JPS58186146A - 電子顕微鏡の拡大レンズ系 - Google Patents
電子顕微鏡の拡大レンズ系Info
- Publication number
- JPS58186146A JPS58186146A JP6825882A JP6825882A JPS58186146A JP S58186146 A JPS58186146 A JP S58186146A JP 6825882 A JP6825882 A JP 6825882A JP 6825882 A JP6825882 A JP 6825882A JP S58186146 A JPS58186146 A JP S58186146A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- projection lens
- image rotation
- lenses
- excitation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特別／Ｅ１回転レンズを＋Ｉ ７ＪＩＩ ？Ｊ
ることなく Ｏ’４ ’ｌ変化を伴わず、目つ低収差で
像回転可能な電子顕微鏡の拡大レンズ系に関する。
ることなく Ｏ’４ ’ｌ変化を伴わず、目つ低収差で
像回転可能な電子顕微鏡の拡大レンズ系に関する。
電ｒ顕微鏡の観察１８率は通常１００〜５００゜（１０
０ｊ７’４稈庶の範囲にわたっているが、５０．０（’
） （）ｌｌＸ＋’ｉ鳴合境にしＣ観察り・１象か巽な
つＣくる。
０ｊ７’４稈庶の範囲にわたっているが、５０．０（’
） （）ｌｌＸ＋’ｉ鳴合境にしＣ観察り・１象か巽な
つＣくる。
即ち、５）０．０００倍以下の中、低倍領域では、得ら
れる像の買を決めるのは像の歪と軸外伯収差が１なちの
（、この領域では観察対象が物の形であることが多いた
め、像の向きを好みの方向に向（」たり、倍率をかえた
場合に像が回転しな（Ｘことが強く要求される。
れる像の買を決めるのは像の歪と軸外伯収差が１なちの
（、この領域では観察対象が物の形であることが多いた
め、像の向きを好みの方向に向（」たり、倍率をかえた
場合に像が回転しな（Ｘことが強く要求される。
従来よし〕像の回転を行なわせるためのレンズ系は幾つ
か化案されているが、その殆んどは１ｉ極構造や励磁１
ノ法にｆ大をこらしたかなり大がかりな°像回転のため
の特別なレンズを付加するｂのであう。然るｔご、像回
転を行なわせることは電子顕微鏡による像観察における
一つの要求ではあるが、それによって新た４１知見が得
られるわけではなく、従って、ことさらに複雑なレンズ
を追加してまで像回転をｔｑ ／、ｔわぽる意義はない
。むしろ、レンズの追加％しに既設のレンズをそのまま
使用して電気回路のｆｌ＋’ｌ ｉｌｌ ＩＪ上り像回
転を行なわせる方が電子光学系に悲影響を′ノえず、ｎ
つ経済的に有利であし〕、実現のｉｌｌ能竹は大きいわ
けである。
か化案されているが、その殆んどは１ｉ極構造や励磁１
ノ法にｆ大をこらしたかなり大がかりな°像回転のため
の特別なレンズを付加するｂのであう。然るｔご、像回
転を行なわせることは電子顕微鏡による像観察における
一つの要求ではあるが、それによって新た４１知見が得
られるわけではなく、従って、ことさらに複雑なレンズ
を追加してまで像回転をｔｑ ／、ｔわぽる意義はない
。むしろ、レンズの追加％しに既設のレンズをそのまま
使用して電気回路のｆｌ＋’ｌ ｉｌｌ ＩＪ上り像回
転を行なわせる方が電子光学系に悲影響を′ノえず、ｎ
つ経済的に有利であし〕、実現のｉｌｌ能竹は大きいわ
けである。
さて、電子顕微鏡における像回転角θは０−（ｅ 、
’８ｍ Ｖｒ ） ’４．１ Ｂ７ ｄｚす （−Ｑえられる。ここで、ｅは電子の電荷、ｍ（，１電
Ｙの静Ｉｔ １１ ｂＡ、ｙｒは相対補正を行なつＩこ
電子の加速霜月−１Ｂｌｔよ軸上磁界強度である。この
式（こＪメイて、（ｃ 、−′８ｍ Ｖｒ ） は一
定であり、０（３Ｌ［３／のＺ（１（試料面）からｚｉ
