KR20030035741A - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

발광 효율이 우수한 신규의 셀 구조를 가지는 PDP의 제공을 목적으로 한다.
표시 전극(X, Y)으로 되는 도전막(41)을 벽체(16)의 측부 표면에 형성함으로써, 표시 전극(X)에서의 방전에 기여하는 주면을 이웃하는 표시 전극(Y)의 주면과 가스 공간을 끼워 대향하도록 배치하고, 표시 전극(X, Y)에서의 복수의 셀에 걸치는 급전 부분(42)을 벽체(16)의 상면에 설치함과 동시에, 벽체(16)의 측부에서 얇고 또한 정상부에서 두꺼운 유전체층(17)으로 표시 전극(X, Y)을 덮는다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법{PLASMA DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
PDP는 시야각이 넓은 박형 표시 디바이스로서 주목받고 있다. 하이비전 분야로 용도가 확산되는 중이며, 보다 밝은 고성능의 PDP가 요망되고 있다.
대화면의 텔레비전 표시 디바이스로서 상품화되어 있는 AC형 PDP는 면방전 타입이다. 여기서 말하는 면방전 타입은, 휘도를 확보하기 위한 주방전인 표시 방전에서 양극 및 음극으로 되는 제1 및 제2 표시 전극을, 전면측 또는 배면측의 기판 상에 평행하게 배열하는 타입이다. 면방전 타입에서는, 컬러 표시를 위한 형광체층을 표시 전극쌍으로부터 패널 두께 방향으로 멀리해서 배치할 수 있고, 그에 따라 방전시의 이온 충격에 의한 형광체층의 열화를 저감하여 장수명의 컬러 화면을 실현할 수 있다.
전형적인 면방전 타입의 전극 매트릭스 구조는, 표시 전극과 교차하도록 셀 선택을 위한 어드레스 전극을 배열한 "3전극 구조"이다. 3전극 구조의 기본 형태는 화면의 각 행에 한쌍씩 표시 전극을 배치하는 것이다. 각 행에서의 표시 전극쌍의 배열 간격(면방전 갭 길이)은 150 ∼ 200 볼트정도의 전압의 인가로 방전이 생기도록 수십㎛ 정도로 선정된다. 이에 반해, 인접하는 행끼리의 전극 간극(역슬릿이라 칭함)은 행 사이의 불필요한 면방전을 방지하고 또한 정전 용량을 저감하기 위해서, 면방전 갭 길이보다 충분히 큰 값(수배 정도)으로 한다. 즉, 표시 전극의배열 간격이 행과 행 사이에서 다르다. 이러한 기본 형태에서는, 역슬릿이 발광에 기여하지 않으므로, 화면의 이용율이 작고 휘도의 면에서 불리함과 동시에, 행 피치의 축소에 의한 고정세화가 어렵다.
3전극 구조의 다른 형태로서, 화면의 행수 N에 1을 더한 개수의 표시 전극을 등간격으로 배열하고, 인접하는 전극끼리를 전극쌍으로 한 면방전을 생기게 하는 전극 구성이 있다. 이것에 의하면, 화면의 이용율을 높일 수 있다. 단, 배열의 양단을 제외한 표시 전극이 인접하는 2행에 영향을 미치므로, 표시 내용을 설정하는 어드레싱을 위한 구동 시퀀스는 기본 형태보다도 복잡해진다.
종래의 PDP에서는, 표시 전극이 기판 상에 성막된 도전성 박막의 패터닝에 의해 형성되어 있었다. 즉, 표시 전극의 표면이 기판면과 실질적으로 평행이었다. 또한, 형광체층을 방전 가스 공간의 배면측에 배치하는 셀 구조(반사 타입이라 칭함)에서는, 전극에 의한 차광을 저감하기 위해서, 표시 전극은 폭이 넓은 띠 형상의 투명 도전막과 그 도전성을 보충하는 폭이 좁은 띠 형상의 금속막의 적층체로 되어 있었다.
