JPS5818322B2 - ロクフツカイオウノセイホウ - Google Patents
ロクフツカイオウノセイホウInfo
- Publication number
- JPS5818322B2 JPS5818322B2 JP50018667A JP1866775A JPS5818322B2 JP S5818322 B2 JPS5818322 B2 JP S5818322B2 JP 50018667 A JP50018667 A JP 50018667A JP 1866775 A JP1866775 A JP 1866775A JP S5818322 B2 JPS5818322 B2 JP S5818322B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sulfur
- fluorine
- boiling
- reactor
- temperature
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B17/00—Sulfur; Compounds thereof
- C01B17/45—Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen
- C01B17/4507—Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen containing sulfur and halogen only
- C01B17/4515—Compounds containing sulfur and halogen, with or without oxygen containing sulfur and halogen only containing sulfur and fluorine only
- C01B17/453—Sulfur hexafluoride
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明の目的は、元素状弗素と硫黄とから六弗化硫黄を
工業的に製造する際に生じる高沸点の副産物の除去であ
る。
工業的に製造する際に生じる高沸点の副産物の除去であ
る。
六弗化硫黄の工業的製造は、元素状弗素と液状硫黄との
反応によって行なう。
反応によって行なう。
元素状弗素は弗化水素の電解によって製造し一製造工程
によって−常に弗化水素、酸素、窒素並びに弗化炭素化
合物(CnF2n、CnF2n+2:n≧2)の不純物
を含有する。
によって−常に弗化水素、酸素、窒素並びに弗化炭素化
合物(CnF2n、CnF2n+2:n≧2)の不純物
を含有する。
弗化水素の痕跡量の不純物によって、例えば0F2(N
20から)、Cl03F (塩素化合物から)も弗素中
に含まれ得る。
20から)、Cl03F (塩素化合物から)も弗素中
に含まれ得る。
弗素と液状硫黄との反応で形成した六弗化硫黄は低硫黄
弗化物、例えば82F2.Sへ及び82F、。
弗化物、例えば82F2.Sへ及び82F、。
と共に、他の多くの不純物、例えば酸素を有する硫黄−
弗素化合物5F508F5.SF、0CF3.SOF2
゜SOF4.SO2F2、弗化炭素化合物Cn”21]
。
弗素化合物5F508F5.SF、0CF3.SOF2
゜SOF4.SO2F2、弗化炭素化合物Cn”21]
。
CnF2n +2 (n >2 )、弗化過クロリルC
l03F並びに空気ガス又は永久ガス02及びN2を含
有し得る。
l03F並びに空気ガス又は永久ガス02及びN2を含
有し得る。
それ故、このようにして生じる粗製のSF、は、SF6
を絶縁体ガス及び消火ガスとして使用する高純度の要求
を満足させるためには精製しなければならない。
を絶縁体ガス及び消火ガスとして使用する高純度の要求
を満足させるためには精製しなければならない。
通常毒性の大きい82F10は、後接続の約400℃で
の温度処理によって次の方程式により除去される: 82F1o−+SF4+SF6 後接続のアルカリ性洗浄又はアルカリ性吸収剤によって
、加水分解し得る化合物、例えばSF4゜S2F2.S
OF2.SOF4及びSO2F2を除去する。
の温度処理によって次の方程式により除去される: 82F1o−+SF4+SF6 後接続のアルカリ性洗浄又はアルカリ性吸収剤によって
、加水分解し得る化合物、例えばSF4゜S2F2.S
OF2.SOF4及びSO2F2を除去する。
最後に、2工程の加圧蒸溜によって低沸点の物質、例え
ば02.N2及びCF4を、例えば第1工程で除脱する
か又は高沸点の物質を第2工程の塔缶部で濃縮する。
ば02.N2及びCF4を、例えば第1工程で除脱する
か又は高沸点の物質を第2工程の塔缶部で濃縮する。
この塔缶部の物質は種々の物質混合物であり、主要成分
のSF6と共に高沸点の不純物、殊に5F50SF5.
