JPH09304733A

JPH09304733A - 投影光学装置

Info

Publication number: JPH09304733A
Application number: JP8120104A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Osawa; 聡大澤
Original assignee: Minolta Co Ltd
Current assignee: Minolta Co Ltd
Priority date: 1996-05-15
Filing date: 1996-05-15
Publication date: 1997-11-28
Anticipated expiration: 2016-05-15
Also published as: JP3405061B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルム画像、ビデオ画像等により提供され
る物面の画像をスクリーン上に投影する投影光学装置で
あって、物面又は像面を、最終像面の収差補正状況や像
倍率を一定に維持した状態で容易に回転することができ
るコンパクトで安価な投影光学装置を提供する。【解決手段】物面１０の画像をスクリーン５上に投影
する投影光学装置であって、絞り２並びに該絞りより物
面側のレンズ群３及び絞り２より像面側のレンズ群４を
含む投影光学系Ｐ１を備え、レンズ群４が絞り２を中心
に回転偏心可能に設けられており、該レンズ群４を回転
偏心させることで最終像面５０の像歪みをほぼ一定に維
持したまま像面５０を回転させることができる投影光学
装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はフィルム画像、ビデ
オ画像等により提供される物体面をスクリーン上に投影
する投影光学装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フィルム画像、ビデオ画像等により提供
される物体面をスクリーン上に投影する投影光学装置は
これまで種々開発されてきたが、近年、スクリーン上の
像面を視界の妨げ無く、又は視界の妨げ少なく見ること
ができるように配置したスクリーンに対して斜めに画像
投影する方式が提案されるに至っている。

【０００３】しかしスクリーンに対し斜めに画像投影す
るときは、投影画像にいわゆる台形歪みが生じるので、
これを補正する様々の提案がなされている。例えば、特
開平３−１１３４３２号公報は、投射レンズに補正光学
系及び補正光学系駆動装置を設け、この補正光学系を投
射レンズの光軸に対し、垂直方向に平行偏心させる等に
より偏心させることで故意に偏心歪曲収差を発生させ、
これにより台形歪みを補正できるとしている。

【０００４】また、特開平３−１４１３３７号公報は、
投射レンズの一部のレンズを偏心駆動する手段を設け、
この駆動手段により投射レンズのうち少なくとも二つの
レンズを駆動偏心させることで偏心歪曲収差を発生さ
せ、これにより最終スクリーン上の画像の台形歪みと原
点移動を補正できるとしている。さらに、特開平５−１
００３１２号公報は、液晶表示等により画像を表示する
ライトバルブとスクリーンを互いに平行に、且つ、投射
光学系の光軸に対して互いに反対方向にずれるように配
置し、投射レンズを大画角の広角レンズで構成して、該
広角レンズの画角の一部を使うことにより、歪曲のない
投射画像を得られるとしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述の特開平１１３４
５２号公報及び特開平３−１４１３３７号公報記載の光
学系においては、近軸的に発生する台形歪みを偏心歪曲
収差で打ち消して補正しようとしている。しかしなが
ら、両公報に記載されている台形歪みは、物高Ｈに比例
して発生している一方、偏心歪曲収差はＨの２乗に比例
する量であるため、斜め投影される投影角度が大きい領
域では、画角が広いレンズに対して台形歪みを画面全域
で良好に補正することが困難である。

【０００６】また、前述の特開平５−１００３１２号公
報記載の光学系においては、画角が非常に広い広角レン
ズが必要となるため、ＦＮｏ．が小さい暗いレンズとな
ってしまうという問題点がある。さらに、前記各公報記
載の斜め投影光学装置では、斜め投影による台形状の像
の歪みをレンズの偏心により補正しているが、物面、像
面及び偏心レンズ群のその位置においてのみ収差が補正
されるだけである。しかし、斜め投影光学装置等の投影
光学装置においては、装置製造上の調節作業において像
面及び（又は）物面の傾きを変更する必要が生じること
があり、また、傾斜角度可変なスクリーンを採用した投
影光学装置において、スクリーンの傾き変更に併せて像
面及び（又は）物面の傾き変更が必要となることがあ
る。このとき、かかる従来投影光学装置では、像の歪み
の補正や、像倍率をほぼ一定のままとして像面や物面の
角度を変化させたいとき、光学装置における複数の光学
ブロックを回転及び（又は）平行移動等複雑に動かす必
要があり、このための移動機構が複雑になったり、移動
量の大きな光学ブロックが生じて収差補正が困難となっ
たり、光学装置全体が大きくなりコストがかかり過ぎる
といった問題がある。かかる装置の大型化は、近年のス
クリーンを含めた投影光学装置全体のコンパクト化、低
コスト化の要請に応えられない。