종래에는, 면방전 갭 길이가 셀의 열방향 치수의 1/4이하로 짧고, 면방전에서 고휘도를 얻을 수 있는 양광주(陽光柱)가 거의 나타나지 않으므로, 발광 효율이 낮다고 하는 문제가 있었다. 또한, 표시 전극 간의 정전 용량의 충전에 드는 쓸데없는 전력이 커진다고 하는 문제도 있었다. 고정세화에 따라 소비 전력이 증대하는 경향이 있으므로, 발열 대책에 있어서도 소비 전력의 저감은 중요하다. 또한,반사 타입의 경우에는 표시 전극을 투명 도전막과 금속막으로 구성하지 않으면 안되고, 이종 재료를 사용하는 것에 의한 제조 공정수의 증가 및 막 계면에서의 박리의 발생 확률의 증대라는 문제도 있었다.
본 발명은 발광 효율이 우수한 신규의 셀 구조를 갖는 PDP의 제공을 목적으로 하고 있다. 다른 목적은 신규의 셀 구조를 갖는 PDP를 제조할 수 있는 생산성이 높은 제조 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 PDP에서의 전극의 입체 구조를 나타내는 모식도.
도 2는 본 발명에 따른 PDP의 셀 구조의 모식도.
도 3은 유전체층의 형성 공정의 설명도.
도 4는 인쇄 방법의 설명도.
도 5는 전체면 인쇄 공정의 설명도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
11, 21 : 유리 기판
16 : 격벽(벽체)
41 : 방전부(도전막)
17 : 유전체층
171 : 제1 유리 페이스트
172 : 페이스트층(필러의 유출을 억제하기 위한 층)
173 : 제2 유리 페이스트
174: 제3 유리 페이스트
본 발명에서는, 표시 전극으로 되는 도전막을 벽체(壁體)의 측부 표면에 형성함으로써, 표시 전극에서의 방전에 기여하는 주면이 기판면과 거의 직각으로 교차하고 , 또한 이웃하는 표시 전극의 주면과 가스 공간을 끼워서 대향하도록 배치한다. 표시 전극에서의 복수의 셀에 걸치는 급전 부분을 벽체의 상면에 설치한다. 즉, 표시 전극(도전막)을 벽체의 정상부와 측부에 걸치는 형상으로 한다. 이 외에, 이웃하는 표시 전극의 급전 부분끼리의 사이에서의 방전을 억제하는 동시에 주면 사이의 방전을 일어나기 쉽게 하기 위해서, 벽체의 측부에서 얇고 또한 정상부에서 두꺼운 유전체층으로 표시 전극을 덮는다.
방전 형태는 가스 공간을 끼우는 전극 간의 대향 방전(단, 전하 이동 방향은 패널 두께 방향이 아니고, 기판면에 따른 방향임)으로 된다. 이 방전 형태를 "면방향 대향 방전"이라고 호칭한다. 본 발명의 셀 구조에서는, 표시 전극쌍의 대향 거리가 크기 때문에,양광주가 연장된 고휘도의 방전을 생기게 할 수 있는 동시에, 표시 전극 간의 정전 용량을 대폭 저감할 수 있다. 또한, 벽체의 측부에 위치하는표시 전극의 주면의 면적 및 형상의 선정에 의해, 방전 전류를 최적화해서 발광 효율을 향상시킬 수 있다.
유전체층의 형성에는 후막법을 채용하고, 유동성이 다른 복수의 페이스트를 사용함으로써 부분적으로 두터운 층을 얻는다. 두껍게 해야 할 부분(벽체의 정상부)에는 필러(filler)의 혼합에 의해 유동성을 작게 한 유리 페이스트를 도포하고, 얇은 부분을 형성하기 위해서 두껍게 해야 할 부분을 포함시켜 벽체 전체에 비교적 유동성이 큰 유리 페이스트를 도포한다.
도 1은 본 발명에 따른 PDP에서의 전극의 입체 구조를 나타내는 모식도이다. 구조의 이해를 쉽게 하기 위해서, 도 1에서는 전극을 덮는 유전체층이 도시되어 있지 않다.
도시된 PDP(1)는 매트릭스 표시의 행 및 열을 구성하도록 다수의 셀이 배치된 컬러 표시 디바이스이고, 한쌍의 기판 본체(10, 20)로 이루어진다. 기판 본체(10, 20)는 소위 엔벨로프를 구성하는 기판(11, 21)과 그 내면측에 형성된 셀 구성 요소로 이루어지는 구조체이다. 도 1은 표시면에서의 1행 안의 2열, 즉 2개의 셀로 이루어진 부분과 그 근방의 구조를 나타내고 있다.
