JPS58188031A - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents
ガス放電パネルの製造方法Info
- Publication number
- JPS58188031A JPS58188031A JP57070679A JP7067982A JPS58188031A JP S58188031 A JPS58188031 A JP S58188031A JP 57070679 A JP57070679 A JP 57070679A JP 7067982 A JP7067982 A JP 7067982A JP S58188031 A JPS58188031 A JP S58188031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas discharge
- substrates
- spacer
- pair
- panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/16—Vessels; Containers
Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明はガス放電バネ〜の製造方法に係り、特に放電表
示欠陥のないガス放電空間を形成し得るガス放電パネル
の製造方法に関するものである。
示欠陥のないガス放電空間を形成し得るガス放電パネル
の製造方法に関するものである。
（至）従来技術と問題点
一般にプラズマディスプレイバネμと呼ばれる平板表示
用ガス放電バネＩＶＢ、例えばそれぞれ金（Ａｕ ）
ｔたは酸化錫（Ｓｎｕｇ）等からなる複数の導電性のＸ
電極およびＹ電極が配設された一対のガフス基板上に低
融点ガラスあるいはアルミナ等からなる誘電体層を被着
形成し、かかる一対のパネル構成基板を所定のガス放電
空間を隔てて対向配置シ、その周囲を封止ガフスによっ
て封止した後、前記ガス放電空間を一旦排気し、該空間
にイオン化可能な放電ガスを封入している。そしてこの
ように構成されたガス放電パネルの放電特性は、上記放
電空間の間隙長に大きく依存して変化することから、こ
れを全面にわたって均一に維持するために、従来におい
ては、例えばマイクロシートガラスの如き薄いガラス板
材料片あるいは同形状の金属片等からなるスペーサを、
前記一対のパネル構成基板間の随所に配置した構成がと
られている。
用ガス放電バネＩＶＢ、例えばそれぞれ金（Ａｕ ）
ｔたは酸化錫（Ｓｎｕｇ）等からなる複数の導電性のＸ
電極およびＹ電極が配設された一対のガフス基板上に低
融点ガラスあるいはアルミナ等からなる誘電体層を被着
形成し、かかる一対のパネル構成基板を所定のガス放電
空間を隔てて対向配置シ、その周囲を封止ガフスによっ
て封止した後、前記ガス放電空間を一旦排気し、該空間
にイオン化可能な放電ガスを封入している。そしてこの
ように構成されたガス放電パネルの放電特性は、上記放
電空間の間隙長に大きく依存して変化することから、こ
れを全面にわたって均一に維持するために、従来におい
ては、例えばマイクロシートガラスの如き薄いガラス板
材料片あるいは同形状の金属片等からなるスペーサを、
前記一対のパネル構成基板間の随所に配置した構成がと
られている。
ところが上述の如く放電空間にスペーサを配置すること
により幾本かのＸ電極群と、同じく幾本かのＹｔｌｉｉ
群との各対向支点に対応する放電領埴が占有封殺され、
表示欠陥となる王都合がある。
により幾本かのＸ電極群と、同じく幾本かのＹｔｌｉｉ
群との各対向支点に対応する放電領埴が占有封殺され、
表示欠陥となる王都合がある。
したがってかかる表示欠陥を出来るだけ少なくするため
に、スペーサ数を必要最少限度に減少させるか、あるい
はスペーサの形を小さくしているが、その分だけ各スペ
ーサに掛かる圧力が大きくなる丸め、パネルの組立焼成
時、あるいはガス放電空間を排気する際に、例えばガラ
