなけ
れば、論理「０」が入力する。次に、撮像装置２がパタ
ーンの原画像を走査し始めると、この走査に同期して、
読出回路１３１はフレームメモリ１３０から、走査して
いる１画素に対応したビットの論理値を時系列に出力す
る。この時系列の２値偏号を禁止信号ＩＮＩ（とじて、
比較回路８に入力する。比較回路８は、前述のように比
ｅ検査を行なうわけであるが、このとき、禁止信号ＩＮ
Ｈが例えば論理「１」であれば、比較動作を禁止するか
、比較動作は行なっても欠陥ありとする欠陥情報ＥＲＲ
は出力しないようにする。

フレームメモリ１３０をこのように用いることによって
、受光面のゴミや傷によって、あたかも欠陥あシとして
検査されることを、実時間で防止することができる。ま
た、ゴミや傷による禁止だけではなく、フレームメモリ
１３０に生成される２値画像を操作して、検査する１画
面中の任意の領域を比較禁止領域に設定することもでき
る。

同、フレームメモリ１３０の受光面のゴミや傷の２値画
像は、１画面の検査毎に撮像装置２で撮像して生成する
必要はない。それはゴミや傷の受光面上の位置が短時間
に変化することがないからである。従って、フレームメ
モリ１３０のゴミや傷の２値画像のデータを、計算機１
０の記憶装置に入れておき、必要なときに、フレームメ
モリ１３０へ転送すればよい。ゴミは、時間と共に多く
なるからそのデータを時々更新してやればよい。

以上、本発明の実施例は半導体ＩＣｄ造用のレチクルや
マスクを被検査物としたが、その他にプリント基板を作
るだめのマスクにもンビュータ・エイデツド・デザイン
）によるパターン作成データにより設計されているなら
、そのデータを本装置の設計情報として扱えるようにフ
ォーマット（形式）変換すればよい。また、レチクルや
マスクのパターンはＩＴＶの如き撮１＃装置で像走査を
行なって画ｆψ化されているが、レーザ光等のスポット
で直ｉパターンを走査して、パターンによって変化する
反射光又は透過光等を検出して、画像信号を発生するよ
うにしてもよい、。このようシ；すれば、濃淡パターン
ではなく凹凸によるパターンに対しても検査可能となる
。

／ ／／ ／ ／ ／′ ／ ７′ ７／″ ７′ ／′ ／ ７／ ／ （５１） 以上本発明の詳細な説明したが、要するに本発明は、走
査手段としての撮１１装置２．２値化回路３によって、
レチクルやマスクの如き被検査物上の所定領域中のパタ
ーンを走査して、パターンの画像を画素化するための画
ｆ＃！２値化号を発生する。さらに画像２値信号の入力
に基づいて、前記パターンの画像の各画素に対応したピ
ットを有する画像メモリとしてのフレームメモリ１３０
中にパターンの画像に応じたビットパターンを生成する
。

また、走査手段と被検査物を相対的に移動する移動手段
としてのステージ１４、駆動手段１３を設ける。そして
、設計情報としての設計データに基づいて、所定領域中
に設計上存在すべきパターンの位置を算出し、画像メモ
リ中のビットパターンの位置とのずれを検知して、その
検知結果に応じて移動手段を制御する位置ずれ制御手段
としての計算機１０を設け、被検査物上の所定領域につ
いてのみ位置合わせすることによって、被検査物全体（
Ｊ’Ｚ） の位置合わせを行なうものである。