배면측의 기판 본체(20)의 구성은 공지의 전형적인 면방전형 PDP와 마찬가지이다. 배면측의 유리 기판(21)의 내면에 1열에 1개씩 어드레스 전극(A)이 배열되고, 열의 경계 위치마다 평면에서 보았을 때 직선띠 형상의 격벽(29)이 형성되어 있다. 그리고, 격벽 사이의 영역 및 격벽(29)의 측면을 피복하도록, 컬러 표시를 위한 형광체층(28R, 28G, 28B)이 설치되어 있다. 색 배열은 각 열의 셀을 동일 색으로 하는 R, G, B의 반복 패턴이다. 표시 화상의 1화소에는 1행 내의 3열(3개의 셀)이 대응한다. 또한, 어드레스 전극(A)을 유전체로 피복하는 구성을 채용해도 된다.
전면측의 기판 본체(10)는 본 발명에 특유한 구조를 갖는다. 전면측의 유리 기판(11)의 내면에, 행의 경계벽으로서 경계 위치마다 격벽(16)이 배치되어 있다. 각 격벽(16)은 평면에서 보았을 때에 배면측의 격벽(29)과 직교하여 행의 전장(全長)에 걸쳐 이어지는 수평부와, 그 양측으로 돌출된 수직부로 이루어진다. 수직부는 평면에서 보았을 때에 격벽(29)과 겹친다. 격벽(16)의 집합은 셀을 둘러싸는 격자를 행의 중앙에서 노치된 구조체에 상당한다. 노치에 의해, 방전 가스의 밀봉 및 그 전처리의 배기에 적합한 통기성이 얻어진다. 격벽(16)의 형성에는 샌드 블래스트법이 적합하다. 표시면 전역에 균일하게 유리 페이스트를 인쇄해서 건조시키고, 감광성 드라이 필름을 이용하여 절삭 마스크를 설치하고, 페이스트층의 불필요한 부분을 절삭한다. 패터닝된 페이스트층을 소성함으로써 격벽(16)이 얻어진다. 유리 기판(11)의 표면을 깍는 방법, 또는 스크린 인쇄법으로 격벽(16)을 형성할 수도 있다.
또한, 도 1에서의 서로 분리된 복수의 격벽(16)은 기판면에 대한 돌기를 모식적으로 나타내고 있고, 복수의 격벽(16)이 일체화된 형태의 구조물을 설치해도 된다. 예를 들면, 상술한 바와 같이 샌드 블래스트법으로 격벽(16)을 형성하는 경우에, 유리 기판(11)이 충분히 노출되기 이전에 절삭을 끝내면, 하단끼리가 연결된 복수의 볼록부로 이루어진 격벽으로 완성된다. 또한, 유리 기판(11)의 표면을 깍아서 요철을 형성하는 경우에는, 격벽(16)은 유리 기판(11)의 일부분으로 된다.
이러한 격벽(16)은 각 셀의 양단을 획정하는 벽체로서, "면방향 대향 방전"을 위한 전극 배치를 가능하게 한다. 도 1의 구성에서는, 1개의 격벽(16)의 일부(수평부)가 일단측의 벽체로 된다. 그리고, 이웃하는 격벽(16)에 의해 1행분의 셀의 양단이 획정된다. PDP(1)에서는, 이웃하는 격벽(16)의 한쪽 위에 표시 전극(X)이 형성되고, 다른쪽 위에 표시 전극(Y)이 형성된다. 표시면 전체에서의 표시 전극(X, Y)의 배열 형태는, 2행에 3개의 비율로 표시 전극(X)과 표시 전극(Y)을 1개씩 교대로 등간격으로 나열하고, 이웃하는 전극끼리를 전극쌍으로 하는 형태이다. 표시 전극의 총수는 행수에 1을 더한 수로 된다.