CF30SF5.Cl03F、弗化炭素化合物(CnF
2o、CnF2n+2;n〉2)を含有し、これらのう
ち若干のものは毒性が大きい。
のSF6と共に高沸点の不純物、殊に5F50SF5.
CF30SF5.Cl03F、弗化炭素化合物(CnF
2o、CnF2n+2;n〉2)を含有し、これらのう
ち若干のものは毒性が大きい。
更に故障の場合、例えば温度処理を中止する場合又は不
完全な洗浄によって通常前接続の純化工程で除去する物
質も塔缶部中に入る。
完全な洗浄によって通常前接続の純化工程で除去する物
質も塔缶部中に入る。
それ故、塔缶部の物質は副産物であり、その移出及び保
存は危険である。
存は危険である。
危険を有しない副産物に対する化学的根絶は不均一な組
成のために問題が多く、困難でかつまた費用がかかる。
成のために問題が多く、困難でかつまた費用がかかる。
ところで、塔缶部の回分的又は連続的後処理によって最
後に無毒か又は容易に分離される物質が得られる方法が
判明した。
後に無毒か又は容易に分離される物質が得られる方法が
判明した。
好ましい実施形式では、缶部物質の後処理は、六弗化硫
黄の製造と関連して缶部物質の反応部又は精製部への還
流下に行なう。
黄の製造と関連して缶部物質の反応部又は精製部への還
流下に行なう。
温度450〜800℃、好ましくは500〜650℃で
滞留時間0.1〜100秒間で缶部物質を後処理するこ
とによってSF、08F5. CF3−0−8’F5及
びC103Fは分解されるが、主要成分のSF6はこの
温度ではまだ侵されないか又は極めてわずかな程度で侵
されるのに過ぎないことが判明した。
滞留時間0.1〜100秒間で缶部物質を後処理するこ
とによってSF、08F5. CF3−0−8’F5及
びC103Fは分解されるが、主要成分のSF6はこの
温度ではまだ侵されないか又は極めてわずかな程度で侵
されるのに過ぎないことが判明した。
前述の温度と滞留時間との下限及び上限は、副産物ので
きるだけ完全な(約90〜100%)反応による要求か
ら生じる。
きるだけ完全な(約90〜100%)反応による要求か
ら生じる。
前記範囲の温度及び滞留時間以下ではもはや完全な反応
は保証されてはおらず、前記上限を越えることによって
収率の改良は得られない。
は保証されてはおらず、前記上限を越えることによって
収率の改良は得られない。
更に、前記温度の上限を越えると、装置の著しい腐蝕の
問題が生じる。
問題が生じる。
弗化炭素化合物のうち若干の高級化合物、例えばペルフ
。
。
ルオルメチルシクロペンクンは1部分解するが、他の化
合物、例えばベルフルオル−n−アルカンは十分に侵さ
れないで残留する。
合物、例えばベルフルオル−n−アルカンは十分に侵さ
れないで残留する。
若干存在する82F10は一公知のように一既に温度4
00°Cで分解する。
00°Cで分解する。
温度処理から排出するガスは、アルカリ性溶液、例えば
水酸化カリウム溶液で洗浄すると、SF講び若干の弗化
炭素化合物の外には、もはやその他の硫黄−弗素−化合
物(S2F2 、SF4 t S’2”10 ’+52
F1oO2SF50CF3.SOF2.SOF4,5O
2F2)・を含有しない。
水酸化カリウム溶液で洗浄すると、SF講び若干の弗化
炭素化合物の外には、もはやその他の硫黄−弗素−化合
物(S2F2 、SF4 t S’2”10 ’+52
F1oO2SF50CF3.SOF2.SOF4,5O
2F2)・を含有しない。
化合物82F2.SF4.SOF2.SOF4.SO2
F2は加水分解し得る化合物であり、化合物82F1o
。
F2は加水分解し得る化合物であり、化合物82F1o
。
SF、08F5(= 82F100 ) 、 5F50
CF3は加水分解し得ないが、温度処理(SF6及び加
水分解性又は不活性CF4化合物)によって分解し得る
。
CF3は加水分解し得ないが、温度処理(SF6及び加
水分解性又は不活性CF4化合物)によって分解し得る
。
即ち82B”10はSF6及びSF4に(文献で公知)
、82F50SF、はSF6及びSOF、に、5F50
CF3はSOF4及びCF4に分解する。
、82F50SF、はSF6及びSOF、に、5F50
