JPS5819366B2 - キンゾクハクノセイゾウホウ - Google Patents
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ル
テニウム、鉄、クロム、チタンなどの単体金属およびこ
れらの合金、あるいは酸化ルテニウム、ホウ化ジルコニ
ウムなどの金属化合物の蒸着層からなる箔の新規かつ工
業的に有利な製造法に関する。
テニウム、鉄、クロム、チタンなどの単体金属およびこ
れらの合金、あるいは酸化ルテニウム、ホウ化ジルコニ
ウムなどの金属化合物の蒸着層からなる箔の新規かつ工
業的に有利な製造法に関する。
従来より引箔と称する高級な装飾用途に用いられる金、
銀箔が知られている。
銀箔が知られている。
これは金、銀の薄板を槌でたたいて次第に展延させ最終
的に0.1μ前後の厚さに仕上げたものであり、その製
造には美大な手間と高度な熟練を要する。
的に0.1μ前後の厚さに仕上げたものであり、その製
造には美大な手間と高度な熟練を要する。
したがって犬。量生産することは不可能であり、かつえ
られた金、銀箔は非常に高価なものとなる。
られた金、銀箔は非常に高価なものとなる。
しかもかかる金、銀箔の製造法によっては到底長尺物は
えられない。
えられない。
一方、金属を圧延することによって金属箔、たとえばア
ルミ箔を連続的に製造する方法が知られている。
ルミ箔を連続的に製造する方法が知られている。
この方法によって長尺の金属箔をうろことはできるが、
その厚さの精度が充分でなく、また厚さが約3μ以上に
制限されており、精密機器に使用される金属箔としては
必らずしも充分ではない。
その厚さの精度が充分でなく、また厚さが約3μ以上に
制限されており、精密機器に使用される金属箔としては
必らずしも充分ではない。
また真空蒸着法を応用して金属箔を製造する方法も知ら
れている。
れている。
これはベースフィルム上に(1)樹脂層を設けそのうえ
に金属蒸着層を設けるか、(2X1)の金属蒸着層のう
えにさらに樹脂層を設けるか、あるいは(3)金属蒸着
層を設けそのうえに樹脂層を設けるかし、ついで少なく
とも一面が樹脂層で被覆された金属蒸着層をベースフィ
ルムから剥離して少なくとも一面が樹脂層で被覆された
金属箔をうるものである。
に金属蒸着層を設けるか、(2X1)の金属蒸着層のう
えにさらに樹脂層を設けるか、あるいは(3)金属蒸着
層を設けそのうえに樹脂層を設けるかし、ついで少なく
とも一面が樹脂層で被覆された金属蒸着層をベースフィ
ルムから剥離して少なくとも一面が樹脂層で被覆された
金属箔をうるものである。
しかしてこの方法でえられる金属箔は少なくとも一面が
樹脂層で被覆されているから、その用途が制限される。
樹脂層で被覆されているから、その用途が制限される。
たとえば、樹脂層が被覆されていることは樹脂層の厚さ
が金属蒸着層に加わりしかもその樹脂層の厚さを0.5
μ以下の薄さにすることは困難であるから、0.5μ以
下の厚さの箔を必要とするような美術工芸、装飾品の用
途においては箔を被装飾物の微細な凹凸部に完全にそう
ように貼合せることができない。
が金属蒸着層に加わりしかもその樹脂層の厚さを0.5
μ以下の薄さにすることは困難であるから、0.5μ以
下の厚さの箔を必要とするような美術工芸、装飾品の用
途においては箔を被装飾物の微細な凹凸部に完全にそう
ように貼合せることができない。
また電気、電子工業材料関係、製薬、製菓関係などの用
途には樹脂層は不必要である。
途には樹脂層は不必要である。
しかるに本発明者らは、前記のごとき従来の金属箔の製
造法の問題点を解決すべく種々研究を重ねた結果、金属
の蒸着法は応用するが蒸着層のみからなる箔を工業的に
安価に製造する方法の開発に成功したのである。
造法の問題点を解決すべく種々研究を重ねた結果、金属
の蒸着法は応用するが蒸着層のみからなる箔を工業的に