표시 전극(X)은 패터닝된 도전막이고, 열마다 설치된 방전부(41)와, 1행분의 방전부(41)를 연결하는 급전부(42)로 이루어진다. 급전부(42)는 격벽(16)의 정상면에 배치되어 있고, 방전부(41)는 열의 중앙 위치에서 격벽(16)의 정상면과 측면에 걸치도록 급전부(42)의 양측으로 돌출되어 있다. 표시 전극(Y)도 열마다의 방전부(41)와 그들을 연결하는 급전부(42)로 이루어지고, 표시 전극(Y)의 구성은 표시 전극(X)과 모두 동일하다. 급전부(42)의 재질에 대해서는, 라인 저항을 저감할 필요가 있으므로 금속이 적합한다. Cr-Cu-Cr의 3층 막이 재질의 대표예이다. 방전부(41)에 대해서는, 공정수 삭감 및 제조 수율 향상의 관점에서 급전부(42)와 일괄해서 형성하는 것이 바람직하다. 단, 방전부(41)를 ITO, 네사라는 투명 도전 재료로 형성해도 된다. 이러한 표시 전극(X)과 표시 전극(Y) 사이, 즉 행의 중앙 위치에는 한쌍의 보조 전극(X', Y')이 배열되어 있다.
도 2는 본 발명에 따른 PDP의 셀 구조의 모식도이고, 도 1의 II-II선에 따른 단면의 구조를 나타내고 있다.
도 2와 같이, 실제로는 표시 전극(X, Y)은 격벽(16)의 전체에 퍼지는 유전체층(17) 및 내(耐)스퍼터 보호막(18)에 의해 피복되어 있다. 보호막(18)의 재질은 마그네시아이다. 유전체층(17)에 대해서 중요한 것은, 층의 두께가 균등한 것이 아니라, 격벽(16)의 측부에서 얇고 또한 정상부에서 두꺼운 것이다. 이와 같이 유전체층(17)의 두께를 설정함으로써, 이웃하는 표시 전극(X, Y) 사이에 전압을 인가했을 때에 가장 방전이 생기기 쉬운 부위가 방전부(41)의 서로 대향하는 면(이것을 주면이라고 함)끼리의 사이로 된다. 즉, 방전부(41)가 격벽(16)의 정상부에도 존재함에도 불구하고, 격벽(16)의 정상부끼리의 사이나 정상부와 측부 사이에서의 방전이 억제된다. 여기서 말하는 정상부와 측부를 엄밀하게 정의하는 것은 어렵다. 개념으로서는, 표면(주목 부분의)이 기판면과 평행 또는 그것에 가까운 부분이 정상부이고, 표면이 기판면과 평행하기 보다는 수직에 가까운 부분이 측부이다. 격벽(16)을 샌드 블래스트법으로 형성하면, 정상면은 거의 평탄하게 된다.
표시 전극(X)의 주면과 표시 전극(Y)의 주면 사이에서의 방전(82)은 면방향 대향 방전이다. 이들 주면 간의 거리는 열방향의 셀 치수에 가까운 값, 즉 격벽(16)의 폭을 뺀 충분히 큰 값이므로, 방전(82)은 양광주가 연장된 고휘도의 방전으로 된다. 또한, 전극 간의 정전 용량이 작으므로, 용량의 충전에 드는 쓸모없는 전력이 적은 것도 발광 효율의 향상에 기여한다. 도 2로부터 명확한 바와 같이, 방전(82)은 형광체층(도시된 것은 형광체층(28G))으로부터 떨어진 위치에서 일어나므로, PDP(1)에서는 종래의 면방전형 PDP와 마찬가지로 형광체가 열화되기 어렵다.