CF3はSOF4及びCF4に分解する。
更に、元素状弗素を温度処理の間に添加することによっ
て、高分子の弗化炭素化合物(CnF2nCnF2n+
2;n≧2)は十分に分解されて低級化合物、主として
CF、になると共に、同時に硫黄含有生成物は弗素化さ
れてSF6になることが判明した。
て、高分子の弗化炭素化合物(CnF2nCnF2n+
2;n≧2)は十分に分解されて低級化合物、主として
CF、になると共に、同時に硫黄含有生成物は弗素化さ
れてSF6になることが判明した。
かかる分解は、温度処理を元素状弗素を用いて行なう場
合に認めることができた。
合に認めることができた。
塔缶部中の高沸点の硫黄−弗素−化合物、例えば52F
1o、52F1oO及びC103F並びに高沸点の弗化
炭素化合物(CnF2n、CnF2n+2:n〉2)の
成分の十分な減少は、塔缶部の物質を気化させ、ガス混
合物をSF6の反応器に通じる弗素の導管に送ることに
よって達成することもできた。
1o、52F1oO及びC103F並びに高沸点の弗化
炭素化合物(CnF2n、CnF2n+2:n〉2)の
成分の十分な減少は、塔缶部の物質を気化させ、ガス混
合物をSF6の反応器に通じる弗素の導管に送ることに
よって達成することもできた。
明らかに、反応器中で〉450°Cの温度で生じるSF
6合成の反応条件下に、同じようにして温度処理と弗素
での化学的処理との組合せによって得られるような反応
が行われる。
6合成の反応条件下に、同じようにして温度処理と弗素
での化学的処理との組合せによって得られるような反応
が行われる。
次に添付図面につき本発明を説明する。
SF6の装置〔ヘミツシエ・ツアイテウング(Chem
ische Zeitung) 96巻(1972年ニ
ア3頁〕の系統図に示されている本方法による優れた工
業的実施形式は、例えば蒸溜塔2の缶部を導管3及び計
量弁4を介して連続的に気圧を抜くことである。
ische Zeitung) 96巻(1972年ニ
ア3頁〕の系統図に示されている本方法による優れた工
業的実施形式は、例えば蒸溜塔2の缶部を導管3及び計
量弁4を介して連続的に気圧を抜くことである。
気化器5を通った後に、ガスを温度処理部6に送り、最
後に導管rによってSF6の装置の反応器に通じる弗素
の導管に送る。
後に導管rによってSF6の装置の反応器に通じる弗素
の導管に送る。
この操作法によって缶部中に含まれているSF6は失わ
れず、温度処理で生じる加水分解し得る分解生成物をS
F6の合成で生じる加水分解し得る生成物と一緒にSF
6の装置の洗浄器中で分離するか又は弗素化してSF6
にし、存在する弗化炭素化合物(”nF2n 、CnF
2n−)2: n > 2 )の弗素化を十分に行なっ
てCF4にし、これをF2中に存在するCF、と一緒に
加圧蒸溜の除脱器塔1中で分離することが達成される。
れず、温度処理で生じる加水分解し得る分解生成物をS
F6の合成で生じる加水分解し得る生成物と一緒にSF
6の装置の洗浄器中で分離するか又は弗素化してSF6
にし、存在する弗化炭素化合物(”nF2n 、CnF
2n−)2: n > 2 )の弗素化を十分に行なっ
てCF4にし、これをF2中に存在するCF、と一緒に
加圧蒸溜の除脱器塔1中で分離することが達成される。
本方法によるもう1つの工業的実施形式は、ガス状缶部
生成物を気化器5から直接的に、即ち前温度処理を行わ
ないで反応器への弗素気流に混和することである。
生成物を気化器5から直接的に、即ち前温度処理を行わ
ないで反応器への弗素気流に混和することである。
両操作法によって缶部中に存在する高沸点の生成物の割
合を小さく維持することができ、分離及び除去するのが
困難な副産物は生ぜず、SF6のロスは生じ得ないこと
が保証される。
合を小さく維持することができ、分離及び除去するのが
困難な副産物は生ぜず、SF6のロスは生じ得ないこと
が保証される。
更にSF6中に存在する高沸点の成分を加圧蒸溜の代り
に、不純化されているSF6を吸着剤、例えば活性炭か
又は分子篩で処理することによっで分離する方法が存在
することは公知である。