安価に製造する方法の開発に成功したのである。
すなわち本発明はベースフィルム上にアルミニウム蒸着
層を形成し、そのうえに金、銀、銅、白金、パラジウム
、ニッケル、ルテニウム、鉄、クロム、チタンまたはこ
れらの合金、もしくは酸化ルテニウムまたはホウ化ジル
コニウムを重ね蒸着し、重ね蒸着層をアルミニウム蒸着
層との界面で剥離して取出すことを特徴とする箔の製造
法に関する。
層を形成し、そのうえに金、銀、銅、白金、パラジウム
、ニッケル、ルテニウム、鉄、クロム、チタンまたはこ
れらの合金、もしくは酸化ルテニウムまたはホウ化ジル
コニウムを重ね蒸着し、重ね蒸着層をアルミニウム蒸着
層との界面で剥離して取出すことを特徴とする箔の製造
法に関する。
本発明においてはアルミニウム蒸着層のうえに形成され
る重ね蒸着層は1層とはかぎらず、たとえばチタン、鉄
、チタンの順に3層に重ね蒸着したばあいのごとく多層
のものも含まれる。
る重ね蒸着層は1層とはかぎらず、たとえばチタン、鉄
、チタンの順に3層に重ね蒸着したばあいのごとく多層
のものも含まれる。
本発明は、ベースフィルム上にアルミニウム蒸着層を形
成し、そのうえに金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッ
ケル、ルテニウム、鉄、クロムまたはチタンなどの特定
の単体金属、またはこれらの合金、もしくは酸化ルテニ
ウム、ホウ化ジルコニウムなどの特定の金属化合物を重
ね蒸着したばあいにのみ、重ね蒸着層とアルミニウム蒸
着層間の付着力がアルミニウム蒸着層とベースフィルム
間の付着力より非常に弱くなり、重ね蒸着層をアルミニ
ウム蒸着層との界面できわめて容易に剥離することがで
きるという予期しえざる新たな事実の発見にもとづくも
のである。
成し、そのうえに金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッ
ケル、ルテニウム、鉄、クロムまたはチタンなどの特定
の単体金属、またはこれらの合金、もしくは酸化ルテニ
ウム、ホウ化ジルコニウムなどの特定の金属化合物を重
ね蒸着したばあいにのみ、重ね蒸着層とアルミニウム蒸
着層間の付着力がアルミニウム蒸着層とベースフィルム
間の付着力より非常に弱くなり、重ね蒸着層をアルミニ
ウム蒸着層との界面できわめて容易に剥離することがで
きるという予期しえざる新たな事実の発見にもとづくも
のである。
なぜかかるばあいに重ね蒸着層とアルミニウム蒸着層間
の付着力が弱くなるのかは定かでない。
の付着力が弱くなるのかは定かでない。
一応これらの蒸着層間の内部応力の差が考えられる。
しかしながら、ベースフィルム上に前記重ね蒸着層を先
に形成しそのうえにアルミニウム蒸着層を設けたばあい
には、セロハンテープによる剥離試験によってはアルミ
ニウム蒸着層が剥離せず、このばあいには重ね蒸着層と
アルミニウム蒸着層間の付着力が強いことから、重ね蒸
着層とアルミニウム蒸着層間の内部応力差は両者の界面
での付着力をさげる一つの要因ではあってもすべてでは
ないと考えられる。
に形成しそのうえにアルミニウム蒸着層を設けたばあい
には、セロハンテープによる剥離試験によってはアルミ
ニウム蒸着層が剥離せず、このばあいには重ね蒸着層と
アルミニウム蒸着層間の付着力が強いことから、重ね蒸
着層とアルミニウム蒸着層間の内部応力差は両者の界面
での付着力をさげる一つの要因ではあってもすべてでは
ないと考えられる。
前記の新たな知見にもとづく本発明においては、重ね蒸
着層はベースフィルム上に形成されたアルミニウム蒸着
層からきわめて容易に剥離することができるから、従来
の金属蒸着法を応用した金属箔の製造法におけるごとく
樹脂層で補強せずとも蒸着層のみからなる箔を工業的に
連続生産することができ、また従来の金属の圧延による
金属箔の製造法におけるごとき金属箔の厚さの限界およ
び厚さの精度の限界が大巾に前進され、たとえば約0.
