JPS5818675A - 表示装置 - Google Patents

表示装置

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JPS5818675A
JPS5818675A JP57122270A JP12227082A JPS5818675A JP S5818675 A JPS5818675 A JP S5818675A JP 57122270 A JP57122270 A JP 57122270A JP 12227082 A JP12227082 A JP 12227082A JP S5818675 A JPS5818675 A JP S5818675A
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JP57122270A
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テイ−ス・シ−ボルト・テ・フエルデ
ヨハネス・ランドリクス・マリア・フアン・デ・フエンネ
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明社１枚の支持板の間に電気−光学表示媒体ｔＸえ
、支持板には行と列に画素系を設け、更にこの画素系を
駆動する次めの行列電極系を設け。
スイッチング要素により各＊＊を行列電極系の一つの電
極に接続できる表示装置に関するものであるＯ このような表示装置は受動的な電気−光学表示装置５例
えば液晶、電気泳動懸濁液及びエレクトロクロイック材
料を使って英数字情報やビデオ情報を表示するのに遺し
ている。
しかし、ａ知の受動的な電気−光学表示媒体は印加電圧
に対するしきい値が十分急峻でなかつ九り、固有記憶作
用が不十分であつ九りしている０このためマトリックス
表示装置では駆動できる２インの数が少い・また記憶作
用が不十分なため列電極を介して選択さｒした行電極に
与えられる情報は反復して書き込まねばならない。１次
、列電極にかけられる電圧は選択された行電極の１累の
両端にかかるだけでなく、全ての他の行電極の画素にも
かかる◎この結果駆動きれていない時でも画素はその画
素をオン状態にするに足りるかもしれない有効電圧ｔ−
経験する０また行電極の数が増すとオン状態とオフ状態
とで画素が経験する有効電圧の比が小さくなるＯｆたし
きい値が十分急峻でない沈め、オン状態にある画素とオ
フ状態にあるｉ！ｉｇとのコントラストが小さくなる０
駆動できる行の数は画像要素毎にもう一つのスイッチ【
組み込めば多くなることが判明している。
このスイッチは印加され友電庄に対し十分なしきい値を
与え、また駆動された行電極に与えられる情報が他の電
極が駆動される画像要素に残ることを保証している。こ
のスイッチはまた画像要素が駆動されていない時有効な
電圧を受けることな抑えている〇 冒頭に記載し７を種類の表示装置は論文「アクティブ　
マトリツクス　７ドレツシング　テクニークス」（ム０
１ｉＶ６　ＭＪＬｔｒｉＸ　Ａ（ｉｄｒｅｇｌｌｌｎｇ
　Ｔｅｃｈｎｉｏｓ）ニス−アイ・デー（８，１，Ｄ、
）セミナー講演ノート（１９１０年１月）第１〜ａ４頁
に記載されているｏしかし、この論文で言及されている
スイッチング要素社バリスタのような非線形抵抗、金属
−酸化物一手導体（ｌ［０８）構造及び薄膜トランジス
タである＠ しかし、これらの既知のスイッチング要素に社欠陥があ
って、スイッチングｌ！素のしきい値電圧とスイッチン
グ要素の直列抵抗両端間の電圧降下とを加算して電気−
光学効果のしきい値電圧としなければならない◎ 普た。これらのスイッチング要素は表示要素の容量にく
らべて可成り大きな容量を有する。駆動時に社これらの
容量間で分圧が行なわれるが、上述した理由で表示要素
には一部の電圧しかかからない＠能動スイッチング要素
のもう一つの欠点はオフ状態におけるスイッチング要素
の抵抗が漏洩電流を防ぐに足るだけ大きくないことであ
る・この結果表示装置の達成できる記憶時間が限られて
くる◎ またこれらの既知のスイッチングｌｌ！嵩Ｆｉ表示要嵩
の面積に比して可成り大きな面積を占める〇それ故本発
明の目的は一層適し良スイッチング要素を有する表示装
置を提供するにある〇この目的ｔ’達成する几め本発明
によれば菅頒に記載し曳種類の表示装置において、各ス
イッチング要素を少なくともＩｌｌの静電的に制御でき