に、不純化されているSF6を吸着剤、例えば活性炭か
又は分子篩で処理することによっで分離する方法が存在
することは公知である。
通常加熱することによって行なう吸着剤の回収では、こ
れらの高沸点の成分を同じようにして吸着されたSF6
と一緒に遊離する。
れらの高沸点の成分を同じようにして吸着されたSF6
と一緒に遊離する。
本発明による方法は、かかる混合物を処理又は除去する
のに使用することもできることは明らかである。
のに使用することもできることは明らかである。
次に実施例につき本発明を説明する。
参考例 1(予備試験)
長さ約1000o+の電熱索線を備えている内径15m
m及び長さ1200mmの錆を有しない鋼鉄製管に、S
F、の製造装置の蒸溜缶部からのガス試料を温度600
°Cで導入した。
m及び長さ1200mmの錆を有しない鋼鉄製管に、S
F、の製造装置の蒸溜缶部からのガス試料を温度600
°Cで導入した。
缶部ガスは、ガスクロマトグラフィー及び赤外線分光学
によって確かめた次の組成を有していた(ガスクロマト
ダラムの平面の係): ビークI SF6
76.2係l12 1−C4F10t” C4
F10.CF3・()SF5 3.6%// 3
(J’OF、n−C3F1□0.5%// 4 C
,F、、(ベルフルオルシクロペンクン) 8.4%/
/ 5 SF ’O”SF5.n−C(3F14
6.7%7.6 C・F・−CF・(<7u
7 /l/オ″′チ″′3.4%クロペンクン) 、
82F10 tt 7 C6F+2(ベルフルオルシクロヘキサ
ン)1.t%〃 8高級過弗化炭素化合物
0.2%ガスの滞留時間40秒間を選んだ。
によって確かめた次の組成を有していた(ガスクロマト
ダラムの平面の係): ビークI SF6
76.2係l12 1−C4F10t” C4
F10.CF3・()SF5 3.6%// 3
(J’OF、n−C3F1□0.5%// 4 C
,F、、(ベルフルオルシクロペンクン) 8.4%/
/ 5 SF ’O”SF5.n−C(3F14
6.7%7.6 C・F・−CF・(<7u
7 /l/オ″′チ″′3.4%クロペンクン) 、
82F10 tt 7 C6F+2(ベルフルオルシクロヘキサ
ン)1.t%〃 8高級過弗化炭素化合物
0.2%ガスの滞留時間40秒間を選んだ。
温度処理を症こしたガスを10重量係の水酸化カリウム
水溶液に通じ、次いでガス計量器に送り、分析するため
の試料を取出した。
水溶液に通じ、次いでガス計量器に送り、分析するため
の試料を取出した。
ガスクロマトダラムによってビーク2,3,5及び6の
平面の減少が示された。
平面の減少が示された。
赤外線試験によって化合物CF3・0・SF5.C10
3F、SF6・0・SF5及び82B”10をもはや検
出することができないことが判明した。
3F、SF6・0・SF5及び82B”10をもはや検
出することができないことが判明した。
参考例 2(予・備試験)
参考例1に記載の組成を有する蒸溜缶部の物質に500
℃の温度処理を、滞留時間100秒間でその他は同じ条
件下に施こした。
℃の温度処理を、滞留時間100秒間でその他は同じ条
件下に施こした。
分析の結果は、処理したガスはなおSF5・0・SF5
成分の最初の濃度の約10%を有することを除いて、参
考例1と同じであった。
成分の最初の濃度の約10%を有することを除いて、参
考例1と同じであった。
例1
参考例1で使用した蒸溜缶部の試料を、弗素と1:1の
容量の割合で混合して500℃及び滞留時間10秒間で
処理した。
容量の割合で混合して500℃及び滞留時間10秒間で
処理した。
次いでこれを窒素で希釈し、得られた混合物を十分に冷
却し、10重量係の水酸化カリウム水溶液を有する洗浄
ビンに導入した。
却し、10重量係の水酸化カリウム水溶液を有する洗浄
ビンに導入した。
加水分解し得ないガスをガス計量器に捕集し、分析した
。
。
N2及びSF6と共に、CF4.C2F6,502F2
及び02(弗素と水酸化カリウム水溶液との反応から)
を検出した。
及び02(弗素と水酸化カリウム水溶液との反応から)
を検出した。
例2
SF6の製造装置に取付けられた図面に示され不いる装
