JPH06223725A - 気体放電表示装置 - Google Patents

気体放電表示装置

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JPH06223725A
JPH06223725A JP5029695A JP2969593A JPH06223725A JP H06223725 A JPH06223725 A JP H06223725A JP 5029695 A JP5029695 A JP 5029695A JP 2969593 A JP2969593 A JP 2969593A JP H06223725 A JPH06223725 A JP H06223725A
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JP
Japan
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rib
electrode
anodes
anode
forming
Prior art date
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Pending
Application number
JP5029695A
Other languages
English (en)
Inventor
Tadashi Noro
正 野呂
Hironobu Arimoto
浩延 有本
Takayoshi Nagai
孝佳 永井
Takahito Nakanishi
隆仁 中西
Kazuhisa Henmi
和久 逸見
Takashi Shimotsuma
隆 下妻
Takeshi Oi
健史 大井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 リブの裾広がりを防止し、高精細のリブパタ
ーンを得る。 【構成】 陽極2の形成時に、表面基板1上に形成され
た下地電極6と、該下地電極6上にメッキ工程を繰り返
して形成したリブ形成用電極7とを備え、該リブ形成用
電極7上に電気泳動法によって誘電体8を被覆する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、希ガスのプラズマ放
電時に伴う発光を利用して表示を行うプラズマディスプ
レイパネルなどの気体放電表示装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図8は例えば特開昭62−278728
号公報に示された従来の気体放電表示装置を示す一部の
断面図であり、図において、1は表面基板、2は表面基
板1上に設けられた複数のライン状の陽極、3は背面基
板、4は背面基板3上に設けられたライン状の陰極、5
は放電空間形成リブである。なお、この放電空間形成リ
ブ5を以下、リブという。
【0003】また、背面基板3上に陰極4が複数のライ
ン状に形成され、表面基板1上には陽極2が複数のライ
ン状に形成され、さらに上記陽極間に上記陽極2に対し
て平行する方向にリブ5が複数のライン状に形成されて
いる。
【0004】上記表面基板1上の陽極2およびリブ5の
形成面と上記背面基板3上の陰極4の形成面とが対向
し、陽極2およびリブ5と陰極4とが直交するように上
記2枚の基板を組み合わせて表示素子を形成している。
【0005】また、上記リブ5は上記2枚の基板1,3
間に放電空間を形成するものであり、このリブ5は表面
基板1上にリブペーストを陽極パターンと平行にかつ陽
極2と重なることなく印刷し、焼成することによって形
成されている。
【0006】次に動作について説明する。この気体放電
表示装置では、パルス電圧が印加される陽極2および陰
極4の交差点付近に生じるガス中のプラズマ状態での微
小放電を一画素として、これらの組み合わせで、文字や
図形を表示するように動作する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来の気体放電表示装
置は以上のように構成されているので、リブ5の幅の裾
広がりといった印刷による特有の現象が起こり、これが
高精細のリブパターンの形成を困難にするなどの問題点
があった。
【0008】請求項1の発明は上記のような問題点を解
消するためになされたもので、高精細のリブパターンを
容易に形成できる気体放電表示装置を得ることを目的と
する。
【0009】請求項2の発明はリブ表面の蛍光体により
明るい表示を行うことができる気体放電表示装置を得る
ことを目的とする。
【0010】請求項3の発明は陽極表面の蛍光体によっ
て透過表示を行うことができるとともに、リブ形成用電
極上に形成された蛍光体により、より明るい透過表示を
行うことができる気体放電表示装置を得ることを目的と
する。