る微小で機械的な板ばねとしたことを特徴とする＠これ
らの微小で機械的な板ばね社これらの微小で機械的な板
ばねと接触させるべき＊ａｉとの間に電位差を与えるこ
とによりスイッチングされる〇微小で機械的な板ばねは
双安定状ｌｌすとるが、これは成るしきい値電圧を越え
た時だけ微小で機械的な板ばねが接触相手の電極に吸い
着くことを意味する。このような非常に小さい微小で機
械的な板ばねは既知の蒸着法とアンダーカット法とによ
り作ることができる◎このような方法ぽオツンメー特許
願第マｌ１Ｇ１０８号並びに未公開のオランダ国Ｉ！＃
紳願第８Ｇ０１ｊ１８１号及ＵＩＮ　５ｏｏｓａｓｓ号
に記載されている＠ これらの微小で機械的な板ばねをスイッチング要素とし
て用いる利点縮閉じ良状態でスイッチング要素のしきい
値電圧が消えることである◎ま几。
純粋に金属と金属との接触が行なわれるまめ閉じた状態
でのスイッチングｌ’嵩の直列抵抗が無視できる微小さ
い◎この結果スイッチングＩＰｇ両端間の電圧降下な電
気−光学効果のしきい値電圧に加える必要はなくなる。
この結果表示装置【駆動するのに必要な電圧は通常の集
積ｕ路で得ることができる◎ これらの微小で機械的な板ばねのもう一つの利点はｌＩ
鼓状態でのスイッチング要素の抵抗が無限大に大きいこ
とである０事実付勢されていない状態では微小で機械的
な板ばねは接触相手の電極から分離されている。この結
果表示要素の両端間にかかる電圧はスイッチを介して逃
れ去ることはなく、表示装置の記憶時閏祉相当に長くな
る。
微小で機械的な板ばねをスイッチング要素として用いる
もう一つの利点はスイッチング要素の容量が表示要素の
容量に比べて無視できる微小さいことである０この結果
１１は全部の駆動電圧、が表示′ｇ１１素の両端にかか
る〇 また微小で機械的な板ばねは表示要素の面積に比して小
さい面積しか占めない口このためスイッチングＩｌ！票
はほとんど気付かれない◎ま九微小で機械的な板ばねは
設計上大きな自由度を有し１種々の方法で作ることがで
きる。
注意すべきことは微小なスイッチング要素自体は論文「
１イクロメカニカル　メンプレン　スイッチング　オン
シリコｙ　Ｊ　（ＭｉｏｈｒｏｍｅｏｈａｎｉｏａｌＨ
ｅｍｂｒａｎａ　５ｗ１ｔｏｈｅｓ　ｏｎ　＄１１１ｃ
ｏｎ）、　Ｘ、Ｂ、Ｍ、Ｊ、　ＲａｍＤｅｖｅｌｏＰｊ
ｌ　！ｊ　　ａ　　＄１１４　　ｍｌ　　、　　ｌ　　
９　　テ　９年　、　凋蓼　８　ツ　６〜δ８Ｉｓ貞か
ら既知なことである・ここに述べられているスイッチン
グ要素はシリコン基板上に１０技術で設けられ皮金属化
されたＳｉｎ、薄膜により作られているが、電位差の影
響で薄膜が曲がり、他の電極と接触するおそれがある。
しかし、この場合、これは電気−光学表示媒体を有する
表示装置用のスイッチング要素（これｒｉｍ気−光学表
示媒体にしきい値と記憶作用な与える）には関係しない
Ｏ 本発明表示装置のＷ４１の実施例は各画素を２枚の支持
板の層間する表面上に夫々設けられ７ｔｇ個の画像電極
で形成し１行電極社一方の支持板上に設け、列電ａは他
方の支持板上に設け、一方の支持板上の各画像電極を少
なくともｌＩＩの微小で機械的な板ばねにより行電極に
接続できるように構成し九ことを特徴とする０この実施
例では行電極と列電極との間の表示要素と直列に微小で
機械的な板ばねｌＩＩ続している０この実施例は理想的
な非線形抵抗に類似している◎注意すべきこと蝶行電極
と列電極のいずれもが駆動電極に使われ九り情報電極に
使われたりするこりである◎第２の実施例は行電極な画
像電極の下に延在させ、ｌＩｉ像電極電極電気的に絶縁
し、ｌＩｉ像電極電極口な設け、このＨ口をこの開口の
区域では絶縁されていない行電極上に延在させ、画像電
極のこのに延在Ｔる導電性のカバー７−ドにより形成さ
れる空胴内に閉じ込められている少なくとも１個の微小
で機械的な板ばねにより各画像電極を′行１１１Ｉｉに
接続できるように構成したことを特徴とする。
本例でＩＩ′ｉ微小で機械的なスイッチは表示媒体中【
自由に動くのではなく、カバー７−ドで覆われている０
表示媒体として液晶を用いる場合この実施例はスイッチ
の区域での液晶分子に対する配向層が途切れることなく
カバー７−ド上に連続して延在できるという利点を与え
る。このようにしてスイッチの区域に中断領域ができる
のが防がれる。
もう一つの例Ｆｉ画像ｉ！Ｅ極とカバー７−ドとを反射
形にすることを特徴とする。
第１の実施例と第２の実施例で他方の支持板上の画像電