04μ程度の厚さのものでも精度よくうろことができ、
もちろん従来の金、銀箔の製造法におけるごとき美大な
手間と高度な熟練をなんら要せず、金、銀箔と同様な箔
をきわめて安価に大量生産することができる。
着層はベースフィルム上に形成されたアルミニウム蒸着
層からきわめて容易に剥離することができるから、従来
の金属蒸着法を応用した金属箔の製造法におけるごとく
樹脂層で補強せずとも蒸着層のみからなる箔を工業的に
連続生産することができ、また従来の金属の圧延による
金属箔の製造法におけるごとき金属箔の厚さの限界およ
び厚さの精度の限界が大巾に前進され、たとえば約0.
04μ程度の厚さのものでも精度よくうろことができ、
もちろん従来の金、銀箔の製造法におけるごとき美大な
手間と高度な熟練をなんら要せず、金、銀箔と同様な箔
をきわめて安価に大量生産することができる。
本発明において用いるベースフィルムとしては自己保持
性が充分にありアルミニウム蒸着層の付着性が良好であ
ればとくに制限されないが、アルミニウム蒸着層の付着
性がよくしかも耐熱性その他の物理的特性がすぐれてい
る点からポリエチレンテレフタレートフィルムがとくに
好ましい。
性が充分にありアルミニウム蒸着層の付着性が良好であ
ればとくに制限されないが、アルミニウム蒸着層の付着
性がよくしかも耐熱性その他の物理的特性がすぐれてい
る点からポリエチレンテレフタレートフィルムがとくに
好ましい。
その他ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエチレン、
ポリプロピレン、セルロースアセテート、ポリカーボネ
ート、ポリ塩化ビニル、セロハンナトのフィルム、ステ
ンレスおよびその他の金属の薄いシートがあげられ、ア
ルミニウム蒸着層の付着性が充分でないばあいにはベー
スフィルムにアルミニウム蒸着層を強固に付着しうる物
質、たとえばアルキルチタネート、ウレタン樹脂、アク
リル樹脂などをあらかじめコーティングしておけばよい
。
ポリプロピレン、セルロースアセテート、ポリカーボネ
ート、ポリ塩化ビニル、セロハンナトのフィルム、ステ
ンレスおよびその他の金属の薄いシートがあげられ、ア
ルミニウム蒸着層の付着性が充分でないばあいにはベー
スフィルムにアルミニウム蒸着層を強固に付着しうる物
質、たとえばアルキルチタネート、ウレタン樹脂、アク
リル樹脂などをあらかじめコーティングしておけばよい
。
前記ベースフィルム上にはアルミニウム蒸着層が設けら
れる。
れる。
アルミニウムの蒸着は真空蒸着法、スパッタリング法、
イオンブレーティング法などの通常の蒸着法がいずれも
用いられうる。
イオンブレーティング法などの通常の蒸着法がいずれも
用いられうる。
蒸着条件としてはたとえば真空蒸着法のばあいlX10
3〜lX10’ トール程度の真空度、1200〜1
600℃程度の蒸発源温度が採用される。
3〜lX10’ トール程度の真空度、1200〜1
600℃程度の蒸発源温度が採用される。
アルミニウム蒸着層の厚さは0.03〜0.1μの範囲
が好ましい。
が好ましい。
0.03μより薄くなると重ね蒸着層の剥離性がわるく
なり、0.1μより厚くなるとベースフィルムとアルミ
ニウム蒸着層との間の付着性がわるくなる傾向があり好
ましくない。
なり、0.1μより厚くなるとベースフィルムとアルミ
ニウム蒸着層との間の付着性がわるくなる傾向があり好
ましくない。
アルミニウム蒸着層のうえに重ね蒸着する物質は金、銀
、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ルテニウム、鉄、
クロム、チタンなどの単体金属、それらの合金、たとえ
ばニッケルークロム合金、パラジウム−金合金、白金−
バラジウム−金合金、金−銀合金、金−銅合金など、お
よび酸化ルテニウム、ホウ化ジルコニウムなどの金属化
合物である。
、銅、白金、パラジウム、ニッケル、ルテニウム、鉄、
クロム、チタンなどの単体金属、それらの合金、たとえ
ばニッケルークロム合金、パラジウム−金合金、白金−
バラジウム−金合金、金−銀合金、金−銅合金など、お
よび酸化ルテニウム、ホウ化ジルコニウムなどの金属化
合物である。
これらは一層に蒸着してもよく、またたとえばチタン−
鉄−チタンなどのごとく多層に蒸着してもよい。
鉄−チタンなどのごとく多層に蒸着してもよい。
これらの蒸着は前記のアルミニウムの蒸着のばあいと同