【0011】請求項4の発明は陽極表面の蛍光体によっ
て明るい反射表示を行うことができるとともに、リブ形
成用電極上に形成された蛍光体により、より明るい反射
表示を行うことができる気体放電表示装置を得ることを
目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る気
体放電表示装置は、陽極の形成時に表面基板上に形成さ
れた下地電極と、該下地電極上にメッキ工程を繰り返し
て形成したリブ形成電極とを備え、該リブ形成用電極上
に電気泳動法によって誘電体を被覆したものである。
【0013】請求項2の発明に係る気体放電表示装置
は、リブ形成用電極上に電気泳動法によって電気的に絶
縁特性を持つ蛍光体を被覆したものである。
【0014】請求項3の発明に係る気体放電表示装置
は、リブ形成用電極上に誘電体又は蛍光体を電気泳動法
にて被覆し、さらに陽極上に電気泳動法によって蛍光体
を被覆したものである。
【0015】請求項4の発明に係る気体放電表示装置
は、リブ形成用電極上に誘電体又は蛍光体を電気泳動法
にて被覆し、さらに陽極上に電気泳動法によって蛍光体
を被覆したものである。
【0016】
【作用】請求項1の発明における気体放電表示装置は、
下地電極上にメッキの繰り返しによりリブ形成用電極が
形成され、これの上に誘電体が被覆されるため、リブ幅
の裾広がりを生じさせず、リブパターンの高精度化およ
び表示の明るさの均等化を図れるようにする。
【0017】請求項2の発明における気体放電表示装置
は、リブ形成用電極上の蛍光体によって明るい表示を可
能にする。
【0018】請求項3の発明における気体放電表示装置
は、陽極上の蛍光体によって明るい透過表示を行え、か
つ、リブ表面に蛍光体を被覆した場合は、その発光が加
わることにより、より明るい表示が行えるようにする。
【0019】請求項4の発明における気体放電表示装置
は、陽極上の蛍光体によって明るい反射表示を行え、か
つ、リブ表面に蛍光体を被覆した場合は、その発光が加
わることにより、より明るい表示が行えるようにする。
【0020】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1において、1は表面基板、2はライン状の陽
極、3は背面基板、4はライン状の陰極、5はライン上
のリブ、6は陽極2とともに表面基板1に設けられた電
極、7はメッキにより形成されたリブ形成用電極、8は
リブ形成用電極に被覆された誘電体である。
【0021】次に動作について説明する。まず、従来と
同様に、表面基板1上に複数のラインの陽極2を形成す
るとともに、上記表面基板1上にできた陽極2間スペー
スに、陽極2と重なることなく、かつこれらの陽極2と
平行な方向にリブ形成用電極7用の下地電極6を形成す
る。
【0022】例えば、表面基板1上に全面陽極材料がつ
いている面の上にレジストをのせ、次に、上記レジスト
上に陽極2および下地電極6のパターンマスクをのせ、
露光した後現像する。この工程で、表面基板1上に陽極
2および下地電極6のレジストパターンが形成される。
【0023】さらに、この形成されたレジストパターン
をエッチングし、レジスト剥離を行うことによって、表
面基板1上に陽極2および下地電極6が形成される。そ
して、下地電極6の形成後、下地電極6だけが高さ方向
に成長するように、電極形成面にメッキ工程を数回繰り
返し、リブ形成用電極7を形成する。
【0024】次に、上記メッキ工程を数回繰り返し、所
定の高さとなった上記リブ形成用電極7を、誘電体8が
分散している溶液に浸し、上記リブ形成用電極7を電気
泳動法を用いて、誘電体8で被覆する。
【0025】例えば、図2に示すように、懸濁液10に
分散させた誘電体8の粒子に電解質の正イオンが吸着す
ると、誘電体8は正の電荷を帯びる。電源11を通じて
形成用電極7に負電位,電極12に正電位を印加する
と、リブ形成用電極7と電極12との間に電場が生じ、
この静電力によって正に帯電した誘電体8粒子が、負電
位のリブ形成用電極7へ移動し、積層する。
【0026】このようにし、粒子を十分に積層させた
後、リブ形成用電極7に負電位,電極12に正電位を印
加するのをやめ、懸濁液10から電極12およびリブ形
成用電極7を取り出し、十分乾燥させて、リブ5を形成
する。
【0027】実施例2.なお、上記実施例ではリブ形成
用電極7上に誘電体8をつけた場合を示したが、図3に
示すように上記誘電体8の他にリブ形成用電極7上に電
気的に絶縁特性を持つ蛍光体9をつけてもよい。この場
合のリブの形成方法は、上記実施例と同様に、表面基板
1上の陽極間スペースに陽極2と重なることなく平行と
なる方向にリブ形成用電極7用の下地電極6を形成す
る。
【0028】そして、この下地電極6の形成後、下地電
極6だけが高さ方向のみに成長するように電極形成面に
