JPH10334810A - 面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放電維持電極構造及びその形成方法 - Google Patents
面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放電維持電極構造及びその形成方法Info
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- JPH10334810A JPH10334810A JP14195397A JP14195397A JPH10334810A JP H10334810 A JPH10334810 A JP H10334810A JP 14195397 A JP14195397 A JP 14195397A JP 14195397 A JP14195397 A JP 14195397A JP H10334810 A JPH10334810 A JP H10334810A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 メモリ機能を有する表示素子であるセルの集
合体によって構成された表示パネル、特に面放電型プラ
ズマ・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、
放電セルの耐電圧特性を改善することによって、パネル
の低電圧駆動、あるいは高輝度化を選択的に実現するこ
とを目的とする。 【解決手段】 放電セルの誘電体中で最も強い電界が生
じる部分は透明電極先端（縁端）部であることに着目
し、透明電極の先端部２２を曲率半径の小さい部分がな
い形状にすることにより、その部分での電界集中を緩和
することが可能となるので、上記の課題が解決される。
合体によって構成された表示パネル、特に面放電型プラ
ズマ・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、
放電セルの耐電圧特性を改善することによって、パネル
の低電圧駆動、あるいは高輝度化を選択的に実現するこ
とを目的とする。 【解決手段】 放電セルの誘電体中で最も強い電界が生
じる部分は透明電極先端（縁端）部であることに着目
し、透明電極の先端部２２を曲率半径の小さい部分がな
い形状にすることにより、その部分での電界集中を緩和
することが可能となるので、上記の課題が解決される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリ機能を有す
る表示素子であるセルの集合体によって構成された表示
パネル、特に面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネル
の放電セル中の放電維持電極構造に関する。
る表示素子であるセルの集合体によって構成された表示
パネル、特に面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネル
の放電セル中の放電維持電極構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、面放電型プラズマ・ディスプレイ
・パネルの放電セル構造は特開平６―１８６９２７号公
報や特開平８―２５００２９号公報に記載されたものが
知られている。図１８は従来の放電セルの主要構造を示
している。第１ガラス基板１１には、Ｘ放電維持電極１
２とＹ放電維持電極１３が平行に形成されており、さら
に、放電維持電極１２及び１３上に誘電体１７と保護膜
１８が形成されている。もう一方の第２ガラス基板１４
上には、放電維持電極と垂直に配置されたデータ電極１
５が形成されており、さらに、データ電極１５の上には
蛍光体１６が塗布されている。第２ガラス基板１４上に
は、混色の防止と隣接セル内の放電に及ぼす影響を除去
するために隔壁１９も形成されている。
・パネルの放電セル構造は特開平６―１８６９２７号公
報や特開平８―２５００２９号公報に記載されたものが
知られている。図１８は従来の放電セルの主要構造を示
している。第１ガラス基板１１には、Ｘ放電維持電極１
２とＹ放電維持電極１３が平行に形成されており、さら
に、放電維持電極１２及び１３上に誘電体１７と保護膜
１８が形成されている。もう一方の第２ガラス基板１４
上には、放電維持電極と垂直に配置されたデータ電極１
５が形成されており、さらに、データ電極１５の上には
蛍光体１６が塗布されている。第２ガラス基板１４上に
は、混色の防止と隣接セル内の放電に及ぼす影響を除去
するために隔壁１９も形成されている。
【０００３】以下に、面放電型プラズマ・ディスプレイ
・パネルの表示のための基本的な動作を説明する。放電
維持電極１２、１３間に数百Ｖの交流電圧を印加するこ
とにより変動電界を生じさせる。放電空間２０（図１３
参照）に到達した前記電界と誘電体１７表面に蓄積され
る電荷が作る電界によって、放電空間２０中の荷電粒子
や中性粒子が運動・衝突を繰り返し、ガス放電が起こ
る。前記ガス放電から発生する特定波長の紫外線がＲＧ
Ｂ蛍光体を励起し、発光する。