様に真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーティ
ング法などの通常の蒸着法によって行なわれる。
様に真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーティ
ング法などの通常の蒸着法によって行なわれる。
蒸着条件としてはたとえば真空蒸着法のばあい蒸着物質
の種類に応じて1xio ’〜lXl0 ’トールの範
囲の真空度、1000〜2000℃の範囲の蒸発源温度
が適宜採用される。
の種類に応じて1xio ’〜lXl0 ’トールの範
囲の真空度、1000〜2000℃の範囲の蒸発源温度
が適宜採用される。
重ね蒸着層の厚さはえられる箔の用途に応じて適宜変更
されるものであるが、通常0.04〜3μの範囲が好ま
しい。
されるものであるが、通常0.04〜3μの範囲が好ま
しい。
重ね蒸着層が0.04μより薄くなるとアルミニウム蒸
着層からの剥離性が低下しかつえられた箔の自己保持性
が充分でなくなるので好ましくない。
着層からの剥離性が低下しかつえられた箔の自己保持性
が充分でなくなるので好ましくない。
かくしてえられたベースフィルム−アルミニウム蒸着層
−重ね蒸着層からなる一体構造物から重ね蒸着層が剥離
して取出される。
−重ね蒸着層からなる一体構造物から重ね蒸着層が剥離
して取出される。
本発明においては重ね蒸着層がアルミニウム蒸着層との
界面からきわめて容易に剥離するので、重ね蒸着層の剥
離方法にはとくに制限がない。
界面からきわめて容易に剥離するので、重ね蒸着層の剥
離方法にはとくに制限がない。
通常一体構造物を延伸または屈曲することにより、ある
いは機械的または送風機などで一体構造物に振動を与え
ることによって剥離が行なわれる。
いは機械的または送風機などで一体構造物に振動を与え
ることによって剥離が行なわれる。
あるいは延伸、振動などで剥離しやすくして支持紙の背
面から吸引し剥離してもよい。
面から吸引し剥離してもよい。
比較的薄い(たとえば2μ以下)長尺の箔をうるのに好
適な剥離方法を図面により説明する。
適な剥離方法を図面により説明する。
ロール1には重ね蒸着層2aをアルミニウム蒸着層を設
けた長尺ベースフィルム2b上に連続的に設けた一体構
造物2が重ね蒸着層2aを内側にして巻きあげられてい
る。
けた長尺ベースフィルム2b上に連続的に設けた一体構
造物2が重ね蒸着層2aを内側にして巻きあげられてい
る。
一体構造物2は巻きもどされつつ一対の押圧ロール3a
および3bからなるテンションロール3を通してガイド
バー4に到達する。
および3bからなるテンションロール3を通してガイド
バー4に到達する。
このガイドバー4付近で重ね蒸着層2aが剥離されアル
ミニウム蒸着層を有するベースフィルム2bのみが折返
されるようにして一対の押圧ロール5aおよび5bから
なるテンションロール5を通して巻きあげロール6に巻
きあげられてゆく。
ミニウム蒸着層を有するベースフィルム2bのみが折返
されるようにして一対の押圧ロール5aおよび5bから
なるテンションロール5を通して巻きあげロール6に巻
きあげられてゆく。
重ね蒸着層2aの剥離は2個のテンションロール3およ
び5の回転速度を調節して一体構造物に張力をかけるこ
とによって行なわれる。
び5の回転速度を調節して一体構造物に張力をかけるこ
とによって行なわれる。
このときベースフィルムの延伸によって生じる応力がア
ルミニウム蒸着層と重ね蒸着層の間の付着力よりまさる
ため重ね蒸着層が剥離する。
ルミニウム蒸着層と重ね蒸着層の間の付着力よりまさる
ため重ね蒸着層が剥離する。
ベースフィルムの延伸率はアルミニウム蒸着層と重ね蒸
着層間の付着力の強さに応じて適宜調節されるが、通常
1〜20係の範囲から選ばれる。
着層間の付着力の強さに応じて適宜調節されるが、通常
1〜20係の範囲から選ばれる。
延伸時にもし必要ならば若干加熱して延伸しやすくして
もよい。
もよい。
7はアースである。一方剥離された重ね蒸着層2aは支
持紙供給ロール8から供給される支持紙9のうえに重ね
られて進行し巻きとりロール10に巻きあげられる。
持紙供給ロール8から供給される支持紙9のうえに重ね
られて進行し巻きとりロール10に巻きあげられる。
支持紙9としては和紙、洋紙の別を問わずとくに制限は
ないが、通常は箔押紙として知られているものが好適に