以上のように本発明によれば、被検査物上の所定領域中
のパターンを画像化して、そのパターンを作成した設計
データに基づいて、パターンの画像のずれを検知するこ
とによって、被検査物を位置合わせできるので、被検査
物上に位置合わせのために特別なマークを設ける必要が
なく、さらにそのマークを検出するために専用の光学系
等を設ける必要もなく、装置として極めて簡単な構成と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すブロック図。 第２図は第１図の一部、特に切出回路４をよＩＪ詳細に
示す図。 第３図はｔｓ１図の磁気テープ９に読み込まれる設計デ
ータの一例としての矩形パターンなＸ’Ｙ座標を用いて
示す図。 第４図はパターンエツジの角の分類を示す図。 第５図は第２図に示↑切出回路４によって切出される窓
Ｃ二対窓した１　６Ｘ１６ビツト図。 第６図は第４図に示すＡの角を検出するアンド回路を示
す図。 第７図は第６図の如きアンド回路で角を検出して２ビツ
トのコードを出力する角検出回路を示す図。 １８８図はエツジ検出のために設定された９Ｘ９画素の
矩形領域を示す図。 第９図はエツジ検出回路の構成を示す回路図。 （〃） 第１０図は９×９ビット頭域を示Ｔ図。 第１１図は記憶回路の詳細な示Ｔ図。 第１２図は記憶回路中のフレームメモリを示す図。 ＠１３図はフレームメモリ中に設計データに基づいて２
値画像化されたビットパターン１５２が存在した場合、
参照データメモリ１３７とフラグメモリ１６８に保持さ
れる情報を示す図。 第１４図は検査時に働らく角切出回路１２と比較回路８
とについて説明Ｔるための図。 第１５図（ａ）は参照窓１５０に表われる角情報の一例
を示す図、第１５図（日は窓１０２がパターンの角をと
らえた状態を示す図。 第１６図は参照窓１５０の領域監一応対したレチクル上
のパターン（斜線部）と設計データ上の角（点線）を示
す図。 第１７図はストロボ装置の□発光タイミング（波形（Ａ
））と比較検査の動作タイミング（波形０））と、記憶
装置から１画面分の参照デー（？） 夕とフラグデータとを記憶回路へ転送する動作タイミン
グ（波形（Ｃ））を示す図。 第１８図（ａ）はレチクル中のパターン描画飴域をマト
リックス状に細分した様子を示す図。 第１８図（ｂ）は第１８図（ａ）に示Ｔ１画面飴域ｌと
これに対応する設計データがテレビ画面に再生された状
態の図、第１８図（ｃ）は本発明によるパターン検査用
位置合わせ装置の構成図。 第１９図は撮像装置２．フレームメモリ１３０、続出回
路１３１．比較回路８等の実際の検査時の接続を示す図
である。 （Ｊ’ｉ’　） 〔主要部分の符号の説明〕 １・・・・・被検査物 ２・・・・・撮像装置 ３・・・・・２値化回路 ９・・・・・磁気テープ １０・・・・・計算機 １１・・・・・記憶回路 １３・・・・・駆動手段 １４・・・・・ステージ １３０・・・・・フレームメモリ Ｆ−口・口２区ト 因・♂へ囲（田Ｘ 困・区・Ｒ＝Ｎト 閏・■・閃・門・ ｈ］く口門・置ヨ・「司・− 口　■　閂　同 巴−チ巳５覧グｙ！ごごヨニ」

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 設計情報に基づいて被検査物上に形成された幾何学的な
   パターンが設計通シ作られているか否かを前記設計情報
   に基づいて検査する装置において、被検査物上の所定領
   域中のパターンを走査して、該パターンの画像を画素化
   するだめの画像２値信号を発生する走査手段と；前記パ
   ターンの画像の各画素に対応した記憶ビットを備えると
   共に、前記画＠２値化号の入力に基づいて前記パターン
   の画像に応じたビットパターンを記憶する画像メモリと
   ；前記走査手段と被検査物を相対的に移動して、前記所
   定領域を被検査物上の任意の位置に設定する移動手段と
   ；前記設計情報に基づいて前記所定領域中に設計上存在
   すべきパターンの位ｔＶ算出し、前記画像メモリ中のビ
   ットパターンの位置とのずれに応じて、該位置すれが所
   定量以下になる如く前記移動手段を制御する位置ずれ制
   御手段とを備えることを特徴とするパターン検査用の位
   置合わせ装置。