JPS582100A - 印刷配線基板の製造方法 - Google Patents
印刷配線基板の製造方法Info
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- JPS582100A JPS582100A JP9829681A JP9829681A JPS582100A JP S582100 A JPS582100 A JP S582100A JP 9829681 A JP9829681 A JP 9829681A JP 9829681 A JP9829681 A JP 9829681A JP S582100 A JPS582100 A JP S582100A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は印刷配線基板の製造方法に関し、詳しくは、平
坦な板部材よシ成る基板の表裏面上に回路配線/?ター
ンが高密度に配線でき得る改良された印刷配線基板の製
造方法に関するものである。
坦な板部材よシ成る基板の表裏面上に回路配線/?ター
ンが高密度に配線でき得る改良された印刷配線基板の製
造方法に関するものである。
絶縁性材料より成る板部材の平坦な面上に回路配線・母
ターンを形成した印刷配線基板は、半導体集積回路装置
に代表される小型電子部品を実装する為に、その外部リ
ードを挿入する孔が前記板部材を貫通して形成される。
ターンを形成した印刷配線基板は、半導体集積回路装置
に代表される小型電子部品を実装する為に、その外部リ
ードを挿入する孔が前記板部材を貫通して形成される。
又、前記孔は、その内部に於て小型電子部品の外部リー
ドと電気的接続を得るために、或は回路配線・ぐターン
相互の電気的接続を得るために第1図A乃至Fに示す工
程によって製造されている。即ち、第1図A乃至Fは従
来の印刷配線基板の製造方法を示す各工程断面図であり
、第2図A乃至Fはその平面図である。
ドと電気的接続を得るために、或は回路配線・ぐターン
相互の電気的接続を得るために第1図A乃至Fに示す工
程によって製造されている。即ち、第1図A乃至Fは従
来の印刷配線基板の製造方法を示す各工程断面図であり
、第2図A乃至Fはその平面図である。
まずAに示す様に両面に銅箔1が被着された平坦な板部
材2に、該板部材2を貫通する複数の小孔3を形成する
。該小孔3は、図示しない半導体集積回路装置の外部リ
ードを実装する為の孔であれば直径はぼ1.0諺φ程度
であル、外部リードが実装されない孔であればその直径
は約半分程度である。これらの孔3は、例えばドリル等
によって形成される。次にBに示すようにこれらの小孔
3の内壁4には、無電解メッキ層5が形成され前記板部
材20両面に形成された銅箔l相ELを電気的に短絡さ
せた後、Cに示すように感光性ドライフィルム6を被着
させ更にフォトマスク7を重ね合せて露光・現像し、D
に示すように回路配線ノeターン以外の前記無電解メッ
キ層5上に前記ドライフィルム6を残存させる。次にE
に示す様に電気メツキ法により電気メツキ層8を前記小
孔3の内壁4及びこれに連ながる板部材2の表面部分8
a。
材2に、該板部材2を貫通する複数の小孔3を形成する
。該小孔3は、図示しない半導体集積回路装置の外部リ
ードを実装する為の孔であれば直径はぼ1.0諺φ程度
であル、外部リードが実装されない孔であればその直径
は約半分程度である。これらの孔3は、例えばドリル等
によって形成される。次にBに示すようにこれらの小孔
3の内壁4には、無電解メッキ層5が形成され前記板部
材20両面に形成された銅箔l相ELを電気的に短絡さ
せた後、Cに示すように感光性ドライフィルム6を被着
させ更にフォトマスク7を重ね合せて露光・現像し、D
に示すように回路配線ノeターン以外の前記無電解メッ
キ層5上に前記ドライフィルム6を残存させる。次にE
に示す様に電気メツキ法により電気メツキ層8を前記小