（像面）までの積分（１自に１つて決定されることがわ
かる。ここで、Ｂ７の７０から！目での積分値は試料１
．Ｘら下の像面まて゛の磁Ｗ分作の全励磁（アンペアタ
ーン（ＮＩＰ）（こ等しく、従ってこのＮＩを変化させ
れ４．ｆ像の回転は！−１４”ることになる。しかし、
通常Ｎ１を変（？。
’８ｍ Ｖｒ ） ’４．１ Ｂ７ ｄｚす （−Ｑえられる。ここで、ｅは電子の電荷、ｍ（，１電
Ｙの静Ｉｔ １１ ｂＡ、ｙｒは相対補正を行なつＩこ
電子の加速霜月−１Ｂｌｔよ軸上磁界強度である。この
式（こＪメイて、（ｃ 、−′８ｍ Ｖｒ ） は一
定であり、０（３Ｌ［３／のＺ（１（試料面）からｚｉ
（像面）までの積分（１自に１つて決定されることがわ
かる。ここで、Ｂ７の７０から！目での積分値は試料１
．Ｘら下の像面まて゛の磁Ｗ分作の全励磁（アンペアタ
ーン（ＮＩＰ）（こ等しく、従ってこのＮＩを変化させ
れ４．ｆ像の回転は！−１４”ることになる。しかし、
通常Ｎ１を変（？。
づれば倍率が当然に変化するので、像回転のみを目的に
する揚台には、この倍率の変化を防く゛方策が必要とな
る。
する揚台には、この倍率の変化を防く゛方策が必要とな
る。
而して、本発明は既存のレンズ系（／Ｉ段又＄よそれ以
１のレンズ系）において、倍率変イヒを伴うこと／ｊＬ
４Ｊ、１１つ収差を増大させることなし番こ像回転を賜
えることの可能な新規な拡大レンズ系を提供４ることを
目的とするもので、対物レンズ、ｔＱ影レンズ及び両者
間に配置された少なくとも２段の中間レンズを有する４
段構成以上のレンズ系であって、前記２段の中間レンズ
を互いに逆励磁状態と〆ｇし、目つ両レンズの励磁強度
を等しくなし、前記投影レンズの励磁強度を可変するこ
とによって像回転を与える如くなした電子顕微鏡の拡大
レンズ系に特徴がある。
１のレンズ系）において、倍率変イヒを伴うこと／ｊＬ
４Ｊ、１１つ収差を増大させることなし番こ像回転を賜
えることの可能な新規な拡大レンズ系を提供４ることを
目的とするもので、対物レンズ、ｔＱ影レンズ及び両者
間に配置された少なくとも２段の中間レンズを有する４
段構成以上のレンズ系であって、前記２段の中間レンズ
を互いに逆励磁状態と〆ｇし、目つ両レンズの励磁強度
を等しくなし、前記投影レンズの励磁強度を可変するこ
とによって像回転を与える如くなした電子顕微鏡の拡大
レンズ系に特徴がある。
本発明者はどのような条件の場合に倍率の変化を伴うこ
となく像回転を行わせ得るかを第１図に示ずごとき４段
レンズ系を用い、コンピュータ実験を詳細に行った。尚
、第１゛図において１は試料、２は対物レンズ、３は投
影レンズであり、対物レンズと投影レンズの間に二つの
中間レンズ４と５が置かれＣいる。６，７，８．９は夫
々のレンズの電源であり、コンピュータ等の制御装置１
１０によって各供給電流値が制御される。１１は像表示
用のスクリーンである。
となく像回転を行わせ得るかを第１図に示ずごとき４段
レンズ系を用い、コンピュータ実験を詳細に行った。尚
、第１゛図において１は試料、２は対物レンズ、３は投
影レンズであり、対物レンズと投影レンズの間に二つの
中間レンズ４と５が置かれＣいる。６，７，８．９は夫
々のレンズの電源であり、コンピュータ等の制御装置１
１０によって各供給電流値が制御される。１１は像表示
用のスクリーンである。
本発明者は先にＦ記しンズ系において、投影レンズ３の
励磁は固定しておき、第１中間レンズ４の励磁強度１ｉ
−１と第２中間レンズ５の励磁強度１１２をたづきがけ
に変化させて、＜（Ｉｌ、＋＋１ ｌ 、、 ＞ ｔ、
Ｌ回転角θに対し白線的に、（１１１１１１） ｔｊ回
転角θに対し２次曲線に近似して変化させろ。）収差の
少い像回転レンズ系を提案しＩこ。口のレンズ系は前述
の如く、投影レンズの（Ｉｊ’１磁強石１１’ｌは固定
でＴ Ｉ−＋ と１１２の絹み合Ｉ！（・回転台！〕λ
Ｃいるが、本発明名は更にこれを発展υしＶ）投影レン
ズの強電をも変化させるＳとにＪ、す、低収芹で像回転
を与えることが可能であること４兇出しノ；。