【０００７】そこで本発明は、フィルム画像、ビデオ画
像等により提供される物面の画像をスクリーン上に投影
する投影光学装置であって、物面又は像面を、最終像面
の収差補正状況をほぼ一定に維持した状態で容易に回転
することができるコンパクトで安価な投影光学装置を提
供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するため、物面の画像をスクリーン上に投影する投影光
学装置であって、絞り並びに該絞りより物面側の１又は
２以上のレンズ群及び該絞りより像面側の１又は２以上
のレンズ群を含む光学系を備え、前記複数のレンズ群の
一部が回転偏心可能に設けられており、該回転偏心可能
のレンズ群を回転偏心させることで最終像面の像歪みを
ほぼ一定に維持したまま物面又は像面を回転させること
ができることを特徴とする投影光学装置を提供する。

【０００９】この投影光学装置によると、物面又は像面
回転のための回転偏心可能のレンズ群を含む光学ブロッ
クの単純な回転偏心を行うだけで、物面又は像面を、最
終像面の収差補正状況や像倍率を一定に維持した状態で
容易に回転することができる。回転偏心可能の前記レン
ズ群は物面を回転させるレンズ群であっても、像面を回
転させるレンズ群であってもよいが、像面を回転させる
レンズ群の場合、その回転中心を、該レンズ群による前
記絞りの像の位置とすることができ、この構成による
と、光軸上、光軸外の各光線の対称点が見かけの絞り位
置になるため像面回転に伴う像の劣化が抑えられる。

【００１０】また、像面回転のためのレンズ群が前記絞
りに隣合うレンズ群であって、その回転中心がほぼ該絞
りの位置にある例を挙げることができる。この構成によ
ると、光軸上の光線と光軸外の光線の高さの差を小さく
でき、像面回転のためのレンズ群の有効径を小さくする
ことができ、それだけ投影光学装置をコンパクト化でき
る。

【００１１】また、いずれにしても、回転偏心可能の前
記レンズ群が像面回転のためのレンズ群であるとき、該
レンズ群として、ほぼｆ−θ特性を有するものを採用す
ることが考えられる。このようにすると、該レンズ群へ
の光線入射角度と像高に比例関係が成り立つため、像面
回転のためのレンズ群を通過した光線により形成される
像面を回転してｆ−θ特性を持つレンズ群への光線入射
角度変化に伴う一定値だけ全ての像点位置が移動するだ
けであり、各像点の相対位置関係は不変であり、従って
像の歪みが変化しないで像面だけが回転する。

【００１２】また、前記絞りに隣合う物面側のレンズ群
及び前記絞りに隣合う像面側のレンズ群を該絞り側から
見ていずれもほぼｆ−θ特性を持つレンズ群とし、該両
レンズ群のうち一方を像面回転のための回転偏心可能の
レンズ群とすることも考えられる。この場合、ｆ−θレ
ンズ群について絞り側からの光線入射角度と像高に比例
関係が成り立つので、絞り側の光線の角度が変化しても
それに対応する像高の関係が変化しない。このことによ
りいずれかのｆ−θレンズ群を回転偏心させても像高に
おける倍率関係の変化は小さく抑制され、像面を回転さ
せても台形歪みは少なく済む。特に絞り位置を中心とし
た該レンズ群の回転偏心においては、台形歪みをほぼ抑
えることができる。このような光学系においては、ｆ−
θレンズ群を絞り位置を回転中心として回転させるとい
う単純なレンズ群の移動で、台形歪み、像面湾曲、コマ
収差等の諸収差の補正状況を維持したまま像面を回転す
ることができる。さらにこの回転方向を含む平面（レン
ズ群を回転偏心させた場合の全レンズ系の対称平面）と
像面の交わる直線上でもっとも良く像の歪みがとれるこ
とからスキャンレンズ系のように直線状の像を歪みなく
得たい場合に特に有利である。

