JPS5814045A - 複数ガス濃度計測装置 - Google Patents
複数ガス濃度計測装置Info
- Publication number
- JPS5814045A JPS5814045A JP11249381A JP11249381A JPS5814045A JP S5814045 A JPS5814045 A JP S5814045A JP 11249381 A JP11249381 A JP 11249381A JP 11249381 A JP11249381 A JP 11249381A JP S5814045 A JPS5814045 A JP S5814045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- temperature
- voltage
- detection element
- gas detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス濃度計測装置にかかり、雰囲気ガスによっ
て素子抵抗が変化する固体ガス検知素子を用いて、簡単
々構成で複数のガスの濃度を精度よく計測できる装置を
提供するものである。
て素子抵抗が変化する固体ガス検知素子を用いて、簡単
々構成で複数のガスの濃度を精度よく計測できる装置を
提供するものである。
□ 現在、数多くのガス検知器が存在するが、一つの検
知素子で一つのガスを検知していたり、また雰囲気ガス
が複数存在する場合でも、それらの識別ができないもの
が多い。ガスの識別のためには複数個のガス検知素子を
用いている。
知素子で一つのガスを検知していたり、また雰囲気ガス
が複数存在する場合でも、それらの識別ができないもの
が多い。ガスの識別のためには複数個のガス検知素子を
用いている。
また、ガス検知素子の多くは、大きな直流電圧を印加す
ると電極作用による素子の劣化等を生じ、好ましくない
ので、交流駆動または小さな直流電圧で駆動している場
合がほとんどである。前者では整流回路が必要となり、
後者では信号が小さくなって、ともにガス濃度削測の精
度が悪くなる等 ゛の欠点を持つ。
ると電極作用による素子の劣化等を生じ、好ましくない
ので、交流駆動または小さな直流電圧で駆動している場
合がほとんどである。前者では整流回路が必要となり、
後者では信号が小さくなって、ともにガス濃度削測の精
度が悪くなる等 ゛の欠点を持つ。
本発明は、ガスに対する感度が素子温度の関数となり、
各ガスに対する感度関数が異なる固体ガス検知素子を用
い、この素子をパルス駆動で用いることにより、上記の
欠点を解決した、簡単な構造でしかも一つの素子で複数
ガスを識別して、それぞれのガスの濃度を精度よく削測
できる装置を提供することを目的とするものである。
各ガスに対する感度関数が異なる固体ガス検知素子を用
い、この素子をパルス駆動で用いることにより、上記の
欠点を解決した、簡単な構造でしかも一つの素子で複数
ガスを識別して、それぞれのガスの濃度を精度よく削測
できる装置を提供することを目的とするものである。
以下、図面を用いて本発明の一実施例について具体的な
説明を行なう。
説明を行なう。
第１図はこの実施例で用いられる固体ガス検知素子の抵
抗値のガス・温度特性を示す。
抗値のガス・温度特性を示す。
図においてＧ１．Ｇ２．Ｇ３はそれぞれ異なったガスを
表わし、図中の矢印はそれぞれのガス濃度が順次大きく
なることを示す。図より素子のガスに対する感度は温度
の関数であり、それぞれの関数はガスによって異なるこ
とがわかる。一つのガス製置Ｇ１にｉ］シて、素子の抵
抗値ＲＧ １ｔＲＧ−Ｒｏ−Ａσ）、Ｇｌｆｌ（Ｔ）
、、、、、、、、、、 ＜１＞で表せる。ただし、Ｔ
は素子温度、Ａ（Ｔ）は素子抵抗値の温度に対する関数
、Ｒｏは素子の基準抵抗値、ｆｌ（Ｔ）はガスＧ１ に
対する感度関数である。
表わし、図中の矢印はそれぞれのガス濃度が順次大きく
なることを示す。図より素子のガスに対する感度は温度
の関数であり、それぞれの関数はガスによって異なるこ
とがわかる。一つのガス製置Ｇ１にｉ］シて、素子の抵
抗値ＲＧ １ｔＲＧ−Ｒｏ−Ａσ）、Ｇｌｆｌ（Ｔ）
、、、、、、、、、、 ＜１＞で表せる。ただし、Ｔ
は素子温度、Ａ（Ｔ）は素子抵抗値の温度に対する関数
、Ｒｏは素子の基準抵抗値、ｆｌ（Ｔ）はガスＧ１ に
対する感度関数である。
ここで、複数のガスが存在する場合を考えると、重畳効
果の成立する場合と、並列効果の成立する場合とがある
。
果の成立する場合と、並列効果の成立する場合とがある
。
重畳効果の成立する場合には、素子の抵抗値〜は、ガス
濃度をそれぞれＧ１．Ｇ２．Ｇ３とすれば、□。−□。
濃度をそれぞれＧ１．Ｇ２．Ｇ３とすれば、□。−□。
−Ａ（Ｔ）−６，ｆｌ（Ｔ）、。２ｆ２（Ｔ）、。３ｆ
３（Ｔ）・−・・・・・・・・（２） と表わせる。たたし、ｆｌ（Ｔ）、 ｆ２（Ｔ）、
ｆ３（Ｔ） はガスＧ１．Ｇ２．Ｇ３に対する感度関
数である。（２）式の両辺の対数をとれば、 １ｎＲＧ＝ｌｎ（ＲＯＡ（′ｒ））十ｆ１（Ｔ）ｌｎＧ