メッキ工程を数回繰り返し、リブ形成用電極7を形成す
る。
【0029】次に、このようなメッキ工程を数回繰り返
し、所定の高さとなった上記リブ形成用電極7を蛍光体
9が分散している懸濁液に浸し、電気泳動法を用いてリ
ブ形成用電極7の表面上に蛍光体9を塗布する。これに
より、蛍光体塗布面積を大きくすることができ、明るい
表示が行える。
【0030】実施例3.さらに、上記各実施例で形成し
たリブ5は、陽極2上に蛍光体を塗布して表示を行う透
過型または反射型の気体放電表示装置にも用いることが
できる。まず、透過型の場合を説明すると、まず、表面
基板1上に図1の実施例で述べた方法によってリブ5を
形成し、その後電気泳動法で蛍光体9を陽極2上に塗布
する。これにより、透過表示を明るいものとすることが
できる。図4はこのように形成した透過型の気体放電表
示装置の断面図を示す。
【0031】実施例4.また、陽極2上に蛍光体を塗布
して行う透過型の気体放電表示装置の他の実施例を、図
5に示す。これは、図3の実施例で述べた方法によって
リブ5を形成し、その後、電気泳動法で蛍光体9を陽極
2及びリブ5上に塗布したものである。これにより、透
過表示を明るいものとすることができる。
【0032】実施例5.次に、反射型の気体放電表示装
置の応用例について述べる。まず、表面基板1上に図1
の実施例で述べた方法によってリブ5を形成し、その後
電気泳動法で蛍光体9を陽極2上に塗布する。これによ
り、反射表示を明るいものとすることができる。図6は
このような反射型の気体放電表示装置の断面図を示す。
【0033】実施例6.また、図7は反射型の気体放電
表示装置の他の実施例を示す。これは、表面基板1上に
図3の実施例で述べた方法によってリブ5を形成し、そ
の後電気泳動法で蛍光体9を陽極2及びリブ5上に塗布
したものである。そして、これによれば反射表示を明る
いものとすることができる。
【0034】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、陽極の形成時に表面基板上に形成された下地電極上
にメッキ工程を繰り返して形成したリブ形成用電極とを
備え、該リブ形成用電極上に電気泳動法によって誘電体
を被覆させるように構成したので、リブの裾広がりを防
ぐことができ、高精細でかつ様々な形状のリブパターン
を容易に形成できる効果がある。
【0035】また、請求項2の発明によれば、リブ形成
用電極上に電気泳動法によって蛍光体を被覆するように
構成したので、蛍光体の塗布面積を大きくすることがで
き、これにより明るい表示を行えるものが得られる効果
がある。
【0036】請求項3の発明によれば、陽極上に電気泳
動法によって蛍光体を被覆するように構成したので、透
過型の表示を行え、さらにリブ表面に蛍光体を付着させ
ることにより明るい表示が行えるものが得られる効果が
ある。
【0037】請求項4の発明によれば、背面上に形成し
た陽極上に電気泳動法によって蛍光体を被覆するように
構成したので、反射型の表示を行え、さらにリブ表面に
蛍光体を付着させることにより、より明るい表示が行え
るものが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の発明の一実施例による気体放電表示
装置を示す断面図である。
【図2】請求項1の発明における電気泳動法を示す概略
図である。
【図3】請求項2の発明の一実施例による気体放電表示
装置を示す断面図である。
【図4】請求項3の発明の一実施例による透過型の気体
放電表示装置を示す断面図である。
【図5】請求項3の発明の他の実施例による透過型の気
体放電表示装置を示す断面図である。
【図6】請求項4の発明の一実施例による反射型の気体
放電表示装置を示す断面図である。
【図7】請求項4の発明の他の実施例による反射型の気
体放電表示装置を示す断面図である。
【図8】従来の気体放電表示装置を示す断面図である。
【符号の説明】
1 表面基板 2 陽極 3 背面基板 4 陰極 5 リブ(放電空間形成リブ) 6 下地電極 7 リブ形成用電極 8 誘電体 9 蛍光体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中西 隆仁 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社通信機製作所内 (72)発明者 逸見 和久 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社通信機製作所内 (72)発明者 下妻 隆 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社中央研究所内 (72)発明者 大井 健史 尼崎市塚口本町8丁目1番1号 三菱電機 株式会社中央研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面基板上に形成された複数のライン状
