JPS58180001A - 厚膜感湿抵抗体 - Google Patents
厚膜感湿抵抗体Info
- Publication number
- JPS58180001A JPS58180001A JP57062395A JP6239582A JPS58180001A JP S58180001 A JPS58180001 A JP S58180001A JP 57062395 A JP57062395 A JP 57062395A JP 6239582 A JP6239582 A JP 6239582A JP S58180001 A JPS58180001 A JP S58180001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitive resistor
- moisture
- humidity
- sensitive
- crystallized glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は感湿抵抗材料粉末と結晶化ガラスフリフトとを
主成分とするｙ＃腺感湿抵抗体に係わり、特に、その結
晶化ガラスフリフト含有量に関するものである。
主成分とするｙ＃腺感湿抵抗体に係わり、特に、その結
晶化ガラスフリフト含有量に関するものである。
Ｎ膜感湿抵抗体は、湿度により抵抗値が変化する金楓酸
化物系感湿抵抗体Ｖ＆器粉禾Ｋ、非晶質カラスフリクト
とブチルセルロースやエチルセルロース等の有機バイン
ダーとを適当な割合で混合し工感湿抵抗体ペーストとし
、これを通常の厚膜素子と同様に金−白金系導電ペース
ト！電極としてセラミックス尋の基板に印刷し、焼成し
て形成する。従来、このような感湿抵抗体磁器粉末とガ
ラスフリフトとからなる厚膜感湿抵抗体においては、バ
インダガラスには非晶質系ガラスｙｉｏ重量−以上含有
するものが扱われていたが、これは感湿抵抗体磁器に比
べて感度が低く、かつ抵抗値が著しく大きく、実用化で
きるようなものではなかった。一方感湿抵抗体において
バインダガラスを１０重量−以下とすると、セラミック
基鈑上に印刷し、焼成した後の厚膜湿度センサは、抵抗
値および感度は実用領域に達するが、感温膜の膜質はも
ろく、セラミック基板への固着力も低いため実用領域に
達しない。
化物系感湿抵抗体Ｖ＆器粉禾Ｋ、非晶質カラスフリクト
とブチルセルロースやエチルセルロース等の有機バイン
ダーとを適当な割合で混合し工感湿抵抗体ペーストとし
、これを通常の厚膜素子と同様に金−白金系導電ペース
ト！電極としてセラミックス尋の基板に印刷し、焼成し
て形成する。従来、このような感湿抵抗体磁器粉末とガ
ラスフリフトとからなる厚膜感湿抵抗体においては、バ
インダガラスには非晶質系ガラスｙｉｏ重量−以上含有
するものが扱われていたが、これは感湿抵抗体磁器に比
べて感度が低く、かつ抵抗値が著しく大きく、実用化で
きるようなものではなかった。一方感湿抵抗体において
バインダガラスを１０重量−以下とすると、セラミック
基鈑上に印刷し、焼成した後の厚膜湿度センサは、抵抗
値および感度は実用領域に達するが、感温膜の膜質はも
ろく、セラミック基板への固着力も低いため実用領域に
達しない。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、冥
用化可能な程度に感度が高くかつ抵抗値の小さい厚膜感
湿抵抗体χ供給するにある。
用化可能な程度に感度が高くかつ抵抗値の小さい厚膜感
湿抵抗体χ供給するにある。
この目的ン運成するため、本発明は、金ＪＩ［化物系感
湿抵抗体ａ器粉禾と結晶化ガラスフリノドとからなる厚
ＩｌＩ感湿抵抗体において、結晶化ガラスフリット含有
量と感湿特性との関係について調べた結果から、結晶化
ガラスフリット含有量ヲ７，０〜３０．０重量−の範囲