１＋ｆｆｒ′）ｌｎＧ２＋ｆ３（′Ｉ′）ｌｎＧ３ ・−・・・・・・・・（３） となり、相異なる温度Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３で素子の抵抗値
ＲＧ１．ＲＧ２．ＲＧ３を則測すれば、（以 下 余
白） 文 現 ’−ＩＪｍ 弛 ９
Ｎ Ｖただし である。
３（Ｔ）・−・・・・・・・・（２） と表わせる。たたし、ｆｌ（Ｔ）、 ｆ２（Ｔ）、
ｆ３（Ｔ） はガスＧ１．Ｇ２．Ｇ３に対する感度関
数である。（２）式の両辺の対数をとれば、 １ｎＲＧ＝ｌｎ（ＲＯＡ（′ｒ））十ｆ１（Ｔ）ｌｎＧ
１＋ｆｆｒ′）ｌｎＧ２＋ｆ３（′Ｉ′）ｌｎＧ３ ・−・・・・・・・・（３） となり、相異なる温度Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３で素子の抵抗値
ＲＧ１．ＲＧ２．ＲＧ３を則測すれば、（以 下 余
白） 文 現 ’−ＩＪｍ 弛 ９
Ｎ Ｖただし である。
並列効果が成立する場合にｒ［１、素子の抵抗値ＲＧは
で表せる。（６）式を次のように；！１へｎ１、。
ただし
Ｇ
である。（力式を温ＩＷＴで微分すれば（以 「余 白
） −ｆ１（Ｔ）−１−ｆＪＴ）−１−ｆｊＴ）−１Ｙ’
＝−ｆ、（’ｒ）Ｇ１−ｆ、ＩＴ）Ｇ２ −塙Ｔ）
Ｇ３・・−・−１・−・（９） となり、ガスの感度の温度微分が０の温度（その温度で
そのガスに対して感度がない場合も含む）では、（９）
式のそのガスに対する項はＯとなる。たとえば第１図の
温度Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３では、となり、ガス濃度Ｇ１．Ｇ
２．Ｇ３が求する。
） −ｆ１（Ｔ）−１−ｆＪＴ）−１−ｆｊＴ）−１Ｙ’
＝−ｆ、（’ｒ）Ｇ１−ｆ、ＩＴ）Ｇ２ −塙Ｔ）
Ｇ３・・−・−１・−・（９） となり、ガスの感度の温度微分が０の温度（その温度で
そのガスに対して感度がない場合も含む）では、（９）
式のそのガスに対する項はＯとなる。たとえば第１図の
温度Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３では、となり、ガス濃度Ｇ１．Ｇ
２．Ｇ３が求する。
故に重畳、並列どちらの効果が成立する場合も、Ｒｏ、
八Ｔ）、ｆ□（Ｔ）が既知であれば、素子温度と素子抵
抗値を計測すれば、複数のガスの濃度が求められる。
八Ｔ）、ｆ□（Ｔ）が既知であれば、素子温度と素子抵
抗値を計測すれば、複数のガスの濃度が求められる。
第２図ｄここの実施例のガス濃度目測装置のブロック図
である。第３図（、）は第２図のブロック図のタイミン
グチャートであり、同図（ｂ）はその一部拡大図である
。両図を用いて、本実施例を説明する。
である。第３図（、）は第２図のブロック図のタイミン
グチャートであり、同図（ｂ）はその一部拡大図である
。両図を用いて、本実施例を説明する。
ヒータ制御回路１は信号Ａによりヒータ２に電圧を印加
して、固体ガス検知素子３を加熱し始める。固体ガス検
知素子３の温度が上ゲ１し始めてから、制御回路４は信
号Ｂにより素子３にパルス電圧を印加する。このとき、
素子３と直列１［（抗５との分圧電圧りは、第３図（＋
））に示ず」：うな波形になる。つ捷りパルス電ｎ二印
加後、時間 １ｗ経過して、分圧電圧りは安定する。分
圧電圧りが安定した後、制御回路４は信号Ｅをアナログ
・ディジタル（ＡＤ）変換器６に送り、ＡＤ変換器３に
スイッチ回路７を通して印加されている分圧電圧りのＡ
Ｄ変換を開始させる。ＡＤ変換器３がＡＤ変換を開始し
てから時間 ｔ。後、変換が終了したら、制御回路４は
信号ＦによりＡＤ変換結果を記憶させて、同時にパルス
電圧Ｃの印加を停止する。これで分圧電圧りの値が記憶
回路８に記憶される。次に、制御回路４は信−ＱＢによ
ってスイッチ回路７を切換えて、ＡＤ変換器６の入力信
けを、固体ガス検知素□子３と抵抗５との分圧電圧Ｄ
Ｊ： リ温度検知素子９０ と直列抵抗１０の分圧電圧切換える。ＡＤ変換器５の入
力信号が分圧電圧Ｇに切換ったら、制御回路４は信号Ｅ
に」＝す、ＡＤ変換器６に変換開始を指示し、時間ｔ。
して、固体ガス検知素子３を加熱し始める。固体ガス検
知素子３の温度が上ゲ１し始めてから、制御回路４は信
号Ｂにより素子３にパルス電圧を印加する。このとき、
素子３と直列１［（抗５との分圧電圧りは、第３図（＋
））に示ず」：うな波形になる。つ捷りパルス電ｎ二印
加後、時間 １ｗ経過して、分圧電圧りは安定する。分
圧電圧りが安定した後、制御回路４は信号Ｅをアナログ
・ディジタル（ＡＤ）変換器６に送り、ＡＤ変換器３に
スイッチ回路７を通して印加されている分圧電圧りのＡ
Ｄ変換を開始させる。ＡＤ変換器３がＡＤ変換を開始し
てから時間 ｔ。後、変換が終了したら、制御回路４は
信号ＦによりＡＤ変換結果を記憶させて、同時にパルス
電圧Ｃの印加を停止する。これで分圧電圧りの値が記憶
回路８に記憶される。次に、制御回路４は信−ＱＢによ
ってスイッチ回路７を切換えて、ＡＤ変換器６の入力信
けを、固体ガス検知素□子３と抵抗５との分圧電圧Ｄ
