JPS58192944U - アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 - Google Patents
アモルフアスシリコン感光体の成膜装置Info
- Publication number
- JPS58192944U JPS58192944U JP8874882U JP8874882U JPS58192944U JP S58192944 U JPS58192944 U JP S58192944U JP 8874882 U JP8874882 U JP 8874882U JP 8874882 U JP8874882 U JP 8874882U JP S58192944 U JPS58192944 U JP S58192944U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous silicon
- silicon photoreceptor
- chamber
- film
- film forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はアモルファスシリコン感光体の成膜中における
本考案の一実施例を示す断面側面図、第２図は同例を示
す断面平面図、第３図は同例の要部を示す斜視図、第４
−図はアモルファスシリコン感光体の成膜後における同
例を示す断面側面である。 １・・・・・・アモルファスシリコン感光体の成膜装置
、２・・・・・・チェンバー、４・・・・・・導電性ド
ラム状基体、１７・・・・・・排気系統、２０． ２２
． ２５・・・・・・バルブ、２１・・・・・・タンク
、２３・・・・・・流入管、２Ｑａ・・・・・・流出管
。
本考案の一実施例を示す断面側面図、第２図は同例を示
す断面平面図、第３図は同例の要部を示す斜視図、第４
−図はアモルファスシリコン感光体の成膜後における同
例を示す断面側面である。 １・・・・・・アモルファスシリコン感光体の成膜装置
、２・・・・・・チェンバー、４・・・・・・導電性ド
ラム状基体、１７・・・・・・排気系統、２０． ２２
． ２５・・・・・・バルブ、２１・・・・・・タンク
、２３・・・・・・流入管、２Ｑａ・・・・・・流出管
。
Claims (2)
- （１）チェンバー内で少なくともＳｉを含むガスのプラ
ズマ状態を生じさせ導電性基体表面にアモルファスシリ
コン感光体を成膜させるアモルファスシリコン感光体の
成膜装置において、前記チェンバー内で前記導電性基体
を着脱自在に支持する支持体と、アモルファスシリコン
感光体の成膜後に前記導電性基体のかわりに前記支持体
に取着支持されチェンバー内を清浄するクリーニングブ
ラシと、前記支持体を回転させるための駆動手段と、前
記チェンバー内に揮発性溶剤を流入させるための流入手
段と、前記チェンバー内へ流入した揮発性溶剤とともに
前記チェンバー内に溜る粉状Ｓｉを前記チェンバー外へ
流出させる流出手段とを具備して成り、前記流入手段と
前記流出手段はアモルファスシリコン感光体の成膜後に
動作することを特徴とするアモルファスシリコン感光体
の成膜装置。 - （２）駆動手段と一人手段及び流出手段が同時に動作す
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲１１ｉ記載
のアモルファスシリコン感光体の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8874882U JPS58192944U (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8874882U JPS58192944U (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58192944U true JPS58192944U (ja) | 1983-12-22 |
Family
ID=30097408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8874882U Pending JPS58192944U (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | アモルフアスシリコン感光体の成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58192944U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145767A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-05 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 気相成長用反応炉の洗浄方法 |
-
1982
- 1982-06-16 JP JP8874882U patent/JPS58192944U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02145767A (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-05 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 気相成長用反応炉の洗浄方法 |
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