이상의 구성의 PDP(1)에 의한 표시의 구동 시퀀스의 개략은 다음과 같다. PDP(1)의 전극 구성에서는 배열의 양단을 제외하고서 표시 전극(X, Y)이 이웃하는 2행에 공통이므로, 1프레임을 홀수행의 데이터를 표시하는 필드와 짝수행의 1프레임을 표시하는 필드로 나누는 인터레이스 구동을 행한다. 각 필드의 어드레스 기간에서, 보조 전극(Y')을 스캔 전극으로서 사용하여 행 선택을 행하고, 그와 동시에 선택 행 중의 점등해야 할 셀에 대응한 어드레스 전극(A)을 선택 전위로 바이어스한다. 이에 따라 점등해야 할 셀의 보조 전극(Y')과 어드레스 전극(A) 사이에서 어드레스 방전을 생기게 한다. 모든 행에 대해서 순서대로 동일한 처리를 행하고, 점등해야 할 셀에 소정량의 벽전하를 형성한다. 어드레스 기간에 이어지는 표시 기간에서, 표시 대상의 전체 행의 보조 전극(X')과 보조 전극(Y') 사이에 유지 전압을 인가하고, 그에 따라 벽전하가 존재하는 점등해야 할 셀에서만 면방전(81)을 생기게 한다. 그리고, 면방전(81)을 불씨로서 점등해야 할 셀에서만 면방향 대향 방전(방전(82))이 생기도록 표시 전극(X)과 표시 전극(Y) 사이에 유지 전압을 인가한다. 면방향 대향 방전의 에너지를 받아서 방전 가스가 자외선을 방사한다. 이 자외선이 형광체층(28G)을 여기하고, 형광체층(28G)이 표시광(85)을 발한다. 또한, 보조 전극(X')을 생략해도 표시는 가능하다. 그 경우는 면방전(81)을 생기게 하는 것이 아니라, 어드레스 기간에 형성한 벽전하를 이용해서 방전(82)을 생기게 한다. 또한, 형광체층을 전면측 유리 기판(11)의 격벽(16)으로 둘러싸인 영역, 바람직하게는 표시 전극(X, Y) 상을 피한 보호막 표면에도 형성해서 발광 휘도를 높일 수도 있다.
PDP(1)의 제조는 각 유리 기판(11, 21)에 대해서 별개로 상술한 구성 요소를 설치하여 기판 본체(10, 20)를 얻는 공정, 기판 본체(10, 20)를 대향 배치하여 주위를 밀봉하는 공정, 및 내부를 깨끗이하여 방전 가스를 밀봉하는 공정을 필요로 한다. 이하, 기판 본체(10)의 제조에서의 본 발명에 특유한 유전체층(17)의 형성을 설명한다.
도 3은 유전체층의 형성 공정의 설명도, 도 4는 인쇄 방법의 설명도, 도 5는 전체면 인쇄 공정의 설명도이다.
유전체층의 형성에는 유리 페이스트를 스크린 인쇄에 의해 도포하여 소성하는 후막법을 채용한다. 형성 작업은 크게 5개의 공정으로 나눠진다.
제1 공정에서는, 유동 방지용 필러로서의 유리 비즈를 혼합한 페이스트(본 발명에 따른 제1 유리 페이스트)를, 격벽(16)의 정상부에 인쇄한다. 도 3의 (a)와 같이, 격벽(16)의 폭이 W1인 정상부의 전체에 퍼지고 또한 밀려 나오지 않도록 정확하게 인쇄한다. 인쇄 범위가 정상부의 양단에 이르지 않거나, 정상부에 대하여 벗어나거나 하면 불량으로 된다. 정확하게 인쇄하기 위해서 다음의 파라미터를 조정하여 인쇄 조건을 최적화한다.
(1) 스텐실(마스크)의 개구 치수
(2) 스퀴지 스피드
(3) 인쇄시의 압력(이하, 인쇄 압력이라 함)
(4) 유리 페이스트의 유기 용제에 의한 희석량
페이스트를 인쇄한 후, 질소 분위기 중에서 130℃ 20분의 건조 처리를 행한다. 건조 후의 페이스트(171)의 막 두께 H1이 작을수록, 유전체층(17)에서의 격벽 측부를 덮는 부분이 얇게 되고, 방전 개시 전압이 떨어진다. 단, 격벽 측부의 유전체층을 얇게 하고자 한 경우라도, 막 두께 H1을 80㎛ 이상으로 하는 것이 좋다. 이 조건을 만족시키지 않으면 다음 공정에서 정상부와 측부의 경계인 모서리에 페이스트가 붙지 않는 불량이 일어나기 쉽게 된다. 절연 파괴를 없애기 위해서는 격벽(16)의 모서리를 충분히 두꺼운 유전체층으로 덮을 필요가 있다. 구체예로서는, 격벽 측부의 유전체층 두께를 50㎛로 하고자 한 경우에는 막 두께 H1을 130㎛로 한다. 제1 공정에서 사용하는 유리 페이스트로서는, 주성분인 저융점 유리 분말과 비히클의 혼합물에, 도시바 바로티니사(현 포타즈·바로티니사)의 중공 유리 비즈(HSC-110B)를 30중량%의 비율로 혼합한 것을 들 수 있다.