・パネルの表示のための基本的な動作を説明する。放電
維持電極１２、１３間に数百Ｖの交流電圧を印加するこ
とにより変動電界を生じさせる。放電空間２０（図１３
参照）に到達した前記電界と誘電体１７表面に蓄積され
る電荷が作る電界によって、放電空間２０中の荷電粒子
や中性粒子が運動・衝突を繰り返し、ガス放電が起こ
る。前記ガス放電から発生する特定波長の紫外線がＲＧ
Ｂ蛍光体を励起し、発光する。
【０００４】従来の放電維持電極は、図７に示すように
放電空間の確保を目的とした透明電極２１と低抵抗化を
目的としたメタル電極２３から構成される。前記透明電
極の特徴は光透過率を高くするために非常に薄いことで
あり、マクロ的に見ればその先端が非常に尖鋭であるこ
とである。前記メタル電極は形成のし易さから、透明電
極の長手方向に対して概ね中央部に形成される場合が多
い。
放電空間の確保を目的とした透明電極２１と低抵抗化を
目的としたメタル電極２３から構成される。前記透明電
極の特徴は光透過率を高くするために非常に薄いことで
あり、マクロ的に見ればその先端が非常に尖鋭であるこ
とである。前記メタル電極は形成のし易さから、透明電
極の長手方向に対して概ね中央部に形成される場合が多
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この面放電型プラズマ
・ディスプレイ・パネルの開発においては、誘電体中で
起こる絶縁破壊を防止することが必須条件である。放電
セルの誘電体中で絶縁破壊が起こると、点灯／非点灯の
制御ができなくなり、表示パネルとしての機能を果たさ
なくなってしまうからである。なお、絶縁破壊とは誘電
体（絶縁体）に印加される電界を次第に高くしていく
と、ある臨界値を超えると電流の飛躍的な急増を生じ、
電気的絶縁性が失われる現象を指す。
・ディスプレイ・パネルの開発においては、誘電体中で
起こる絶縁破壊を防止することが必須条件である。放電
セルの誘電体中で絶縁破壊が起こると、点灯／非点灯の
制御ができなくなり、表示パネルとしての機能を果たさ
なくなってしまうからである。なお、絶縁破壊とは誘電
体（絶縁体）に印加される電界を次第に高くしていく
と、ある臨界値を超えると電流の飛躍的な急増を生じ、
電気的絶縁性が失われる現象を指す。
【０００６】誘電体を薄くすれば、放電空間に到達する
電界は強くなるので輝度は上がる。しかしながら、放電
空間の抵抗値が小さくなる放電時には、放電維持電極と
データ電極間の電圧が誘電体に直接加わるため、誘電体
を薄くすると誘電体中で強電界が生じ、絶縁破壊が起こ
るおそれがある。一般に曲率半径が小さい、いわゆる針
状電極の先端付近では著しい電界集中が起こることや、
電極の縁端部で生じる不平等電界は中央部よりも強い電
界ができることを考慮すると、透明電極の先端（縁端）
付近で絶縁破壊が生じる可能性は高い。
電界は強くなるので輝度は上がる。しかしながら、放電
空間の抵抗値が小さくなる放電時には、放電維持電極と
データ電極間の電圧が誘電体に直接加わるため、誘電体
を薄くすると誘電体中で強電界が生じ、絶縁破壊が起こ
るおそれがある。一般に曲率半径が小さい、いわゆる針
状電極の先端付近では著しい電界集中が起こることや、
電極の縁端部で生じる不平等電界は中央部よりも強い電
界ができることを考慮すると、透明電極の先端（縁端）
付近で絶縁破壊が生じる可能性は高い。
【０００７】この面放電型プラズマ・ディスプレイ・パ
ネルの商品化に向けて、絶縁破壊の防止策の開発が要求
されている。本発明は、透明電極先端（縁端）部での電
界集中を緩和するような電極構造を作成することによっ
て、前述の課題を克服することを目的とする。
ネルの商品化に向けて、絶縁破壊の防止策の開発が要求
されている。本発明は、透明電極先端（縁端）部での電
界集中を緩和するような電極構造を作成することによっ
て、前述の課題を克服することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、同一断面形状の単位放電セル当り２本の
放電維持電極が平行に形成され、さらに、前記放電維持
電極上に誘電体と保護膜が形成された第１のガラス基板
と、隔壁とデータ電極が形成され、前記データ電極の上
に蛍光体が塗布された構造の第２のガラス基板と、前記
第１のガラス基板と前記第２のガラス基板を張り合せる
ことによってできる放電空間とを備えた面放電型プラズ
マ・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、前
記放電維持電極は透明電極とメタル電極から構成され、
透明電極の先端（縁端）部を曲率半径の小さい部分がな
い形状にしたものである。
め、本発明は、同一断面形状の単位放電セル当り２本の
放電維持電極が平行に形成され、さらに、前記放電維持
電極上に誘電体と保護膜が形成された第１のガラス基板
と、隔壁とデータ電極が形成され、前記データ電極の上
に蛍光体が塗布された構造の第２のガラス基板と、前記
第１のガラス基板と前記第２のガラス基板を張り合せる
ことによってできる放電空間とを備えた面放電型プラズ
マ・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、前
