JPS58209847A - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents
ガス放電パネルの製造方法Info
- Publication number
- JPS58209847A JPS58209847A JP57092533A JP9253382A JPS58209847A JP S58209847 A JPS58209847 A JP S58209847A JP 57092533 A JP57092533 A JP 57092533A JP 9253382 A JP9253382 A JP 9253382A JP S58209847 A JPS58209847 A JP S58209847A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- discharge
- electrode
- display
- gas discharge
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は交流面放電型のガス放電パネルの製造方法に関
するものである。
するものである。
技術の背景
ガラス基板上に、該ガラス基板表面に重ねて形成された
電極、絶縁層、および保護層を覆う密封（１） 空間を形成してカバーガラスを封着し、該密封空間内に
放電ガスを封入してなる交流面放電型ガス放電パネルが
近時広く用いられている。
電極、絶縁層、および保護層を覆う密封（１） 空間を形成してカバーガラスを封着し、該密封空間内に
放電ガスを封入してなる交流面放電型ガス放電パネルが
近時広く用いられている。
この種のガス放電パネルでは、電極エツジ部分に放電が
集中するために、放電集中部分での保護層が劣化し、短
寿命となり、しかも動作マージンが小さく表示品質も低
下する。
集中するために、放電集中部分での保護層が劣化し、短
寿命となり、しかも動作マージンが小さく表示品質も低
下する。
従来技術と問題
この問題を解決するため、従来は電極エツジ部分の絶縁
層にフロート電極を形成する方式、あるいは電極エツジ
上の絶縁層が厚くなるように印刷またはエツチングによ
りパターニングする方式が採用されているが、いずれの
方式も工程が複雑となり、かつ放電集中の軽減が不充分
である。
層にフロート電極を形成する方式、あるいは電極エツジ
上の絶縁層が厚くなるように印刷またはエツチングによ
りパターニングする方式が採用されているが、いずれの
方式も工程が複雑となり、かつ放電集中の軽減が不充分
である。
発明の目的
本発明は上述の問題を解決するためのもので、放電集中
の軽減を図ることができしがも製造が容易なガス放電パ
ネルの製造方法を提供することを目的としている。
の軽減を図ることができしがも製造が容易なガス放電パ
ネルの製造方法を提供することを目的としている。
発明の構成
（２）
本発明では、上述の目的を達成するため、ガラス基板上
に電極を形成した後に１表示電極間に交流電圧を印加し
、陽極酸化法により、電界の集中する部分に他の部分よ
り厚く酸化絶縁膜を形成するものである。
に電極を形成した後に１表示電極間に交流電圧を印加し
、陽極酸化法により、電界の集中する部分に他の部分よ
り厚く酸化絶縁膜を形成するものである。
発明の実施例
以下、図面に関連して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明を適用したガス放電パネルの構造を示す
横断面図で、図中、１はガラス基板、２はシールガラス
、３はガラスカバーである。
横断面図で、図中、１はガラス基板、２はシールガラス
、３はガラスカバーである。
ガラス基板１の表面には、電極４，５．絶縁層６、保護
ｊ−７が順次形成されており、ガラスカバー３は、ガラ
ス基板１の周辺部上に固定されたシールガラス２を介し
ガラス基板１の上方に取り付けられて保護層７を覆って
いる。シールガラス２、ガラスカバー３により形成され
た密封空間８内には放電ガスが封入されている。
ｊ−７が順次形成されており、ガラスカバー３は、ガラ
ス基板１の周辺部上に固定されたシールガラス２を介し
ガラス基板１の上方に取り付けられて保護層７を覆って
いる。シールガラス２、ガラスカバー３により形成され
た密封空間８内には放電ガスが封入されている。
このような構成のガス放電パネルの表示電極４．５間Ｃ
＝交流電圧を印加すると、両電極間直二第１（３） 図に魚群で示すようにガス放電９が起り、放電ガスが例
えばＨｅ −Ｘｅ混合ガスの場合、ネオンオレンジに発
光する。従って、ガラスカバー３を通して情報表示が行
われる。この場合の放電強度分布は、電極形成後Ｃ二表
示電極間に交流電圧を印加したときの電界強度分布（二
はぼ比例する。
＝交流電圧を印加すると、両電極間直二第１（３） 図に魚群で示すようにガス放電９が起り、放電ガスが例
えばＨｅ −Ｘｅ混合ガスの場合、ネオンオレンジに発
光する。従って、ガラスカバー３を通して情報表示が行