置て、SF6の蒸溜塔缶部から計量弁を介して液体を1
ky/ h rの量で取出し、約750mmHg
の圧力に気圧を抜いた。
置て、SF6の蒸溜塔缶部から計量弁を介して液体を1
ky/ h rの量で取出し、約750mmHg
の圧力に気圧を抜いた。
温度100°Cに維持した気化器を通った後に、ガス状
物質は錆を有しない鋼鉄製管(内径二30mm、長さ:
15007n7IL)を通過した。
物質は錆を有しない鋼鉄製管(内径二30mm、長さ:
15007n7IL)を通過した。
こうして処理したガスを、弗素の導管に反応器中へのそ
の入口直前で還流させた。
の入口直前で還流させた。
選んだ条件はガスの滞留時間約24秒間に相当した。
温度処理の温度は約500°Cであった。温度処理装置
が作動する間に、蒸溜缶部から一定の時間間隔で分析す
るための試料を取出した。
が作動する間に、蒸溜缶部から一定の時間間隔で分析す
るための試料を取出した。
分析結果によってすべての高沸点副産物の濃度の連続的
減少が示された;これと平行して第1蒸溜塔の頭部で取
出された不活性ガス中のCF4の増大した含量を記録す
ることができた。
減少が示された;これと平行して第1蒸溜塔の頭部で取
出された不活性ガス中のCF4の増大した含量を記録す
ることができた。
試験時間の間に蒸溜缶部中の個々の成分の濃度の連続的
ではあるが、種々の減少が得られ、その際硫黄含有化合
物の濃度は著しく減少した。
ではあるが、種々の減少が得られ、その際硫黄含有化合
物の濃度は著しく減少した。
このようにして、例えばC3F10の含量5.73%は
数時間の間に4.99%に下ると共に、SF、・0・S
F5の含量は1.36%から0.02係に減少した。
数時間の間に4.99%に下ると共に、SF、・0・S
F5の含量は1.36%から0.02係に減少した。
例3
SF、の製造装置の蒸溜塔缶部から計量弁を介して缶部
物質毎時的2kgを取出し、約750 mmHgの圧力
に気圧を抜いた。
物質毎時的2kgを取出し、約750 mmHgの圧力
に気圧を抜いた。
その際得られたガス混合物を硫黄反応器前の弗素の導管
に導入した。
に導入した。
この方法でガス混合物は弗素と混合して反応器中に入リ
、そこで1部分反応し、洗浄系を通って再び蒸製塔中に
入った。
、そこで1部分反応し、洗浄系を通って再び蒸製塔中に
入った。
一定の時間間隔で蒸製缶部から取出した分析試料につい
て、全成分の濃度の著しい減少を立証することができ、
これらのうちなかんずく硫黄含有化合物がこれに該当し
ていた。
て、全成分の濃度の著しい減少を立証することができ、
これらのうちなかんずく硫黄含有化合物がこれに該当し
ていた。
既に数時間の還流の作業時間後に、蒸製缶部中のその成
分は最初の含量の50〜90係だけ減少していた。
分は最初の含量の50〜90係だけ減少していた。
添付図面は、本発明方法を実施するための系統図である
。 1・・・・・・除脱基、2・・・・・・蒸製塔、4・・
・・・・計量弁、5・・・・・・気化器、6・・・・・
・温度処理部。
。 1・・・・・・除脱基、2・・・・・・蒸製塔、4・・
・・・・計量弁、5・・・・・・気化器、6・・・・・
・温度処理部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 弗素を液状硫黄と反応器中で反応させ、この反応で
生じる高沸点の副産物を除去しながら六弗化硫黄を製造
する方法において、反応混合物の加圧蒸溜で生じ六弗化
硫黄及び高沸点の副産物を含有する塔缶部の物質の気圧
を抜き、反応器に通じる弗素の導管を介して六弗化硫黄
の製造工程中に還流させることを特徴とする六弗化硫黄
の製法。 2 弗素を液状硫黄と反応器中で反応させ、この反応で
生じる高沸点の副産物を除去しながら六弗化硫黄を製造
する方法において、気圧を抜いた塔缶部の物質に、付加
的に温度処理を元素状弗素の存在で450〜800℃の
範囲内で滞留時間0.1〜100秒間施こすことを特徴