極と列電極とを一体化してストリップ状の電極とすると
有利である。
第８の実施例は行電極と列電極とを一方の支持板上に設
け、画像要素系な一方の支持板上に設け、画像要素系を
一方の支持板上に設けられたｌＩｉ鹸電極電極他方の支
持板上に設けられた共通対向電極とで形成し、関連行電
極でスイッチングされる少なくともＩｌｌの微小で機械
的な板ばねにより画像電極を関連列電、極に接続できる
ようにし友ことを時機とする。この実施例は理想的なＴ
Ｆ’ｌ’スイッチと類似している・行電極によりスイッ
チングされる微小で機械的な板ばねによりｔｉＡ像電極
電極電極とが接触する〇 第１の実施例は各交差点で導電性のブリッジにより列電
極【行電極から絶縁し、微小で機械的な板ばねなブリッ
ジの下で行電極と関連する画像電極との上に延在させ、
ａｌ小で機械的な板ばねの少なくとも一端を列電極に接
続したことを特徴とする０この実施例では列ＩＩＥＩＩ
内に組み込まれている微小で機械的な板ばねにより画像
電極と列電極とが接触する０行電極によりスイッチング
さｎる微小で機械的な板ばね自体が電流を運ぶ。
第５の実施例は微小で機械的な板ばねも導電性ブリッジ
を形成することを特徴とする０この微小で機械的な板ば
ねは列電極の一部を形成する０第６の実ａｇ４ｈ画像ｍ
極の微小で機械的な板ばねの下にくる部分な行電極上に
設け％画像電極と行電極とを絶縁層により互にｍｇ的に
絶縁したことを特徴とする。この例では微小で機械的１
な板ばねの下に可成り面積の大きい行電極があり、微小
で機械的な板ばねを画像電極の方に吸い着ける電界を形
成する。
第１の実施例は交差点で列電極と行電極とを互に絶縁し
、微小で機械的な板ばねの両固定端を一方の支持板上に
設け、各微小で機械的な板ばねを行電極１列電極の一部
及び関連画像電極の上方に延在させたことを特徴とする
。本例の微小で機械的な板ばね自体は電流を運ばない０
各微小で機械的な板ばねは行電極によりスイッチングさ
れ、スイッチングされた状態では列電極及び画像ｗ、ｓ
ｉと接触する〇 信頼性を高める九め本発明に係る表示装置内の画素には
直列、並列又はそれらの組み合せにして複数個の微小で
機械的な板ばねを設けることができる。
■曹にり會零発明の詳細な説明する。
第１５１１は零殆嘴に係る液晶表示装置０第１の実施例
の一部の略式断面図である。この液晶表示装置は２枚、
の透明なガラス支持、１１１及びＩｔ具え、これらのガ
９ヌ支持榎どうしを互に１０　＃ｓの距離離す、これら
の支持板はセラミックその他の材料から作ることもでき
る。多数の画像電極８【支持１［１上に縦横に設ける０
画像電極ａＯ行と行の閤に透明なストダップ状の行電極
、所謂走査電極４を設ける一各ｌＩｌ像電１ｉ　８　番
；ｉ微小な機械的な板ばねｂにより走査電極番に接触さ
せる仁とができ為拳支持１［Ｓ上にも多数の画像電極・
な縦横に設ける。
画像電極・の列間に透明なス）ＩＪツブ状の列電極、所
謂データ電極テを設ける。そしてこのデータ電植に画像
電植・管導電的に＊＊する。ｉｉｉ＊電極６は支持１［
１上の画像電極８と組んで表示装置の表示ｌ！嵩費構成
する。注意すべきことはデータ電極ｑトｗｉｔａ電４Ｉ
６とを一体化してストリップ状ｏ電極とすると有利な仁
とである。ζうすると支持板を互に整列させるのが一層
簡単に表る。支持１［ｌと１０間に液晶８を入れる。こ
の表示装電番才液晶に基づく全ての既知の電気　光学効
果、例えばツィステッド・ネマチック電界効果、コレス
テリック・ネマデフク相四及び所謂ゲスト・ホスト効果
で使用するのに適している。微小な機械的な榎ばねｂの
区竣ｉｓ＜支持板１０表面上及び支持板Ｓの表面上に液
晶配向層９を設ける。
第Ｓ図は支持１［１の内側表面の一部の略式平面図であ
る０行と列に配設されている画像電極３はほぼ正方形で
、ＷＩ精が約２５０ｘ２５０＃講　である６画像電極３
０行と行との間に延在する定査電１ｉ４の幅は約＊　６
　＃９？ｌである。これらの画像電極８と走査電極番と
は酸化スズ及び／又は酸化インジウムで作る。各ｍｉｓ
電他は、微Ｉトな板ばね５により走査電極４に′！１５
続するが、この板ばねｂは走査電極番の側に固定する。
この微小で機械的な板ばね暴の寸法は約１０ＸＢＯｐ簿
である。この微小で機械的麦飯ばねｉは画像電極３０面
積と比較して非常に小さい面積しか占めない。
第ｓ１図ないし第８ｄ図につきこのような微小で機械的
１ｋＩＩＩばれ５ｏｌｌ造方法を説明する。第＄１１１