記放電維持電極は透明電極とメタル電極から構成され、
透明電極の先端（縁端）部を曲率半径の小さい部分がな
い形状にしたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１から図１７を用いて説明する。なお、本発明の
実施の形態では各放電維持電極及びデータ電極に図１３
に示すパターンの電圧を印加したときの数値解析結果を
検討材料として用いた。この電圧パターンは面放電型プ
ラズマ・ディスプレイ・パネルの駆動シーケンスの中で
Ｘ、Ｙ放電維持電極間の電位差及びＸ放電維持電極とデ
ータ電極間の電位差が最大となる壁電荷形成期間の動作
条件に対応するものである。なお、壁電荷とは、点灯／
非点灯の選択性を実現するために放電維持電極を誘電体
で覆うことにより、誘電体表面に蓄積された電荷を指
す。
て、図１から図１７を用いて説明する。なお、本発明の
実施の形態では各放電維持電極及びデータ電極に図１３
に示すパターンの電圧を印加したときの数値解析結果を
検討材料として用いた。この電圧パターンは面放電型プ
ラズマ・ディスプレイ・パネルの駆動シーケンスの中で
Ｘ、Ｙ放電維持電極間の電位差及びＸ放電維持電極とデ
ータ電極間の電位差が最大となる壁電荷形成期間の動作
条件に対応するものである。なお、壁電荷とは、点灯／
非点灯の選択性を実現するために放電維持電極を誘電体
で覆うことにより、誘電体表面に蓄積された電荷を指
す。
【００１０】（実施の形態１）図１は第１の発明の一実
施の形態の構成を示す放電維持電極構造を示し、図１に
おいて２１は透明電極、２２は透明電極の先端部を覆う
ように形成されたメタル電極、２３は低抵抗化のために
備えられたメタル電極である。
施の形態の構成を示す放電維持電極構造を示し、図１に
おいて２１は透明電極、２２は透明電極の先端部を覆う
ように形成されたメタル電極、２３は低抵抗化のために
備えられたメタル電極である。
【００１１】以上のように構成された放電維持電極構造
について、以下、説明を行う。図１４に、従来の放電維
持電極を用いた場合のＸ放電維持電極周辺の等電圧線分
布を示す。等電圧線の分布が密な領域は電界が強く、逆
に疎な領域は電界が弱いことを示している。図１４よ
り、メタル電極と保護膜表面の間及び透明電極の先端部
で強電界が生じていることがわかる。図１５は透明電極
の先端付近の等電圧線分布を拡大して表示したものであ
る。図１５よりメタル電極と保護膜表面の間では、ほぼ
一様な電界が生じており、一方、透明電極の先端付近で
は電界が集中し、局所的に強い電界が生じていることが
わかる。さらに、解析結果を分析した結果、最大電界は
透明電極の先端付近で生じていることがわかった。
について、以下、説明を行う。図１４に、従来の放電維
持電極を用いた場合のＸ放電維持電極周辺の等電圧線分
布を示す。等電圧線の分布が密な領域は電界が強く、逆
に疎な領域は電界が弱いことを示している。図１４よ
り、メタル電極と保護膜表面の間及び透明電極の先端部
で強電界が生じていることがわかる。図１５は透明電極
の先端付近の等電圧線分布を拡大して表示したものであ
る。図１５よりメタル電極と保護膜表面の間では、ほぼ
一様な電界が生じており、一方、透明電極の先端付近で
は電界が集中し、局所的に強い電界が生じていることが
わかる。さらに、解析結果を分析した結果、最大電界は
透明電極の先端付近で生じていることがわかった。
【００１２】最大電界が生じている透明電極の先端付近
で電界を緩和することができれば、放電セルの耐電圧特
性を改善することができる。そこで、透明電極の先端部
を覆うように曲率半径の小さい部分がない形状のメタル
電極を形成した。図８はその概念図である。図１６は、
本発明の放電維持電極構造を用いた場合のＸ放電維持電
極周辺の等電圧線分布を示している。図１７は透明電極
の先端付近の等電圧線分布を拡大して表示したものであ
る。図１５と図１７を比較することにより、本発明の放
電維持電極構造を用いると、透明電極の先端部付近にお
いて電界集中が緩和されたことがわかる。なお、今回の
例では、本発明の電極構造を用いると、従来と比較して
誘電体中の最大電界強度は約１／５に緩和されることが
わかった。
で電界を緩和することができれば、放電セルの耐電圧特
性を改善することができる。そこで、透明電極の先端部
を覆うように曲率半径の小さい部分がない形状のメタル
電極を形成した。図８はその概念図である。図１６は、
本発明の放電維持電極構造を用いた場合のＸ放電維持電
極周辺の等電圧線分布を示している。図１７は透明電極
の先端付近の等電圧線分布を拡大して表示したものであ
る。図１５と図１７を比較することにより、本発明の放
電維持電極構造を用いると、透明電極の先端部付近にお
いて電界集中が緩和されたことがわかる。なお、今回の
例では、本発明の電極構造を用いると、従来と比較して
誘電体中の最大電界強度は約１／５に緩和されることが
わかった。
【００１３】なお、以上の説明では、メタル電極は図１
に示すように透明電極の長手方向に対して中央部に形成
された従来のメタル電極に加えて、透明電極先端部での
電界を緩和するために、その先端部を覆うように曲率半