用いられる。
ないが、通常は箔押紙として知られているものが好適に
用いられる。
かかる方法によるときは比較的薄い長尺の箔をキレンや
破損なしにうろことができる。
破損なしにうろことができる。
なお、比較的厚い金属箔(たとえば3μ以上)のばあい
は前記の方法において支持紙9の使用を省略してもよい
。
は前記の方法において支持紙9の使用を省略してもよい
。
かくしてえられた箔は、従来の金、銀箔と同様な用途、
たとえば仏壇、仏具、屏風、襖、陶器、漆器、扇子、折
紙、織物、額縁、マーク、製本などの高級装飾用に、球
状の製薬、製菓用に、あるいは菓子類、乳製品、その他
の食品、薬品、化粧品、たばこなどの包装用に、造花、
金銀糸、ラベル、ネームプレート、インテリアなどの用
途、各種コンデンサー、発熱体、導電体、プリント回路
などの電子工業用の用途、その他耐蝕性金属箔としての
用途など、きわめて広範な用途に好適に適用しうるもの
である。
たとえば仏壇、仏具、屏風、襖、陶器、漆器、扇子、折
紙、織物、額縁、マーク、製本などの高級装飾用に、球
状の製薬、製菓用に、あるいは菓子類、乳製品、その他
の食品、薬品、化粧品、たばこなどの包装用に、造花、
金銀糸、ラベル、ネームプレート、インテリアなどの用
途、各種コンデンサー、発熱体、導電体、プリント回路
などの電子工業用の用途、その他耐蝕性金属箔としての
用途など、きわめて広範な用途に好適に適用しうるもの
である。
つぎに本発明の方法を実施例をあげて説明する。
実施例 1
厚さ12μの長尺なポリエチレンテレフタレートフィル
ムに真空度lXl04 トール、蒸発源温度1400℃
でアルミニウムを0.05μの厚さに蒸着し、そのうえ
に真空度1×10−4トール、蒸発源温度1400℃で
銀を0.2μの厚さに重ね蒸着した。
ムに真空度lXl04 トール、蒸発源温度1400℃
でアルミニウムを0.05μの厚さに蒸着し、そのうえ
に真空度1×10−4トール、蒸発源温度1400℃で
銀を0.2μの厚さに重ね蒸着した。
えられた一体構造物から図面に示される方法にしたがっ
て重ね蒸着層を剥離して厚さ0.2μの長尺な銀箔をえ
た。
て重ね蒸着層を剥離して厚さ0.2μの長尺な銀箔をえ
た。
このばあい延伸率は10係とした。
重ね蒸着層の剥離はきわめて容易に行なわれ、えられた
銀箔には何らのシワもキレンも認められなかった。
銀箔には何らのシワもキレンも認められなかった。
実施例 2
厚さ16μの長尺なポリエチレンテレフタレートフィル
ムに真空度lXl0−’トール、蒸発源温度1400℃
でアルミニウムを0.07μの厚さに蒸着し、そのうえ
に真空度lXl0 ’ l−−ル、蒸発源温度1650
℃で銅を1μの厚さに重ね蒸着し、以下実施例1と同様
にして厚さ1μの長尺な銅箔をえた。
ムに真空度lXl0−’トール、蒸発源温度1400℃
でアルミニウムを0.07μの厚さに蒸着し、そのうえ
に真空度lXl0 ’ l−−ル、蒸発源温度1650
℃で銅を1μの厚さに重ね蒸着し、以下実施例1と同様
にして厚さ1μの長尺な銅箔をえた。
重ね蒸着層の剥離はきわめて容易に行なわれ、えられた
銅箔には何らのシワもキレンも認められなかった。
銅箔には何らのシワもキレンも認められなかった。
実施例 3
厚さ25μの長尺なポリエチレンテレフタレートフィル
ムに真空度lXl0−’トール、蒸発源温度1400°
Cでアルミニウムを0.06μの厚さに蒸着し、そのう
えに真空度lXl0’−’トール、蒸発源温度1650
℃(電子ビーム方式で加熱)で8 ONi −20Cr
を厚さ3μに蒸着し、以下支持紙の使用を省略したほか
は実施例1と同様にして重ね蒸着層を剥離してニッケル
ークロム合金箔をえた。
ムに真空度lXl0−’トール、蒸発源温度1400°
Cでアルミニウムを0.06μの厚さに蒸着し、そのう
えに真空度lXl0’−’トール、蒸発源温度1650
℃(電子ビーム方式で加熱)で8 ONi −20Cr
を厚さ3μに蒸着し、以下支持紙の使用を省略したほか
は実施例1と同様にして重ね蒸着層を剥離してニッケル
ークロム合金箔をえた。
このばあいにも重ね蒸着層の剥離はきわめて容易に行な
われた。
われた。
実施例 4
金、白金、パラジウム、ニッケル、ルテニウム、クロム
、金−銀合金、金−銅合金、パラジウム−金合金、白金
−パラジウム−金合金、酸化ルテニウムおよびホウ化ジ
ルコニウムを真空度lXl0 ’〜lX10=t−−ル