ス板片スペーサを用いた場合、該スペーサが割れてその
破片をガス放電空間内に散在させ、ガス放電表示に欠陥
を生じさせたり、また金属スペーサを用いた場合には、
該金属スペーサのエツジ部によって誘電体層および電極
にキズが入って該電極の断線中、誘電体層のピンホーｌ
ｖあるいはキズを通して電極と金属スペーサまたは別の
電極とショートするといった欠点があった。さらに従来
における金属スペーサは、誘電体層上に水ガラスや低融
点ガラスによって固着する際、該金属スペーサに対する
前記ガラス材の濡れが悪く、良好に固着されない不都合
があった。
に、スペーサ数を必要最少限度に減少させるか、あるい
はスペーサの形を小さくしているが、その分だけ各スペ
ーサに掛かる圧力が大きくなる丸め、パネルの組立焼成
時、あるいはガス放電空間を排気する際に、例えばガラ
ス板片スペーサを用いた場合、該スペーサが割れてその
破片をガス放電空間内に散在させ、ガス放電表示に欠陥
を生じさせたり、また金属スペーサを用いた場合には、
該金属スペーサのエツジ部によって誘電体層および電極
にキズが入って該電極の断線中、誘電体層のピンホーｌ
ｖあるいはキズを通して電極と金属スペーサまたは別の
電極とショートするといった欠点があった。さらに従来
における金属スペーサは、誘電体層上に水ガラスや低融
点ガラスによって固着する際、該金属スペーサに対する
前記ガラス材の濡れが悪く、良好に固着されない不都合
があった。
（（３） 発明の目的
縁膜で被覆され、かつ水ガラスや低一点ガフヌト濡れが
よく密着性の強い金属スペーサを、一対のパネル構成基
板の対向面に当接するように配置してガス放電空間を形
成することにより高品質表示のガス放電バネ〜を歩留り
よく製作し得る新規な！ｌｌ！造方法全方法するにある
。
よく密着性の強い金属スペーサを、一対のパネル構成基
板の対向面に当接するように配置してガス放電空間を形
成することにより高品質表示のガス放電バネ〜を歩留り
よく製作し得る新規な！ｌｌ！造方法全方法するにある
。
（ｄ） 発明の構成
そしてこの目的は、本発明によれば、少なくとも一方の
基板表面に複数の電極を支持してなる一対のパネル構成
基板を、所定のガス放電空間を隔てて対向′配置したパ
ネル構成を製造するに際し、前記両基板間に、あらかじ
め外周面に酸化絶縁膜を形成したスペーサ用アルミニウ
ム板よシ切り出した形の金属スペーサを介在させて前記
ガス放電空間を規定するようにしたことを特徴とするガ
ス放電パネルの製造方法を提供することによって達成さ
れる。
基板表面に複数の電極を支持してなる一対のパネル構成
基板を、所定のガス放電空間を隔てて対向′配置したパ
ネル構成を製造するに際し、前記両基板間に、あらかじ
め外周面に酸化絶縁膜を形成したスペーサ用アルミニウ
ム板よシ切り出した形の金属スペーサを介在させて前記
ガス放電空間を規定するようにしたことを特徴とするガ
ス放電パネルの製造方法を提供することによって達成さ
れる。
（θ）発明の実施例
以下図面を用いて本発明の製造方法の実施例について詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図及至第８図は本発明に係るガス放電パネルの製造
方法の一実施例を工程順に説明する断面図および斜視図
である。
方法の一実施例を工程順に説明する断面図および斜視図
である。
まず第１図に示すように対向する一対のガラス基板１お
よび１１の各−表面には、例えばクロム（Ｏｒ）−銅（
Ｃｕ）等の多層構造あるいは酸化錫（Ｓｎｕｇ）等から
彦る複数のＸ電極８と岡じくＹ電極１２が直交する方向
に配列され丸形で形成されている。そして前記電極２お
よび１２を形成した基板１および１１上に、例えば高硅
酸ガラスあるいは低融点ガラス等からなる誘電体層８お
よび１３を被着形成し、その基板１および１１の周辺に
、前記誘電体層８および１８よりも低融点なガラスペー
ストからなる封止材を塗着した袂、約４０θ℃で仮焼成
して封止材層５および１５を影或する。