径の小さい部分がない形状のメタル電極から構成されて
いた。しかし、図２に示すように低抵抗化のためのメタ
ル電極を透明電極の先端のみに備えた場合についても、
透明電極の先端部での電界が緩和されるので、図１に示
す電極構造の場合と同様な効果が得られる。透明電極の
縁端付近に形成されたメタル電極のみで十分な抵抗値が
得られる場合、この構成で良い。
に示すように透明電極の長手方向に対して中央部に形成
された従来のメタル電極に加えて、透明電極先端部での
電界を緩和するために、その先端部を覆うように曲率半
径の小さい部分がない形状のメタル電極から構成されて
いた。しかし、図２に示すように低抵抗化のためのメタ
ル電極を透明電極の先端のみに備えた場合についても、
透明電極の先端部での電界が緩和されるので、図１に示
す電極構造の場合と同様な効果が得られる。透明電極の
縁端付近に形成されたメタル電極のみで十分な抵抗値が
得られる場合、この構成で良い。
【００１４】（実施の形態２）図３は第２の発明の一実
施の形態の構成を示す放電維持電極構造を示す。これは
透明電極の先端部の形状を曲率半径の小さい部分がない
ように透明電極を作成したものである。この場合でも、
透明電極の先端部での電界が緩和されるので、実施の形
態１の場合と同様な効果が得られる。また、本発明では
透明電極の先端部におけるメタル電極の形成が不必要な
ので、実施の形態１の場合に比べてプロセスが簡単であ
るという効果も併せ持つ。
施の形態の構成を示す放電維持電極構造を示す。これは
透明電極の先端部の形状を曲率半径の小さい部分がない
ように透明電極を作成したものである。この場合でも、
透明電極の先端部での電界が緩和されるので、実施の形
態１の場合と同様な効果が得られる。また、本発明では
透明電極の先端部におけるメタル電極の形成が不必要な
ので、実施の形態１の場合に比べてプロセスが簡単であ
るという効果も併せ持つ。
【００１５】なお、以上の説明では、図３に示すように
放電維持電極は断面積が小さい透明電極のみから構成さ
れていた。そこで、図４に示すように、放電維持電極の
低抵抗化のために透明電極上にメタル電極を付加した。
この場合でも、透明電極の先端部において電界集中が緩
和されるので、実施の形態１の場合と同様な効果が得ら
れる。
放電維持電極は断面積が小さい透明電極のみから構成さ
れていた。そこで、図４に示すように、放電維持電極の
低抵抗化のために透明電極上にメタル電極を付加した。
この場合でも、透明電極の先端部において電界集中が緩
和されるので、実施の形態１の場合と同様な効果が得ら
れる。
【００１６】（実施の形態３）図５は第３の発明の一実
施の形態の構成を示す放電維持電極構造を示す。これは
透明電極の一方の先端形状を曲率半径の小さい部分がな
いようにし、一方、透明電極の他方の先端部を曲率半径
の小さい部分がないメタル電極で覆ったものである。こ
の場合でも、透明電極の先端部での電界が緩和されるの
で、実施の形態１の場合と同様な効果が得られる。ま
た、Ｘ、Ｙ放電維持電極が対向している側（内側）の透
明電極の先端形状を曲率半径の小さい部分がないように
し、Ｘ、Ｙ放電維持電極が対向していない側（外側）の
透明電極の先端部を曲率半径の小さい部分がないメタル
電極で覆うことにより、内側で生じる強い発光をほとん
ど光を透過しないメタル電極で妨げることがないため、
実施の形態１の場合に比べて輝度が高くなるという効果
を持つ。
施の形態の構成を示す放電維持電極構造を示す。これは
透明電極の一方の先端形状を曲率半径の小さい部分がな
いようにし、一方、透明電極の他方の先端部を曲率半径
の小さい部分がないメタル電極で覆ったものである。こ
の場合でも、透明電極の先端部での電界が緩和されるの
で、実施の形態１の場合と同様な効果が得られる。ま
た、Ｘ、Ｙ放電維持電極が対向している側（内側）の透
明電極の先端形状を曲率半径の小さい部分がないように
し、Ｘ、Ｙ放電維持電極が対向していない側（外側）の
透明電極の先端部を曲率半径の小さい部分がないメタル
電極で覆うことにより、内側で生じる強い発光をほとん
ど光を透過しないメタル電極で妨げることがないため、
実施の形態１の場合に比べて輝度が高くなるという効果
を持つ。
【００１７】なお、図６に示すように、放電維持電極の
低抵抗化のために透明電極上にメタル電極を付加した場
合においても、透明電極の先端部において電界集中が緩
和されるので、実施の形態１の場合と同様な効果が得ら
れる。
低抵抗化のために透明電極上にメタル電極を付加した場
合においても、透明電極の先端部において電界集中が緩
和されるので、実施の形態１の場合と同様な効果が得ら
れる。
【００１８】（実施の形態４）図９及び図１０は第４の
発明の一実施の形態である放電維持電極の形成方法の特
徴を示したものである。以下、同図を用いて放電維持電
極の形成手順について述べる。
発明の一実施の形態である放電維持電極の形成方法の特
徴を示したものである。以下、同図を用いて放電維持電
極の形成手順について述べる。
【００１９】ガラス基板上に透明電極のパターニングを
行う（ステップ１）。透明電極の先端部を覆うように、