６ガラスの支持Ｉｌｌの上に既知の方法で厚さがＯ６・
１−０．０！　＃駕０画僚電極龜と走査電極番とをのせ
たところを示している。この上に０．８＃講厚０７　＃
　ｌニラ４層ｌ＠を設は石０次にこのアルセＪｌ？ム層
１Ｇの上にホトラッカ一層Ｉｌｌ設ける。このホシラッ
カ一層１１に既知０方法で開口ｌ急を設ける。これら０
１１口１１は微小で機械的な板ばね０＠査電＠番に固定
する端に対応すゐ・−ロｌ１ＩＯ区域０アル電二りムを
エツチングし去Ｑ、　そｏ＠で層ｌｉｔはがす０次にア
ルｉ　ｘ　９ム層１・Ｏ上に０．１１ａｕｙｓ厚のニッ
ケル層１４を［！（＄１１８１１１６１１）。このニッ
ケルはスルファ２ン酸ニツケル潜からこの層を電気メッ
キすることにより験は為、この結果はとんど機械的応力
がかからずにアルζニクム層１０＆：被着するニッケル
層が得られる。次にホトエツチング法により微小で−ｍ
鈴ｅ＊ばね器のパターンＰ残してこのニッケル層１４１
エツテンダし去る（１／１８０図参照）。
このエッチャントは約４０’Ｃに置め九希硝拳とするが
、これはアル１ニクム層１０を傷めない０次にニッケル
の榎ばねｌは傷めないが、アルｔ！クム層１０［−除去
する水醗化ナトリ９ムのｌ噛Ｓ＊でエツチングをする。
微小で機械的＊＊ばねＩｔ）Ｉｌ管介してアンダーカッ
トすることによりアルミニ９ム層１０を除去する。後に
はｇＳａ図に示した構造のものが得られる。
館４図につき＊２の方法を述べる。こ−でも先ず支持板
の上にアル電エウ五層な設け、次に１ツケル層管設ける
。次にニッケル層管エツチングして第４図に示し念よう
な形の微小で機械的Ｉｋ＊ばねｌ管残す。微小で機械的
な板ばねｌの走査電極４に固定される部分は微小で機械
的な榎ばね尋の残りの部分よりも幅が広い。次に微小で
機械的な板ばね１の縁を介してアンダーカットすること
によりアルン二りム層を除く。アル電工９ム層が微小で
機械的な板ばねｂの幅広０１に分の下に一部残為だけに
なった時エツチングをやめる。各微小で機械的な坂ばね
ｌの幅広の部分の下に残るアルζｊ！Ｌワム柱を第４図
では破１１１１６で示した。
前述した方法によれば液晶表示装置のスイッチング要素
としての微小で機械的な榎ばね費簡単に作ることがてき
る。この液晶表示装置のスイッチング要素は印加電圧に
対して十分急峻なしきい値管有し且つメモリ作用な有す
る。
第１ＩＩに示した表示装置の動作な表示装置を略式図示
した第す図につき説明する。
−素は走査電極番とデータ電極ｉとＯ聞に接続するが、
微小で機械的な板ばね管有するスイッチング要素は各画
素と直列に接続すゐ０表示装置に書き込み管する時は電
圧パルス＋Ｖ、で走査電極４を順次に駆動する。走査電
極番が駆動畜れてい為時選択され大データ電極雫に電圧
パルス−ｖ、ｒｒ印加する。ｅ、うすると選択され九デ
ータ電極フと関連する走査電極番との間に電位差マ、＋
７，４１８かかる。との電位差は画素のコンデンサとス
イッチング要素のコンデンサとの直列回路にかかる。そ
してこれらのコンデンサ間で分圧を生ずる。しかし、微
小で機械的な板ばね２がついているスイッチング要素の
容量は画素の容量よりずっと小さい４．１から、はとん
ど全ての電位差Ｖ、　＋　Ｖａがスイッチング要素の両
端にか＼ゐ、この電圧ｖ１◆ｖ６はスイッチング要素の
しきい値電圧ｖｔｈよりも大きい。
静電力が生ずる結果、微小で機械的な榎ばねＩは画會電
極亀の方に引きつけられる。ヒうしてスイッチング要素
が閉じると全電圧マ１＋ｖ、が両像要素にか−る。この
時スイッチング要素にかかる電圧は無視でき為１小さい
。蓋し、微小で機械ｔＩＩＩｔｋ原ばね器と画像電極易
との間の接触は金属と金属ＯＩＩ触でああからである。
駆動されて％Ａ為画素にか−る電圧Ｖ、＋Ｖ、は液晶を
異なる配向状態、従って光学的に員なる状態にする。選
択されていないデータ電極マには電圧パルス＋ｖ６がか
一部、この時この選択されてい１に％Ａデータ電電極上
走査電極番との闇には電位差マｓ　−ｖａがか−るが、
ζＯ電位ｍｙ、−マ、はスイッチング要素のし會い電圧
Ｖ□よりも小さく、従ってスイッチング要素は付勢され
ない。駆動されていない走査電＠４０スイッチジグ要素
には電圧パルス±マ、がか−るが、ζＯ電圧パルス★マ
ロはスイッチング要素のしきい値・電圧ｖｔｍよりも小
−ｇｈ、この結果ヒの駆動されていない秦査電１ｍ番の
画素に情報が書き込まれるのが肪止畜れ為。