としたものである。丁なわち、この調査によれば、結晶
化ガラスフリット含有量が６００１量ｑｂｔ越えると、
感湿抵抗体磁器粉末は結晶化ガラスフリットで榎われる
ため感度が急激に低下し、抵抗値も上昇することを見い
出した。また結晶化ガラスフリット含有量を７．０重量
−以上にすることにより、膜の強度も実用上問題ないこ
とがわかった。従って、金属酸化物系感湿抵抗体磁器粉
末と結晶化ガラスフリットとからなる厚膜感湿抵抗体に
おいて、結晶化ガラスフリフト含有量を７．０〜５００
重量−の範囲とすることにより、従来の厚膜感湿抵抗体
に比べて、感度の低下、抵抗値の増加といった特性の低
下のないものを厚膜プロセスにてセラミック基鈑上に形
成することが可能となる。
湿抵抗体ａ器粉禾と結晶化ガラスフリノドとからなる厚
ＩｌＩ感湿抵抗体において、結晶化ガラスフリット含有
量と感湿特性との関係について調べた結果から、結晶化
ガラスフリット含有量ヲ７，０〜３０．０重量−の範囲
としたものである。丁なわち、この調査によれば、結晶
化ガラスフリット含有量が６００１量ｑｂｔ越えると、
感湿抵抗体磁器粉末は結晶化ガラスフリットで榎われる
ため感度が急激に低下し、抵抗値も上昇することを見い
出した。また結晶化ガラスフリット含有量を７．０重量
−以上にすることにより、膜の強度も実用上問題ないこ
とがわかった。従って、金属酸化物系感湿抵抗体磁器粉
末と結晶化ガラスフリットとからなる厚膜感湿抵抗体に
おいて、結晶化ガラスフリフト含有量を７．０〜５００
重量−の範囲とすることにより、従来の厚膜感湿抵抗体
に比べて、感度の低下、抵抗値の増加といった特性の低
下のないものを厚膜プロセスにてセラミック基鈑上に形
成することが可能となる。
以下、本発明の一実施例を説＃Ｕする。まず、１ｎ（Ｊ
とＣｒ、ＣＩ、とを等モル比で固相反応させて合成した
感湿抵抗体磁器（１ｒＬＣｒｔ Ｕ４ ）と、第１表に
示す組成の結晶化ガラスフリフトとｙｐｔ、Ｆ５＋足の
割合で秤量し、らいかい機で１５時時間音する。
とＣｒ、ＣＩ、とを等モル比で固相反応させて合成した
感湿抵抗体磁器（１ｒＬＣｒｔ Ｕ４ ）と、第１表に
示す組成の結晶化ガラスフリフトとｙｐｔ、Ｆ５＋足の
割合で秤量し、らいかい機で１５時時間音する。
次に、エチルセルロース’ｔ−１０重′に％含むα−テ
ルピネオール溶液を有機バインダーとして混合物１０
ｆ当たり４ｃｃの割合で加え、さらに２時間混練して感
湿抵抗体ペーストを得る。一方、アルミナ基鈑上に金−
白金導電ペーストをスクリーン印刷し、８５０℃で１０
分間焼成して下部電極とする。次に、この下Ｓｔ極の上
に前記感湿抵抗体ペーストを印刷・乾燥したのち、Ｒｕ
−（Ｊ２導亀ペーストを印刷・乾燥し、８５０℃で１０
分間焼成し、感湿抵抗体層を上下両１［＆ではさんだサ
ンドイッチ構成の厚１ｔｉｓ湿抵抗体を形成する。
ルピネオール溶液を有機バインダーとして混合物１０
ｆ当たり４ｃｃの割合で加え、さらに２時間混練して感
湿抵抗体ペーストを得る。一方、アルミナ基鈑上に金−
白金導電ペーストをスクリーン印刷し、８５０℃で１０
分間焼成して下部電極とする。次に、この下Ｓｔ極の上
に前記感湿抵抗体ペーストを印刷・乾燥したのち、Ｒｕ
−（Ｊ２導亀ペーストを印刷・乾燥し、８５０℃で１０
分間焼成し、感湿抵抗体層を上下両１［＆ではさんだサ
ンドイッチ構成の厚１ｔｉｓ湿抵抗体を形成する。
このようにして形成された厚膜感湿抵抗体の湿度定数お
よび抵抗＠ｌならびに感湿抵抗体磁器との特性の比較を
第２表に示す。第２表において、結晶化ガラスフリット
含有量が４０１ｋ１％では、抵抗値は１４ＭΩで、体積
抵抗は＃Ｉ湿抵抗体磁器に比べて５５倍も太き（なって
おり、また、湿度定数も約手分になり、感度が低下して
いる。一方、結晶化ガラスフリット含有量が５．０重量
−以下では感湿抵抗体磁器に比べて湿度定数の低下およ