제2 공정에서는, 다음의 제3 공정의 인쇄시에, 제1 공정에서 인쇄한 페이스트(171)로부터 유리 비즈가 흘러 나가는 것을 막기 위해서, 제3 공정의 유리 페이스트와 유사하고 또한 필러를 많이 함유하는 페이스트층(172)을 격벽(16)의 정상부에 형성한다(도 3의 (b) 참조). 제1 공정과 마찬가지로 정확하게 위치 결정해서 페이스트를 인쇄한다. 막 두께에 대해서는, 130℃ 20분의 건조 처리를 마친 시점에서 30㎛로 되도록 한다. 제2 공정에서 사용하는 유리 페이스트로서는, 저융점 유리 분말과 비히클의 혼합물에, 입경 5㎛의 이산화규소 입자를 75중량%의 비율로 혼합한 것을 들 수 있다.
제3 공정에서는, 격벽 측부를 덮는 유전체를 형성하기 위해서, 건조 후의 페이스트(171, 172)을 포함시켜서 벽체(16)의 전체에 유리 페이스트(본 발명에 따른 제2 유리 페이스트)를 인쇄한다. 도 4 및 도 5와 같이 , 테이블(91) 상에 유리 기판(11)을 배치하여, 그 위에 스텐실(92)을 배치한 후, 스크래퍼(93)를 스텐실(92)로부터 조금 떨어지게 해서 유리 기판(11)의 격벽(16)에 접촉하지 않도록 페이스트(173a)를 스텐실(92)에 코팅한다. 계속해서, 코트한 페이스트(173a)를 스퀴지로 유리 기판(11)에 인쇄한다. 코팅을 생략하는 수순을 채용해도 된다. 인쇄 후의 건조는 유리 기판(11)의 표리(表裏)를 반전시키고, 격벽(16)을 아래로 향하게 하여 유리 기판(11)을 수평으로 유지하고, 110℃ 50분의 조건으로 실시한다. 이에 따라, 페이스트(173a)가 격벽(16)의 저면측으로 흘러내리는 것을 막고, 격벽(16)의 모서리의 피복성을 양호하게 할 수 있다. 건조 후의 페이스트(173)의 형상은 도 3의 (c)와 같이 된다. 이 때, 제1 공정의 페이스트(171)의 양측에서의 페이스트(173)가 소정의 두께를 갖는 것이 중요하다. 인쇄 압력이 지나치게 강하면, 페이스트(173)의 두께가 부족하고, 최종적으로 격벽(16)에서의 상술의 모서리가 충분히 피복되지 않는다. 제3 공정에서 사용하는 유리 페이스트로서는, 저융점 유리 분말과 비히클의 혼합물에, 입경 5㎛의 이산화규소 입자를 15중량%의 비율로 혼합하고, 또한 유기 용제로 희석한 것을 들 수 있다. 유기 용제의 양에 대해서는 인쇄 막 두께에 따라 적절하게 선정한다(대략의 범위는 60∼100cc/kg).
제4 공정에서는, 격벽(16)의 모서리의 피복성을 보다 양호하게 하기 위해서, 제3 공정의 페이스트보다도 소성시의 유동성이 작은 유리 페이스트(본 발명에 따른제3 유리 페이스트)를, 벽체(16)의 정상부를 덮고 또한 측부의 대부분을 덮지 않는 범위 내에서 정상부로부터 돌출하도록, 건조 후의 유리 페이스트(173) 상에 인쇄해서 건조시킨다. 인쇄시에는, 마스크의 개구부의 폭 W2가 격벽(16)의 정상부의 폭 W1보다도 양측으로 40㎛ 정도 큰 스텐실을 사용한다. 이에 따라, 페이스트의 희석량에 의존해서 다소의 증감은 있지만, 폭 W1보다 양측으로 60㎛ 정도 큰 폭 W3을 갖는 영역으로의 인쇄가 가능해진다. 130℃ 20분의 건조 처리 후의 유리 페이스트(174)의 막 두께는 20㎛로 된다(도 3의 (d) 참조). 제4 공정에서 사용하는 유리 페이스트로서는, 저융점 유리 분말과 비히클의 혼합물에, 제1 공정과 마찬가지의 유리 비즈를 30중량%의 비율로 혼합한 것을 들 수 있다.