【００１３】さらに、回転偏心可能の前記レンズ群が像
面回転のためのレンズ群であるとき、該レンズ群をほぼ
アフォーカル系のレンズ群とすることも考えられる。こ
のように像面回転を行うレンズ群をほぼアフォーカル系
とした場合では、アフォーカル系の特徴として入力像面
がアフォーカル系レンズ群の光軸に対して傾いている場
合、出力像面が入力像面の傾き角×アフォーカル系レン
ズ群の倍率で傾くことが知られており、この性質を利用
して簡単な構成で像面を回転することが可能となる。さ
らに像面回転のためのアフォーカル系レンズ群の回転中
心位置をアフォーカル系レンズ群より物面側のレンズ群
をアフォーカル系レンズ群側から見た瞳位置とすること
で、該アフォーカル系レンズ群を回転させた場合でも該
アフォーカル系レンズ群に対する入射光の瞳が移動しな
いので、コマ収差や共軸系での歪曲収差の変化量が抑え
られ、良好な投影性能を維持できる。

【００１４】また、以上説明した投影光学系では、物面
又は像面の回転において、物面又は像面の回転とともに
像面中心の位置の平行移動が生じるが、これを防ぐため
に、物面又は像面の回転のためのレンズ群の回転ととも
に物面を平行移動させることできるように構成してもよ
く、これより像面中心位置の移動を防ぐことが可能とな
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１から図４は本発明の投影光学装
置の１例に関係している。図１は本発明投影光学装置の
１例の投影光学系におけるレンズ群の概略断面図であ
り、図２は該投影光学系を有する投影光学装置の概略構
成とその光路を示す図である。図３は物面における物点
からでる光線がスクリーン上の像面を切る点を示すスポ
ット図であり、図４はスクリーン上の投影歪曲像（実線
で示す像）と歪みの無い理想像（破線で示す像）を示す
図である。

【００１６】この投影光学装置は、図１及び図２に示す
ように、拡大投影されるべき物面１０を提供する画像表
示装置１と、投影光学系Ｐ１と、最終像面５０形成のた
めのスクリーン５とを備えている。物面１０はここでは
一辺４０ｍｍの四角形物面（格子パターン）である。投
影光学系Ｐ１は、絞り２と、絞り２に隣合わせてその前
後に配置したレンズ群３、４とを備えている。

【００１７】物面１０側のレンズ群３及び像面５０側の
レンズ群４はそれぞれｆ−θレンズ群であり、物面側の
レンズ群３は表示装置１での物高（表示装置１上の物面
１０における物点の位置）と絞り２側の出射角度（出射
光がレンズ群３の光軸となす傾角）が比例しており、像
面側のレンズ群４は像面側での像高（最終像面５０にお
ける像点の位置）と入射角度（入射光がレンズ群４の光
軸となす傾角）が比例するように配置され、入射光の中
心を回転中心として回転可能に設けられている。

【００１８】すなわち、レンズ群４は、絞り２を含む平
面とレンズ群４の光軸との交点（ここでは絞り２は円形
なので、絞りの中心）を通り、後記するＺ軸と平行な軸
の周りに図示しない簡単安価に済む駆動手段により絞り
２とともに回転偏心でき、その回転により像面５０を回
転させることができる。また、スクリーン５は、レンズ
群４との相対的位置関係を一定に維持してレンズ群４と
一体的に絞り中心周りに回転可能に設けられており、そ
れにより傾斜角度が可変となっている。

【００１９】レンズ群３及びレンズ群４並びに物面１０
及び像面５０に関する諸元は表１に示す通りである。表
１において、「ｒ１・・・ｒ６、ｒ７・・ｒ１４」は、
図１に示すように、レンズ３１〜３３、４１〜４４にお
けるレンズ表面を示しており、「曲率半径」は各レンズ
表面の曲率半径（単位ｍｍ）であり、ここでは、光線進
行方向に対し凸面を「正」、凹面を「負」で表示してい
る。また、「軸上面間隔」は隣合うレンズ面間の、及び
レンズ面と絞り間の光軸上の間隔（単位ｍｍ）であり、
「屈折率」は、隣合うレンズ面間（最像面側のレンズ面
についてはその後ろ）及びレンズ面と絞り間の各物質の
屈折率であって、これが1.00000 は、そこにレンズがな
く、その物質が空気であることを意味する。