Ｊ： リ温度検知素子９０ と直列抵抗１０の分圧電圧切換える。ＡＤ変換器５の入
力信号が分圧電圧Ｇに切換ったら、制御回路４は信号Ｅ
に」＝す、ＡＤ変換器６に変換開始を指示し、時間ｔ。
後、変換が終了したら信号Ｆにより、変換結果を記憶回
路８に記憶させる。これでガス検知素子３の情報と、温
度検知素子９の情報とが記憶回路８に記憶される。これ
が必要回数だけ繰返された後、ヒータ制御回路１に信号
Ａによりヒータへの通電を停止する。
路８に記憶させる。これでガス検知素子３の情報と、温
度検知素子９の情報とが記憶回路８に記憶される。これ
が必要回数だけ繰返された後、ヒータ制御回路１に信号
Ａによりヒータへの通電を停止する。
ガス検知素子３と温度検知素子９の抵抗値をそれぞれＲ
６，ＲＴ とすれば、分圧電圧はそれぞれ次式で表わせ
る。
６，ＲＴ とすれば、分圧電圧はそれぞれ次式で表わせ
る。
ただし、■ｏｏは電源電圧、■。、■６ はそれぞれと
表わすことができ、これら」：す、ガス検知素子ＲＧ
、 温度検知素子ＲＴの抵抗が求」る。ただしα、α′
はＡＤ変換器６の出力で、ノウろ。（１４）式より素子
９の温度Ｔが求められるから、温度Ｔにおけるガス検知
素子３の抵抗が求する。（１３）。
表わすことができ、これら」：す、ガス検知素子ＲＧ
、 温度検知素子ＲＴの抵抗が求」る。ただしα、α′
はＡＤ変換器６の出力で、ノウろ。（１４）式より素子
９の温度Ｔが求められるから、温度Ｔにおけるガス検知
素子３の抵抗が求する。（１３）。
（１４）式により、これらを求めるのが素子抵抗・温度
演算回路１１の役割であり、複数ガス濃度演算回路１２
は、素子９の温度Ｔ、！ニー１！（抗値ＲＧを使って、
（６）成育たけ（１ｏ）式の演算を行なうことにより、
複数ガスの識別をし、それぞれのガス濃度を算出する。
演算回路１１の役割であり、複数ガス濃度演算回路１２
は、素子９の温度Ｔ、！ニー１！（抗値ＲＧを使って、
（６）成育たけ（１ｏ）式の演算を行なうことにより、
複数ガスの識別をし、それぞれのガス濃度を算出する。
このように、本発明の複数ガス濃度計側装置は、ガス検
知素子部の温度を変化させるための加熱手段と、このガ
ス検知素子部の温度を検出するための検出手段と、前記
温度保持時間に比べて十分に短い時間巾のガス検知素子
駆動用パルス電圧を発生ずるパルス電圧発生手段と、素
子温度の計測ならびにこの温度における素子のインピー
ダンスの計測をする泪ｉ＋ｔ＋＋手段と、素子温度と素
子インピーダンスの計測結果から、このガス検知素子部
の周囲雰囲気に含斗れるガス濃度を分離するための演算
装置を具備するものであり、次の」：うな効果を有する
。
知素子部の温度を変化させるための加熱手段と、このガ
ス検知素子部の温度を検出するための検出手段と、前記
温度保持時間に比べて十分に短い時間巾のガス検知素子
駆動用パルス電圧を発生ずるパルス電圧発生手段と、素
子温度の計測ならびにこの温度における素子のインピー
ダンスの計測をする泪ｉ＋ｔ＋＋手段と、素子温度と素
子インピーダンスの計測結果から、このガス検知素子部
の周囲雰囲気に含斗れるガス濃度を分離するための演算
装置を具備するものであり、次の」：うな効果を有する
。
（１）一つの検知素子を用いて、複数ガスの識別ができ
、それぞれのガス濃度を計測できる。そして、検知素子
の実装が容易であり、設置場所も小さくて済む。
、それぞれのガス濃度を計測できる。そして、検知素子
の実装が容易であり、設置場所も小さくて済む。
（２） ガス検知素子を間欠的直流電圧で駆動してい
るので、大きな電圧値を印加できるので、信号大きくな
り、高精度のガス濃度計測ができる。
るので、大きな電圧値を印加できるので、信号大きくな
り、高精度のガス濃度計測ができる。
！た交流駆動に比べて、回路が簡単化できる。
（３１同一地点のガス濃度計測ができる。
第１図は本発明の一実施例で用いた固体ガス検知素子の
抵抗値の温度、ガス濃度特性である。 第２図は本発明の一実施例の複数ガス濃度計測３ 装置のブロック図、第３図（ａ） 幻、各部信号波形図
であり、同図（ｂ）はその拡大図である。 １・・・・・・ヒータ制御回路、２・・・・・・ヒータ
、３・・・・・・固体ガス検知素子、４・・・・−・制
御回路、６・・・−・・抵抗、６・・・・・・ＡＤ変換
器、７・・・・・−スイッチ回路、８・・・・・−記憶
回路、９・・・・・・温度検知素子、１０・・・・・抵
抗、１１・・・・・・素子抵抗・温度演算回路、１２・
−・−・複数ガス濃度演算回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ／ｑか１名第
１図 第２図
抵抗値の温度、ガス濃度特性である。 第２図は本発明の一実施例の複数ガス濃度計測３ 装置のブロック図、第３図（ａ） 幻、各部信号波形図
であり、同図（ｂ）はその拡大図である。 １・・・・・・ヒータ制御回路、２・・・・・・ヒータ
、３・・・・・・固体ガス検知素子、４・・・・−・制
御回路、６・・・−・・抵抗、６・・・・・・ＡＤ変換
器、７・・・・・−スイッチ回路、８・・・・・−記憶
回路、９・・・・・・温度検知素子、１０・・・・・抵
