JPS58173241U - 配線構造 - Google Patents
配線構造Info
- Publication number
- JPS58173241U JPS58173241U JP1983051264U JP5126483U JPS58173241U JP S58173241 U JPS58173241 U JP S58173241U JP 1983051264 U JP1983051264 U JP 1983051264U JP 5126483 U JP5126483 U JP 5126483U JP S58173241 U JPS58173241 U JP S58173241U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring structure
- wiring
- electrode wiring
- recorded
- bonding pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はフェイスダウンボンディング方式を示す図であ
る。第2図は従来のフェイスダウンボンディング方式の
半導体集積回路のポンディングパッドの構造を示す図で
ある。第3図は本考案による半導体集積回路のポンディ
ングパッド及び配線の構造を示す図である。 1.5・・・・・・半導体集積回路、2・・・・・・導
電性接着剤、3・・・・・・回路基板もしくは表示体基
板、4・・・・・・ネサ膜等の回路、6.11・・・・
・・AIポンディングパッド、7.13・・・・・・保
護膜、8.12・・・・・・ポンディングパッド部のC
rXAg、 Au膜、9・・・・・・A+配線、10・
・・・・・A1配線上のCr、 Ag、 Au膜。
る。第2図は従来のフェイスダウンボンディング方式の
半導体集積回路のポンディングパッドの構造を示す図で
ある。第3図は本考案による半導体集積回路のポンディ
ングパッド及び配線の構造を示す図である。 1.5・・・・・・半導体集積回路、2・・・・・・導
電性接着剤、3・・・・・・回路基板もしくは表示体基
板、4・・・・・・ネサ膜等の回路、6.11・・・・
・・AIポンディングパッド、7.13・・・・・・保
護膜、8.12・・・・・・ポンディングパッド部のC
rXAg、 Au膜、9・・・・・・A+配線、10・
・・・・・A1配線上のCr、 Ag、 Au膜。
Claims (1)
- 電極配線がA1もしくはAl−3iからなる配線構造に
おいて、該電極配線は、Cr、 Ag、 Auの多層金
属膜により被膜されてなる配線構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983051264U JPS58173241U (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 配線構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983051264U JPS58173241U (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 配線構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58173241U true JPS58173241U (ja) | 1983-11-19 |
Family
ID=30061987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1983051264U Pending JPS58173241U (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 配線構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58173241U (ja) |
-
1983
- 1983-04-06 JP JP1983051264U patent/JPS58173241U/ja active Pending
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