第１のメタル電極のパターニングを行う（ステップ
２）。第１のメタル電極の上に第２のメタル電極のパタ
ーニングを行う（ステップ３）。図９は（ステップ１）
から（ステップ３）までの手順を施した後のメタル電極
構造の特徴を示すものである。
行う（ステップ１）。透明電極の先端部を覆うように、
第１のメタル電極のパターニングを行う（ステップ
２）。第１のメタル電極の上に第２のメタル電極のパタ
ーニングを行う（ステップ３）。図９は（ステップ１）
から（ステップ３）までの手順を施した後のメタル電極
構造の特徴を示すものである。
【００２０】次に、第１のメタル電極に対してエッチン
グを行う（ステップ４）。第１のメタル電極と第２のメ
タル電極のエッチング比を適度に調整することによっ
て、図１０に示すように、第１のメタル電極周辺の材料
をアンダーカットすることによって、確実にメタル電極
の曲率半径の最小値を大きくすることができる。従っ
て、放電維持電極の縁端部での電界が緩和されるので実
施の形態１の場合と同様な効果が得られる。
グを行う（ステップ４）。第１のメタル電極と第２のメ
タル電極のエッチング比を適度に調整することによっ
て、図１０に示すように、第１のメタル電極周辺の材料
をアンダーカットすることによって、確実にメタル電極
の曲率半径の最小値を大きくすることができる。従っ
て、放電維持電極の縁端部での電界が緩和されるので実
施の形態１の場合と同様な効果が得られる。
【００２１】本発明によれば、透明電極の先端部全てに
２種類のメタル電極を形成しなければならないため、従
来に比べて工数は多くなる。しかしながら、本発明はエ
ッチング時間やメタル電極のエッチング比、エッチング
液を調整することにより、形状を自由に設定できるとい
う特長を持っている。なお、以上の説明では透明電極の
先端部に形成するメタル電極の種類を２種類として説明
してきたが、メタル電極の種類は複数であっても構わな
い。
２種類のメタル電極を形成しなければならないため、従
来に比べて工数は多くなる。しかしながら、本発明はエ
ッチング時間やメタル電極のエッチング比、エッチング
液を調整することにより、形状を自由に設定できるとい
う特長を持っている。なお、以上の説明では透明電極の
先端部に形成するメタル電極の種類を２種類として説明
してきたが、メタル電極の種類は複数であっても構わな
い。
【００２２】（実施の形態５）図１１及び図１２は第５
の発明の一実施の形態である放電維持電極の形成方法の
特徴を示したものである。以下、同図を用いて放電維持
電極の形成手順について述べる。
の発明の一実施の形態である放電維持電極の形成方法の
特徴を示したものである。以下、同図を用いて放電維持
電極の形成手順について述べる。
【００２３】ガラス基板上に透明電極のパターニングを
行う（ステップ１）。透明電極の先端部を覆うようにメ
タル電極のパターニングを行う（ステップ２）。図１１
は（ステップ１）及び（ステップ２）の手順を施した後
のメタル電極構造の特徴を示すものである。
行う（ステップ１）。透明電極の先端部を覆うようにメ
タル電極のパターニングを行う（ステップ２）。図１１
は（ステップ１）及び（ステップ２）の手順を施した後
のメタル電極構造の特徴を示すものである。
【００２４】次に、図１１に示すようにガラス基板表面
に対して斜め方向からメタル電極に力を加え、メタル電
極がガラス基板に沿って広がるように変形させる（ステ
ップ３）。変形後のメタル電極の概念図を図１２に示
す。本発明により、メタル電極とガラス基板が接した部
分に生じていたメタル電極の曲率半径の最小値を大きく
することができる。
に対して斜め方向からメタル電極に力を加え、メタル電
極がガラス基板に沿って広がるように変形させる（ステ
ップ３）。変形後のメタル電極の概念図を図１２に示
す。本発明により、メタル電極とガラス基板が接した部
分に生じていたメタル電極の曲率半径の最小値を大きく
することができる。
【００２５】従って、放電維持電極の縁端部で電界が緩
和されるので、実施の形態１の場合と同様な効果が得ら
れる。また、本発明ではエッチッグ工程は不要となり、
かつ透明電極先端部に形成されるメタル電極は１種類で
あるので、実施の形態４に比べてプロセスは簡単であ
る。
和されるので、実施の形態１の場合と同様な効果が得ら
れる。また、本発明ではエッチッグ工程は不要となり、
かつ透明電極先端部に形成されるメタル電極は１種類で
あるので、実施の形態４に比べてプロセスは簡単であ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上のように第１の発明によれば、誘電
体中の最大電界強度を著しく緩和できるので、放電セル
の耐電圧特性を向上させることができる。従って、例え
ば誘電体を従来よりも薄くすることができるので、より
低い電圧で駆動できる面放電型プラズマ・ディスプレイ
・パネル、あるいは高輝度の面放電型プラズマ・ディス
プレイ・パネルを選択的に実現できるという実用上大な
る効果がある。
体中の最大電界強度を著しく緩和できるので、放電セル
の耐電圧特性を向上させることができる。従って、例え
ば誘電体を従来よりも薄くすることができるので、より