【００２０】絞りの物面側及び像面側の各面の曲率半径
は無限大( ∞）であり、これも絞り半径（単位ｍｍ）と
ともに表１に示してある。また、表１において「レンズ
群３」、「レンズ群４」、「物面１０」、「像面５０」
の表示欄に示されるＸ、Ｙ、Ｚの数値は、レンズ群３欄
については最も物面側のレンズ面ｒ１の面頂点の、そし
てレンズ群４欄については絞り２の中心のの（Ｘ、Ｙ、
Ｚ）座標位置、並びに物面１０、像面５０の各中心の
（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標位置を示している。この例及び後ほ
ど説明する他の例においても、（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標にお
けるＸ軸は最も物面１０に近いレンズの面頂点（図１に
示す例ではレンズ３１の面ｒ１の面頂点）を原点として
そのレンズの光軸方向（光進行方向に正）であり、Ｙ軸
はＸ軸に垂直な縦方向軸であり、Ｚ軸はＸ軸、Ｙ軸の双
方に垂直方向（ここでは紙面に垂直方向）の軸である。
また、「ＡＮＧ」は、レンズ群３と、絞り２を含めたレ
ンズ群４についてのＸ軸に対する回転偏心角度（単位
度）を示し、物面、像面については、Ｘ軸に対する傾斜
角度を示している。表１では、これら角度はいずれも図
中時計回りを「正」としている。

【００２１】また、物面の欄において、 ymax、yminは
物面のＹ軸方向のエリアを、zmax、zminは物面のＺ軸方
向のエリアを示している。なお、表１ではレンズ群４及
び像面５０（スクリーン５）のＡＮＧ（傾斜角度）は０
°（図２（Ａ）の状態）であるが、これはレンズ群４及
びスクリーン５の回転偏心により例えば後記の表２並び
に図２（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように１０°、２０°と
いうように変更可能である。

【００２２】表２において、「grp.4 ANG 」はレンズ群
４の回転偏心角度を、「IMG.X IMG.Y 、IMG.Z 」はレン
ズ群４の回転角度に対応する像面５０の中心の（Ｘ、
Ｙ、Ｚ）座標位置を、「IMG.ANG 」は像面５０（スクリ
ーン５）の傾斜角度（像面角度）をそれぞれ示してい
る。

【００２３】

【表１】

【００２４】

【表２】

【００２５】最終像面５０での歪曲率は後記表３に示す
ようになる。表３において「物高」は、前記のＸ軸が物
面１０を通る点を原点として、そこから物点までのＹ軸
方向の距離及びＺ軸方向の距離（いずれも単位ｍｍ）で
座標表示している。また、「像高」は、物面中心（０、
０）よりの光線が像面５０を通る点を原点として、ＸＹ
平面と像面５０の交わる直線をｙ軸（Ｙ軸正方向を像面
５０に投影した方向が正）、ｙ軸に垂直な軸をｚ軸（紙
面手前方向が正）として、（ｙ、ｚ）座標で求め、理想
像高は（ｙ、ｚ）、歪曲ありの像高は（ｙ＋ｄｙ、ｚ＋
ｄｚ）としている。ｄｙ／ｒがｙ軸方向の歪曲率であ
り、ｄｚ／ｒがｚ軸方向の歪曲率である。ｒ＝√（ｙ²
＋ｚ²）である。なお、歪曲率を求めるために用いた歪
曲有りの像高は各物高の物点に対するスポットダイアグ
ラムの重心点である。各物高の物点に対するスポットダ
イアグラムは図３に示すとおりである。また、スクリー
ン５上の投影画像は図４に示すとおりである。

【００２６】

【表３】

【００２７】表３に示す歪曲率及び図４から、この投影
光学装置によると台形歪みと歪曲収差が十分補正された
最終投影画像が得られることが判る。また、スクリーン
５の傾斜にあわせてレンズ群４を回転偏心させても、か
かる補正状況を略一定に維持できることが判る。さらに
図４から倍率も略一定に維持できることが判る。

【００２８】次に図５から図８を参照して本発明に係る
投影光学装置の他の例について説明する。図５はこの投
影光学装置の投影光学系におけるレンズ群の概略断面図
であり、図６は該投影光学系を有する投影光学装置の概
略構成とその光路を示す図である。図７は物面における
物点からでる光線がスクリーン上の像面を切る点を示す
スポット図であり、図８はスクリーン上の投影歪曲像
（実線で示す像）と歪みの無い理想像（破線で示す像）
を示す図である。