励磁は固定しておき、第１中間レンズ４の励磁強度１ｉ
−１と第２中間レンズ５の励磁強度１１２をたづきがけ
に変化させて、＜（Ｉｌ、＋＋１ ｌ 、、 ＞ ｔ、
Ｌ回転角θに対し白線的に、（１１１１１１） ｔｊ回
転角θに対し２次曲線に近似して変化させろ。）収差の
少い像回転レンズ系を提案しＩこ。口のレンズ系は前述
の如く、投影レンズの（Ｉｊ’１磁強石１１’ｌは固定
でＴ Ｉ−＋ と１１２の絹み合Ｉ！（・回転台！〕λ
Ｃいるが、本発明名は更にこれを発展υしＶ）投影レン
ズの強電をも変化させるＳとにＪ、す、低収芹で像回転
を与えることが可能であること４兇出しノ；。
第２図は第１図のレンズ系で倍率５，０００（Ｐ。
の場合に−）いて、ＩＬｔ と１１．２を逆励磁状態と
４ｃシ、その励磁の強さをた１きがｔノに変化さυた１
ｈＡ合にμ■能な像回転角範囲を歪収差２％以内、Ｉｌ
ｔ、ｌｌ＝を４９００ΔＴ以内という制約を〜えで求め
、これが投影レンズの励磁ＩＰ＋に対しＣどの様に変化
づるかを示したものである。図中、横軸は像回転角θを
、又縦軸は投影レンズの励磁強度（１リ 〈ＡＦ）を示
しである。、 ＩＩ′１Ｎ！ａ 、 ｂ 。
４ｃシ、その励磁の強さをた１きがｔノに変化さυた１
ｈＡ合にμ■能な像回転角範囲を歪収差２％以内、Ｉｌ
ｔ、ｌｌ＝を４９００ΔＴ以内という制約を〜えで求め
、これが投影レンズの励磁ＩＰ＋に対しＣどの様に変化
づるかを示したものである。図中、横軸は像回転角θを
、又縦軸は投影レンズの励磁強度（１リ 〈ＡＦ）を示
しである。、 ＩＩ′１Ｎ！ａ 、 ｂ 。
Ｃ１（１・・・・ｎは投影レンズの励磁を夫々異った１
「１に固定した場合におけるＩＬｔ とＩｌ２との変化
にＪ、る像回転を示し、両端の曲ｌｉｐ 、 ｑは歪収
差２％及び励磁強［４９００ＡＨによってカットされる
点をプ［］ットしたものである。従って、この直線ａと
ｎ及び曲線ｐとｑによって形成される領域内であれば収
差を少なく、且つ中間レンズをそれ程強励磁にすること
なく、必要な像回転を与えることが可能となる。しかし
乍ら、特定の角喰θを与えるのに無数のＩＬｔ、Ｉｌ２
及びＩＰｌの絹み合Ｉがあるので、簡単な法則で各レン
ズを制御できるようにすることが好ましい。
「１に固定した場合におけるＩＬｔ とＩｌ２との変化
にＪ、る像回転を示し、両端の曲ｌｉｐ 、 ｑは歪収
差２％及び励磁強［４９００ＡＨによってカットされる
点をプ［］ットしたものである。従って、この直線ａと
ｎ及び曲線ｐとｑによって形成される領域内であれば収
差を少なく、且つ中間レンズをそれ程強励磁にすること
なく、必要な像回転を与えることが可能となる。しかし
乍ら、特定の角喰θを与えるのに無数のＩＬｔ、Ｉｌ２
及びＩＰｌの絹み合Ｉがあるので、簡単な法則で各レン
ズを制御できるようにすることが好ましい。
而し゛Ｃ１本発明の特徴は簡単なレンズ制御を達成づる
ために、中間レンズ４と５との励磁強度１１１と１１２
をＩｌ、ｌ＝ Ｉｌ２として用いることである。第２
図において、直線（又は曲線）Ｍは各直線ａ、ｂ、ｃ、
・・・・ｎの内ＩＬ１＝−ｒｌ−２，つまり励磁強
度の絶対値が等しい点をブ【−１ツトしたちのぐある。
ために、中間レンズ４と５との励磁強度１１１と１１２
をＩｌ、ｌ＝ Ｉｌ２として用いることである。第２
図において、直線（又は曲線）Ｍは各直線ａ、ｂ、ｃ、
・・・・ｎの内ＩＬ１＝−ｒｌ−２，つまり励磁強
度の絶対値が等しい点をブ【−１ツトしたちのぐある。
第３図はこの曲１１１Ｍについて中間レンズの励磁強度
及び投影レンズの励磁強１哀を回転角θに関し、表示し
たもので、１ｌ−１（＝−１１２）は全角度範囲にわた
りその変化が非常に少なく、略一定となっているのに対
し、投影レンズの励磁ＩＰ１は略肖線的に変化している
。１ｋ、第４図はそのときの歪収差Δ×／×（％）を小
１ｂの（あり、全角曵範囲にわたり１％以トて・あり極
めで小さいことがわかる。
及び投影レンズの励磁強１哀を回転角θに関し、表示し
たもので、１ｌ−１（＝−１１２）は全角度範囲にわた