よび１１の各−表面には、例えばクロム（Ｏｒ）−銅（
Ｃｕ）等の多層構造あるいは酸化錫（Ｓｎｕｇ）等から
彦る複数のＸ電極８と岡じくＹ電極１２が直交する方向
に配列され丸形で形成されている。そして前記電極２お
よび１２を形成した基板１および１１上に、例えば高硅
酸ガラスあるいは低融点ガラス等からなる誘電体層８お
よび１３を被着形成し、その基板１および１１の周辺に
、前記誘電体層８および１８よりも低融点なガラスペー
ストからなる封止材を塗着した袂、約４０θ℃で仮焼成
して封止材層５および１５を影或する。
次いで前記各誘電体層８および１８の上面に酸、化マグ
ネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層４および１４を選択
的に被着形成した後、上記のように構成された一対のパ
ネル構成基板１００と１１０の内、例えば一方のパネル
構成基板１１０の保護層１４上の所定箇所に、ガス放電
空間の間隙を規定する金属ス’＜−４１６を配設する。
ネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層４および１４を選択
的に被着形成した後、上記のように構成された一対のパ
ネル構成基板１００と１１０の内、例えば一方のパネル
構成基板１１０の保護層１４上の所定箇所に、ガス放電
空間の間隙を規定する金属ス’＜−４１６を配設する。
この金属スペーサ１６としては、従来の金属スペーサの
欠点を排除するために、本発明においては第２図に示す
ように薄いアルミニウム板２１の外周面に例えば陽極酸
化法によって絶縁性酸化膜２２を形成し、かかるアルミ
ニウム板２１を従来のスペーサと同形状に切り出し、該
切り出した金属スペーサ１６をさらに所定の温度で焼鈍
も兼ねて熱酸化し、この金属スペーサ１６をＬ記所定簡
所に例えば水ガラス等によって接着配置する。しかる後
、上述の工程により金属スペーサ１６が配電されたパネ
ル構成基板１１０上に、対となる本う一方のパネル構成
基板１００をそれらのＸ電極２とＹ電極１２とが互いに
直交し、かつ相方の封止材層５および１５が当接する形
に対向配置し、かかるパネル組合体を図示しない排気可
能が加熱炉内で加熱し、前記各封止材層５，１５を溶融
して第８図に示すように前記両パネル構成基板１００と
１１０を気密封止し、前記金属スペーサ１６によって所
定間隙のガス放電空間１７を有する表示パネルを構成す
るようにすれば、金属スペーサ１６を外被している絶縁
性酸化膜２２に対する水ガラスの濶れがよいので、当鋏
金属スペーサ１６の位置ずれが解消される。また上記封
止工程およびその後の排気工程等において前記金属スペ
ーサ１６が両バネ〃構成基板１００と１１０の対向面で
強圧されても、当該金属スペーサ１６のエツジが１けら
れ当接する誘電体層３および１８を損傷させることがな
くなる。さらに絶縁性酸化膜２Ｂが施されているので、
誘電体層８および１８のピンホールやキメを通して隣接
または対向する！４１間をショートさせるとと屯防止さ
れる。
欠点を排除するために、本発明においては第２図に示す
ように薄いアルミニウム板２１の外周面に例えば陽極酸
化法によって絶縁性酸化膜２２を形成し、かかるアルミ
ニウム板２１を従来のスペーサと同形状に切り出し、該
切り出した金属スペーサ１６をさらに所定の温度で焼鈍
も兼ねて熱酸化し、この金属スペーサ１６をＬ記所定簡
所に例えば水ガラス等によって接着配置する。しかる後
、上述の工程により金属スペーサ１６が配電されたパネ
ル構成基板１１０上に、対となる本う一方のパネル構成
基板１００をそれらのＸ電極２とＹ電極１２とが互いに
直交し、かつ相方の封止材層５および１５が当接する形
に対向配置し、かかるパネル組合体を図示しない排気可
能が加熱炉内で加熱し、前記各封止材層５，１５を溶融
して第８図に示すように前記両パネル構成基板１００と
１１０を気密封止し、前記金属スペーサ１６によって所
定間隙のガス放電空間１７を有する表示パネルを構成す
るようにすれば、金属スペーサ１６を外被している絶縁
