JPS6147548A - ガス検知素子 - Google Patents
ガス検知素子Info
- Publication number
- JPS6147548A JPS6147548A JP16938984A JP16938984A JPS6147548A JP S6147548 A JPS6147548 A JP S6147548A JP 16938984 A JP16938984 A JP 16938984A JP 16938984 A JP16938984 A JP 16938984A JP S6147548 A JPS6147548 A JP S6147548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- comb
- gas
- shaped electrodes
- electrode
- neutral electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、その原理上、使用されるセラミックのＭｉ類
、バルク形及び塗膜形といった素子形態を問わず等しく
応用しうるものである。ガス感応体と接触して少なくと
も一対のくし形電極を有しそしてガス感応成分が電極に
向けて移動偏析する傾向のある、特に高湿度雰囲気で使
用されるガス検知素子すべてが本発明の適用対象例であ
る。
、バルク形及び塗膜形といった素子形態を問わず等しく
応用しうるものである。ガス感応体と接触して少なくと
も一対のくし形電極を有しそしてガス感応成分が電極に
向けて移動偏析する傾向のある、特に高湿度雰囲気で使
用されるガス検知素子すべてが本発明の適用対象例であ
る。
図面は、本発明に従つくシ形電極の構成例の上面図を示
す。素子の構造に応じて基板或いはガス感応体表面上に
一対のくし形電極１．１＋が形成される。くし形電極は
、くし歯電極を互い違いに噛合せ、その対向する＜シ歯
間に中性電極２が形成される。
す。素子の構造に応じて基板或いはガス感応体表面上に
一対のくし形電極１．１＋が形成される。くし形電極は
、くし歯電極を互い違いに噛合せ、その対向する＜シ歯
間に中性電極２が形成される。
電極の形成は、蒸着法、スパッタ法、スクリーン印刷法
等により好適に行いうる。
等により好適に行いうる。
中性電極はくし形電極と同じ材料から作成することが好
ましいが、水素よりイオン化傾向の小さい金属及び又は
金Ｅα化合物であるなら、その使用を阻げるものでない
。中性電極は図示のような直線状のものに限らず、点列
状その他くし歯ｔ′！Ｍと接触して短絡を往ぜしめない
ものなら任意の形状をとり５る。中性ｉ＆には、電極と
は呼ばれるが、電気通流の為の電極としての機能は存在
せず、ガス感応成分かくし絡電極１，１′の方に向は移
動偏析し、それらの間にガス感応成分中の１部の成分の
濃度の小さい空白領域が出現するのを防止する作用を来
す。中性電極の存在により、ガス感応成分中の１部の成
分は、くし歯電極１，１′のみならず、中性電極の周辺
にも移動するから、たとえ成分移動が起っても当初の均
一分散状態は左柱には損われない。
ましいが、水素よりイオン化傾向の小さい金属及び又は
金Ｅα化合物であるなら、その使用を阻げるものでない
。中性電極は図示のような直線状のものに限らず、点列
状その他くし歯ｔ′！Ｍと接触して短絡を往ぜしめない
ものなら任意の形状をとり５る。中性ｉ＆には、電極と
は呼ばれるが、電気通流の為の電極としての機能は存在
せず、ガス感応成分かくし絡電極１，１′の方に向は移
動偏析し、それらの間にガス感応成分中の１部の成分の
濃度の小さい空白領域が出現するのを防止する作用を来
す。中性電極の存在により、ガス感応成分中の１部の成
分は、くし歯電極１，１′のみならず、中性電極の周辺
にも移動するから、たとえ成分移動が起っても当初の均
一分散状態は左柱には損われない。
電極材料としては、金、銀、白金族等の材料が用いられ
るが、酸化ルテニウムペーストも有用である。
るが、酸化ルテニウムペーストも有用である。
バルク形ガス検知素子の場合は、ガス感応セラミック、
増感剤等の混合粉末を直方体状に成製し、焼結して得ら
れる焼結体の一面に電極模様が形成される。
増感剤等の混合粉末を直方体状に成製し、焼結して得ら
れる焼結体の一面に電極模様が形成される。
塗板形ガス検知素子の場合は、基板上に電極層を形成し
そしてその上にガス感応体をスクリーン印刷により形成
してもよいし、或いは基板上に先ずガス感応体痕を形成