情＠が駆動されてい為走査電極番に属すｈ＠素に書倉込
すれ九後は微小で機械的′＆榎ばねは旧に肩り、スイッ
チング要素の抵抗は無限大と表る。
仁の九め画素の間錫間の電圧がスイッチング要素費介し
て漏洩することがなくなり、書き込壇れた情報の記憶時
開は非常に長く凍る。
微小で機械的ｔｋ、１［ばねが１１ｅｘｌＯｓ悔で、画
蒙電檀がｓｓ・Ｘｌｌ＠＃悔で、コンタクトすべき微小
で機械的＆薯ばねと画像電極との間の間隔がＯｏ−＃鶴
である■示し九例ではスイッチング要素のしきい値ｊＩ
ＩＥｖｔｋカ約１（ＩＶ”ｔ’ｌ、＆。
表示鋏置Ｏ信頼性管高めるため、画素に直列及び／叉Ｉ
２１１ｉ列に接続され大いくつかＯスイッチング要素を
設けることができる。第６１図では―索と１列に３備の
スイッチング要素な設けていゐ。
ζうすればスイッチング要素の一方が接続すべき微小で
機械的な複ばねと電極との間に溶接点かある九め故障し
ていても他方のスイッチング要素がスイッチング横＊！
管果たす、第６ｂ図では直列にｓ＠６スイツチング要素
なＩＩ続し大組がＳ′：）画素と並列に接続されている
。とりすれば３個の差列枚路の一方のスイッチング要素
の一つが故障しても他方の枝路がスイツテンダ横能管引
き受ける。
第７１図に示す例では接触すべき画侭電極＄上にコンタ
クト点１？を付加して接点の抵抗が十分小さくない場合
でも曳好な金属と金属との接触が得られるようにしであ
る。
第ｑｂＷＪ及び第？ｏ図につき１１１の実施例の変形例
管説明する。第？ｂ図は支持板ｎｏ−１ＩＯ略式平面図
である。微小で機械的な榎ばね憂一端ｅ走査電極番に接
続し、倫端を支持１［１にのせる。
画像電極３の一部１９を微小で機械的な榎ばね暴の下に
延在させる。館７０図番オ第！ｂ図のｗａ　−［ａｌｌ
で切った断面図である。スイッチング要素を付勢すると
３個の固定端間の微小で機械的な叡ばねＩ□中央Ｓがｉ
Ｉｉ會電極ｌの一部ｌ・に吸いつく。
館ｌ＠ｌにつき本発明に係る表示装置のＩＩｌの実施例
ｔＩＩＷＩＩＩする。ＩＩｌ園は支持板ＳＯの一部の略
式平面図であゐ、他の点では表示装置の構造は第１園に
示す表示装置の構造と同一である。走査電極１１は絶縁
層ＳＳｔ有する。この走査電極ｍｌ上に夏射彫画像電＠
Ｓｓを設ける。走査電極ｉ１１の区竣で■像型＠ＳＳは
開口１４を有する。走査電１Ｅｍｌ上の絶縁層はこの開
口ｚ４内で途切れている。微小で機械的な板ばねＩＩｏ
ｍＩ定端は画僚電＠ＳＳ上に設け、開口Ｓ４内を走査電
極１１の上迄延在畜せる。支持［１０の表面と開口Ｓ４
上に設けられ九★パーフードＳ・とで空胴を形成し、こ
の中に微小で機械的な榎ばねｓ６を納める。
館ＩＷはｓｓｇのに一■着で切つ要略式断面図である。
この例の利点は液晶分子な配向させる九めに支持板上に
設ける層をカバーフード１６上にも設ける仁とができる
ことである。これによりヌイツテング要素Ｏｒｊ！Ｌ賊
で配向層が欠けるため妨害領域が垂することが紡がれる
。もう一つの利点はスイッチが一晶内ではなく空気中で
動くことである０表示装置の駆動は第す図につき述べ九
のと同じ態様で行なわれる。
第１ｂＷＪ及び第７０図に示し九例のように微小で機械
的な板ばねＢｌの両端を剛固にｉ１曽電極３ｓに連結す
ることもできる。
第１０ｍ図ないしｆａ１０６図につきこのような表示装
置Ｏ製造方法な述べる。
走査電極ｚ１と反射形画健電極ＳＳとを既知の態様で支
持９１０上に設ける。次にこの組立体を０、＄＃鶴厚の
アルミニワム層３マで覆う０次に０．１６μ賜厚のニッ
ケルのストリップを設ケ、４０℃の硝酸溶液でエツチン
グして微小で機械的な板ばねＩＩＩのパターン管残す。
次にＯ，マ＃淋厚のアル建ニウム層ｚ８【設ける。この
上にホトラッカ一層を設け、ホトリトグラフィー法でＫ
　ｌ　Ｏａ図に示すようなｉスクｔ９を、作る。このマ
スクｓ９の長さは画像電＠ＳＳ内の開口１４０長さに対
応させ、幅はカバーフードＢ６の幅に対応させる（館８
ｓ参照）。
次に約４０℃の水酸化ナトリウム溶液でマスク−パ□３
９０外部Ｏアル電二りム層２？及びＳ＄なエツチングし
去る０次にこの組立体上に電着法（・１・ｏｔｒｏａ・
ｐＢｉｔｉａｎ　）によりｌ＃講厚のニッケル層費歇け
る０次に４０℃の硝酸溶液でこのニッケル層管エツチン
グしてカバー７−ド！−のパターンだけ１＊す（第１０
ｂ図参ｊｌｌＩ）。次に４０℃の水酸化ナトリワム溶液
でカバー７−ドｓ６の下と微小で機械的な板ばねｓｓの
下側のアルミニクム廖Ｓツ及びｓｓを完全に取り除く０