とする六弗化硫黄の製法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2407492A DE2407492C3 (de) | 1974-02-16 | 1974-02-16 | Verfahren zur Beseitigung der bei der Herstellung von Schwefelhexafluorid anfallenden höhersiedenden Nebenprodukte |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS50118990A JPS50118990A (ja) | 1975-09-18 |
JPS5818322B2 true JPS5818322B2 (ja) | 1983-04-12 |
Family
ID=5907605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50018667A Expired JPS5818322B2 (ja) | 1974-02-16 | 1975-02-14 | ロクフツカイオウノセイホウ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4039646A (ja) |
JP (1) | JPS5818322B2 (ja) |
DE (1) | DE2407492C3 (ja) |
FR (1) | FR2261222B1 (ja) |
GB (1) | GB1451593A (ja) |
IT (1) | IT1031671B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4108967A (en) * | 1974-02-16 | 1978-08-22 | Kali-Chemie Aktiengesellschaft | Process for preparing sulphur hexafluoride |
IT1085350B (it) * | 1977-04-19 | 1985-05-28 | Montedison Spa | Metodo per la preparazione di esafluoruro di zolfo ad elevata purezza,ed apparecchiatura per realizzarlo |
US4380532A (en) * | 1981-07-01 | 1983-04-19 | Mazurin Igor M | Process for fine purification of sulphur hexafluoride from impurities |
US5639435A (en) * | 1996-10-23 | 1997-06-17 | Miller; Jorge | Method for producing sulfur hexafluoride |
CN101857202B (zh) * | 2010-06-04 | 2012-01-25 | 黎明化工研究院 | 一种六氟化硫的提纯方法及其设备 |
US8231855B2 (en) | 2010-12-28 | 2012-07-31 | Omotowa Bamidele A | Method for production of sulfur hexafluoride from sulfur tetrafluoride |
CN113307232A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-08-27 | 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 | 一种六氟化硫和四氟化硫混合气的制备及分离方法 |
CN115557471B (zh) * | 2022-01-29 | 2024-02-20 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 一种制备硫酰氟的方法及硫酰氟 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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