JPS58210527A - モノクロメ−タ− - Google Patents
モノクロメ−タ−Info
- Publication number
- JPS58210527A JPS58210527A JP9418682A JP9418682A JPS58210527A JP S58210527 A JPS58210527 A JP S58210527A JP 9418682 A JP9418682 A JP 9418682A JP 9418682 A JP9418682 A JP 9418682A JP S58210527 A JPS58210527 A JP S58210527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- diffraction grating
- photodetector
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 5
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 abstract description 2
- 101710123186 Slit homolog 1 protein Proteins 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はモノクロメーターに関し、特に測定波長範囲
の広い高速走査型高分解能モノクロメータ−を供するた
めの新規な改良に関するものである。
の広い高速走査型高分解能モノクロメータ−を供するた
めの新規な改良に関するものである。
従来、用いられていたこの種の装置は、高速性を追求す
るものにおいては、格子間隔の広い回折格子を使用し、
分解能を犠牲托していた。また高分解能を追求した装置
では、測定できる波長範囲が狭いこと。走査速度が遅く
なることの欠点を有していた。
るものにおいては、格子間隔の広い回折格子を使用し、
分解能を犠牲托していた。また高分解能を追求した装置
では、測定できる波長範囲が狭いこと。走査速度が遅く
なることの欠点を有していた。
本発明は以上のような欠点をすみやかに除去するための
極めて効果的な手段を提供することを目的とするもので
、特ＦＣ４００〜８００ ｎｍにブレーズ波長を持つ回
折格子を使用し、４００ｎｍ以下の波長の光は回折光の
２次光を測定し、４００ｎｍ以上の波長は１次光を測定
するように構成したモノクロメータである。
極めて効果的な手段を提供することを目的とするもので
、特ＦＣ４００〜８００ ｎｍにブレーズ波長を持つ回
折格子を使用し、４００ｎｍ以下の波長の光は回折光の
２次光を測定し、４００ｎｍ以上の波長は１次光を測定
するように構成したモノクロメータである。
以下、図面と共にこの考案によるモノクロメータの好適
な実施例について詳細に説明する。第１図において、１
は入射スリット、２は凹面鏡で入射スリットを通過した
光を平行光線に変えてブレーズ波長４００〜８００ ｎ
ｍ、の回折格子３に入れる回折格子で回折された光は凹
面鏡４Ｖｃ入射し、出射スリット５に集光される。６は
平面鏡でモー１ｉｏで制御され、出射スリット５を出た
光を光電検出器８α、８ｈのいずれか一方に入れる。ま
た光電検出器８αの前方にはフィルター７が配置され、
４００ｎｍ以下の光をカットする。９け回折格子３の角
度と光゛電検出器８α、８ｂの切換えを行うモータｌＯ
の制御をする制御装置である。
な実施例について詳細に説明する。第１図において、１
は入射スリット、２は凹面鏡で入射スリットを通過した
光を平行光線に変えてブレーズ波長４００〜８００ ｎ
ｍ、の回折格子３に入れる回折格子で回折された光は凹
面鏡４Ｖｃ入射し、出射スリット５に集光される。６は
平面鏡でモー１ｉｏで制御され、出射スリット５を出た
光を光電検出器８α、８ｈのいずれか一方に入れる。ま
た光電検出器８αの前方にはフィルター７が配置され、
４００ｎｍ以下の光をカットする。９け回折格子３の角
度と光゛電検出器８α、８ｂの切換えを行うモータｌＯ
の制御をする制御装置である。
次に動作の説明を行う。波長人の光が入射スリット１．
凹面鏡２を通過して回折格子３に入る。
凹面鏡２を通過して回折格子３に入る。
回折格子ではよく知られている回折方程式を満足する角
度θで回折し、凹面鏡４で集光され出射スリット５から
光電検出器８ａまたは８ｂから取り出される。前記回折
方程式において、ｍ＝１のときλの光が出射スリット５
に取り出されるが同時にｍ ＝ ２とすれば波長Ａλの
光も出射スリット５に取シ出される。本発明では、前記
λと捧λの光を制御装置９で制御される平面鏡６に・よ
シ、歿λの光を４００ ｎｍ以下に感度を持つ光電検出
器８ｂで検出し、λの光のうち４００ ｎｍ、以下の光
をフィルター７でカットして光電検出器８αで検出する
こと釦よυλ−とＷλの光を分離し１測光できる。第２
図は本発明の詳細な説明図である。第２図において、（
’１〜α、は入射光の１次回折スペクトルで龜１〜ａ８
１は入射光の２次回折スペクトルを示す。従来の装置構
成では１次光のみを測定しているため２００〜８００
ｎｍの範囲を走査するためＫａｉｎθ軸上で＄１”−２
３の範囲を走査する必要があった。しかし本発明忙よれ
ばｚ２〜ｚ３の範囲を走査すればよいので、高速走査が
可能である。また分解能は、 で示される。本発明では２００〜４００７Ｌ？Ｆ＋、の
範囲は情＝２を使用するので、△Ｖ２は従来に比べ径に
な９分解能が良い。４００〜８００ ｎｍの範囲は従来
の構成と同一の分解能であるが、一般の光源では４００
ｎｔｎ以上のスペクトルは単純であるため高分解能は
必要とされない。
度θで回折し、凹面鏡４で集光され出射スリット５から
光電検出器８ａまたは８ｂから取り出される。前記回折
方程式において、ｍ＝１のときλの光が出射スリット５
に取り出されるが同時にｍ ＝ ２とすれば波長Ａλの
光も出射スリット５に取シ出される。本発明では、前記
λと捧λの光を制御装置９で制御される平面鏡６に・よ
シ、歿λの光を４００ ｎｍ以下に感度を持つ光電検出
器８ｂで検出し、λの光のうち４００ ｎｍ、以下の光
をフィルター７でカットして光電検出器８αで検出する