び体積抵抗の増加は少ないが、膜の強度が著しく弱い。
よび抵抗＠ｌならびに感湿抵抗体磁器との特性の比較を
第２表に示す。第２表において、結晶化ガラスフリット
含有量が４０１ｋ１％では、抵抗値は１４ＭΩで、体積
抵抗は＃Ｉ湿抵抗体磁器に比べて５５倍も太き（なって
おり、また、湿度定数も約手分になり、感度が低下して
いる。一方、結晶化ガラスフリット含有量が５．０重量
−以下では感湿抵抗体磁器に比べて湿度定数の低下およ
び体積抵抗の増加は少ないが、膜の強度が著しく弱い。
これに対して結晶化ガラスフリフト含有量がＺＯ〜５α
０１童−の範囲では、厚膜感湿抵抗体は感湿抵抗磁器に
比較し、特性劣化もなく、又基板への固着も強固となり
、実用化が可能となった。
０１童−の範囲では、厚膜感湿抵抗体は感湿抵抗磁器に
比較し、特性劣化もなく、又基板への固着も強固となり
、実用化が可能となった。
（繋１左旧
以上説明したようＫ、本発明によれば、金属酸化物系感
湿抵抗体磁器粉末と結晶化ガラスフリットとからなる厚
膜感湿抵抗体において、結晶化ガラスフリフト含有量Ｙ
７．Ｏ〜３０．０重ｔＳの範囲とすることにより高感度
で低抵抗の厚膜感湿抵抗体を得ることができる。これに
より、焼成温度が８５０℃という低温でセラミック基板
への形成が可能となる。これは、従来からの厚膜プロセ
スで特長となっている小型化、ｆｉ産化、低価格化など
の有益性は効果として大きなものである。
湿抵抗体磁器粉末と結晶化ガラスフリットとからなる厚
膜感湿抵抗体において、結晶化ガラスフリフト含有量Ｙ
７．Ｏ〜３０．０重ｔＳの範囲とすることにより高感度
で低抵抗の厚膜感湿抵抗体を得ることができる。これに
より、焼成温度が８５０℃という低温でセラミック基板
への形成が可能となる。これは、従来からの厚膜プロセ
スで特長となっている小型化、ｆｉ産化、低価格化など
の有益性は効果として大きなものである。
代理人弁理士 薄 １）利 辛
Claims (1)
- 金属酸化物系感湿抵抗材料粉末と結晶化ガラスフリット
とを、結晶化ガラスフリフト含有蓋がＺＯ〜５０．０重
量−の範囲にあるように混合し、これに有機バインダー
を加えて感湿抵抗体ベース）Ｙつくり、＃感湿抵抗体ペ
ーストを基板上ＩＣｍ布し、焼成して形成したことを％
黴とするＪ！＃膜感湿抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57062395A JPS58180001A (ja) | 1982-04-16 | 1982-04-16 | 厚膜感湿抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57062395A JPS58180001A (ja) | 1982-04-16 | 1982-04-16 | 厚膜感湿抵抗体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58180001A true JPS58180001A (ja) | 1983-10-21 |
Family
ID=13198900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57062395A Pending JPS58180001A (ja) | 1982-04-16 | 1982-04-16 | 厚膜感湿抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58180001A (ja) |
-
1982
- 1982-04-16 JP JP57062395A patent/JPS58180001A/ja active Pending
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