抗、１１・・・・・・素子抵抗・温度演算回路、１２・
−・−・複数ガス濃度演算回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ／ｑか１名第
１図 第２図
Claims (3)
- （１）ガス検知素子の温度を変化させるための加熱手段
、前記ガス検知素子の温度を検出するための検出手段、
前記温度の保持時間に比へて十分短い時間巾を持つ前記
ガス検知素子の駆動用パルス電圧を発生するための駆動
用パルス発生手段、前記ガス検知素子の温度の計測とこ
の温度における前記ガス検知素子のインピーダンスの計
測を前記駆動用パルス電圧により行なう４測手段、およ
び、前記ガス検知素子の温度とインピーダンスの計測結
果から、前記ガス検知素子の周囲雰囲気に含１れるガス
濃度を分離するための演算処理装置を具備していること
を特徴とする複数ガス濃度計側装置。 - （２） ガス検知素子の雰囲気ガス濃度に対する感度
が、温度の関数形となり、ガスにより前記感度の関数が
異なることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
複数ガス濃度計側装置。 - （３） ガス検知素子はその温度を検知するための素
子温度検知部上、ヒータ部を近傍に有することを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の複数ガス濃度計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11249381A JPS5814045A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 複数ガス濃度計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11249381A JPS5814045A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 複数ガス濃度計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814045A true JPS5814045A (ja) | 1983-01-26 |
Family
ID=14588019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11249381A Pending JPS5814045A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 複数ガス濃度計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814045A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148756A (ja) * | 1984-08-17 | 1986-03-10 | Mitsubishi Electric Corp | ガス検出装置 |
| US6081182A (en) * | 1996-11-22 | 2000-06-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Temperature sensor element and temperature sensor including the same |
| JP2000221153A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Fuji Electric Co Ltd | ガス検知装置 |
| JP2001091487A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-06 | Yazaki Corp | ガス検出装置 |
| WO2004106909A1 (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ガスセンサとそれを用いた燃料電池システム、自動車 |
| JP2018205105A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | Tdk株式会社 | ガスセンサ及びガス濃度の検出方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155239A (en) * | 1979-05-22 | 1980-12-03 | Toshiba Corp | Temperature/humidity detector |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP11249381A patent/JPS5814045A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155239A (en) * | 1979-05-22 | 1980-12-03 | Toshiba Corp | Temperature/humidity detector |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148756A (ja) * | 1984-08-17 | 1986-03-10 | Mitsubishi Electric Corp | ガス検出装置 |