りその変化が非常に少なく、略一定となっているのに対
し、投影レンズの励磁ＩＰ１は略肖線的に変化している
。１ｋ、第４図はそのときの歪収差Δ×／×（％）を小
１ｂの（あり、全角曵範囲にわたり１％以トて・あり極
めで小さいことがわかる。
１記の如きレンズ系となせば、中間レンズ４とｈは同一
のらのを用いることができ、その場合レンズ４と５に同
一の電流を逆向に流せば良いの（・、極め（制御系が簡
単になる。
のらのを用いることができ、その場合レンズ４と５に同
一の電流を逆向に流せば良いの（・、極め（制御系が簡
単になる。
所（゛、′ｒＡ３図かられかるように、このレンズ系の
像回転角磨範囲は１５０〜２１０度程度で、あまり人さ
くない。実用的にはこの２倍程亀の角旧範囲か必要であ
る。この目的のために、前述の投影レンズ１１１変（こ
上る像回転領域の低角石側及び高角劇側に別の可変領域
を設けることが好ましい。
像回転角磨範囲は１５０〜２１０度程度で、あまり人さ
くない。実用的にはこの２倍程亀の角旧範囲か必要であ
る。この目的のために、前述の投影レンズ１１１変（こ
上る像回転領域の低角石側及び高角劇側に別の可変領域
を設けることが好ましい。
第５）図はでの一例を示し、第２図に対応したもの（あ
る。同図中Ｍ２の直線（又は曲線）はＡｉｒ記第記聞２
図線Ｎ１に対応するもので、Ｍ ＋ とＭ３の白線が新
たに付加した領域である。Ｍｌの領域は投影レンズｒ、
’、Ｉ ；１ｌ−（中間レンズ４と５の励磁強ａｌ１１
．１１２をた寸さがけに変化させ、Ｉｌ、ｌ＋ＩＬ２が
１線的に変化し、Ｉｌ、、＋−ＩＬ２が２次曲線に近似
４るように変化させる領域である。又、Ｍ３の領域はＩ
ｌｌとＩｔ−２は異った値をとるが、略一定値に固定し
ておき、投影レンズの励磁を直線的に可変する領域であ
る。第６図はこのような各レンズの励磁を示すもので、
ＡゾーンがＭｌに、ＢゾーンがＭ２に、又ＣゾーンがＭ
３に夫々対応りる。第７図はこのような励磁によるとき
の歪収差ΔＸ／Ｘ （％）を示すもので、Ｂ、Ｃゾーン
は非常に収差が小さいことがわかる。但し、Ａゾーンの
低角酸側ぐ急激に大きくなっているので、これ以１−低
角撓側に範囲を広げることはできむい。
る。同図中Ｍ２の直線（又は曲線）はＡｉｒ記第記聞２
図線Ｎ１に対応するもので、Ｍ ＋ とＭ３の白線が新
たに付加した領域である。Ｍｌの領域は投影レンズｒ、
’、Ｉ ；１ｌ−（中間レンズ４と５の励磁強ａｌ１１
．１１２をた寸さがけに変化させ、Ｉｌ、ｌ＋ＩＬ２が
１線的に変化し、Ｉｌ、、＋−ＩＬ２が２次曲線に近似
４るように変化させる領域である。又、Ｍ３の領域はＩ
ｌｌとＩｔ−２は異った値をとるが、略一定値に固定し
ておき、投影レンズの励磁を直線的に可変する領域であ
る。第６図はこのような各レンズの励磁を示すもので、
ＡゾーンがＭｌに、ＢゾーンがＭ２に、又ＣゾーンがＭ
３に夫々対応りる。第７図はこのような励磁によるとき
の歪収差ΔＸ／Ｘ （％）を示すもので、Ｂ、Ｃゾーン
は非常に収差が小さいことがわかる。但し、Ａゾーンの
低角酸側ぐ急激に大きくなっているので、これ以１−低
角撓側に範囲を広げることはできむい。
上記の如き励磁となせば、１３５度程度から２５５麿稈
ＩＬｔまでの非常に広い範囲にわたり像回転か可能とな
る。
ＩＬｔまでの非常に広い範囲にわたり像回転か可能とな
る。
尚、１記Ｃゾーンにおいて、ＩＬｔと１ｍ２が固定状態
で・あるのに投影レンズのみを可変して倍率が変化しな
いのは投影レンズの励磁に対して倍ヰ゛が飽和した状態
を用いているからである。又、を記μ倍４ｊ５，０００
倍についで説明したが、他の１８４８についＣも同様な
関係が成立していること（Ｌ勿論である。この場合、第
３図、第６図の励磁曲線は名倍率ｆａに存在することは
いうまでもイｉい１゜ｌスＩ説明した如く、本発明は４
段又はそれ以［の結像レンズ系にＪ３いて、２段の中間
レンズを７）い【こ逆ＦｔＪ＋磁状態となし、月つ両レ
ンズの励磁強度を２９１．＜ ！； Ｌ、投影レンズの