孔3の内壁4及びこれに連ながる板部材2の表面部分8
a。
8bと更に前記ドライフィルム6でマスクされていない
前記小孔3,3間の表面部分8c、8dに形成する。こ
の電気メッキ層8は銅及び半田を続けて被着させた後、
Fに示すように前記残存したフォト寸スク6及び該フォ
トマスク6Fの無電解−メッキ層5と銅箔1とを除去し
て完成する。
前記小孔3,3間の表面部分8c、8dに形成する。こ
の電気メッキ層8は銅及び半田を続けて被着させた後、
Fに示すように前記残存したフォト寸スク6及び該フォ
トマスク6Fの無電解−メッキ層5と銅箔1とを除去し
て完成する。
さてこの様にして製造された従来の印刷配線板は、前記
小孔3の周囲に形成さ゛れた該小孔3の内壁4に連なる
表面部分、!la、、!1b(一般にランド或は座と呼
ばれ、以下ランドと:称す)を有するため、このランド
8a、8bが、前記小孔3,3間の回路配線ス被−7を
圧迫し、回路配線引き廻し数を著しく制限する。
小孔3の周囲に形成さ゛れた該小孔3の内壁4に連なる
表面部分、!la、、!1b(一般にランド或は座と呼
ばれ、以下ランドと:称す)を有するため、このランド
8a、8bが、前記小孔3,3間の回路配線ス被−7を
圧迫し、回路配線引き廻し数を著しく制限する。
〜周知の様に、この種印刷配線基板に於ける回路配線は
、線巾が狭くなると製造不良率が上昇し、又線間の距離
を狭くすると後に行われるメッキ被着工程で、プリツノ
による回路の短絡を引き起す。
、線巾が狭くなると製造不良率が上昇し、又線間の距離
を狭くすると後に行われるメッキ被着工程で、プリツノ
による回路の短絡を引き起す。
つまり線巾と線相互間の距離はある定められた寸法以上
に狭くすると製造上極めて作りにくくなる傾向を示すも
のである。
に狭くすると製造上極めて作りにくくなる傾向を示すも
のである。
又、この種印刷配線基板に実装される小型電子部品、特
に半導体集積回路装置は、近年急速に高集積化が図られ
、外部リードの数の増加に伴う回路配線数の増加はもと
より、フラットパッケージ型半導体集積回路装置の出現
によシ、方形のデバイスの四方から突出した外部リード
は、そのリード間ピッチが0.005インチ(1,27
++IIn)以下と極めて狭く、デュアル・イン・ライ
ン(dual in 1ine)・やッケージ型半導体
集積回路装置の外部リード間ピッチ0.01インチ(2
,5’4訪)の天に1/2以下であり、このフラットイ
ぐッケージ型半導体集積回路装置を実装する□”9−7
−ノに゛小孔及び配線・・ぐターンを形成r来ない様相
を呈している。
に半導体集積回路装置は、近年急速に高集積化が図られ
、外部リードの数の増加に伴う回路配線数の増加はもと
より、フラットパッケージ型半導体集積回路装置の出現
によシ、方形のデバイスの四方から突出した外部リード
は、そのリード間ピッチが0.005インチ(1,27
++IIn)以下と極めて狭く、デュアル・イン・ライ
ン(dual in 1ine)・やッケージ型半導体
集積回路装置の外部リード間ピッチ0.01インチ(2
,5’4訪)の天に1/2以下であり、このフラットイ
ぐッケージ型半導体集積回路装置を実装する□”9−7
−ノに゛小孔及び配線・・ぐターンを形成r来ない様相
を呈している。
斜上 様に小孔の周囲にランドを有する印刷配線Uメは
、回路配線引き廻し数の増加を吸収する一方法として多
層化がある。この多層印刷配線法は、両面印刷配線基板
を製造した後に絶縁性接着剤で張り合せ為ことによシ実
現できるが、これは単に過密化した回路配線・母ターン
を他の配線面へ移したのみであり、−主表面当りの配線
密度は依然として変らす又、高価でもある。
、回路配線引き廻し数の増加を吸収する一方法として多
層化がある。この多層印刷配線法は、両面印刷配線基板
を製造した後に絶縁性接着剤で張り合せ為ことによシ実
現できるが、これは単に過密化した回路配線・母ターン