低い電圧で駆動できる面放電型プラズマ・ディスプレイ
・パネル、あるいは高輝度の面放電型プラズマ・ディス
プレイ・パネルを選択的に実現できるという実用上大な
る効果がある。
【００２７】第２の発明によれば、第１の発明と同様な
効果が得られるだけでなく、透明電極の先端部における
メタル電極の形成が不必要なので、第１の発明に比べて
プロセスが簡単であるという効果も得られる。
効果が得られるだけでなく、透明電極の先端部における
メタル電極の形成が不必要なので、第１の発明に比べて
プロセスが簡単であるという効果も得られる。
【００２８】第３の発明によれば、第１の発明と同様な
効果が得られるだけでなく、Ｘ、Ｙ放電維持電極が対向
している側で生じる強い発光を光の透過率の低いメタル
電極で妨げることがないため、第１の発明に比べて輝度
が高くなるという効果を持つ。また、メタル電極を付加
したことにより、低抵抗化も実現できる。
効果が得られるだけでなく、Ｘ、Ｙ放電維持電極が対向
している側で生じる強い発光を光の透過率の低いメタル
電極で妨げることがないため、第１の発明に比べて輝度
が高くなるという効果を持つ。また、メタル電極を付加
したことにより、低抵抗化も実現できる。
【００２９】第４の発明によれば、透明電極先端に形成
されたメタル電極の形状を自由に設定できるので、第１
の発明を実現できる。
されたメタル電極の形状を自由に設定できるので、第１
の発明を実現できる。
【００３０】第５の発明によれば、第４の発明と同様な
効果が得られるだけでなく、エッチッグ工程は不要とな
り、かつ透明電極先端部に形成されるメタル電極は１種
類であるので、第４の発明に比べてプロセスは簡単であ
るという実用上顕著な効果がある。
効果が得られるだけでなく、エッチッグ工程は不要とな
り、かつ透明電極先端部に形成されるメタル電極は１種
類であるので、第４の発明に比べてプロセスは簡単であ
るという実用上顕著な効果がある。
【図１】第１の発明の一実施の形態の第１の構成を示す
放電維持電極構造の構成図
放電維持電極構造の構成図
【図２】同第２の構成を示す放電維持電極構造の構成図
【図３】第２の発明の一実施の形態の第１の構成を示す
放電維持電極構造の構成図
放電維持電極構造の構成図
【図４】同第２の構成を示す放電維持電極構造の構成図
【図５】第３の発明の一実施の形態の第１の構成を示す
放電維持電極構造の構成図
放電維持電極構造の構成図
【図６】同第２の構成を示す放電維持電極構造の構成図
【図７】従来の放電維持電極構造の特徴を説明するため
の概念図
の概念図
【図８】本発明の放電維持電極構造の特徴を説明するた
めの概念図
めの概念図
【図９】第４の発明の一実施の形態である前半の放電維
持電極形成工程を説明するための概念図
持電極形成工程を説明するための概念図
【図１０】第４の発明の一実施の形態である後半の放電
維持電極形成工程を説明するための概念図
維持電極形成工程を説明するための概念図
【図１１】第５の発明の一実施の形態である前半の放電
維持電極形成工程を説明するための概念図
維持電極形成工程を説明するための概念図
【図１２】第５の発明の一実施の形態である後半の放電
維持電極形成工程を説明するための概念図
維持電極形成工程を説明するための概念図
【図１３】本発明の一実施例の面放電型プラズマ・ディ
スプレイ・パネル放電セルの構成材料及び各電極電圧の
パターンを示す断面図
スプレイ・パネル放電セルの構成材料及び各電極電圧の
パターンを示す断面図
【図１４】従来の放電維持電極を用いた場合のｘ放電維
持電極付近の電界分布を示す図
持電極付近の電界分布を示す図
【図１５】従来の放電維持電極を用いた場合の透明電極
先端部付近の電界分布を示す図
先端部付近の電界分布を示す図
【図１６】本発明の放電維持電極を用いた場合のｘ放電
維持電極付近の電界分布を示す図
維持電極付近の電界分布を示す図
【図１７】本発明の放電維持電極を用いた場合の透明電
極先端部付近の電界分布を示す図
極先端部付近の電界分布を示す図
【図１８】面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの
放電セル構造の概要を説明するための斜視図
放電セル構造の概要を説明するための斜視図
１１ 第１ガラス基板 １２ Ｘ放電維持電極 １３ Ｙ放電維持電極 １４ 第２ガラス基板 １５ データ電極 １６ 蛍光体 １７ 誘電体 １８ 保護膜 １９ 隔壁 ２０ 放電空間 ２１ 透明電極 ２２ 透明電極の先端部を覆うように形成されたメタル
電極 ２３ 低抵抗化のために備えられたメタル電極 ２４ 第１のメタル電極 ２５ 第２のメタル電極
電極 ２３ 低抵抗化のために備えられたメタル電極 ２４ 第１のメタル電極 ２５ 第２のメタル電極
Claims (8)
- 【請求項１】 同一断面形状の単位放電セル当り２本の
放電維持電極が平行に形成され、さらに前記放電維持電
極上に誘電体と保護膜が形成された第１のガラス基板
と、隔壁とデータ電極が形成され前記データ電極の上に
蛍光体が塗布された構造の第２のガラス基板と、前記第
１のガラス基板と前記第２のガラス基板を張り合せるこ
とによってできる放電空間とを備えた面放電型プラズマ