し、その上面に電極層を形成してもよい。触媒層を最上
層として付加した構造のものも提案されてい乞が、ここ
でもその使用はなんら差支えない。
そしてその上にガス感応体をスクリーン印刷により形成
してもよいし、或いは基板上に先ずガス感応体痕を形成
し、その上面に電極層を形成してもよい。触媒層を最上
層として付加した構造のものも提案されてい乞が、ここ
でもその使用はなんら差支えない。
発明の効果
本発明は、現在広範に使用されつつあるくし形電極を電
極として使用するセラミックガス検知素子全般に対して
共通して使用しうる経時変化防止策を与えるものである
。
極として使用するセラミックガス検知素子全般に対して
共通して使用しうる経時変化防止策を与えるものである
。
市販の酸化インジウム（工ｎｚｏｓ）に硫酸イオン濃度
がα８重量％となるよう硫酸インジウムを添加し、充分
混合した後、酸化第２錫（Ｓ ｎ Ｏｘ ）、Ｆ２ 化
’） ＃ ｓ二ｙ ム（Ｚｒ０ｔ ）及び酸化チタン（
Ｔｉｅりを各５．０モルチとなるよう添加し、更に充分
混合した。生成混合粉末に有機バインダーを加えて１０
０〜２００μ前後に整粒し、これら粉末を直方体形状に
加圧成型し、大気中６ｏｏ℃の温度で１時間焼成した。
がα８重量％となるよう硫酸インジウムを添加し、充分
混合した後、酸化第２錫（Ｓ ｎ Ｏｘ ）、Ｆ２ 化
’） ＃ ｓ二ｙ ム（Ｚｒ０ｔ ）及び酸化チタン（
Ｔｉｅりを各５．０モルチとなるよう添加し、更に充分
混合した。生成混合粉末に有機バインダーを加えて１０
０〜２００μ前後に整粒し、これら粉末を直方体形状に
加圧成型し、大気中６ｏｏ℃の温度で１時間焼成した。
得られた焼結体の一面に図面に示したような一対のくし
形電極と中性電極を金により蒸着した（電極間隔α５ｍ
３）。その矢面には白金発熱体を接着剤にて貼着けた。
形電極と中性電極を金により蒸着した（電極間隔α５ｍ
３）。その矢面には白金発熱体を接着剤にて貼着けた。
動作両度を４００℃としてメタン及び水素に対する次の
ガス感応特性を調べた： （イ）ガス感度＝空気中における抵抗値／ガス中におけ
る抵抗値空気中における抵抗値は測定容器において空気
をゆっくり攪拌しつつ測定した。
ガス感応特性を調べた： （イ）ガス感度＝空気中における抵抗値／ガス中におけ
る抵抗値空気中における抵抗値は測定容器において空気
をゆっくり攪拌しつつ測定した。
ガス中における抵抗値は容器の中に純度９９％以上のメ
タン及び水素を各々１０ｐｐｍ／秒の割合で流入し、そ
の濃度が１２容量−になった時点で測定した。
タン及び水素を各々１０ｐｐｍ／秒の割合で流入し、そ
の濃度が１２容量−になった時点で測定した。
←）抵抗経時変化率＝感応体を４００’ｃｌ／（おいて
２０００時間保持した場合の抵抗値の初期値に対する変
化率 結果を下表に示す。比較例として中性′ｆ！１極を使用
しなかった場合を併せて示す。
２０００時間保持した場合の抵抗値の初期値に対する変
化率 結果を下表に示す。比較例として中性′ｆ！１極を使用
しなかった場合を併せて示す。
本発明（中性電極有） １８ ｉ ＋
２．７ −２．９比較例（ｌ 無） １８
３２ ＋５．８ −６．０中性電極の使用
により抵抗経時変化率が改善されることがわかる。
２．７ −２．９比較例（ｌ 無） １８
３２ ＋５．８ −６．０中性電極の使用
により抵抗経時変化率が改善されることがわかる。
酸化インジウムに酸化第二錫、酸化ジルコニウム及び酸
化チタンを各２．０モルチとなるよう添加し、更に硫酸
インジウムを硫酸イオン量が３重量％となるよう添加し
、充分に混合した。混合粉末を空気中４００°Ｃにおい
て２時間熱処理した。
化チタンを各２．０モルチとなるよう添加し、更に硫酸
インジウムを硫酸イオン量が３重量％となるよう添加し
、充分に混合した。混合粉末を空気中４００°Ｃにおい
て２時間熱処理した。
縦６闘×横５闘のアルミナ製基板に図面に示したような
中性電極付きくし形電極を形成したもの及び中性電栖の
付かないくし形電極のみを形成したもの２つを用意した
。電極間隔はｏ、 ｓ ｍｍとし、金ペーストを印刷す
ることＫより電極模様を形成した。
中性電極付きくし形電極を形成したもの及び中性電栖の
付かないくし形電極のみを形成したもの２つを用意した
。電極間隔はｏ、 ｓ ｍｍとし、金ペーストを印刷す
ることＫより電極模様を形成した。
これら１！極付き基板上に上記混合粉末ペーストをスク
リーン印刷し、乾燥後４００℃に加熱した。
リーン印刷し、乾燥後４００℃に加熱した。