を他の配線面へ移したのみであり、−主表面当りの配線
密度は依然として変らす又、高価でもある。
従って本発明は一主表面当りの配線密度を向上させる印
刷配線基板の製造方法を得ることを目的とするものであ
る。以下本発明の製造方法を好ま、しい−実施例図に従
って詳細に説明する。
刷配線基板の製造方法を得ることを目的とするものであ
る。以下本発明の製造方法を好ま、しい−実施例図に従
って詳細に説明する。
第3図A乃至Fは本発明の一実施例方法によって製造さ
れる印刷配線板の各工程断面図であり、第4図A乃至F
はその平面図である。
れる印刷配線板の各工程断面図であり、第4図A乃至F
はその平面図である。
まずAに示す様に両面に銅箔1oが被着されたガラスエ
ポキシ樹脂等の絶縁性材料より成る平坦な板部側11に
、該板部材1ノを貫通する小孔12a、12bを形成す
る。小孔12a、ノ2b(5) は図示しない半導体集積回路装置の外部リードが実装さ
れる孔で、例えば0.9ないし]、 Otaφの直径を
もつ。又、前記半導体集積回路装置の外部リードが実施
されず専ら回路配線相互を接続するために前記直径の半
分以下の径をもつパイヤホール(VIA HOLE)と
称される小孔も同時に形成されることもある。これらの
小孔12a 、 l 2 bはドリルによって形成され
る。次にBに示すように前記小孔12a、12bの内壁
13a、13bに無電解メッキ法によって無電解メッキ
層14を30ミクロ?・ないし50ミクロン程度被着す
る。次にCに示す様に感光性ドライフィルム15を被着
した後露光用マスク16?:重ね合せ露光・現像する。
ポキシ樹脂等の絶縁性材料より成る平坦な板部側11に
、該板部材1ノを貫通する小孔12a、12bを形成す
る。小孔12a、ノ2b(5) は図示しない半導体集積回路装置の外部リードが実装さ
れる孔で、例えば0.9ないし]、 Otaφの直径を
もつ。又、前記半導体集積回路装置の外部リードが実施
されず専ら回路配線相互を接続するために前記直径の半
分以下の径をもつパイヤホール(VIA HOLE)と
称される小孔も同時に形成されることもある。これらの
小孔12a 、 l 2 bはドリルによって形成され
る。次にBに示すように前記小孔12a、12bの内壁
13a、13bに無電解メッキ法によって無電解メッキ
層14を30ミクロ?・ないし50ミクロン程度被着す
る。次にCに示す様に感光性ドライフィルム15を被着
した後露光用マスク16?:重ね合せ露光・現像する。
次にDに示す様に未重合部分の前記感光性ドライフィル
ム15f除去して、電解メッキ用のドライフィルムマス
ク17を形成する。このドライフィルムマスク17は、
次工程での電気メツキ法による前記小孔12t1.12
bの内壁13a、13bに電気メツキ層18を形成する
に際し、この内壁131L、、13bに形成される電気
メツキ層18が(6) 前記板部材1ノの少なくとも一方の表面11a。
ム15f除去して、電解メッキ用のドライフィルムマス
ク17を形成する。このドライフィルムマスク17は、
次工程での電気メツキ法による前記小孔12t1.12
bの内壁13a、13bに電気メツキ層18を形成する
に際し、この内壁131L、、13bに形成される電気
メツキ層18が(6) 前記板部材1ノの少なくとも一方の表面11a。
11b(実施例に於ては両表面)とはttf同一平面で
終端する様に前記小孔12a、12bの表面部分の周囲
に残存させることが肝要である。従って前述したCの工
程に示す露光用マスク16は前言己小孔12a、12b
の直径と同じか若しくはそれ以下の直径を有する光不透
過部分16a、16bと、上部回路配線・ぐターンを成
す光不透過部3分16c、16dと、下部回路配線ie
ターンを成す光不透過部分16eとを有するネガティブ
マスクである。次にEに示す様にドライフィルムマスク
17で覆われない前記板部材11の表面に電解メッキ層