【００２９】この投影光学装置は、先に説明した装置と
同様に、投影されるべき物面１００を提供する画像表示
装置１ａを有し、さらに投影光学系Ｐ２と、最終像面９
０形成のためのスクリーン９とを備えている。物面１０
０は一辺２０ｍｍの四角形物体面（格子パターン）であ
る。投影光学系Ｐ２は、絞り２０と、該絞りを含み該絞
り前後に配置したレンズからなるレンズ群６と、さらに
レンズ群６とスクリーン９との間に配置したレンズ群７
とを備えている。

【００３０】レンズ群７はアフォーカル系レンズ群であ
り、このレンズ群は、図示しない簡単安価に済む駆動手
段により、該レンズ群側からレンズ群６を見た瞳位置を
中心に回転可能に設けられており、その回転により像面
９０を回転させることができる。スクリーン９も図示し
ない駆動手段により傾き角度可変に設けられている。

【００３１】レンズ群６及び７並びに物面１００及び像
面９０に関する諸元は前掲の表１と同様にして表４に示
すとおりである。表４において、「ｒ１・・・ｒ６、ｒ
７・・・ｒ１２、ｒ１３・・・ｒ１８」は、図５に示す
ように、レンズ６１〜６３、レンズ６４〜６６、レンズ
７１〜７３におけるレンズ表面を示している。絞り２０
は曲率半径無限大( ∞）であり、これも絞り半径（単位
ｍｍ）とともに表４に示してある。

【００３２】また、表４においても「レンズ群６及び
７」、「物面１００」、「像面９０」の表示欄に示され
るＸ、Ｙ、Ｚの数値は、レンズ群６、７における最も物
面側のレンズ面の面頂点（図示例ではｒ１と、ｒ１３の
面頂点）の（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標位置、並びに物面１０
０、像面９０の各中心の（Ｘ、Ｙ、Ｚ）座標位置を示し
ている。また、「ＡＮＧ」は、レンズ群６、７について
はレンズ群６及びレンズ群７のＸ軸に対する傾角（単位
度）を示し、物面１００、像面９０については、Ｘ軸
に対する傾斜角度を示している。

【００３３】また、物面の欄において、 ymax、yminは
物面のＹ軸方向のエリアを、zmax、zminは物面のＺ軸方
向のエリアを示している。なお、表４ではレンズ群７及
び像面９０（スクリーン９）のＡＮＧ（傾斜角度）は０
°（図６（Ａ）の状態）であるが、これはレンズ群７の
回転偏心により例えば後記する表５並びに図６（Ｂ）に
示すように6.687 °というように変更可能である。

【００３４】表５において、「grp.7 ANG 」はレンズ群
７の回転偏心角度を、「IMG.X IMG.Y 、IMG.Z 」はレン
ズ群７の回転角度に対応する像面９０の中心の（Ｘ、
Ｙ、Ｚ）座標位置を、「IMG.ANG 」は像面９０（スクリ
ーン９）の傾斜角度（像面角度）をそれぞれ示してい
る。

【００３５】

【表４】

【００３６】

【表５】

【００３７】最終像面９０での歪曲率は表６に示すよう
になる。なお、各物高の物点に対するスポットダイアグ
ラムは図７に示すとおりである。また、スクリーン９上
の投影画像は図８に示すとおりである。

【００３８】

【表６】

【００３９】表６に示す歪曲率及び図８から、この投影
光学装置によると台形歪みと歪曲収差が十分補正された
最終投影画像が得られることが判る。また、スクリーン
９の傾斜にあわせてレンズ群７を回転偏心させても、か
かる補正状況を略一定に維持できることが判る。さらに
図８から倍率も略一定に維持できることが判る。

【００４０】図９は、図２に示す投影光学装置におい
て、像面回転による像中心位置の移動を抑えるため、物
面１０を図示しない駆動手段により像面回転に応じて平
行移動できる投影光学装置を示しており、光学系Ｐ１の
絞りやレンズ群は図１に示すものと同じで、物面１０の
中心を例えば以下の表７のように平行移動することで像
面中心の移動を抑えることができる。なお、表7 におい
て、「OBJ.Y 」は物面１０のＹ軸方向に沿う平行移動量
を示している。

【００４１】

【表７】

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、フ
ィルム画像、ビデオ画像等により提供される物面の画像
をスクリーン上に投影する投影光学装置であって、物面
又は像面を、最終像面の収差補正状況や像倍率を一定に
維持した状態で容易に回転することができるコンパクト
で安価な投影光学装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る投影光学装置の１例における投影
光学系のレンズ群の概略断面図である。