厚みは約５５μである。
ヒータとしては、基板の裏側に酸化ルテニウムをスクリ
ーン印刷し、焼き付けて抵抗体とした。
ーン印刷し、焼き付けて抵抗体とした。
実施例１と同様にしてメタン及びプロパンに対して抵抗
値の経時変化率を測定した。結果は次の通りであった。
値の経時変化率を測定した。結果は次の通りであった。
本発明（中性電極付） −）−５，７−！ｉ、４
比較例（＃ 無） −）−７，８−７，１やは
り、中性電極の使用により経時変化が改善しうろことが
わかる。
比較例（＃ 無） −）−７，８−７，１やは
り、中性電極の使用により経時変化が改善しうろことが
わかる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に従う中性電極付きくし形電極の一例の上
面図である。 １．１１ ：くし形電極 ２ ：中性電極
面図である。 １．１１ ：くし形電極 ２ ：中性電極
Claims (1)
- １）セラミックガス感応体と少なくとも一対のくし形電
極とを具備するガス検知素子において、該くし形電極の
対向するくし歯電極間に該くし歯電極と接触しない中性
電極を設けたことを特徴とするガス検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16938984A JPS6147548A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | ガス検知素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16938984A JPS6147548A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | ガス検知素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6147548A true JPS6147548A (ja) | 1986-03-08 |
Family
ID=15885687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16938984A Pending JPS6147548A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | ガス検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6147548A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425884A (en) * | 1988-06-29 | 1989-01-27 | Hatano Akio | Pinball game machine |
| JPS6425885A (en) * | 1988-06-29 | 1989-01-27 | Hatano Akio | Pinball game machine |
| EP0301897A2 (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-01 | Osaka Sanso Kogyo Limited | Oxygen analyzer |
-
1984
- 1984-08-15 JP JP16938984A patent/JPS6147548A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0301897A2 (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-01 | Osaka Sanso Kogyo Limited | Oxygen analyzer |
| JPS6425884A (en) * | 1988-06-29 | 1989-01-27 | Hatano Akio | Pinball game machine |
| JPS6425885A (en) * | 1988-06-29 | 1989-01-27 | Hatano Akio | Pinball game machine |
| JPH0420632B2 (ja) * | 1988-06-29 | 1992-04-03 | Yamazaki Shunpei |
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