18を形成する。この電解メッキ層18は−・般に銅を
メッキした後半田メッキを行なわれ本天施例もこれに従
って二重にメッキを行なった。
終端する様に前記小孔12a、12bの表面部分の周囲
に残存させることが肝要である。従って前述したCの工
程に示す露光用マスク16は前言己小孔12a、12b
の直径と同じか若しくはそれ以下の直径を有する光不透
過部分16a、16bと、上部回路配線・ぐターンを成
す光不透過部3分16c、16dと、下部回路配線ie
ターンを成す光不透過部分16eとを有するネガティブ
マスクである。次にEに示す様にドライフィルムマスク
17で覆われない前記板部材11の表面に電解メッキ層
18を形成する。この電解メッキ層18は−・般に銅を
メッキした後半田メッキを行なわれ本天施例もこれに従
って二重にメッキを行なった。
この結果、平坦な板部材1ノの衣面上によ・音μ回1烙
配線・リーン18a、18bと、下部回1烙西己線・ぐ
ターン18Cが、そして前記小孔1’2a、12bの内
壁13a、13bには導電路lad 、18eが形成さ
れる。そしてFに示すように前記ドライフィルムマスク
17をマスクとして、前記板部材11上の銅箔10及び
無電解メッキ層14を除去して完成させた。
配線・リーン18a、18bと、下部回1烙西己線・ぐ
ターン18Cが、そして前記小孔1’2a、12bの内
壁13a、13bには導電路lad 、18eが形成さ
れる。そしてFに示すように前記ドライフィルムマスク
17をマスクとして、前記板部材11上の銅箔10及び
無電解メッキ層14を除去して完成させた。
係る製法によって製造された本発明の印刷配線基板は第
1図及び第2図に示した従来のそれと図面上だけで比較
しても歴然なように作図上ではあるが上部回路配線密度
が2倍となる。従って同じようなパターンを両面に印刷
すれば4倍の配線引き廻しができることが理解できよう
。
1図及び第2図に示した従来のそれと図面上だけで比較
しても歴然なように作図上ではあるが上部回路配線密度
が2倍となる。従って同じようなパターンを両面に印刷
すれば4倍の配線引き廻しができることが理解できよう
。
次に本発明の製造方法による利益を実例をもって説明す
る。第5図は本発明の製造方法を採用して印刷配線基板
を設計する際にどの程度の配線密度で引き廻しが可能で
あ、るかを説明するための説明図である。そしてこの説
明図では14ビンのデュアル・イン・ライン(dual
in 1ine )ノ4.);r−ジ型半導体集積回
路装置を実装するための小孔間のスペースに何本の配線
が引き廻せるかの例図である。同第5図に於て、前記図
示しないデュアル・イン・ライン・・千ツケーソ型半導
体集積回路装置は片側に7つの外部リードを有するから
1列7個の小孔が2列に配置されるものであるが作図−
ヒ、片側でしかも2つの小孔のみに限って描いである。
る。第5図は本発明の製造方法を採用して印刷配線基板
を設計する際にどの程度の配線密度で引き廻しが可能で
あ、るかを説明するための説明図である。そしてこの説
明図では14ビンのデュアル・イン・ライン(dual
in 1ine )ノ4.);r−ジ型半導体集積回
路装置を実装するための小孔間のスペースに何本の配線
が引き廻せるかの例図である。同第5図に於て、前記図
示しないデュアル・イン・ライン・・千ツケーソ型半導
体集積回路装置は片側に7つの外部リードを有するから
1列7個の小孔が2列に配置されるものであるが作図−
ヒ、片側でしかも2つの小孔のみに限って描いである。
この2つi−(ルーホールのピッチ■は、この種半導体
集積回路装置の外部リードの標準リードピッチである0
1インチ(2,54mm)ピッチで、はぼ08陥φの中
空部1oo6有するように形成されている。又、小孔1
10の内壁に円柱状で且つ板部材表面120とほぼ同一
平面で終端する導電路130は0.03〜0.05Tm
nの厚みで形成されるから前記小孔110の直径は0.