励磁強電を可変づろことによって像回転を与える如くな
しであるので、伺等のレンズの追加しなく既存のレンズ
系で倍率変化を伴わずに、且つ低収差で任意に像回転が
ｎＪ能とイｃる。又、該投影レンズによる回転領域の低
角喰側に該投影レンズを固定状態となし、中間レンズの
１ノ磁強への和が像回転角に関し比例関係をＴｈ する
領域を、又高角麿領域に雨中間レンズをｎいに冑な−）
だ一定値に略固定しＣおき、投影レンズを像回転角に関
し直線的にｎｌ変する領域を設けることにより、極めて
広い角瓜範囲（±６０°１ス１）にわｌ、：り像回転が
可能となる。
で・あるのに投影レンズのみを可変して倍率が変化しな
いのは投影レンズの励磁に対して倍ヰ゛が飽和した状態
を用いているからである。又、を記μ倍４ｊ５，０００
倍についで説明したが、他の１８４８についＣも同様な
関係が成立していること（Ｌ勿論である。この場合、第
３図、第６図の励磁曲線は名倍率ｆａに存在することは
いうまでもイｉい１゜ｌスＩ説明した如く、本発明は４
段又はそれ以［の結像レンズ系にＪ３いて、２段の中間
レンズを７）い【こ逆ＦｔＪ＋磁状態となし、月つ両レ
ンズの励磁強度を２９１．＜ ！； Ｌ、投影レンズの
励磁強電を可変づろことによって像回転を与える如くな
しであるので、伺等のレンズの追加しなく既存のレンズ
系で倍率変化を伴わずに、且つ低収差で任意に像回転が
ｎＪ能とイｃる。又、該投影レンズによる回転領域の低
角喰側に該投影レンズを固定状態となし、中間レンズの
１ノ磁強への和が像回転角に関し比例関係をＴｈ する
領域を、又高角麿領域に雨中間レンズをｎいに冑な−）
だ一定値に略固定しＣおき、投影レンズを像回転角に関
し直線的にｎｌ変する領域を設けることにより、極めて
広い角瓜範囲（±６０°１ス１）にわｌ、：り像回転が
可能となる。
尚、！記は本発明の一例て゛あり、特にデータは使用レ
ンズのゲイメンシコンや形状、更には他のレンズの励磁
の仕方等々によって変化することは当然で・ある。又、
本発明は対物レンズと投影レンズとその間に少くとも２
段の中間レンズ（呼称には関係ない）が存在すれば良く
、従って全体として５段以Ｆ−のレンズ系にも適用でき
ること勿論である。
ンズのゲイメンシコンや形状、更には他のレンズの励磁
の仕方等々によって変化することは当然で・ある。又、
本発明は対物レンズと投影レンズとその間に少くとも２
段の中間レンズ（呼称には関係ない）が存在すれば良く
、従って全体として５段以Ｆ−のレンズ系にも適用でき
ること勿論である。
第１図は本発明において使用するレンズ系の一例を示１
図、第２図乃〒第７図は本発明を説明するための図であ
る。 １：試料、２：対物レンズ、３：投影レンズ、４．５：
中間レンズ、６，７．８，９：電源、１０：副部装置、
１１ニスクリーン。 特許出願人 日本電子株式会社 代表省 加勢 忠雄
図、第２図乃〒第７図は本発明を説明するための図であ
る。 １：試料、２：対物レンズ、３：投影レンズ、４．５：
中間レンズ、６，７．８，９：電源、１０：副部装置、
１１ニスクリーン。 特許出願人 日本電子株式会社 代表省 加勢 忠雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、対物レンズ、投影レンズ及び両者間に配置された少
イ１くとも２段の中間レンズを有する４段構成以］−の
レンズ系Ｃあって、前記２段の中間レンズを勾いに逆１
ｉＩＩ＋磁状態となし、１つ両レンズの励磁強電を等し
くなし、前記投影レンズの励磁強度をｉｊ１変づろこと
によって像回転を与える如くなしたことを特徴どづる電
子顕微鏡の拡大レンズ系。 ２、対物レンズ、投影レンズ及び両者間に配置された少
なくとも２段の中間レンズを有する４段構成以１のレン
ズ系であって、前記２段の中間レンズを匂いに逆励磁状
態となし、目つ両レンズの励磁強１ｃＩ ’ｉ］シ＜
％し、前記投影レンズの励磁強度をＯＩ変することによ
って像回転を与える如くなし、史に詠投影レンズによる
回転領域の低角度側に該投影レンズを１，９定状態とな