われる。この場合の放電強度分布は、電極形成後Ｃ二表
示電極間に交流電圧を印加したときの電界強度分布（二
はぼ比例する。
本発明は、この原理を利用し、電極パターン形成後に表
示電極４，５間（二交流電圧を印加し陽極酸化を行って
電界が集中する電極エツジ部分に他の部分より厚く酸化
絶縁膜を形成し、これにより放電の集中を補償するもの
である。この陽極酸化により形成される陽極酸化絶縁膜
１０の断面形状詳細を第２図に示す。図示のように、表
示電極４．５の内側エツジ部分に他の部分より厚く酸化
絶縁膜が形成される。従って、この上≦二次≦：形成す
る絶縁層６を均一厚さとしても、陽極酸化絶縁ν、保護
層７も含めて考えた場合、これらが誘電体層として働き
電極の内側はど誘電体層が厚くなるため、電極の内側エ
ツジ近傍の放電集中が軽減され、電極面上で均一に放電
する。その結果、バネ（４） ルの寿命が長くなるとともに、ガラスカバーを通して見
る表示が均一になって表示品質が向上し、動作マージン
も増大する。
示電極４，５間（二交流電圧を印加し陽極酸化を行って
電界が集中する電極エツジ部分に他の部分より厚く酸化
絶縁膜を形成し、これにより放電の集中を補償するもの
である。この陽極酸化により形成される陽極酸化絶縁膜
１０の断面形状詳細を第２図に示す。図示のように、表
示電極４．５の内側エツジ部分に他の部分より厚く酸化
絶縁膜が形成される。従って、この上≦二次≦：形成す
る絶縁層６を均一厚さとしても、陽極酸化絶縁ν、保護
層７も含めて考えた場合、これらが誘電体層として働き
電極の内側はど誘電体層が厚くなるため、電極の内側エ
ツジ近傍の放電集中が軽減され、電極面上で均一に放電
する。その結果、バネ（４） ルの寿命が長くなるとともに、ガラスカバーを通して見
る表示が均一になって表示品質が向上し、動作マージン
も増大する。
上述の陽極酸化法による陽極酸化絶縁膜１０の形成は１
例えば次の手段（＝より行われる。
例えば次の手段（＝より行われる。
すなわち、電極４．５がＡｔ合金で形成される場合、蓚
酸（１〜５％）溶液中で電極４．５の間Ｃ二交流電圧を
印加すると、陽極酸化により陽極酸化絶縁膜１０が形成
される。
酸（１〜５％）溶液中で電極４．５の間Ｃ二交流電圧を
印加すると、陽極酸化により陽極酸化絶縁膜１０が形成
される。
第６図は本発明を適用した他の形式のガス放電パネルの
要部を示すものである。本例の場合は、ガラス基板２１
の表面にＸ方向６＝伸びる複数本の電極２２がすだれ状
に形成され、その上に絶縁層２６が形成され、さらにそ
の上に図の紙面と垂直方向に伸びるＡｔ合金の電極２４
がすだれ状に形成される。この場合も蓚酸溶液中で電極
２２ 、２４に交流電圧を印加することにより、電極２
４の電界集中部分（両エツジ部）に陽極酸化絶縁膜２５
が形成される。これらの各層の上にさらに絶縁層。
要部を示すものである。本例の場合は、ガラス基板２１
の表面にＸ方向６＝伸びる複数本の電極２２がすだれ状
に形成され、その上に絶縁層２６が形成され、さらにそ
の上に図の紙面と垂直方向に伸びるＡｔ合金の電極２４
がすだれ状に形成される。この場合も蓚酸溶液中で電極
２２ 、２４に交流電圧を印加することにより、電極２
４の電界集中部分（両エツジ部）に陽極酸化絶縁膜２５
が形成される。これらの各層の上にさらに絶縁層。
保護層を形成し、ガラスカバーを封着してガス族（５）
電パネルが構成される。
本例の場合は、上述のよう（１上側の電極２４のエツジ
部分に陽極酸化絶縁膜２５を形成して該エツジ部分の誘
電体層を厚くすることにより、前例と同様に放電集中を
防止し、長寿命化１表示品質の向上、動作マージンの増
大を図ることができる。
部分に陽極酸化絶縁膜２５を形成して該エツジ部分の誘
電体層を厚くすることにより、前例と同様に放電集中を
防止し、長寿命化１表示品質の向上、動作マージンの増
大を図ることができる。
なお、下側電極２２の電極２４でカバーされていない部
分は電極が露出していても良い。
分は電極が露出していても良い。
発明の効果
以上述べたように、本発明Ｃ二よれば、次のような各種
の優れた効果を奏することが可能である。
の優れた効果を奏することが可能である。
（１） 表示電極間に交流電圧を印加し、陽極酸化法
により、電界の集中する電極表面部分叫他の部分より厚
く絶縁膜を形成するようになっているため、該部分の誘
電体層が厚くなり、該部分における放電集中を軽減して
電極面上での均一放電が実現できる。
により、電界の集中する電極表面部分叫他の部分より厚
く絶縁膜を形成するようになっているため、該部分の誘
電体層が厚くなり、該部分における放電集中を軽減して
電極面上での均一放電が実現できる。
（２） これに伴って、パネルの長寿命化１表示品質
の向上、および動作マージンの増大を図ることが可能で
ある。
の向上、および動作マージンの増大を図ることが可能で
ある。
（ＡＩ
（３）従来に比し工程が簡申で製造を容易化できる。
図面は本発明に係るガス放電パネルの製造方法の実施例
