JPS5818322B2 - ロクフツカイオウノセイホウ - Google Patents

ロクフツカイオウノセイホウ

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JPS5818322B2
JPS5818322B2 JP50018667A JP1866775A JPS5818322B2 JP S5818322 B2 JPS5818322 B2 JP S5818322B2 JP 50018667 A JP50018667 A JP 50018667A JP 1866775 A JP1866775 A JP 1866775A JP S5818322 B2 JPS5818322 B2 JP S5818322B2
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JP
Japan
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sulfur
fluorine
boiling
reactor
temperature
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JP50018667A
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JPS50118990A (ja
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ヨアヒム・マツソンネ
ヴイルフリート・ベツヘル
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Kali Chemie AG
Original Assignee
Kali Chemie AG
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B17/00Sulfur; Compounds thereof
    • C01B17/45Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen
    • C01B17/4507Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen containing sulfur and halogen only
    • C01B17/4515Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen containing sulfur and halogen only containing sulfur and fluorine only
    • C01B17/453Sulfur hexafluoride

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明の目的は、元素状弗素と硫黄とから六弗化硫黄を
工業的に製造する際に生じる高沸点の副産物の除去であ
る。
六弗化硫黄の工業的製造は、元素状弗素と液状硫黄との
反応によって行なう。
元素状弗素は弗化水素の電解によって製造し一製造工程
によって−常に弗化水素、酸素、窒素並びに弗化炭素化
合物(CnF2n、CnF2n+2:n≧2)の不純物
を含有する。
弗化水素の痕跡量の不純物によって、例えば0F2(N
20から)、Cl03F (塩素化合物から)も弗素中
に含まれ得る。
弗素と液状硫黄との反応で形成した六弗化硫黄は低硫黄
弗化物、例えば82F2.Sへ及び82F、。
と共に、他の多くの不純物、例えば酸素を有する硫黄−
弗素化合物5F508F5.SF、0CF3.SOF2
゜SOF4.SO2F2、弗化炭素化合物Cn”21]
CnF2n +2 (n >2 )、弗化過クロリルC
l03F並びに空気ガス又は永久ガス02及びN2を含
有し得る。
それ故、このようにして生じる粗製のSF、は、SF6
を絶縁体ガス及び消火ガスとして使用する高純度の要求
を満足させるためには精製しなければならない。
通常毒性の大きい82F10は、後接続の約400℃で
の温度処理によって次の方程式により除去される: 82F1o−+SF4+SF6 後接続のアルカリ性洗浄又はアルカリ性吸収剤によって
、加水分解し得る化合物、例えばSF4゜S2F2.S
OF2.SOF4及びSO2F2を除去する。
最後に、2工程の加圧蒸溜によって低沸点の物質、例え
ば02.N2及びCF4を、例えば第1工程で除脱する
か又は高沸点の物質を第2工程の塔缶部で濃縮する。
この塔缶部の物質は種々の物質混合物であり、主要成分
のSF6と共に高沸点の不純物、殊に5F50SF5.
CF30SF5.Cl03F、弗化炭素化合物(CnF
2o、CnF2n+2;n〉2)を含有し、これらのう
ち若干のものは毒性が大きい。
更に故障の場合、例えば温度処理を中止する場合又は不
完全な洗浄によって通常前接続の純化工程で除去する物
質も塔缶部中に入る。
それ故、塔缶部の物質は副産物であり、その移出及び保
存は危険である。
危険を有しない副産物に対する化学的根絶は不均一な組
成のために問題が多く、困難でかつまた費用がかかる。