し、前記雨中間レンズの励腎ｉ強度の和（絶′ｇ餡の差
）が像の回転角に関し比例関係４イ→するｖＡＩｐ５．
を設（」たことを特徴ど（Ｊろ電子顕微鏡の拡大レンズ
系。 ｒｌ、λ１物レンズ、投影レンズ及び両者間に配置され
／＝少％ ＜とｂ２段の中間レンズを有する４段構成以
１のレンズ系であって、前記２段の中間レンズをｔｌい
に４ｇ！励磁状態となし、目つ両レンズの励磁強厄を香
しく／ｆし、前記投影レンズの励磁強度４川喰ＣＪろこ
とによって像回転を与える如くなし、史ｔこ該投影レン
ズによる回転領域の高角麿側に前記雨中間レンズを互い
に異なった一定値に略固定し’Ｃ＆ｉさ、前記投影レン
ズを像回転角に関し直線的にＩｉｌ弯、づる？ｔ＋域を
設置〕たことを特徴とする電子顕微鏡の拡大レンズ系。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6825882A JPS58186146A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 電子顕微鏡の拡大レンズ系 |
| GB08309425A GB2118771B (en) | 1982-04-08 | 1983-04-07 | Electron microscope |
| US06/482,880 US4520264A (en) | 1982-04-08 | 1983-04-07 | Electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6825882A JPS58186146A (ja) | 1982-04-23 | 1982-04-23 | 電子顕微鏡の拡大レンズ系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58186146A true JPS58186146A (ja) | 1983-10-31 |
Family
ID=13368550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6825882A Pending JPS58186146A (ja) | 1982-04-08 | 1982-04-23 | 電子顕微鏡の拡大レンズ系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58186146A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52137257A (en) * | 1976-05-12 | 1977-11-16 | Jeol Ltd | Electron microscope |
| JPS54163671A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-26 | Nippon Electron Optics Lab | Electron microscope that have few rotation of image |
-
1982
- 1982-04-23 JP JP6825882A patent/JPS58186146A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52137257A (en) * | 1976-05-12 | 1977-11-16 | Jeol Ltd | Electron microscope |
| JPS54163671A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-26 | Nippon Electron Optics Lab | Electron microscope that have few rotation of image |
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