9祁φ程度である。従って記号Wで示される回路配線・
ぐターン形成ス被−スii、1.64+mnである。こ
のス啄−スに何本の線を通すことができるかを計算して
みると、線相互の間隔Xは現在0.13〜0.15+m
nミニマムと言われているから線巾Yを0.1mmミニ
マムとすると、線相互の間隔Xが0.13+smであれ
ば6本の線が通せ、前記間隔Xが0.15+sであれば
5本の線が通せることになる。
集積回路装置の外部リードの標準リードピッチである0
1インチ(2,54mm)ピッチで、はぼ08陥φの中
空部1oo6有するように形成されている。又、小孔1
10の内壁に円柱状で且つ板部材表面120とほぼ同一
平面で終端する導電路130は0.03〜0.05Tm
nの厚みで形成されるから前記小孔110の直径は0.
9祁φ程度である。従って記号Wで示される回路配線・
ぐターン形成ス被−スii、1.64+mnである。こ
のス啄−スに何本の線を通すことができるかを計算して
みると、線相互の間隔Xは現在0.13〜0.15+m
nミニマムと言われているから線巾Yを0.1mmミニ
マムとすると、線相互の間隔Xが0.13+smであれ
ば6本の線が通せ、前記間隔Xが0.15+sであれば
5本の線が通せることになる。
一方同第5図に想像線で示すランドを有する従来の印刷
配線基板に於ては、前記ランドが0.25m(9) 程度であるから配線ス被−ス2は、1.14mと05=
も減ってし゛まい、線相互の間隔Xが0.13mであれ
ば4本通せるが、0.15mmであれば3本しか通せな
い。これらの計算はフォ) IJソグラフィによるマス
クズレを全く考慮しない理論値であり実際は、従来のも
ので3本通すのが限界であるが、本発明によれば4本は
楽に通せ、5本も可能である。
配線基板に於ては、前記ランドが0.25m(9) 程度であるから配線ス被−ス2は、1.14mと05=
も減ってし゛まい、線相互の間隔Xが0.13mであれ
ば4本通せるが、0.15mmであれば3本しか通せな
い。これらの計算はフォ) IJソグラフィによるマス
クズレを全く考慮しない理論値であり実際は、従来のも
ので3本通すのが限界であるが、本発明によれば4本は
楽に通せ、5本も可能である。
以上詳細に一説明した様に本発明の製造方法によれば1
.板部材を貫通して形成された複数の小孔の内壁に形成
する導電性物質よシ成る導電路を、前記板部材の少なく
とも一方の表面とほぼ同一平面で終端するように製造す
る事により、平坦な板部材表面での回路配線パターン密
度が極めて高密度に描くことができる。又、従来と同一
密度に回路配線、41ターンを描けば、回路配線の線巾
及び隣接する線相互の間隔の両方を約15倍広げること
ができるので、製造過程での断線事故は殆んど無くなる
。加えて、半田メッキ等の工程で生じ易いブ゛す、ツヤ
、フォトリソ工程で生じやすいパターン(10) 残りによる線間シュートが極めて発生しにくくなる。更
に本発明方法のもう1つの利益は、小孔内壁にのみ電気
メツキ層を形成し得るように前記小孔の板部材表面周囲
をマスキングして電気メッキを行うため、小孔内壁に電
解が集中し、小孔内壁部に厚いメッキ層が比較的短時間
で形成できる等この種印刷配線基板に用いて極めて有益
でちる。
.板部材を貫通して形成された複数の小孔の内壁に形成
する導電性物質よシ成る導電路を、前記板部材の少なく
とも一方の表面とほぼ同一平面で終端するように製造す
る事により、平坦な板部材表面での回路配線パターン密
度が極めて高密度に描くことができる。又、従来と同一
密度に回路配線、41ターンを描けば、回路配線の線巾
及び隣接する線相互の間隔の両方を約15倍広げること
ができるので、製造過程での断線事故は殆んど無くなる
。加えて、半田メッキ等の工程で生じ易いブ゛す、ツヤ
、フォトリソ工程で生じやすいパターン(10) 残りによる線間シュートが極めて発生しにくくなる。更
に本発明方法のもう1つの利益は、小孔内壁にのみ電気
メツキ層を形成し得るように前記小孔の板部材表面周囲
をマスキングして電気メッキを行うため、小孔内壁に電
解が集中し、小孔内壁部に厚いメッキ層が比較的短時間
で形成できる等この種印刷配線基板に用いて極めて有益
でちる。
第1図及び第2図は従来の印刷配線基板の製造方法を示
す工程断面図と平面図である。第:3図及び第4図は本
発明の印刷配線基板の製造方法を示す一実施例工程断面
図、及びその平面図である。 第5図は本発明の製造方法の効果を説明するための説明
図である。 10・・・銅箔、1ノ・・・板部材、12a、12b・
・小孔、13 a 、 1 、? b・・・内壁、14
・・・無電解メッキ層、15・・・ドライフィルム、ノ
ロ・・・露光用マスク、17・・・ドライフィルムマス
ク、18・・・電気メ“、( ツキ層、18La 、18b・・・土部回路配線・母タ
ーン、18c・・・下部回路配線)9ターン、18d、
18e・・・特許出願人 沖電気工業株式会社 −45( 第2図 第3図 第4図