ところで、塔缶部の回分的又は連続的後処理によって最
後に無毒か又は容易に分離される物質が得られる方法が
判明した。
好ましい実施形式では、缶部物質の後処理は、六弗化硫
黄の製造と関連して缶部物質の反応部又は精製部への還
流下に行なう。
温度450〜800℃、好ましくは500〜650℃で
滞留時間0.1〜100秒間で缶部物質を後処理するこ
とによってSF、08F5. CF3−0−8’F5及
びC103Fは分解されるが、主要成分のSF6はこの
温度ではまだ侵されないか又は極めてわずかな程度で侵
されるのに過ぎないことが判明した。
前述の温度と滞留時間との下限及び上限は、副産物ので
きるだけ完全な(約90〜100%)反応による要求か
ら生じる。
前記範囲の温度及び滞留時間以下ではもはや完全な反応
は保証されてはおらず、前記上限を越えることによって
収率の改良は得られない。
更に、前記温度の上限を越えると、装置の著しい腐蝕の
問題が生じる。
弗化炭素化合物のうち若干の高級化合物、例えばペルフ
ルオルメチルシクロペンクンは1部分解するが、他の化
合物、例えばベルフルオル−n−アルカンは十分に侵さ
れないで残留する。
若干存在する82F10は一公知のように一既に温度4
00°Cで分解する。
温度処理から排出するガスは、アルカリ性溶液、例えば
水酸化カリウム溶液で洗浄すると、SF講び若干の弗化
炭素化合物の外には、もはやその他の硫黄−弗素−化合
物(S2F2 、SF4 t S’2”10 ’+52
F1oO2SF50CF3.SOF2.SOF4,5O
2F2)・を含有しない。
化合物82F2.SF4.SOF2.SOF4.SO2
F2は加水分解し得る化合物であり、化合物82F1o
SF、08F5(= 82F100 ) 、 5F50
CF3は加水分解し得ないが、温度処理(SF6及び加
水分解性又は不活性CF4化合物)によって分解し得る
即ち82B”10はSF6及びSF4に(文献で公知)
、82F50SF、はSF6及びSOF、に、5F50
CF3はSOF4及びCF4に分解する。
更に、元素状弗素を温度処理の間に添加することによっ
て、高分子の弗化炭素化合物(CnF2nCnF2n+
2;n≧2)は十分に分解されて低級化合物、主として
CF、になると共に、同時に硫黄含有生成物は弗素化さ
れてSF6になることが判明した。
かかる分解は、温度処理を元素状弗素を用いて行なう場
合に認めることができた。
塔缶部中の高沸点の硫黄−弗素−化合物、例えば52F
1o、52F1oO及びC103F並びに高沸点の弗化
炭素化合物(CnF2n、CnF2n+2:n〉2)の
成分の十分な減少は、塔缶部の物質を気化させ、ガス混
合物をSF6の反応器に通じる弗素の導管に送ることに
よって達成することもできた。
明らかに、反応器中で〉450°Cの温度で生じるSF
6合成の反応条件下に、同じようにして温度処理と弗素
での化学的処理との組合せによって得られるような反応
が行われる。
次に添付図面につき本発明を説明する。
SF6の装置〔ヘミツシエ・ツアイテウング(Chem
ische Zeitung) 96巻(1972年ニ
ア3頁〕の系統図に示されている本方法による優れた工
業的実施形式は、例えば蒸溜塔2の缶部を導管3及び計
量弁4を介して連続的に気圧を抜くことである。
気化器5を通った後に、ガスを温度処理部6に送り、最
後に導管rによってSF6の装置の反応器に通じる弗素
の導管に送る。
この操作法によって缶部中に含まれているSF6は失わ
れず、温度処理で生じる加水分解し得る分解生成物をS
F6の合成で生じる加水分解し得る生成物と一緒にSF
6の装置の洗浄器中で分離するか又は弗素化してSF6
にし、存在する弗化炭素化合物(”nF2n 、CnF
2n−)2: n > 2 )の弗素化を十分に行なっ
てCF4にし、これをF2中に存在するCF、と一緒に
加圧蒸溜の除脱器塔1中で分離することが達成される。
本方法によるもう1つの工業的実施形式は、ガス状缶部
生成物を気化器5から直接的に、即ち前温度処理を行わ
ないで反応器への弗素気流に混和することである。
両操作法によって缶部中に存在する高沸点の生成物の割
合を小さく維持することができ、分離及び除去するのが
困難な副産物は生ぜず、SF6のロスは生じ得ないこと
が保証される。
更にSF6中に存在する高沸点の成分を加圧蒸溜の代り
に、不純化されているSF6を吸着剤、例えば活性炭か
又は分子篩で処理することによっで分離する方法が存在
することは公知である。
通常加熱することによって行なう吸着剤の回収では、こ
れらの高沸点の成分を同じようにして吸着されたSF6
と一緒に遊離する。
本発明による方法は、かかる混合物を処理又は除去する
のに使用することもできることは明らかである。
次に実施例につき本発明を説明する。
参考例 1(予備試験) 長さ約1000o+の電熱索線を備えている内径15m
m及び長さ1200mmの錆を有しない鋼鉄製管に、S
F、の製造装置の蒸溜缶部からのガス試料を温度600
°Cで導入した。
缶部ガスは、ガスクロマトグラフィー及び赤外線分光学
によって確かめた次の組成を有していた(ガスクロマト
ダラムの平面の係): ビークI SF6
76.2係l12 1−C4F10t” C4
F10.CF3・()SF5 3.6%// 3
(J’OF、n−C3F1□0.5%// 4 C