次にカバー７−Ｆ川−ス４りとして用いて酸化シリコン
層ｌｉｔ設ける。館１ｏａｌＱは第１ｅａ図に対して直
角な方向から見た断面図である。微小で機械的な板ばね
は支？Ｉ［ＳＯ，カバー７−ドｓ６及び酸化シリコン層
＄１で形成される空胴内に納まってい為。
本発明表示装置の第３の例１１１１１１図につき説明す
るが、この館１１図は支持、［４０の一部の平ｌＩ！Ｉ
Ｉである。こ＼でも支持［４０上に画會電極４１１縦横
に配置する０画像電極４１の行と行とＯＩＩにストリッ
プ状の走査電極４ｓを延在させる。
壕喪画像電極の列と列の間にス）　ＩＪツブ状のデータ
電極４番を延在させる。導電性のブリッジ４Ｉによりデ
ータ電極４４１走査電極４８から絶縁させる。各ブリッ
ジ４ｓの下に関連画僚電極４１の一部４Ｓｔ−延在させ
る。固定端をデータ電極４４に接続した微小で機械的な
板ばね４６をブリッジ４Ｉの下の走査電極４３とｉｉ＋
＊電極４１の一部４Ｓの上に延在させる。ブリッジ４Ｉ
の下の走査電＠４８の上に絶縁層＋＊１設けて短絡を防
ぐ。
第１ｓ図は第１１図の罵−）［１１１で切った断面図で
ある。このような交差する接続体は第１０！１１につき
述べたのと殆んど同じ態様で作ることができる。他方の
支持板には全ての両会電極４１に共通な対向電極を設け
る。
上述した例は理想的な〒１！スイッチに似ている。
走査電極とデータ電極とは同一′の支持板上に６１１゜
から周辺回路は簡単に＊ａすることができる。
この表示装置の駆動方法な第１１！Ｋｌにつき説明する
が、この第１１１図は表示装置の略図である。
情報の書き込みは走査電極４８ｔ−順次に電圧）（ルス
マーで駆動することにより行なう、これらの電圧。
パルスマはスイッチング要素のしきい値ｖｔｈより− 大奮い、静電力により駆動された走査電極４８に関連す
る微小で機械的な板ばね４６が画像電極４１Ｏ部分４ｍ
に引きつけられ、データ電極４４と閤逃す、１１ｍ１１
１電極４１との間に導電性の接続路ができる（館１ｕｌ
ｌ参照）。スイッチング要素が閉じると選択されたデー
タ電極４４には電圧パルスＶ、が印加され、画像電極４
裏や共通対向電極番８との開の液晶の両−聞にか＼る。
それ故微小で機械的な１［にね４６は電流を運ぶ・この
電圧ｖ、Ｏ影響により液晶分子の配向に変化が生じ。
その結果光学的に異なる状態が得られる。駆動され九走
査電極番３の画素に情報が書き込まれ終り九後次の走査
電極番＄が駆動される。この結果前に駆動され九走査電
＠４８に関連すゐスイッチング要素は再度霧放され、こ
のスイッチング要素を介して書き込まれ穴情報が漏れ去
る仁とはなくな為、こＯ結果非常に長い記憶時間が得ら
れる。これにより非常に多数のラインｔｌ［次に駆動で
き、そζに情報な与えることができる。事実記憶時間が
短かいと情報な繰り返し繰り返し書き込まねばならない
丸め駆動できるラインの数は限られてくる。
上述し九第８０例の第１の好適な変形例を第１４ａ図及
び第１４ｂ図につき説明する。第１番ａ図は画像電極４
１．走査電極４８及びデータ電極４４がのっている支持
、１［４０の一部０略式平面■である。データ電極４４
は両端管データ電極４４に連結した微小で機械的な板ば
ね４６により走壷電１１４８から絶縁されている。この
結果と０徽小で機械的な板ばね４６も導電性ブリッジ管
形成する。微小で機械的な板ばね４６の下に画像電極４
１の一部４ｓを存在させる。微小で機械的′＆榎ばね４
６の区域で走査電極４ｓは突起部を有し。
画像電極４１の部分４Ｓが走査電１１の２個の大きさが
等しい部分の間にくるようになって％／％為。
こＯ結果スイッチ管付勢した時大きな区域に電界が形成
され、微小で機械的な叡ばね番・が引きりけらｔＬル＠
　ｊｌｌ　ｌ　４　ｂ　ｗＪｕｍ　ｌ　４　ａ図ｏ　ｘ
ｘｖｂ−ＫＩＴ。
線で切つ九断面図である。こ＼でも微小で機械的な薯ば
ね番・の下に絶縁層４９を設けて短絡を防ぐこと−でき
る。情報の書き込みは第１８図にっき遮ぺ尭のと同じ態
様で行なわれる。走査電極４３費駆−することにより微
小て機械的な板げね４６がｍｓ電極４１の部分４ｓに吸
い着き、データ電ている支持１［４・〇一部の略式平面
図である。第ｍｏｌｌ［施例のようにこ−でも導電ブリ
ッジを形成す為微小て機械的な榎ばね番・によりデータ
電極４４１走査電極４ｓから絶縁する。微小で機械的な
榎ばね４・の区域では走査電極４８の上に絶縁層４９１
Ｗ＆けゐ０両会電極４１の微小で機械的な榎ばね４６の