제5 공정에서는, 590℃로 40분 간의 소성을 행한다. 제3 공정에서 전체적으로 인쇄한 페이스트(173)는 소성에서 격벽(16)의 저면측으로 흐른다. 한편, 제4 공정에서 부분적으로 인쇄한 페이스트(174)는 페이스트(173)와 비교해서 유동성이 작은 재질이므로, 페이스트(173)와 페이스트(174)의 경계면에서 보유력이 생기고, 격벽(16)의 모서리 및 측부에서의 피복이 충분한 두께로 된다. 제1 공정에서 유동성이 작은 페이스트를 인쇄했기 때문에, 격벽(16)의 정상부의 피복은 측부보다도 큰 폭으로 두껍게 된다(도 3의 (e) 참조).
본 발명에 따르면, 표시 전극 간극을 넓힐 수 있으므로, 충분히 긴 양광주를 생기게 해서 휘도를 높이고, 또한 정전 용량에 의한 쓸모없는 전력 소비를 저감하여 발광 효율을 높일 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따르면, 신규의 유전체 피복 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널을 생산성 양호하게 제조할 수 있다.

Claims (6)

  1. 대향 배치된 한쌍의 기판에 의해 엔벨로프(envelope)가 구성되고,
    방전 셀의 일 방향의 양단 위치에 상기 기판쌍의 대향 간극을 국부적으로 좁히는 벽체(壁體)가 설치되며,
    상기 벽체의 정상부와 측부에 걸치도록 상기 벽체의 표면에 도전막이 설치되고,
    상기 도전막의 전체를 덮는 유전체층을 가지며,
    상기 유전체층 중의 상기 정상부를 덮는 부분이 상기 측부를 덮는 부분보다도 두껍게 형성되어 있고,
    이웃하는 벽체의 도전막 간에 전압을 인가 했을 때에, 서로 대향하는 측부끼리의 사이에서 가장 방전이 생기기 쉬운 구조를 갖는
    것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  2. 대향 배치된 한쌍의 기판에 의해 엔벨로프가 구성되고,
    방전셀의 일 방향의 양단 위치에 상기 기판쌍의 대향 간극을 국부적으로 좁히는 벽체가 설치되며,
    상기 벽체의 정상부와 측부에 걸치도록 상기 벽체의 표면에 도전막이 설치되고,
    상기 도전막의 전체를 덮는 유전체층을 가지며,
    상기 유전체층 중의 상기 정상부를 덮는 부분이 상기 측부를 덮는 부분보다도 두껍게 형성되어 있고,
    이웃하는 벽체의 도전막 간에 전압을 인가했을 때에, 이웃하는 벽체의 서로 대향하는 측부끼리의 사이에서 가장 방전이 생기기 쉬운 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서,
    상기 유전체층의 형성 공정이,
    유동 방지용 필러(filler)를 혼합한 제1 유리 페이스트를 상기 벽체의 정상부에만 도포하여 건조시키는 단계와,
    상기 제1 유리 페이스트보다도 소성시의 유동성이 큰 제2 유리 페이스트를, 건조 후의 상기 제1 유리 페이스트를 덮도록 상기 벽체의 전체에 도포하여 건조시키는 단계와,
    건조 후의 상기 제1 유리 페이스트 및 제2 유리 페이스트를 일괄해서 소성하는 단계
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 유리 페이스트를 도포하여 건조시킨 후에, 상기 제2 유리페이스트를 도포하기 이전에, 상기 제2 유리 페이스트를 도포했을 때에 상기 제1 유리 페이스트로부터 상기 제2 유리 페이스트로의 상기 유동 방지용 필러의 유출을 억제하기 위한 층을 상기 제1 유리 페이스트 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  4. 제2항에 있어서.