こと釦よυλ−とＷλの光を分離し１測光できる。第２
図は本発明の詳細な説明図である。第２図において、（
’１〜α、は入射光の１次回折スペクトルで龜１〜ａ８
１は入射光の２次回折スペクトルを示す。従来の装置構
成では１次光のみを測定しているため２００〜８００
ｎｍの範囲を走査するためＫａｉｎθ軸上で＄１”−２
３の範囲を走査する必要があった。しかし本発明忙よれ
ばｚ２〜ｚ３の範囲を走査すればよいので、高速走査が
可能である。また分解能は、 で示される。本発明では２００〜４００７Ｌ？Ｆ＋、の
範囲は情＝２を使用するので、△Ｖ２は従来に比べ径に
な９分解能が良い。４００〜８００ ｎｍの範囲は従来
の構成と同一の分解能であるが、一般の光源では４００
ｎｔｎ以上のスペクトルは単純であるため高分解能は
必要とされない。
本発明によるモノクロメータは以上のような構成と作用
を備えているため、高速で走査できると共に高分解能の
モノクロメータを実現することができる。
を備えているため、高速で走査できると共に高分解能の
モノクロメータを実現することができる。
第１図は本発明の構成を示す図で第２図は測定法の説明
図である。 １は入射スリット ２は凹面鏡 ３は回折格子 ４は凹面鏡 ５は出射スリット ６は平面鏡 ７はフィルター ８α、８６は光電検出器 ９は制御装置 ＩＯはモーターである。 以 上 出願人 株式会社第二精工舎
図である。 １は入射スリット ２は凹面鏡 ３は回折格子 ４は凹面鏡 ５は出射スリット ６は平面鏡 ７はフィルター ８α、８６は光電検出器 ９は制御装置 ＩＯはモーターである。 以 上 出願人 株式会社第二精工舎
Claims (1)
- 入射スリットと、この入射スリットから入った光を分光
する回折格子と、前記回折格子を回転する制御機構及び
、前記回折格子で分光された光を検出する出射スリット
と光検出器とを有し、この光検出器で測光する光の波長
をあらかじめプログラムした複数個の波長を遂次測定す
るようにした装置において、前記回折格子は４００ｎｍ
ｒ〜８００需にブレーズ波長を持った構成とすると共に
、第１、第２の光検出器を設け、第１の光検出器は４０
０協以下の波長では前記回折格子の２次光を検出し、４
００ｎｍ以上の波長では１次光を検出し４Ｑ Ｑ ｎｍ
以下に感度を持つ構成とし、第２の光検出器は４００
ｎｍ以上に感度を持つように構成したことを特徴とした
モノクロメータ−０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9418682A JPS58210527A (ja) | 1982-06-01 | 1982-06-01 | モノクロメ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9418682A JPS58210527A (ja) | 1982-06-01 | 1982-06-01 | モノクロメ−タ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58210527A true JPS58210527A (ja) | 1983-12-07 |
Family
ID=14103276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9418682A Pending JPS58210527A (ja) | 1982-06-01 | 1982-06-01 | モノクロメ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58210527A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010054357A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Anritsu Corp | 光スペクトルモニタ |
| CN106969843A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-07-21 | 上海理工大学 | 激光器波长检测方法 |
| JP2018100830A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 横河電機株式会社 | 光スペクトル測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5336285A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-04 | Ibm | Spectrometer |
| JPS5536361B2 (ja) * | 1971-10-04 | 1980-09-20 |
-
1982
- 1982-06-01 JP JP9418682A patent/JPS58210527A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5536361B2 (ja) * | 1971-10-04 | 1980-09-20 | ||
| JPS5336285A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-04 | Ibm | Spectrometer |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010054357A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Anritsu Corp | 光スペクトルモニタ |
| JP2018100830A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 横河電機株式会社 | 光スペクトル測定装置 |
| CN106969843A (zh) * | 2017-02-28 | 2017-07-21 | 上海理工大学 | 激光器波长检测方法 |
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