下側の部分４ｍをこの絶縁層４９上に設は為、館１６ｍ
Ｗ！Ｊｔｊ館１５ａｌｌＩＯＩＶｂ−ＩＴｂ線で匍り危
１ＩＦＷ図である。これの駆動は第１８図にり會違ぺ九
のと同じ態様で行なわれる。走査電極４ｓｔ厘動すゐ時
微小で機械＃な板ばね４６は画懺電＠４１の部分４Ｓに
敷い着き、データ電極４４と１ｉｉｔ＊電極４１との間
に導電路が形成され為。
この例の判点は微小で機械的１に榎ばね４・の下に相癲
に大き危画積の走査電極４８があり、微小で機械的な板
ばね４６ｒｅ吸い着ける電界が形成されることである。
表示装置の′に４の例な館１６ＷＪにつき説明する。
第１６図は支持＠ＳＯの一部Ｏ平面図である。ζこでも
支持板ｇｏの上に画像電極ＩＩを投砂る一Ｉ１１゜これ
らの画像電極１１は縦横に並べられ、その開管走査電極
５ｚ及びデータ電＠ＳＳが延在しており、この両者は交
差点で導電性のブリッジにより互に絶縁されている。デ
ータ電極！Ｉｓは画像電極ｂ１の一部ｉ６の方に向って
延在する部分５６管具える。各ｒｍ＠電極５１の近傍に
固定熾５８１’支持板５０にのせて微小で機械的な板ば
ねＩＳ？ｔ’殴は為、微小で機械的な板ばねＩ？は走査
電１ｉ１１並びにデータ電極の一部５Ｉ及び画曹電極〇
−郁墨・の上に延在する０表示装置の他の構造は１１１
１図につき述べた表示装置の構造と同じである。情報の
書き込みも＄１４図につき述べ比のと同じ朦”様で行な
われるが、微小で機械的な榎ばね３？自＃は電Ｒｆ這ば
ない点が異なる。微小で機械的々榎ばねＩ？はデータ電
極の一部ＩＢと画像電極ｓ１の一部ｌ・と憂ＩＩ続する
だけである。
上述し九例は全て液晶表示装置に関係している。
しかし、本発明は十分に急峻がしきい値及び／又は−有
のメモリ作用管欠く全ての電気−光学表示手段、例えば
電気泳動懸濁液及びエレクトｏりｐζツタ材料に適用で
きるものである。
森−ｗＯ簡単な説明 第１図は第１の実施例の断面図、 第３図は第１図に示した支持板の一方の表面０−郁の平
面図、 館ｓ１〜ｓａｇは第３図に示した装置の第１の調造方法
の説明図、 第４１１．は館２図の装置の＃Ｉｓの調造方法の説明ｌ
Ｉ。
館１１１Ｒ館ｌの実施例の等個回路図、１１＠ａ及び６
ｂ図は一画素癲り複数個のスイッチンダ要素費有するｌ
ｌ１１の実施例の勢価回路図、°館フａ１１ｔｊ１１１
０１！施例Ｏ館１０蜜形例０断画園、第１ｂ図及び館Ｗ
ａｌｌは第１の実施例の第Ｓの変形例の平面図と断面図
、 第１＃ｉは館ＳＯ夾施例の支持板の一部の平面図、第９
ｗＪは嬉８図のに−に線で切った断面図、第１１１ａ〜
ｌＯｄ図は第９図の装置の調造方法Ｏ説明図、 館ｌ１ｍは＃ｌＩＩの実施例の支持［〇一部の平面■、
１１１１１　ａＨＩＩ　ｌ　ｌ　ｌｌ０）Ｉ　−ＷＩＩ
”ｔ’切）九ｌＦｒ１２ｆｍｌ。
第１８１ｉ１はこの第Ｓの実施例の等優回路図。
第１４ａ図は第８の実施例の第１の変形例の平面図、 ＊１４ｂｌｉは第１４ａ図（Ｄ　ＸＸＶｂ　−ｘｒｖｂ
　纏テ切’）た断面図、 館１１ａｉｉｌは第８の実施例の第３の変形例の支持［
〇一部の平面図、 第１！ｉｂ図は第１！ｌａ図ｔｖＸＶｂ−’ｎｂｆｌｔ
テ切ツｆｔ断曹図、 館１６図は第４の実施例の支持板の一部の平面図である
。
“　１・・・支持板、ト・・支持板、Ｓ　−・画像電極
、番・・・走査電極、ト・・板ばね、６・・・画像電極
、）・−データ電極、８・・・液晶、９・・・液晶配肉
層、１　Ｇ−・・アル２ニウム層、ｌｌ・・・ホトラッ
カ一層、１ｍ・・・開口、１４・・・ニッケル層、１１
・・・アルを轟ワム柱、１？・・・コンタクト点、１９
・・・Ｗ會電極。
一部、ＳＯ・・・支持板、ｉｌ・・・走査電極、ｌ　ト
・・絶縁層、ｚト・・反射影画像電極、１４・・・開口
、３１・・・榎ばね、ｚ６・・・カバーフード、富！・
・・アル建ニウム層、３ｓ・・・アルミエヮム層、Ｓ・
・・・マスク、１１・・・雪化シリコン層、４ｏ支持板
、４１・・・画像電極、番ト°・画像電極の一部、４８
・・・走査電極、４４・・・データ電極、４ｓ・・・ブ
曽ツジ、４・用板ばね、４・・・・絶縁層、−ｉ　ｏ　
−・・支持板、Ｉｌ・・・画像電極、Ｉ　ｌ−・・走査
電極、′５畠・・・データ電極、Ｂ４・・・ブリッジ、
ＩＩ−・・データ電極の一部、墨・・・・画像電極〇一
部、暴！・・・榎ばね、Ｉ８・・・固定端。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 Ｌｍ枚の支持板の間に電気−光学表示媒体を異え、支持