性酸化膜２２に対する水ガラスの濶れがよいので、当鋏
金属スペーサ１６の位置ずれが解消される。また上記封
止工程およびその後の排気工程等において前記金属スペ
ーサ１６が両バネ〃構成基板１００と１１０の対向面で
強圧されても、当該金属スペーサ１６のエツジが１けら
れ当接する誘電体層３および１８を損傷させることがな
くなる。さらに絶縁性酸化膜２Ｂが施されているので、
誘電体層８および１８のピンホールやキメを通して隣接
または対向する！４１間をショートさせるとと屯防止さ
れる。
なお上述した金属スペーサの配設方法の他の実施例とし
て、例えば対向する一対のガラス基板ｌおよび１１の各
−表面に、複数のＸ［ｌｉｇと同じ＜Ｙｔｅｆｉ、誘電
体層８および１８、さらに゛封止材層６および１５を順
次形成し、・かかるガラス基板ｌおよび１１の内の一方
のガラス基板１１の誘電体層１８上の所定筒所に、あら
かじめ薄いアルミニウム板２１の外周面に陽極酸化法ま
たは熱酸化法によって絶縁性酸化Ｍ２２を形成し、さら
にその絶縁性酸化ｌ１１ｉ！２２が施されたアルミニウ
ム板２１０片ｉｉｉまたは両面の前記封止材層すおよび
１５よりも低い融点を有する低融点ガラス材を塗布融着
し、かかるアルミニウム板２１を従来のスペーサと同形
状に切断し、切り出した金属スペーサ１６を上記所定箇
所に例えばエチルセルローズ等の接着剤で接着配置する
。しかる後前記封止材層すおよび１５を仮焼成すること
により前記金属スペーサ１６を仮接着していた接着剤が
焼失すると共に１記金属スペーサ１６の低融点ガラス層
が溶融して、前記誘電体層１８上に当該金属スペーサ１
６が固着される。その後、前記各誘電体層８および１３
の上面にＭｇＯからなる保護層４および１４を選択的に
被着形−成し、このように構成された一対のパネル構成
基板１００と１１０を組合せて気密封止するようＫして
もよく、本発明の目的を容易に達成することが可能であ
る。
て、例えば対向する一対のガラス基板ｌおよび１１の各
−表面に、複数のＸ［ｌｉｇと同じ＜Ｙｔｅｆｉ、誘電
体層８および１８、さらに゛封止材層６および１５を順
次形成し、・かかるガラス基板ｌおよび１１の内の一方
のガラス基板１１の誘電体層１８上の所定筒所に、あら
かじめ薄いアルミニウム板２１の外周面に陽極酸化法ま
たは熱酸化法によって絶縁性酸化Ｍ２２を形成し、さら
にその絶縁性酸化ｌ１１ｉ！２２が施されたアルミニウ
ム板２１０片ｉｉｉまたは両面の前記封止材層すおよび
１５よりも低い融点を有する低融点ガラス材を塗布融着
し、かかるアルミニウム板２１を従来のスペーサと同形
状に切断し、切り出した金属スペーサ１６を上記所定箇
所に例えばエチルセルローズ等の接着剤で接着配置する
。しかる後前記封止材層すおよび１５を仮焼成すること
により前記金属スペーサ１６を仮接着していた接着剤が
焼失すると共に１記金属スペーサ１６の低融点ガラス層
が溶融して、前記誘電体層１８上に当該金属スペーサ１
６が固着される。その後、前記各誘電体層８および１３
の上面にＭｇＯからなる保護層４および１４を選択的に
被着形−成し、このように構成された一対のパネル構成
基板１００と１１０を組合せて気密封止するようＫして
もよく、本発明の目的を容易に達成することが可能であ
る。
（ｆ′）発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明に係るガス放電
パネルの製造方法によれば、ガス放電空間の間隙を規定
するスペーサに、外周面に絶縁性酸化膜を施したアルミ
ニウム板の金属スペーサを用いているので、当該７ベー
サを対向する一対のバネμ構成基板間に必要最小数配設
しても破損することがなく、を九スペーサに対するガラ
スの濡れ性がよいので水ガラスや低融点ガラスによって
パネル構成基板上の所定配設位置Ｋ１１ｌｌｉＫＩＩ着
することができるので、間隙寸法を高精度に保持するこ
とが可能となる。さらにスペーサに起因する電極の断線
、電極間のショート等が解消するなど表示欠陥がなく、
