JPS5814547A - 集積回路テスト・システム - Google Patents

集積回路テスト・システム

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JPS5814547A
JPS5814547A JP57104026A JP10402682A JPS5814547A JP S5814547 A JPS5814547 A JP S5814547A JP 57104026 A JP57104026 A JP 57104026A JP 10402682 A JP10402682 A JP 10402682A JP S5814547 A JPS5814547 A JP S5814547A
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JP
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output
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test
circuit
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JP57104026A
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マシユ−・クリストフア・グラフ
ハンス・ピ−タ−・ム−ルフエルド・ジユニア
エドワ−ド・ヒユ−バ−ト・バレンタイン
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International Business Machines Corp
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Publication date
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明はディジタル回路をテストするための装置、より
具体的には集積化された論理回路及びアレイ回路の両者
を高速でテストするだめの装置に関する。
先行技術の説明 集積回路の電気特性のテストは、電子装置特に非常に高
い信頼性を必要とするデータ処理機器に用いられるもの
の製造において最も重要なものである。集積回路チップ
中には多数の回路が存在するので、チップ設計を製造部
門に公開する前に、開発中にチップ又はウェハをテスト
する事が非常に望ましい。しかしながらチップ当りの回
路数の一層の増加並びに同一チップ上への論理及びメモ
リ・アレイの組み込みという集積回路における今日の傾
向は、それらのチップのテストヲ困帷且つ複雑な問題に
している。回路数が変化すると共にビン総数も変化する
が、テスタは変化し得るピン数を扱えるだけの充分な柔
軟性を持たなければならない。均在、可変なピン数を扱
う事のできる低速のDCテスタ及び制限された固定的な
ピン数に適合した高速の機能テスタが存在している。し
かながら可変なピン数を扱うと共にアレイ及び論理回路
の両者をテストする事によって混合モードで動作する組
み合せテスタ(DC及び機能)に対する需要が存在して
いる。
発明の要約 従って、本発明の主な目的は、可変なピン数を処理でき
る事によって低速のDCテスタの柔軟性を有し且つ混合
モード高速機能テスタとしても動作し得るテスタを提供
する事である。
本発明の他の目的は、拡張されたピン数を処理する能力
を有し、拡張されたビンのための付加的なデータを記憶
するために必要な時間によるテスト・スルーブツトの悪
化を生じないテスタを提供する事である。
本発明の他の目的は、各ビンを個々に且つ独立にタイミ
ング付ける事のできるテスタを提供する事である。
これらの目的は、テスト・データの記憶、テスト・デー
タの移動及び高速テスト・アプリケーションのための別
個の電子回路を有し、その電子回路が複数のブロックに
分割された設計の本発明のテスタによって達成される。
各7−ロックはテスト中自己充足的であり、他のブロッ
クと並列に動作する。自己充足性はそのブロックに割り
当てられたテスト・データを記憶し適用する事によって
得られる。これは各ビン毎に独特のタイミング制御を伴
なって高速に行なわれる。
性能を悪化させる事なく高速テスタにおいて可変ピン数
全処理し得る柔軟性を得るために、本発明のテスタは、
各ブロックに作業日のテスト・データの供給を記憶する
のに充分な局所大容量記憶装置及びそのデータを各ビン
の背後にある高速電子回路に移すのに必要な電子回路を
有するように設計される。その結果、高速電子回路への
データ転送速度は、テスタ・ビンの必要の増加と共に付
加的なブロックをつけ加える事によって増加し、従ッテ