    상기 제2 유리 페이스트의 도포 및 건조를 행한 후에, 상기 제2 유리 페이스트보다도 소성시의 유동성이 작은 제3 유리 페이스트를, 상기 벽체의 정상부를 덮고 또한 측부의 대부분을 덮지 않는 범위 내에서 상기 정상부로부터 돌출하도록, 건조 후의 상기 제2 유리 페이스트 상에 도포하여 건조시키고,
    건조 후의 상기 제1 유리 페이스트, 제2 유리 페이스트, 및 제3 유리 페이스트를 일괄해서 소성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 유동 방지용 필러는 중공(中空) 유리 비즈(beads)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제2 유리 페이스트의 건조를, 상기 제2 유리 페이스트를 도포한 기판을 상기 정상부를 아래쪽으로 향하여 배치한 상태로 행하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100648716B1 (ko) * 2004-05-24 2006-11-23 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 이의 구동방법
US7557505B2 (en) 2004-04-29 2009-07-07 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel provided with display electrodes within barrier ribs
KR101407022B1 (ko) * 2009-09-14 2014-06-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 입자 주입 장치 및 방법

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003114640A (ja) * 2001-10-04 2003-04-18 Nec Corp プラズマディスプレイパネル及びその駆動方法
JP3753171B2 (ja) * 2002-03-18 2006-03-08 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法
FR2855646A1 (fr) * 2003-05-26 2004-12-03 Thomson Plasma Panneau de visualisation a plasma a zone d'expansion de decharge de section reduite
KR100696468B1 (ko) 2004-04-08 2007-03-19 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
GB0409662D0 (en) * 2004-04-30 2004-06-02 Johnson Electric Sa Brush assembly
KR20050110906A (ko) * 2004-05-20 2005-11-24 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
KR100659068B1 (ko) * 2004-11-08 2006-12-21 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
KR20060042293A (ko) * 2004-11-09 2006-05-12 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
KR100637466B1 (ko) * 2004-11-17 2006-10-23 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
US7804247B2 (en) 2005-01-13 2010-09-28 Panasonic Corporation Plasma display panel with panel member including recessed portion
KR100674832B1 (ko) * 2005-02-03 2007-01-26 삼성전기주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
JP2006228639A (ja) * 2005-02-21 2006-08-31 Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd プラズマディスプレイパネル
KR20060102653A (ko) * 2005-03-24 2006-09-28 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법
JP4674511B2 (ja) 2005-09-09 2011-04-20 パナソニック株式会社 プラズマディスプレイパネル
KR100739948B1 (ko) * 2005-11-25 2007-07-16 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 표시 패널 및 그 제조방법
KR100740129B1 (ko) 2006-08-21 2007-07-16 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널
JP4853336B2 (ja) * 2007-03-09 2012-01-11 パナソニック株式会社 プラズマディスプレイパネルの製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05314911A (ja) * 1992-05-07 1993-11-26 Nec Corp プラズマディスプレイパネル
KR0166018B1 (ko) * 1994-05-16 1998-12-15 엄길용 플라즈마 표시장치
JP3688114B2 (ja) * 1998-04-14 2005-08-24 パイオニア株式会社 プラズマディスプレイパネル
WO1999056300A1 (fr) * 1998-04-28 1999-11-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ecran a plasma et son procede de fabrication
KR20000074094A (ko) * 1999-05-18 2000-12-05 구자홍 플라즈마 표시패널의 방전전극
KR20010010400A (ko) * 1999-07-20 2001-02-15 김순택 교류 플라즈마 디스플레이 패널
KR100515826B1 (ko) * 2000-04-28 2005-09-21 삼성에스디아이 주식회사 교류형 플라즈마 디스플레이 패널

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7557505B2 (en) 2004-04-29 2009-07-07 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel provided with display electrodes within barrier ribs
KR100648716B1 (ko) * 2004-05-24 2006-11-23 삼성에스디아이 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 및 이의 구동방법
US7545346B2 (en) 2004-05-24 2009-06-09 Samsung Sdi Co., Ltd. Plasma display panel and a drive method therefor
KR101407022B1 (ko) * 2009-09-14 2014-06-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 입자 주입 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100739847B1 (ko) 2007-07-16
JP3659913B2 (ja) 2005-06-15
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US6650062B2 (en) 2003-11-18

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