を示すもので、第１図はガス放電パネルの構造を示す横
断面図、第２図は表示電極に形成された陽極酸化絶縁膜
の詳細を示す横断面図、第６図は他の形式のガス放電パ
ネルの表示電極に形成された陽極酸化絶縁膜の詳細を示
す横断面図である。 図中％１．２１はガラス基板、２はシールガラス、３は
ガラスカバー、４ 、５ 、２２ 、２４は電極、６．
２３は絶縁層、７は保護層、８は密封空間、９はガス放
電、１０．２５は陽極酸化絶縁膜である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉蟲久五部（外３名）（７） 第１図 第２図 第３図 ２９５
を示すもので、第１図はガス放電パネルの構造を示す横
断面図、第２図は表示電極に形成された陽極酸化絶縁膜
の詳細を示す横断面図、第６図は他の形式のガス放電パ
ネルの表示電極に形成された陽極酸化絶縁膜の詳細を示
す横断面図である。 図中％１．２１はガラス基板、２はシールガラス、３は
ガラスカバー、４ 、５ 、２２ 、２４は電極、６．
２３は絶縁層、７は保護層、８は密封空間、９はガス放
電、１０．２５は陽極酸化絶縁膜である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉蟲久五部（外３名）（７） 第１図 第２図 第３図 ２９５
Claims (1)
- ガラス基板上に、該ガラス基板表面Ｃ二重ねて形成され
た電極、絶縁層、保護層を覆う密封空間を形成してカバ
ーガラスを封着し、該密封空間内に放電ガスを封入して
なる交流面放電型ガス放電パネルの製造工程において、
電極形成後に表示電極間（二交流電圧を印加し、陽極酸
化法により、電界の集中する電極表面部分に他の部分よ
り厚く陽極酸化絶縁膜を形成することを特徴とするガス
放電パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57092533A JPS58209847A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | ガス放電パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57092533A JPS58209847A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | ガス放電パネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58209847A true JPS58209847A (ja) | 1983-12-06 |
Family
ID=14056994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57092533A Pending JPS58209847A (ja) | 1982-05-31 | 1982-05-31 | ガス放電パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58209847A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0818799A2 (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-14 | Tektronix, Inc. | Cathode structure for a plasma addressed liquid crystal display panel |
-
1982
- 1982-05-31 JP JP57092533A patent/JPS58209847A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0818799A2 (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-14 | Tektronix, Inc. | Cathode structure for a plasma addressed liquid crystal display panel |
| EP0818799A3 (en) * | 1996-07-12 | 1998-09-23 | Tektronix, Inc. | Cathode structure for a plasma addressed liquid crystal display panel |
| US5897415A (en) * | 1996-07-12 | 1999-04-27 | Tektronix, Inc. | Cathode structure for a plasma addressed liquid crystal display panel |
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