,F、、(ベルフルオルシクロペンクン) 8.4%/
/ 5 SF ’O”SF5.n−C(3F14
6.7%7.6 C・F・−CF・(<7u
7 /l/オ″′チ″′3.4%クロペンクン) 、
82F10 tt 7 C6F+2(ベルフルオルシクロヘキサ
ン)1.t%〃 8高級過弗化炭素化合物
0.2%ガスの滞留時間40秒間を選んだ。
温度処理を症こしたガスを10重量係の水酸化カリウム
水溶液に通じ、次いでガス計量器に送り、分析するため
の試料を取出した。
ガスクロマトダラムによってビーク2,3,5及び6の
平面の減少が示された。
赤外線試験によって化合物CF3・0・SF5.C10
3F、SF6・0・SF5及び82B”10をもはや検
出することができないことが判明した。
参考例 2(予・備試験) 参考例1に記載の組成を有する蒸溜缶部の物質に500
℃の温度処理を、滞留時間100秒間でその他は同じ条
件下に施こした。
分析の結果は、処理したガスはなおSF5・0・SF5
成分の最初の濃度の約10%を有することを除いて、参
考例1と同じであった。
例1 参考例1で使用した蒸溜缶部の試料を、弗素と1:1の
容量の割合で混合して500℃及び滞留時間10秒間で
処理した。
次いでこれを窒素で希釈し、得られた混合物を十分に冷
却し、10重量係の水酸化カリウム水溶液を有する洗浄
ビンに導入した。
加水分解し得ないガスをガス計量器に捕集し、分析した
N2及びSF6と共に、CF4.C2F6,502F2
及び02(弗素と水酸化カリウム水溶液との反応から)
を検出した。
例2 SF6の製造装置に取付けられた図面に示され不いる装
置て、SF6の蒸溜塔缶部から計量弁を介して液体を1
ky/ h rの量で取出し、約750mmHg
の圧力に気圧を抜いた。
温度100°Cに維持した気化器を通った後に、ガス状
物質は錆を有しない鋼鉄製管(内径二30mm、長さ:
15007n7IL)を通過した。
こうして処理したガスを、弗素の導管に反応器中へのそ
の入口直前で還流させた。
選んだ条件はガスの滞留時間約24秒間に相当した。
温度処理の温度は約500°Cであった。温度処理装置
が作動する間に、蒸溜缶部から一定の時間間隔で分析す
るための試料を取出した。
分析結果によってすべての高沸点副産物の濃度の連続的
減少が示された;これと平行して第1蒸溜塔の頭部で取
出された不活性ガス中のCF4の増大した含量を記録す
ることができた。
試験時間の間に蒸溜缶部中の個々の成分の濃度の連続的
ではあるが、種々の減少が得られ、その際硫黄含有化合
物の濃度は著しく減少した。
このようにして、例えばC3F10の含量5.73%は
数時間の間に4.99%に下ると共に、SF、・0・S
F5の含量は1.36%から0.02係に減少した。
例3 SF、の製造装置の蒸溜塔缶部から計量弁を介して缶部
物質毎時的2kgを取出し、約750 mmHgの圧力
に気圧を抜いた。
その際得られたガス混合物を硫黄反応器前の弗素の導管
に導入した。
この方法でガス混合物は弗素と混合して反応器中に入リ
、そこで1部分反応し、洗浄系を通って再び蒸製塔中に
入った。
一定の時間間隔で蒸製缶部から取出した分析試料につい
て、全成分の濃度の著しい減少を立証することができ、
これらのうちなかんずく硫黄含有化合物がこれに該当し
ていた。
既に数時間の還流の作業時間後に、蒸製缶部中のその成
分は最初の含量の50〜90係だけ減少していた。
【図面の簡単な説明】
添付図面は、本発明方法を実施するための系統図である
。 1・・・・・・除脱基、2・・・・・・蒸製塔、4・・
・・・・計量弁、5・・・・・・気化器、6・・・・・
・温度処理部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 弗素を液状硫黄と反応器中で反応させ、この反応で
    生じる高沸点の副産物を除去しながら六弗化硫黄を製造
    する方法において、反応混合物の加圧蒸溜で生じ六弗化
    硫黄及び高沸点の副産物を含有する塔缶部の物質の気圧
    を抜き、反応器に通じる弗素の導管を介して六弗化硫黄
    の製造工程中に還流させることを特徴とする六弗化硫黄
    の製法。 2 弗素を液状硫黄と反応器中で反応させ、この反応で
    生じる高沸点の副産物を除去しながら六弗化硫黄を製造
    する方法において、気圧を抜いた塔缶部の物質に、付加
    的に温度処理を元素状弗素の存在で450〜800℃の
    範囲内で滞留時間0.1〜100秒間施こすことを特徴
    とする六弗化硫黄の製法。
JP50018667A 1974-02-16 1975-02-14 ロクフツカイオウノセイホウ Expired JPS5818322B2 (ja)

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JPS50118990A JPS50118990A (ja) 1975-09-18
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FR2261222A1 (ja) 1975-09-12
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