かつ放電特性のよい高品質表示のガス放電パネルを歩留
りよく製造することが可能となる利点を有する。よって
沓種ガス放電バネμ、特に大型のマトリックス型ガス放
電バネ〜の製造に適用して極めて有利であゐ。
パネルの製造方法によれば、ガス放電空間の間隙を規定
するスペーサに、外周面に絶縁性酸化膜を施したアルミ
ニウム板の金属スペーサを用いているので、当該７ベー
サを対向する一対のバネμ構成基板間に必要最小数配設
しても破損することがなく、を九スペーサに対するガラ
スの濡れ性がよいので水ガラスや低融点ガラスによって
パネル構成基板上の所定配設位置Ｋ１１ｌｌｉＫＩＩ着
することができるので、間隙寸法を高精度に保持するこ
とが可能となる。さらにスペーサに起因する電極の断線
、電極間のショート等が解消するなど表示欠陥がなく、
かつ放電特性のよい高品質表示のガス放電パネルを歩留
りよく製造することが可能となる利点を有する。よって
沓種ガス放電バネμ、特に大型のマトリックス型ガス放
電バネ〜の製造に適用して極めて有利であゐ。
第１図乃至第８図は本発明に係るガス放電パネルの製造
方法の一実施例を工程順に説明するための断面図および
斜視図である。 図において、１ ＋、 １１はガラス基板、２は複数の
Ｘ電Ｗ、１２ｔｉ複］１＆（ＤＹＥ極、８．１８は誘電
体層、４，１４は保護層、５．１６は封止材層、１６は
金属スペーサ、１７はガス放電空間、２１はアルミニウ
ム板、２２は絶縁性酸化膜、１００゜１１０はバネｌし
構成基板を示す。
方法の一実施例を工程順に説明するための断面図および
斜視図である。 図において、１ ＋、 １１はガラス基板、２は複数の
Ｘ電Ｗ、１２ｔｉ複］１＆（ＤＹＥ極、８．１８は誘電
体層、４，１４は保護層、５．１６は封止材層、１６は
金属スペーサ、１７はガス放電空間、２１はアルミニウ
ム板、２２は絶縁性酸化膜、１００゜１１０はバネｌし
構成基板を示す。
Claims (1)
- 少なくとも一方の基板表面に複数の電極を支持してなる
一対のパネル構成基板を所定のガス放電空間を隔てて対
向配置し九バ番ル構成を製造するに際し、前記両基板間
に、あらかじめ外周面に酸化絶縁膜を形成したスペーサ
用ア／Ｌ’ミニウム板よシ切り出した形の金属スペーサ
を介在させて前記ガス放電空間を規定するようＫし九こ
とを特徴とするガス放電バネ〜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57070679A JPS58188031A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | ガス放電パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57070679A JPS58188031A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | ガス放電パネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58188031A true JPS58188031A (ja) | 1983-11-02 |
Family
ID=13438568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57070679A Pending JPS58188031A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | ガス放電パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58188031A (ja) |
-
1982
- 1982-04-26 JP JP57070679A patent/JPS58188031A/ja active Pending
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