・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、 前記放電維持電極が透明電極とメタル電極から構成さ
れ、透明電極の先端部を覆うように、曲率半径の小さい
部分がない形状をもつメタル電極を備えたことを特徴と
する面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放電セ
ル中の放電維持電極構造。 - 【請求項２】 前記透明電極先端部に備えた前記メタル
電極に加えて、低抵抗化を目的とした別のメタル電極を
透明電極上に備えたことを特徴とする請求項１記載の面
放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放電セル中の
放電維持電極構造。 - 【請求項３】 同一断面形状の単位放電セル当り２本の
放電維持電極が平行に形成され、さらに前記放電維持電
極上に誘電体と保護膜が形成された第１のガラス基板
と、隔壁とデータ電極が形成され、前記データ電極の上
に蛍光体が塗布された構造の第２のガラス基板と、前記
第１のガラス基板と前記第２のガラス基板を張り合せる
ことによってできる放電空間とを備えた面放電型プラズ
マ・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、 前記放電維持電極が透明電極とメタル電極から構成さ
れ、前記透明電極の先端部を曲率半径の小さい部分がな
い形状にしたことを特徴とする面放電型プラズマ・ディ
スプレイ・パネルの放電セル中の放電維持電極構造。 - 【請求項４】 低抵抗化を目的としたメタル電極を前記
透明電極上に備えたことを特徴とする請求項３記載の面
放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放電セル中の
放電維持電極構造。 - 【請求項５】 同一断面形状の単位放電セル当り２本の
放電維持電極が平行に形成され、さらに前記放電維持電
極上に誘電体と保護膜が形成された第１のガラス基板
と、隔壁とデータ電極が形成され、前記データ電極の上
に蛍光体が塗布された構造の第２のガラス基板と、前記
第１のガラス基板と前記第２のガラス基板を張り合せる
ことによってできる放電空間とを備えた面放電型プラズ
マ・ディスプレイ・パネルの放電セル構造において、 前記放電維持電極が透明電極とメタル電極から構成さ
れ、前記透明電極の一方の先端部は曲率半径の小さい部
分がない形状にし、透明電極の他方の先端部は曲率半径
の小さい部分がない形状のメタル電極で覆ったことを特
徴とする面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放
電セル中の放電維持電極構造。 - 【請求項６】 低抵抗化を目的としたメタル電極を前記
透明電極上に備えたことを特徴とする請求項５記載の面
放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルの放電セル中の
放電維持電極構造。 - 【請求項７】 第１にガラス基板上における透明電極の
パターニング、第２に前記透明電極縁端部における第１
のメタル電極のパターニング、第３に第１のメタル電極
の上に第２のメタル電極のパターニング、第４に第１の
メタル電極と第２のメタル電極のエッチング比を適度に
調整することによって、ガラス基板に接した部分に生じ
ていた第１のメタル電極の曲率半径が最も小さい部分を
アンダーカットして、メタル電極の曲率半径の最小値を
大きくしたことを特徴とする面放電型プラズマ・ディス
プレイ・パネルの放電セル中の放電維持電極構造の形成
方法。 - 【請求項８】 第１にガラス基板上における透明電極の
パターニング、第２に前記透明電極縁端部におけるメタ
ル電極のパターニング、第３にメタル電極のエッチン
グ、第４にメタル電極にガラス基板表面に対して斜め方
向から力を加え、メタル電極がガラス基板に沿って広が
るように変形させることによって、メタル電極とガラス
基板が接した部分に生じていたメタル電極の曲率半径の
最小値を大きくしたことを特徴とする面放電型プラズマ
・ディスプレイ・パネルの放電セル中の放電維持電極構
造の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14195397A JP3427676B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルおよびその放電維持電極の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14195397A JP3427676B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルおよびその放電維持電極の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10334810A true JPH10334810A (ja) | 1998-12-18 |
| JP3427676B2 JP3427676B2 (ja) | 2003-07-22 |
