JPS58168051U - 圧電リレ− - Google Patents

圧電リレ−

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Publication number
JPS58168051U
JPS58168051U JP6622182U JP6622182U JPS58168051U JP S58168051 U JPS58168051 U JP S58168051U JP 6622182 U JP6622182 U JP 6622182U JP 6622182 U JP6622182 U JP 6622182U JP S58168051 U JPS58168051 U JP S58168051U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric relay
piezoelectric
insulating layer
electro
relay
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6622182U
Other languages
English (en)
Inventor
勅使川原　正樹
加藤　充孝
木下　勝裕
Original Assignee
オムロン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by オムロン株式会社 filed Critical オムロン株式会社
Priority to JP6622182U priority Critical patent/JPS58168051U/ja
Publication of JPS58168051U publication Critical patent/JPS58168051U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の圧電リレーの側面図、第２図はこの考案
の実施例にかかる圧電リレーの側面図、　８第３図は第
２図におけるバイモルフ素子の拡大図である。 ５・・・圧電体セラミックのバイモルフ、６・・・可動
接点、１・・・固定接点、８・・・絶縁体層（二酸化シ
リコン）、９・・・半導体基体（シリコン）、１０・・
・ダイヤフラム部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体基体の表面に絶縁層を形成すると共に、この絶縁
    層の開口部を通して設けられた孔の上に、圧電体セラミ
    ックのバイモルフで形成された、電気−機械的変位変換
    素子を片持梁状に設けたことを特徴とする圧電リレー。
JP6622182U 1982-05-06 1982-05-06 圧電リレ− Pending JPS58168051U (ja)

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JP6622182U JPS58168051U (ja) 1982-05-06 1982-05-06 圧電リレ−

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6622182U JPS58168051U (ja) 1982-05-06 1982-05-06 圧電リレ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58168051U true JPS58168051U (ja) 1983-11-09

Family

ID=30076109

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6622182U Pending JPS58168051U (ja) 1982-05-06 1982-05-06 圧電リレ−

Country Status (1)

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JP (1) JPS58168051U (ja)

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