、蒸発源温度1000〜2000℃の範囲から適宜選ば
れた条件下にアルミニウム蒸着層のうえに0.04〜3
μの範囲から適宜選ばれた厚さで重ね蒸着したほかは実
施例1と同様にして箔をえた。
、金−銀合金、金−銅合金、パラジウム−金合金、白金
−パラジウム−金合金、酸化ルテニウムおよびホウ化ジ
ルコニウムを真空度lXl0 ’〜lX10=t−−ル
、蒸発源温度1000〜2000℃の範囲から適宜選ば
れた条件下にアルミニウム蒸着層のうえに0.04〜3
μの範囲から適宜選ばれた厚さで重ね蒸着したほかは実
施例1と同様にして箔をえた。
またアルミニウム蒸着層のうえにチタン、鉄、チタンの
順に重ね蒸着して3層からなる箔をえた。
順に重ね蒸着して3層からなる箔をえた。
いずれのばあいも重ね蒸着層の剥離は容易であった。
図面は箔の剥離方法の一実施態様を示す概略図である。
図面の主要符号、2ニ一体構造物、2a:重ね蒸着層、
2b=アルミニウム蒸着層を有するベースフィルム、4
ニガイドバー、3,5:テンションロール、9:支持紙
。
2b=アルミニウム蒸着層を有するベースフィルム、4
ニガイドバー、3,5:テンションロール、9:支持紙
。
Claims (1)
- 1 ベースフィルム上にアルミニウム蒸着層を形成し、
そのうえに金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、
ルテニウム、鉄、クロム、チタンまたはこれらの合金、
もしくは酸化ルテニウムまたはホウ化ジルコニウムを重
ね蒸着し、重ね蒸着層をアルミニウム蒸着層との界面で
剥離して取出すことを特徴とする箔の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14193875A JPS5819366B2 (ja) | 1975-11-27 | 1975-11-27 | キンゾクハクノセイゾウホウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14193875A JPS5819366B2 (ja) | 1975-11-27 | 1975-11-27 | キンゾクハクノセイゾウホウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5265729A JPS5265729A (en) | 1977-05-31 |
| JPS5819366B2 true JPS5819366B2 (ja) | 1983-04-18 |
Family
ID=15303623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14193875A Expired JPS5819366B2 (ja) | 1975-11-27 | 1975-11-27 | キンゾクハクノセイゾウホウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5819366B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3115116A1 (de) * | 1980-05-07 | 1982-02-04 | The Perkin-Elmer Corp., 06856 Norwalk, Conn. | Verfahren zur herstellung eines maskensubstrats zur anwendung bei der roentgenstrahlen-lithographie |
| JP5506497B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-05-28 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 電送特性の優れた回路を形成するプリント配線板用銅箔及びそれを用いた積層体 |
-
1975
- 1975-11-27 JP JP14193875A patent/JPS5819366B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5265729A (en) | 1977-05-31 |
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