| JPH0435029B2 (ja) * | 1984-08-17 | 1992-06-09 | Mitsubishi Electric Corp | |
| US6081182A (en) * | 1996-11-22 | 2000-06-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Temperature sensor element and temperature sensor including the same |
| JP2000221153A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-08-11 | Fuji Electric Co Ltd | ガス検知装置 |
| JP2001091487A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-06 | Yazaki Corp | ガス検出装置 |
| WO2004106909A1 (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ガスセンサとそれを用いた燃料電池システム、自動車 |
| JP2004354210A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサとそれを用いた燃料電池システムおよび自動車 |
| US7058518B2 (en) | 2003-05-29 | 2006-06-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas sensor, fuel cell system therewith, and automobile therewith |
| JP2018205105A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | Tdk株式会社 | ガスセンサ及びガス濃度の検出方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE66745T1 (de) | Betriebsverfahren fuer einen sensor fuer gasanalyse. | |
| US4992384A (en) | Measuring apparatus and method of use for analyzing a gas mixture | |
| JPS5814045A (ja) | 複数ガス濃度計測装置 | |
| JPH0674928A (ja) | 反応熱センサ用制御評価回路装置 | |
| JP4805759B2 (ja) | ガス検出装置 | |
| JPH04231857A (ja) | 可燃ガス成分の検出用測定回路装置の動作方法 | |
| JP2000081414A (ja) | ガス濃度センサの素子抵抗検出装置 | |
| JPS5920665Y2 (ja) | 原子吸光分析装置 | |
| JP2791476B2 (ja) | ガス検出装置 | |
| JP3035063B2 (ja) | 酸素センサの温度制御方法 | |
| JP4151596B2 (ja) | ガス検出装置 | |
| JPH06265512A (ja) | 電解質分析計の校正方法 | |
| JPH0439548Y2 (ja) | ||
| JPH1096703A (ja) | 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 | |
| JPH09264861A (ja) | ガス濃度測定方法および装置 | |
| JPS58120118A (ja) | 電磁流量計 | |
| JPH0543039U (ja) | 抵抗温度センサの温度検出回路 | |
| JPS5820930Y2 (ja) | 恒温槽温度制御装置 | |
| JPH07270376A (ja) | 酸化還元状態検出装置 | |
| JPS56114713A (en) | Automatic sensitivity setting system in measuring device | |
| JPS6352058A (ja) | 有機ガス濃度検出方法 | |
| JPH07101208B2 (ja) | ガスクロマトグラフの自己診断方法 | |
| JPH07148485A (ja) | 浄水器の水流検出方法及び装置 | |
| JPH0489559A (ja) | ガスクロマトグラフの自己診断方法 | |
| JPH0546505B2 (ja) |