【図２】図１に示す投影光学系を有する投影光学装置の
概略構成とその光路を示す図であり、図（Ａ）、図
（Ｂ）及び図（Ｃ）は像面の傾斜角度が０°、１０°、
２０°の場合を示している。

【図３】図２に示す装置において物面における物点から
でる光線がスクリーン上の像面を切る点を示すスポット
図であり、図（Ａ）、図（Ｂ）及び図（Ｃ）は像面の傾
斜角度が０°、１０°、２０°の場合を示している。

【図４】四角形物体面（格子パターン）のスクリーン上
の投影歪曲像（実線で示す像）と歪みの無い理想像（破
線で示す像）を示す図であり、図（Ａ）、図（Ｂ）及び
図（Ｃ）は像面の傾斜角度が０°、１０°、２０°の場
合を示している。

【図５】本発明に係る投影光学装置の他の例における投
影光学系のレンズ群の概略断面図である。

【図６】図５に示す投影光学系を有する投影光学装置の
概略構成とその光路を示す図であり、図（Ａ）及び図
（Ｂ）は像面の傾斜角度が０°、６．６８７°の場合を
示している。

【図７】図６に示す装置において物面における物点から
でる光線がスクリーン上の像面を切る点を示すスポット
図であり、図（Ａ）及び図（Ｂ）は像面の傾斜角度が０
°、６．６８７°の場合を示している。

【図８】四角形物体面（格子パターン）のスクリーン上
の投影歪曲像（実線で示す像）と歪みの無い理想像（破
線で示す像）を示す図であり、図（Ａ）及び図（Ｂ）は
像面の傾斜角度が０°、６．６８７°の場合を示してい
る。

【図９】図２に示す投影光学装置において物面を像面回
転に応じて平行移動した例を示す図であり、図（Ａ）、
図（Ｂ）及び図（Ｃ）は像面の傾斜角度が０°、１０
°、２０°の場合を示している。

【符号の説明】

１画像表示装置１０物面Ｐ１投影光学系２絞り３、４ｆ−θレンズ群３１〜３３、４１〜４４レンズｒ１〜ｒ１４レンズ面５スクリーン５０像面１ａ画像表示装置１００物面Ｐ２投影光学系２０絞り６レンズ群６１〜６３、６４〜６６レンズ７アフォーカル系レンズ群７１〜７３レンズｒ１〜ｒ１８レンズ面９スクリーン９０像面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物面の画像をスクリーン上に投影する投
影光学装置であって、絞り並びに該絞りより物面側の１
又は２以上のレンズ群及び該絞りより像面側の１又は２
以上のレンズ群を含む光学系を備え、前記複数のレンズ
群の一部が回転偏心可能に設けられており、該回転偏心
可能のレンズ群を回転偏心させることで最終像面の像歪
みをほぼ一定に維持したまま物面又は像面を回転させる
ことができることを特徴とする投影光学装置。
【請求項２】回転偏心可能の前記レンズ群が像面回転
のためのレンズ群であり、その回転中心は該レンズ群に
よる前記絞りの像の位置にある請求項１記載の投影光学
装置。
【請求項３】回転偏心可能の前記レンズ群が像面回転
のためのレンズ群であって前記絞りに隣合うレンズ群で
あり、その回転中心はほぼ該絞りの位置にある請求項１
記載の投影光学装置。
【請求項４】回転偏心可能の前記レンズ群が像面回転
のためのレンズ群であり、該レンズ群はほぼｆ−θ特性
を有している請求項１、２又は３記載の投影光学装置。
【請求項５】前記絞りに隣合う物面側のレンズ群及び
前記絞りに隣合う像面側のレンズ群が該絞り側から見て
いずれもほぼｆ−θ特性を持つレンズ群であり、それら
両レンズ群のうち一方が像面回転のための回転偏心可能
のレンズ群である請求項１記載の投影光学装置。
【請求項６】回転偏心可能の前記レンズ群が像面回転
のためのレンズ群であり、該レンズ群はほぼアフォーカ
ル系のレンズ群である請求項１、２又は３記載の投影光
学装置。
【請求項７】物面又は像面の回転のためのレンズ群の
回転とともに物面を平行移動させることができるように
構成した請求項１から６のいずれかに記載の投影光学装
置。