    板には行と列に画素系を設け、更にこの画素系を駆動す
    るための行列電極系を設け、スイッチング要素により各
    画素を行列電極系の一つの電極に接続できる表示装置に
    おいて、各スイッチング要素を少なくとも１個の静電的
    に制御できる微小で機械的な板ば、・・ねとしたことを
    特徴とする表示装置Ｏ 凰　各ｉｌｉ紫を８枚の支持板の対向する表面上に夫々
    設けられ九３個の画像電極で形成し、行電極は一方の支
    持板上に設け、列電極は他方の支持板上に設け、一方の
    支持板上の各画像電極を少なくとも１個の微小で機械的
    な板はねにより行ＩＥＩｉ＆：接続できるように構成し
    次ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表示装
    置〇 龜　行電極を画像電極の下に延在させ１画像電極から電
    気的に絶縁し、ｒｉＪ像電極電極口を設け、この開口を
    この開口の区域では絶縁されていない行電極上に延在さ
    せ、画像電極のこの開口の区域に設けられ且つ１Ｉｉｉ
    像電極、のこの開口上に延在する導電性のカバー７−ド
    により形成される空胴内に閉じ込められている少なくと
    も１個の微小で機械的な板ばねにより各画像電極を行電
    極に接続できるように構成したことを特徴とする特許請
    求の範囲第３項記載の表示装置。 ４一方の支持板上の画像電極と関連するカバーフードと
    を反射形としたこ２を特徴とする特許請求の範囲第８項
    記載の表示装置０１　他方の支持板上の画像１１［！と
    列電極と【一体化してストリップ状の電極としたことを
    特徴とする特許請求の範囲第Ｓ項、第８項又は第１項記
    載の表示装置。 亀　行電極と列電極とを一方の支持板上に設け、画像要
    素系を一方の支持板上に設けられた画像電極と、他方の
    支持板上に設けられた共通対向電極とで形成し、関連行
    電極でスイッチングされる少なくとも１個の微小で機械
    的な板ばねにより画像電極ｔ−関連列電極に接続できる
    ようにしたことを特徴とする特許請求の１＠囲第１項記
    戦の表示装置。 ｔ　各５！差点で導電性のブリッジにより列電極を行電
    極から絶縁し、微小で機械的な板ばねなプリクジの下で
    行電極と関連する画像電極との上に延在させ、微小で機
    械的な板ばねの少なくとも一端を列電極に接続したこと
    を特徴とする特許請求の範囲第６項記載の表示装置Ｏ 亀　微小で機械的な板はねも導電性ブリッジを形成する
    ことｔＷ黴とする特許請求の範囲第マ項記載の表示装置
    Ｏ Ｌ　　ａｉｉｉｌＫ極の微小で機械的な板ばねの下にく
    る部分【行電極上に設け１画像電極と行電極とｅ絶縁層
    により瓦に電気的に絶縁したことを特徴とする特許請求
    の範囲第８項記載の表示装置。 微小で機械的な仮ばねの両固定端を一方の支持板上に設
    け、各微小で機械的な板ばねを行電極１列電極の一部及
    び関連画像電極の上方に延在させたことを特徴とする特
    許請求の範囲第６項記載の表示装置。 ＩＬ　　各スイッチング要素を直列及び／又は並列に接
    続された２個以上の微小で機械的な板ばねにより形成し
    たことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第１０
    項のいずれかに記載の表示装置。 ｌ亀　少なくとも１個の支持板とその上に設けられる電
    極とな透明としたことを特徴とする特許請求の範囲第１
    項ないし第１１項のいずれかに記載の表示装置０ １１Ｌ　　電気−光学表示媒体を液晶としたことｆ：特
    徴とする特許請求の範囲前記各項のいずれかに記載の表
    示装置。 １４　　電気−光学表示媒体を電気泳動懸濁液としたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第１１項の
    いずれかに記載の表示装置。 １Ｋ　　電気−光学表示媒体【エレクトｐクロζンタ材
    料とじ九ことを特徴とする特許請求の範ｆｕ１１項ない
    し第１ｇ項のいずれかに記載の表示ｆｓＩＩ！◎
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