ヒン数に殆ど独立な固定されたセットアツプ時間を維持
する。
実施例の詳細な説明 第1図は本発明のテスト・システムの概略を示す。これ
は上位計算機10、複数のブロック11a、  11 
b、  11 c−11m、高速システム制御装置(H
2Se)12、プローブ16及び被テスト装置(DOT
)14から構成される。上位計算機10はシステム全体
を制御し各ブロックに情報−を送る。各ブロックはその
情報全記憶し、被テスト装置14ここでは集積回路チッ
プをテストすルタめに同時に使用される1組のプローブ
点15を制御する。H85C12は、装置14をテスト
する時にテスト・システムを同期する機能を持つ発振器
を有する。
次にブロック11の詳細な説明に移る。第2図を参照す
ると、ブロックのブロック制御装置20と通信する上位
計算機10が示されている。ブロック制御装置20はシ
ステム・バス21 ’rRテブロック制御装置プログラ
ム記憶装置22及び複数の大容量記憶装置23a〜23
r1に接続される。
大容量記憶装置25a〜23nは64にバイトの増分で
16メガバイトまで拡大できる。さらに制御装置20は
システム・バス21を経てビン電子回路カード(PEC
)上の高速バッファ24a及びセットアツプ・バッファ
24bにも接続される1Jブロツク制御装置2oの詳細
は第3図に示されている。制御装置はマイクロプロセッ
サ(μP)50、直接メモリ・アクセス(DMA)ユニ
ット51.2個の並列人力/出力ポート(PIO)33
.34、読取/書込制御装置(RWC)55及びデコー
ダ36から成り、これら全ては制御バス37、アドレス
・バス38及びデータ・バス59を含むバス線によって
相互接続されている。読取/書込制御装置35以外の全
ては市販さnている3゜第4図は第3図の読取/書込制
御装置35のより詳細な図である。マイクロプロセッサ
50FiPIO34’i経て読取アドレス42及び書込
アドレス43をセットアツプする。これらのアドレスの
各々は、どのブロックがデータ転送のソース又は宛先に
なるかを表わしている。デコーダ40は、PIOによっ
て要求された読取及び書込アドレスをブロック制御装置
プログラム記憶装置22をアドレスするために切り換え
るAND回路41に信号を供給する。これはマイクロプ
ロセッサがブロック制御装置プログラム記憶装置にアク
セスする事を望む時にセットされるメモリ要求線によっ
て行なわれる。
情報を移動させるために読取/書込制御装置がど゛のよ
うに使われるかという例を示すために、第2図及び第5
図を参照する。もし20000バイトの情報を大容量記
憶装置23aからセットアツプ・バッファ24bに移動
させるならば、マイクロプロセッサ30はDMAユニッ
ト′51に20000バイトの情報を移動させるように
命令する。
次にマイクロプロセッサは、PI054に大容量記憶装
置23a’に読取アドレス42としてセットアツプし、
バッファ2Abf書込アドレスとしてセットアツプする
ように命令する。次にマイクロプロセッサ30はDMA
ユニット31にバスヲ制御するように命令する。これに
よってDMA31は移動操作を行ない、次にマイクロプ
ロセッサにジョブが行なわれた事を命令する。この時点
でマイクロプロセッサ30はバス・システムOff+1
1 ml k取得する。この型のブロック移動は、第4
図に示すメモIJ e木線上の制御を持たないDMAユ
ニット31を経て行なう事しかできない。逆に、マイク
ロプロセッサが読取又は書込信号を発生する時、それは
常にメモリ要求線をセットする。
第2図に示すように、ピン電子回路カード25は高速バ
ッファ24a及びセットアツプ・バッファ24bから構
成される。さらにカード25は第5図に示すように高速
バッファを含むカード論理50位相固定ループ(PLL
)タイミング・ブロック51、及び駆動器及び受信器ブ
ロック52を含む。
動作中、セットアツプ・バッファ24bは、ピン電子回
路カードを働かせ駆動器及び受信器ブロック52、PL
Lタイミング・ブロック51及びカード論理50と通信
しそれらを制御するのに必要な情報全記憶する。駆動器
及び受信器ブロック52は、セントアップ・バッファ2
4bからどの電圧が1又は0であると定義されているか
という情報を受は取る。PLLブロック51は市販され
ており、テストされる装置に供給されるデータのパルス
幅及び位置を決定するため、又はテストされる装置14
から受は取ったデータを標本化するのに使われるストロ
ーブ信号(図示せず)の位置を定めるために使われる。
PLLブロック51を制御するためにアナログ信号が用
いられる。
ブロック制御装置(第2図)のDMAユニット31(第
3図)が書込みのだめの特定のレジスタ′を選択するた
めに、第6図に詳細に示される回路がセットアンプ・バ
ッファ24bに与えられる。
基本的には、バッファは複数の異なったレジスタ60a
、60b、60c、6Onから構成、されその出力はデ
ィジタル−アナログ変換器(DAC)61a、61bに
供給されるか又はカード論理50(第5図)に接続され
る。アドレスの16ビントは下位ビット及び上位ビット
に分けられ、下位ビットは信号線62上を下位アドレス
信号として複数のデコーダ65の1つに供給され、上位
ビットは信号線64上を上位アドレス信号として比較器
65に供給される。比較はレジスタ識別スイッチ66か
らの入力に対して行なわれ、比較器65の出力はAND
回路67において書込人力と論理積を取られ、その出力
はデコーダ65に供給される。データ・バスからのデー
タはバッファ68によってバッファされ、次にデコーダ
63からの人力と共にレジスタ60a〜6Onに分配さ
れる。
カード論理(第7図)はアドレス発生論理70、選択回
路71及び高速バッファ24a(第2図)から構成され
る。タイミング回路72は、第8図と一諸に説明するカ
ード論理を動作させるために必要である。動作中システ
ム・リセット人力がカウンタ80をリセットし、システ
ム・クロック入力が高速のシステム制御装置12(第1
図)中の発振器から与えられる。レジスタ86及び84
はセットアツプ・バッファ24b(第2図)中にあるが
、明確にするためこの回の中に示した。カウンタ80、
レジスタ83及び比較回路85は、多数サイクルの間、
システム・多口ツクの受信を遅らせるために使われる。
カウンタ80はシステム・多口ツクによって開始された
サイクルを計数し、Lラスタ85は電子回路カード25
(第2図及び1.5図)が待機すべきサイクル数を記憶
する。カウンタ8oがレジスタ83に等しくなる時、シ
ステム・クロックはカウンタ80に入るのをゲート・オ
フされタイミング回路の残りに伝わるのを許される。次
にピン電子回路カード25は、どの時点でシステム・ク
ロック入力が停止したかのテスIf完成させ続ける。
カウンタ86は、レジスタ84によって制御されるマル
チプレクサ87に信号を供給する。このカウンタ、マル
チプレクサ及びレジスタの組み合せはシステム・クロッ
クを分周してクロック出力88にするのに使われる。例
えばもしマルチプレクサ87がポート00を出力に通す
ようにプログラムされていれば、システム・クロックは
クロック出力88に等しくなる。もしマルチプレクサ8
7がポート01を通すならば、クロック出力8Bはシス
テム・クロックの半分の周波数になる。ポート10はシ
ステム・クロックを4だけ分周し、ポート11はシステ
ム・クロックを8だけ分周する。読取/書込出力89の
幅は、AND回路91の入力に信号を供給する遅延回路
90の遅延によって決定される。そのパルスの周波数は
クロック出力8Bに等しい。レジスタ84は、読取/書
込出力が伝えられたか否かを制御する。またシステム・
クロックは、ゲートされたクロック出力82を与えるた
めにAND回路81にも供給される4、第7図のメモリ
・ブロック24aは、第8図のタイミング・ブロックか
らの読取/書込出力89、デコーダ36(第3図)から
来る書込み人力92.8ピツトのデータ・バスから2つ
のデータ・イン人力93及び94、並びにアドレス・バ
スの下位12ビツトであるセクション・アドレス95が
供給される。ピン電子回路カード25に与えるのにデー
タ・バスからの2つのデータ・ビットしか必要でないの
で、(第2図及び第5図)4つのカードが8ピツトのバ
ス・システムに関して並列化される。もしこれらの4つ
のカードがセクションに等しければ、各ブロックは16
のセクションをサポートする。
メモリ・ブロックの詳細は第9図を参照すれは良い。セ
クション・アドレス95及びアウェイ・アドレス96は
、セットアツプ・バッファ24b(第2図及び第6図)
からのセットアツプ・ビット97によって制御されるマ
ルチプレクサ100に供給される。書込入力92及び読
取/書込入力89は、マルチプレクサ100と同様にセ
ットアツプ・ビット97によって制御されるマルチプレ
クサ101に供給される。セットアツプ・ビット97は
、ここでは2つの4に×1バッファ102a、  10
2 bに書込むためのDMAに関する径路を与える。デ
ータ・イン93及び94はデータ・バスの2つのビット
から来る。
アドレス発生ブロック70(第7図)は第10図に詳細
に示されている。アドレス発生ブロックへの入力はクロ
ック88及び16ビツトのセットアツプ・バッファ情報
である。カウンタ110及びレジスタ111は共に比較
回路112に信号を供給する。カウンタ110がレジス
タ111に等しくなる時、カウンタ110はレジスタ1
15の内容にプリセットする。これはピン電子回路かア
ドレス・ベース内でループする事を可能にする3、カウ
ンタ110の出力はアウェイ・アドレスと呼ばれ、第9
図のアウェイ人力96を与える。レジスタ111及びカ
ウンタ110から信号の供給を受ける比較回路112の
出力はワード長116と呼ばれる。カウンタ110及び
カウンタ114はここでは1つの52ビツト・カウンタ
の形態?取っている。カウンタ114の出力はホーム・
アドレスと呼ばれる。カウンタ110及びカウンタ11
4の出力は比較回路115を用いて比較され、「ホーム
くアウェイ」出力117、「ホーム−アウェイ」出力1
18、又は「ホーム〉アラエア」出力119のいずれか
を生じる。
選択ブロック71(第7図)は第11図及び第12図に
詳細に示されている。第11図に示すように、選択回路
の制御は、クロック82及びシステム・リセット人力9
1と共にカウンタ120へ入力されるシステム・セット
アツプ・ビット97である。カウンタ120はテスト・
プログラムにおけるアドレス当りのステップの数を決定
し、その出力は一連のマルチプレクサ121a、121
b及び121cに供給される。その各々はレジスタ1’
22a、122b、122cに付属し、これらはホーム
/アウェイ入力によって指定される特別な間隔で真/補
の発生の系列す識別する。これらの入力は、マルチプレ
クサ121a、121b及び121cからの出力と共に
AND回路12′5a、123b、123cに供給され
る。AND回路の出力はOR回路124に′供給される
。ゲートされたクロック人力82はAND回路125に
おいて、テストされるメモリのサイズ全特定するワード
長入力と論理積を取られ、その出力はトグル・フリップ
フロップあるいは補ノ(イノ(ス・フリップフロップ1
26に与えられる。フリップフロ・ノブ126の出力は
OR回路124の出力と共に排他的OR回路127に供
給される。この回路127は真/補出力を与える。
第12図を参照すると、真/補出力はデータ・アウト1
と共にAND回路128に供給される3、その出力はデ
ータ出力全計算するマルチプレクサ129の入力2に与
えられる。マルチプレクサの入力1はセットアツプ・ビ
ットf、9け取り、入力1はデータ・アウト1及び「ホ
ームニアウェイ」を入力として持つAND回路154か
らのAND関数を受は取る。入力3はデータ・アウト1
の直接の入力である。
ピンポン・パターンを用いる配列テストにおいてマルチ
プレクサ130は、セットアツプ・/(ツファ24b(
第2図及□び第6図)から来るセットアツプ・ビラトラ
受は取る(ホーム・アドレス)マルチプレクサ131又
は(アウェイ・アドレス)マルチプレクサ152のいず
れかからピッi供給される。マルチプレクサ150の出
力はマルチプレクサ129の入力5に与えられる。セッ
トアツプ・ビットと共にデータ・アウト2はAND回路
133へも入力され、その出力は第5図に示される駆動
器及び受信器論理52に与えられる。命令アウト・ビッ
トは回路がテスト下の装置14を駆動するか又は装置1
4から情報を受信するか全制御し、装置14との間の双
方向チャネルの使用を許可する。
高速システム制御装置12(第1図)をより一層理解す
るために、第13図を参照して詳細な説明を述べる。デ
ィジタル−アナログ変換器(I)AC)141から入力
を受は取る可変制御発振器(VCO)140は、全ての
ビン電子回路カード25(第2図及び第5図)が実行す
るクロック周波数を決定する。レジスタ142はカウン
タ143の事前条件を記憶し、プリセット・ビットがこ
の事前条件をカウンタにロードする。レジスタ144は
テストのサイクル数を保持する。AND回路145への
スタート入力は、発振器140の周波数t−システム・
クロックとして全てのビン電子回路カード25及びカウ
ンタ145に伝達させる。
カウンタ143中の数が比較器146で比較してレジス
タ144中のサイクル数に等しい時、停止信号がAND
回路145に供給され、システム・クロックはターン・
オフされる。
本発明のテスタをさらに理解するために、以下論理及び
アレイのテスtt−説明する。テスト・プログラムは、
それが論理テスト用であろうと又、アレイ・テスト用で
あろうと、上位計算機10(第1図)中に存在する。こ
のテスト・プログラムはブロック制御装置20(第2図
及び第5図)を経て事前に選択されたブロック11a〜
11n(第1図)に供給される。セグメント・テスト・
データは最初ブロック制御装置プログラム記憶装置22
に記憶され、その後DMA51(第3図)及び読取/書
込制御装置35(第5図)を経て大容量記憶装置25a
〜23n(第2図)に転送される。この方法において、
全テスト・データが大容量記憶装置に入る。上位計算機
10はブロック構成と共にプログラムされている事を認
識しなければならない。即ち上位計算機はどれだけの数