    の陽極および該陽極間にこれと平行する方向に形成され
    た複数のライン状の放電空間形成リブと、上記放電空間
    形成リブによってできる放電空間をはさんで上記表面基
    板と対向する背面基板上に、上記陽極に直交する方向に
    形成された複数のライン状の陰極とを備えた気体放電表
    示装置において、上記陽極の形成時に上記表面基板上に
    形成された下地電極と、該下地電極上にメッキ工程を繰
    り返して形成したリブ形成用電極と、該リブ形成用電極
    上に電気泳動法によって被覆した誘電体とを設けたこと
    を特徴とする気体放電表示装置。
  2. 【請求項2】 表面基板上に形成された複数のライン状
    の陽極および該陽極間にこれと平行する方向に形成され
    た複数のライン状の放電空間形成リブと、上記放電空間
    形成リブによってできる放電空間をはさんで上記表面基
    板と対向する背面基板上に、上記陽極に直交する方向に
    形成された複数のライン状の陰極とを備えた気体放電表
    示装置において、上記陽極の形成時に上記表面基板上に
    形成された下地電極と、該下地電極上にメッキ工程を繰
    り返して形成したリブ形成用電極と、該リブ形成用電極
    上に電気泳動法によって被覆した電気的に絶縁特性を持
    つ蛍光体とを設けたことを特徴とする気体放電表示装
    置。
  3. 【請求項3】 表面基板上に形成された複数のライン状
    の陽極および該陽極間にこれと平行する方向に形成され
    た複数のライン状の放電空間形成リブと、上記放電空間
    形成リブによってできる放電空間をはさんで上記表面基
    板と対向する背面基板上に、上記陽極に直交する方向に
    形成された複数のライン状の陰極とを備えた気体放電表
    示装置において、上記陽極の形成時に上記表面基板上に
    形成された下地電極と、該下地電極上にメッキ工程を繰
    り返して形成したリブ形成用電極と、該リブ形成用電極
    上に電気泳動法によって被覆した誘電体または蛍光体
    と、上記陽極上に電気泳動法によって被覆した蛍光体と
    を設けたことを特徴とする気体放電表示装置。
  4. 【請求項4】 背面基板上に形成された複数のライン状
    の陽極および該陽極間にこれと平行する方向に形成され
    た複数のライン状の放電空間形成リブと、上記放電空間
    形成リブによってできる放電空間をはさんで上記背面基
    板と対向する表面基板上に、上記陽極に直交する方向に
    形成された複数のライン状の陰極とを備えた気体放電表
    示装置において、上記陽極の形成時に上記背面基板上に
    形成された下地電極と、該下地電極上にメッキ工程を繰
    り返して形成したリブ形成用電極と、該リブ形成用電極
    上に電気泳動法によって被覆した誘電体または蛍光体
    と、上記陽極上に電気泳動法によって被覆した蛍光体と
    を設けたことを特徴とする気体放電表示装置。
JP5029695A 1993-01-27 1993-01-27 気体放電表示装置 Pending JPH06223725A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0762460A2 (en) * 1995-08-30 1997-03-12 Tektronix, Inc. Sputter-resistant, low-work-function, conductive coatings for cathode electrodes in DC plasma addressing structure
EP0827176A2 (en) * 1996-08-16 1998-03-04 Tektronix, Inc. Sputter-resistant conductive coatings with enhanced emission of electrons for cathode electrodes in DC plasma addressing structure
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US6508685B1 (en) 1998-07-21 2003-01-21 Lg Electronics Inc. Plasma display panel and method of fabricating barrier rib therefor

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