す工程断面図と平面図である。第:3図及び第4図は本
発明の印刷配線基板の製造方法を示す一実施例工程断面
図、及びその平面図である。 第5図は本発明の製造方法の効果を説明するための説明
図である。 10・・・銅箔、1ノ・・・板部材、12a、12b・
・小孔、13 a 、 1 、? b・・・内壁、14
・・・無電解メッキ層、15・・・ドライフィルム、ノ
ロ・・・露光用マスク、17・・・ドライフィルムマス
ク、18・・・電気メ“、( ツキ層、18La 、18b・・・土部回路配線・母タ
ーン、18c・・・下部回路配線)9ターン、18d、
18e・・・特許出願人 沖電気工業株式会社 −45( 第2図 第3図 第4図
Claims (1)
- (1)両面に銅箔が形成された絶縁材料より成る平坦な
板部材に該板部材を貫通する複数の小孔を形成する工程
と、前記小孔の内壁に無電解メッキ層を形成する工程と
、前記小孔の内壁に電気メツキ層を形成する工程を含む
印刷配線基板の製造方法に於て、前記小孔の内壁に電気
メツキ層を形成するに際し、該電気メツキ層が、前記版
部材の少なくとも一方の表面とほぼ同一平面で終端する
様に、前記小孔に該小孔の直径以下の孔を有するマスク
を合せた後、電気メッキを行う事を特徴とする印刷配線
基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9829681A JPS582100A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 印刷配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9829681A JPS582100A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 印刷配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS582100A true JPS582100A (ja) | 1983-01-07 |
JPS6351399B2 JPS6351399B2 (ja) | 1988-10-13 |
Family
ID=14215950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9829681A Granted JPS582100A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 印刷配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS582100A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52110472A (en) * | 1976-03-11 | 1977-09-16 | Takatsugu Komatsu | Printed circuit substrate |
JPS5355775A (en) * | 1976-10-30 | 1978-05-20 | Hitachi Chemical Co Ltd | Method of producing through hole printed circuit board |
JPS5629389A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-24 | Nippon Electric Co | Printed board |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP9829681A patent/JPS582100A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS5355775A (en) * | 1976-10-30 | 1978-05-20 | Hitachi Chemical Co Ltd | Method of producing through hole printed circuit board |
JPS5629389A (en) * | 1979-08-17 | 1981-03-24 | Nippon Electric Co | Printed board |
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Publication number | Publication date |
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JPS6351399B2 (ja) | 1988-10-13 |
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