Family
ID=15303977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14195397A Expired - Fee Related JP3427676B2 (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 面放電型プラズマ・ディスプレイ・パネルおよびその放電維持電極の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3427676B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1150320A1 (en) * | 1999-10-19 | 2001-10-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing metal electrode |
| WO2002019369A1 (fr) * | 2000-08-30 | 2002-03-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Unite d'affichage a plasma et son procede de fabrication |
| US6380677B1 (en) | 1998-07-16 | 2002-04-30 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel electrode |
| KR20030023401A (ko) * | 2001-09-13 | 2003-03-19 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 |
| JP2007128888A (ja) * | 2005-11-03 | 2007-05-24 | Lg Electronics Inc | 平板ディスプレイパネル及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-05-30 JP JP14195397A patent/JP3427676B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6380677B1 (en) | 1998-07-16 | 2002-04-30 | Lg Electronics Inc. | Plasma display panel electrode |
| EP1150320A1 (en) * | 1999-10-19 | 2001-10-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing metal electrode |
| EP1150320A4 (en) * | 1999-10-19 | 2007-08-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | PROCESS FOR PRODUCING A METAL ELECTRODE |
| WO2002019369A1 (fr) * | 2000-08-30 | 2002-03-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Unite d'affichage a plasma et son procede de fabrication |
| US6891331B2 (en) | 2000-08-30 | 2005-05-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma display unit and production method thereof |
| US7040947B2 (en) | 2000-08-30 | 2006-05-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming electrode layers |
| KR20030023401A (ko) * | 2001-09-13 | 2003-03-19 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 |
| JP2007128888A (ja) * | 2005-11-03 | 2007-05-24 | Lg Electronics Inc | 平板ディスプレイパネル及びその製造方法 |
| JP4514229B2 (ja) * | 2005-11-03 | 2010-07-28 | エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド | 平板ディスプレイパネル及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3427676B2 (ja) | 2003-07-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |