JPS58143186A - 霧化ポンプの接合方法 - Google Patents
霧化ポンプの接合方法Info
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- JPS58143186A JPS58143186A JP57025333A JP2533382A JPS58143186A JP S58143186 A JPS58143186 A JP S58143186A JP 57025333 A JP57025333 A JP 57025333A JP 2533382 A JP2533382 A JP 2533382A JP S58143186 A JPS58143186 A JP S58143186A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetic Pumps, Or The Like (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は石油燃焼器などにおける液体霧化装置の霧化ポ
ンプに関するものである。
ンプに関するものである。
従来この種の霧化ポンプのノズル部は、第１図に示すよ
うに構成されている。すなわち、電気振動子１の相対向
する平滑面には、主成分が銀糸の厚膜用導電性ペースト
の焼結体からなる電極膜２が形成され、この電極膜２の
一方とノズル板３とは半田４を介して半田付接合がされ
ていた。
うに構成されている。すなわち、電気振動子１の相対向
する平滑面には、主成分が銀糸の厚膜用導電性ペースト
の焼結体からなる電極膜２が形成され、この電極膜２の
一方とノズル板３とは半田４を介して半田付接合がされ
ていた。
電気振動子１はＰｂＯ、Ｔ ＬＯ２，Ｚ ｒｏ。、Ｎｂ
Ｏ、ＭｇＯなどのセラミック体で、円形中央部に開口部
を設けたリング形状を有し、ノズル板３は厚さ約６０μ
ｍ程度の半田付に適した金属板が選ばれ、その金属板中
央部にはノズル５の貫通口（口径約７０〜１００μｍ）
が複数個設けられている。この構成では、電気振動子１
の電極膜２が銀糸の厚膜用導電性ペーストからなるため
、半田付接合の際、電極膜２中の銀が半田４中ヘマイグ
レシヨンし電極膜２が破壊されやすい、また半田付接合
が出きても接合強度が小さいとい、りた欠点を、有して
いた。
Ｏ、ＭｇＯなどのセラミック体で、円形中央部に開口部
を設けたリング形状を有し、ノズル板３は厚さ約６０μ
ｍ程度の半田付に適した金属板が選ばれ、その金属板中
央部にはノズル５の貫通口（口径約７０〜１００μｍ）
が複数個設けられている。この構成では、電気振動子１
の電極膜２が銀糸の厚膜用導電性ペーストからなるため
、半田付接合の際、電極膜２中の銀が半田４中ヘマイグ
レシヨンし電極膜２が破壊されやすい、また半田付接合
が出きても接合強度が小さいとい、りた欠点を、有して
いた。
本発明はかかる従来の欠点を除去するもので、霧化ポン
プのノズル部の構成において、電気振動子１とノズル板
３を半田付する上で、実用上、信頼性の高い接合方法を
提供することを目的とする。
プのノズル部の構成において、電気振動子１とノズル板
３を半田付する上で、実用上、信頼性の高い接合方法を
提供することを目的とする。
この目的を達成するために本発明は、電気振動子１の相
対向する少なくとも１つの平滑面に電気的良導性を有し
た金属を蒸着し膜形成をした後この蒸着膜面とノズル板
３を半田を介し、半田付接合したものである。
対向する少なくとも１つの平滑面に電気的良導性を有し
た金属を蒸着し膜形成をした後この蒸着膜面とノズル板
３を半田を介し、半田付接合したものである。
この構成によって、電気振動子１と前記蒸着膜、ノズル
３と前記蒸着膜との間で、信頼性の高い半田付接合がで
きる。
３と前記蒸着膜との間で、信頼性の高い半田付接合がで
きる。
以下、本発明の一実施例を第２図を用いて説明する。こ
れらの図において第１図と同一部材については同一番号
を付している。
れらの図において第１図と同一部材については同一番号
を付している。
実施例１
第２図において、電気振動子１の相対向する平滑面には
蒸着膜ｅａ 、ｅｂが形成され、蒸着膜６ａとノズル板
３は半田４を介して半田付接合がされテイル。電気振動
子１は主成分Ｐｂｏ、ＴｉＯ２，ｚｒＯ２゜ＮｂＯ，Ｍ
ｇＯで代表されるセラミックス体で外径約１０φ叫、開
口径約３６咽、厚さ約１０ｔｔａｎのリング形状を有し
たものを用いた。蒸着膜ｅａ 、ｅｂはクロム、ニッケ
ルを第１層蒸着膜に銅、金、真鍮、洋白を第２層蒸着膜
に選び、真空蒸着法を用いて上記金属膜を形成した。膜
厚は各々約０６μｍ、１０μｍ 、１０μｍを選んだ。
蒸着膜ｅａ 、ｅｂが形成され、蒸着膜６ａとノズル板
３は半田４を介して半田付接合がされテイル。電気振動
子１は主成分Ｐｂｏ、ＴｉＯ２，ｚｒＯ２゜ＮｂＯ，Ｍ
ｇＯで代表されるセラミックス体で外径約１０φ叫、開
口径約３６咽、厚さ約１０ｔｔａｎのリング形状を有し
たものを用いた。蒸着膜ｅａ 、ｅｂはクロム、ニッケ
ルを第１層蒸着膜に銅、金、真鍮、洋白を第２層蒸着膜
に選び、真空蒸着法を用いて上記金属膜を形成した。膜
厚は各々約０６μｍ、１０μｍ 、１０μｍを選んだ。
これら蒸着膜６ａ、ｅｂは上記以外で第１層蒸着膜にセ
ラミックスラムなど、第２層蒸着膜には半田付性のよい
電気的良導体の金属ならびにこれら群からなる複合物で
も良く、蒸着方法も例えばスパッタ法イオンビーム蒸着
法など他の方法でも可能であることは明らかなことであ
る。
ラミックスラムなど、第２層蒸着膜には半田付性のよい
電気的良導体の金属ならびにこれら群からなる複合物で
も良く、蒸着方法も例えばスパッタ法イオンビーム蒸着
法など他の方法でも可能であることは明らかなことであ
る。
ノズル板３は、従来構成と同じ厚さ約６０μｍからなる
コバール板を用いた。半田４は溶融温度域が１８０〜１
９４℃のものを用いた。この半田４を介し上記の蒸着膜
６ａとノズル板３が半田付接合される。また、ノズル板
３の中央付近には、電気振動子１の振動特性を利用し液
体を噴霧化させるためのノズル６が複数個の貫゛通口（
口径的７０〜１０１００ｌ１として設けられている。
コバール板を用いた。半田４は溶融温度域が１８０〜１
９４℃のものを用いた。この半田４を介し上記の蒸着膜
６ａとノズル板３が半田付接合される。また、ノズル板
３の中央付近には、電気振動子１の振動特性を利用し液
体を噴霧化させるためのノズル６が複数個の貫゛通口（
口径的７０〜１０１００ｌ１として設けられている。
上記構成において、半田付接合をおこなったが従来構成
ではマイグレーションが生じる為数秒間の半田付時間で
ありたのに対し、本発明の構成では１分以上の半田付時
間をおこなってもマイグレーションはなく、全く蒸着膜
６ａの破壊はなかった。但し、蒸着膜６ａの膜厚を０６
μｍ程度にした系では、蒸着膜６ａ面に半田４の濡れ性
が悪いという結果を得た。次に半田付接合した各々の試
料について、剥離強度試験をした。その結果を表に示し
た。
ではマイグレーションが生じる為数秒間の半田付時間で
ありたのに対し、本発明の構成では１分以上の半田付時
間をおこなってもマイグレーションはなく、全く蒸着膜
６ａの破壊はなかった。但し、蒸着膜６ａの膜厚を０６
μｍ程度にした系では、蒸着膜６ａ面に半田４の濡れ性
が悪いという結果を得た。次に半田付接合した各々の試
料について、剥離強度試験をした。その結果を表に示し
た。
表よシ明らかなように、従来構成では、剥離強度が高々
Ｉ Ｋｇ／ｃａ以下であったのに対し、本発明の構成に
よれば、少なくとも３ Ｋｇ７／、４７以上の剥離強度
が得られた。
Ｉ Ｋｇ／ｃａ以下であったのに対し、本発明の構成に
よれば、少なくとも３ Ｋｇ７／、４７以上の剥離強度
が得られた。
さらに蒸着膜６ａ、６ｂを単一層とし実験をするため上
述の第２層蒸着膜に用いた金属群を選び、蒸着膜ｅａ
、ｅｂを一層の膜形成ができる様、真空蒸着をした。そ
の結果、剥離強度が前述の２層蒸着膜形成の場合に比べ
、２Ｋｇ／ｃｄ以上と少し弱くなるが、蒸着膜６ａの破
壊などについては同様の結果でありた。
述の第２層蒸着膜に用いた金属群を選び、蒸着膜ｅａ
、ｅｂを一層の膜形成ができる様、真空蒸着をした。そ
の結果、剥離強度が前述の２層蒸着膜形成の場合に比べ
、２Ｋｇ／ｃｄ以上と少し弱くなるが、蒸着膜６ａの破
壊などについては同様の結果でありた。
また、第２図の蒸着膜ｅｂ側は、リード線との電気的接
続を半田付などによりする電極であり、半田付面積が微
量ですむためマイグレーションの影響も少なく電極部の
破壊が起り難い。機械的強度もリード線が細線のため比
較的大きな値を必要としない。したがりて、第３図に示
す如く電気振動子１に対し、ノズル板３と半田付接合す
る側へ蒸着膜６ａを、リード線接続側を蒸着膜以外、例
えば従来の電極膜２などの構成においても、本発明と同
じ効果が得られることは明白であろう。
続を半田付などによりする電極であり、半田付面積が微
量ですむためマイグレーションの影響も少なく電極部の
破壊が起り難い。機械的強度もリード線が細線のため比
較的大きな値を必要としない。したがりて、第３図に示
す如く電気振動子１に対し、ノズル板３と半田付接合す
る側へ蒸着膜６ａを、リード線接続側を蒸着膜以外、例
えば従来の電極膜２などの構成においても、本発明と同
じ効果が得られることは明白であろう。
また、実施例で述べた剥離強度は全て、蒸着膜６ａと振
動子１との接合界面で剥離（破壊）され強度は依存性を
有することは衆知であり、したがってこれら条件を変え
ることにより剥離強度を高めたものを実現できることは
、容易に類推ができる０ 以上のように本発明の霧化ポンプの接合方法によれば次
の効果が得られる。
動子１との接合界面で剥離（破壊）され強度は依存性を
有することは衆知であり、したがってこれら条件を変え
ることにより剥離強度を高めたものを実現できることは
、容易に類推ができる０ 以上のように本発明の霧化ポンプの接合方法によれば次
の効果が得られる。
（１）電気振動子の平滑面に蒸着膜を形成しているので
、半田付時にマイグレーションなどによる膜破壊がなく
安定した半田付接合ができる。
、半田付時にマイグレーションなどによる膜破壊がなく
安定した半田付接合ができる。
（２）上述の如く、従来構成では剥離強度が弱く高々１
Ｋｇ／ｃ４以下であったが、本発明の構成では最も低い
ものでも２騨々−以上あり、充分実用的価値の高いもの
が実現できる。
Ｋｇ／ｃ４以下であったが、本発明の構成では最も低い
ものでも２騨々−以上あり、充分実用的価値の高いもの
が実現できる。
第１図は従来の霧化ポンプのノズル部構成を水化ポンプ
の接合方法で他の構成を示す断面図である０ ６ａ・・・・・・蒸着膜、６ｂ・・・・・・蒸着膜。 １ｔ１ １２図 １３５！
の接合方法で他の構成を示す断面図である０ ６ａ・・・・・・蒸着膜、６ｂ・・・・・・蒸着膜。 １ｔ１ １２図 １３５！
Claims (2)
- （１）電気振動子とノズル板とを接合し、前記電気振動
子の相対向する少なくとも１つの平滑面に蒸着膜を形成
し、その後半田を介し前記蒸着膜面とノズル板とを接合
した霧化ポンプの接合方法。 - （２）蒸着膜は電気的良導性を有した金属で、厚さ１μ
ｍ以上の単一層あるいは２層以上の多層膜から構成され
た特許請求の範囲第１項記載の霧化ポンプの接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57025333A JPS58143186A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 霧化ポンプの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57025333A JPS58143186A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 霧化ポンプの接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58143186A true JPS58143186A (ja) | 1983-08-25 |
| JPH0372353B2 JPH0372353B2 (ja) | 1991-11-18 |
Family
ID=12162997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57025333A Granted JPS58143186A (ja) | 1982-02-18 | 1982-02-18 | 霧化ポンプの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58143186A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05502079A (ja) * | 1990-02-27 | 1993-04-15 | フラウンホファー―ゲゼルシャフト ツア フェルデルング デア アンゲバンテン フォルシュング アインゲトラゲナー フェライン | 静電動作可能な超小形ポンプ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51138191A (en) * | 1975-05-23 | 1976-11-29 | Yoshiharu Taniguchi | Method of manufacturing ultrasonic transmitter/receiver |
| JPS5397617U (ja) * | 1977-01-12 | 1978-08-08 |
-
1982
- 1982-02-18 JP JP57025333A patent/JPS58143186A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51138191A (en) * | 1975-05-23 | 1976-11-29 | Yoshiharu Taniguchi | Method of manufacturing ultrasonic transmitter/receiver |
| JPS5397617U (ja) * | 1977-01-12 | 1978-08-08 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05502079A (ja) * | 1990-02-27 | 1993-04-15 | フラウンホファー―ゲゼルシャフト ツア フェルデルング デア アンゲバンテン フォルシュング アインゲトラゲナー フェライン | 静電動作可能な超小形ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372353B2 (ja) | 1991-11-18 |
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