のブロックがテスタ中に存在しどのブロックが被テスト
装置のどのピンを制御しているかを知っている。
さらにアナログ較正データ及び付加的セットアツプ情報
が大容量記憶装置23a〜25n(第2図)に記憶され
る。
テスト実行時に、ブロック制御装置20(第2図及び第
3図)は高速バッファ24a(第2図及び第7図)及び
セットアツプ・バッファ24b(第2図及び第6図)に
、大容量記憶装置25a〜25n(第2図)に記憶され
ていたデータをロードするよう命令する。これは前に、
説明したメモリ・セグメント移動によって行なわれる。
この時点でクロック制御装置20は上位計算機10に対
してブロック11a〜11n(第1図)の事前に選択さ
れたブロックが作動可、能である事を知らせる。
この時高速システム制御装置12(第1図)はシステム
・クロック81(第7図)を経て全て、9ピン電子回路
カード25(第2図及び第5図)に所定の数のパルスを
伝送する。
駆動器及び受信器ブロック52(第5図)は第14図に
詳細に示されている。入力はセットアツプ・アナログ信
号から成り、PLL150.151.152の各々に至
るデータ前縁、データ後縁、ストローブ位置の各信号並
びに駆動器153に至る駆動器アップ・レベル及び駆動
器ダウン・レベル信号並びに比較器154に至るV基準
信号kgむ。アナログ入力は第6図に示すように、セッ
トアツプ・バッファのデジタル・アナログ変換器出力か
ら来る。データ前縁及びデータ後縁入力はデータ位置及
びパルス幅を制御し1、一方ストロープ位置入力はスト
ローブ・タイミングを決定する5、駆動器アップ・レベ
ル及び駆動器ダウン・レベル入力は駆動器153のパル
ス振幅及びオフセットをセットする。■基準入力は比較
器154の基準レベルをセットする? フリップフロップ即ちパルス成形装置155及び遅延比
較器156へのデータ入力はマルチプレクサ129(第
12図)の出力からのものであって、第1にDUT1/
Lの入力を発生するために使われるピン電子回路カード
25(−第2図及び第5図)中の駆動器に関するデータ
源として、第2に−pUT14の出力を受信し検査する
ために使われるピン電子回路カード25中の比較入力と
して作用する。同じピン電子回路カード25は双方向モ
ードにおいて両方の機能をはだす。駆動器153及びA
ND回路157への命令アウト入力はAND回路133
(第12図)から到来し、ピン電子回路カード25(第
2図及び第5図)が任意の時刻において駆動又は受信の
いずれを行なっているかを決定するために使われる。例
えば命令アウト入力及び比較器158からの出力の論理
積であるAND回路157のフェイル出力全駆動してい
る時、それはブロックされ駆動器153が付勢される。
受信を行なっている時、フェイル出力が付勢すれ、駆動
器がブロックあるいは減勢される。
ピン電子回路カード25が駆動しているか又は受信して
いるかにかかわらない時、この条件は、駆動器15′5
の出力が発生せずフェイル出力が減勢されるように命令
アラトラ駆動しデータ全ゼロにする事によってマスクさ
れる。
パルス成形装置155は、PLL150及び151と共
に、データ入力が駆動器15′5に到る前にデータ入力
をラッチしその前縁及び後縁を確立する。さらに駆動器
は、データ入力をプローブ13(第1図)を経てDUT
14に送る前に、適当なアップ・レベル及びダウン・レ
ベルを確立する。
比較器154はDUT14の出力あるいは駆動器153
の出力を基準レベルと比較し、その結果を標本化フリッ
プフロップ159に送る。そこでその信号は、PLL1
53によって事前に位置付けられたストローブ信号(図
示せず)によって標本化される。次に標本化フリップフ
ロップ159の出力は比較器158で遅延データ入力と
比較されその結果はAND回路157において命令アウ
ト信号によってゲートされ、その出力は誤りバッファ1
60に送られそこに記憶される。テストの終了時に、D
UT14の出力を検査するのに使われた全てのピン電子
回路カード25(第2図及び第5図)上の誤りバッファ
160が上位計算機10(第1図)によって読取られ、
その結果が解析される。
論理テストヲ行なう時、データ・アウト(第9図)がテ
ストのための論理値情報を含む。データ・アウト1は、
ピン電子回路カード25がDUT14(第1図)を駆動
している(1)か又はそこから受信を行なっている(0
)かに関する命令を含む。カウンタ110(第10図)
は高速メモリ24a(第2図及び第9図)を経由するス
テップに必要な一連のアドレスを発生する。データ・ア
ウト1から5番目の入力を経てマルチプレクサ129に
ゲートされるデータ(第12図)は、駆動された受信器
ブロック52(第5図)の比較回路に供給される。
