JPS58165838U - 静電リレ− - Google Patents
静電リレ−Info
- Publication number
- JPS58165838U JPS58165838U JP6254282U JP6254282U JPS58165838U JP S58165838 U JPS58165838 U JP S58165838U JP 6254282 U JP6254282 U JP 6254282U JP 6254282 U JP6254282 U JP 6254282U JP S58165838 U JPS58165838 U JP S58165838U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- movable piece
- electrostatic relay
- main surface
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の静電リレーを示す断面図、第２図はこの
考案に係る静電リレーの一例を示す断面図である。 １・・・基板、５・・・凹所、６・・・凹所底面（高不
純物濃度導電領域）、２１・・・可動片、２４・・・エ
レクトレット。
考案に係る静電リレーの一例を示す断面図である。 １・・・基板、５・・・凹所、６・・・凹所底面（高不
純物濃度導電領域）、２１・・・可動片、２４・・・エ
レクトレット。
Claims (1)
- 半導体基板主面に凹所を形成し、上記基板主面に片持ち
された導電性弾性材からなる可動片を上記凹所に突出さ
せ、この可動片と上記凹所底面とに電圧を印加して、該
可動片の先端部を変位させる静電リレーであって、上記
可動片の凹所対向側面に永久的に表面電荷を保持するエ
レクトレットを設けたことを特徴とする静電リレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6254282U JPS58165838U (ja) | 1982-04-28 | 1982-04-28 | 静電リレ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6254282U JPS58165838U (ja) | 1982-04-28 | 1982-04-28 | 静電リレ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58165838U true JPS58165838U (ja) | 1983-11-04 |
Family
ID=30072693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6254282U Pending JPS58165838U (ja) | 1982-04-28 | 1982-04-28 | 静電リレ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58165838U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH052974A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電リレー |
| JP2007526518A (ja) * | 2004-03-04 | 2007-09-13 | ローズマウント インコーポレイテッド | エレクトレットを用いた微小電気機械システムを基礎とするアクチュエータデバイス |
-
1982
- 1982-04-28 JP JP6254282U patent/JPS58165838U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH052974A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電リレー |
| JP2007526518A (ja) * | 2004-03-04 | 2007-09-13 | ローズマウント インコーポレイテッド | エレクトレットを用いた微小電気機械システムを基礎とするアクチュエータデバイス |
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