JPS58110832U - 圧力電気変換装置 - Google Patents
圧力電気変換装置Info
- Publication number
- JPS58110832U JPS58110832U JP889282U JP889282U JPS58110832U JP S58110832 U JPS58110832 U JP S58110832U JP 889282 U JP889282 U JP 889282U JP 889282 U JP889282 U JP 889282U JP S58110832 U JPS58110832 U JP S58110832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- package
- semiconductor diaphragm
- introduction hole
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の圧力電気変換装置の一例を示す要部断面
構成図、第２図は本考案による圧力電気変換装置の一実
施例を示す要部断面構成図、第３図は本考案による圧力
電気変換装置の他の実施例を示す要部断面構成図である
。 １・・・・・・半導体ダイヤフラム、３・・・・・・圧
力導入穴、５ａ・・・・・・ガラスパッケージ、５ｂ・
・・・・・ガラス凸部、７・・・・・・リード、８・・
・・・・金属線、９・・・・・・圧力導入パイプ、１Ｇ
、１θａ・・・・・・キャップ、１１・・・・・・フリ
ットガラス。
構成図、第２図は本考案による圧力電気変換装置の一実
施例を示す要部断面構成図、第３図は本考案による圧力
電気変換装置の他の実施例を示す要部断面構成図である
。 １・・・・・・半導体ダイヤフラム、３・・・・・・圧
力導入穴、５ａ・・・・・・ガラスパッケージ、５ｂ・
・・・・・ガラス凸部、７・・・・・・リード、８・・
・・・・金属線、９・・・・・・圧力導入パイプ、１Ｇ
、１θａ・・・・・・キャップ、１１・・・・・・フリ
ットガラス。
Claims (2)
- （１）半導体基板の一方の主面部にピエゾ効果を示す領
域が形成されかつ他の主面部に凹部が形成されて圧カセ
ンザを構成する半導体ダイヤフラムを、該半導体ダイヤ
フラムへの圧力導入穴を形成させたパッケージに取り付
けてなる圧力電気変換装置において、前記パッケージを
前記半導体ダイヤフラムと同等の線膨張係数を有するガ
ラス材質で形成したことを特徴とする圧力電気変換装置
。 - （２）前記ガラスパッケージの圧力導入穴形成部と前記
半導体グイヤフラムとの間に、前記ガラスパッケージよ
りも同等もしくはそれ以下の線膨張係数の小さい圧力導
入穴を有する前記半導体ダイヤフラムの台座を前記ガラ
スパッケージと−一体的に設けたことを特徴とする実用
新案登録請求の範囲第１項記載の圧力電気変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP889282U JPS58110832U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 圧力電気変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP889282U JPS58110832U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 圧力電気変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58110832U true JPS58110832U (ja) | 1983-07-28 |
Family
ID=30021565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP889282U Pending JPS58110832U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 圧力電気変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58110832U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5536713A (en) * | 1978-09-06 | 1980-03-14 | Hitachi Ltd | Semiconductor strain gauge type absolute pressure sensor |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP889282U patent/JPS58110832U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5536713A (en) * | 1978-09-06 | 1980-03-14 | Hitachi Ltd | Semiconductor strain gauge type absolute pressure sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58110832U (ja) | 圧力電気変換装置 | |
| JPS5892745U (ja) | 半導体圧力変換器 | |
| JPS6122369U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS59164241U (ja) | セラミツクパツケ−ジ | |
| JPS59179352U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS59132641U (ja) | 半導体装置用基板 | |
| JPS59112956U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS59127247U (ja) | ガラスシ−ル型半導体装置 | |
| JPS60121649U (ja) | 気密端子 | |
| JPS6068654U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6144931U (ja) | 圧電体 | |
| JPS6053037U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS59192854U (ja) | 光半導体装置 | |
| JPS6144835U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS59122537U (ja) | シリコンダイアフラム形圧力変換器 | |
| JPS6016553U (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
| JPS6094836U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS5899841U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6134733U (ja) | 半導体ウエハ | |
| JPS59119628U (ja) | 圧電デバイス・パツケ−ジに於けるリ−ド部の気密保持構造 | |
| JPS59168142U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS5996802U (ja) | 樹脂封止型サ−ミスタ | |
| JPS59112133U (ja) | 圧力センサ | |
| JPS6032897U (ja) | 電気−音響変換器 | |
| JPS6045441U (ja) | 半導体装置 |