アレイ、ここではIK  RAMgテストするたメツア
ドレシング・シーケンスは周知のピンポン・パターンで
ある。データ形式は相補的バイパス(compleme
ntary by  pas、s)である。テストは下
記のステップから成る。
1、 テス)RAM中の全ての記憶位置は1にされる。
(、)  アドレスに用いられるビン電子回路カードに
おいて、セットアツプはデータ 出力にゲートされるアウェイ・アドレ ス(第12図)の重みを選択する。
(b)  データに用いられるビン電子回路カードにお
いて、セットアツプ・ビットは データー1にする。
(c)制御a<即ち読取/書込)に用いられるピンにお
いて、セットアツプはデー タ出力を書込むだめの適当な値にする−82、テストの
実行。
(、)  アドレスに用いられるビン電子回路カードに
おいて、 レジスタ111(第10図)は テストされるRAMの大きさく 例えばIK)に等しい。
レジスタ115(第10図)は 0に等しい。
マルチプレクサ131及び13 2(第12図)は適当なアドレ ス重み(例えば26)にセット され、マルチプレクサ160は データ・アウトの制御の下にホ ーム・アドレス又はアウェイ・ アドレスを選択する。
データ・アウトはピン情報(ホ ーム)又はボン情報(アウェイ を含む。ここで4ステツプのピ ンポンはホーム・アドレス読取、 アウェイ・アドレス読取、ホー ム・アドレス書込、アウェイ・ アドレス書込から成る。
(b)  データ発生に用いられるビン電子回路カード
において、 メモリID7e(第9図)が1 をロードされる。
レジスタ111(第10図)は テストされるRAMのアドレス の大きさに等しい。
レジスタ115(第10図)、 122a、122b及び122 C(第11図)は0に等しい。
データ・アウト(第12図)が マルチプレクサ129の入力2 を経てゲートされる。
(c)  書込み制御に用いられるピン電子回路)  
  カードにおいて、 メモリ(第9図)に書込み制御 7−ケンスを記憶する。(例え ば1.1.0.1.1.1.0. 1等) レジスタ111はRAMのアド レスの大きさに等しい。
レジスタ115(第10図)、 122a、122b、122c (第11図)は0に等しい。
(d)  テストされるRAMからのデータを受信し検
査するのに使われるピン電子回 路カードにおいて、 レジスタ113はテストされる RAMの大きさに等しい。
レジスタ111は0に等しい。
メモリ107a(第9図)は全 て1をロードされる。
レジスタ120(第12図)は アドレス・パターン4ステツプ の場合3に等己い。
レジスタ122a、122b’及 び122cは比較回路入力(第 14図)の正しいデータ極性を 確めるのに必要な真補パターン をロードされる。
データ(第12図)がマルチプ レクサ129の入力2にゲート される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のテスト・システムの概略図、第2図は
ブロックのシステム構成を示す図、第3図はブロック制
御装置の構成要素の図、第4図は読取/書込制御装置の
図、 第5図はビン電子回路カードの図、 第6図はビン電子回路カードのセットアツプ・バッファ
の図、 第7図はビン電子回路カードの高速論理の図、第8図は
ビン電子回路カードのタイミング論理の図、 第9図はビン電子回路カードの高速バッファの図、 第10図はビン電子回路カードのアドレス発生器の図、 第11図は第7図の選択ブロックの選択回路の図、 第12図は第7図の選択ブロックの選択回路の残りの部
分の図、 第16図は第1図の゛高速システム制御装置の図、第1
4図は第5図の駆動器及び受信器回路の図である。9、

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  集積回路チップ中の回路をテストするための
    テスト・システムであって、 上記テスト・システムを制御するための上位計算機と、 各々、制御装置、データ及びテスト・プログラムを記憶
    するための装置、並びにテストされる装置のピンに対応
    しほっ互いに独立に動作するように設計された複数個の
    電子装置を含む複数のプロツタとを含む、 集積回路テスト・システム。
  2. (2)上記電子装置の各々が、他の電子装置に独立に、
    テストされる装置のビンをタイミング付けるだめのタイ
    ミング手段を含む特許請求の範囲第1項記載の集積回路
    テスト・システム。
JP57104026A 1981-07-16 1982-06-18 集積回路テスト・システム Pending JPS5814547A (ja)

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