JP2018205105A - ガスセンサ及びガス濃度の検出方法 - Google Patents
ガスセンサ及びガス濃度の検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018205105A JP2018205105A JP2017110557A JP2017110557A JP2018205105A JP 2018205105 A JP2018205105 A JP 2018205105A JP 2017110557 A JP2017110557 A JP 2017110557A JP 2017110557 A JP2017110557 A JP 2017110557A JP 2018205105 A JP2018205105 A JP 2018205105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- detection sensitivity
- detection
- concentration
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
HUM=Vrd2/sen4
を演算することによって湿度を算出することができる。湿度HUMは、最終的にCO2ガスの濃度を算出するために必要な中間値である。
A2=HUM×sen2
を演算することによって算出される。
A1=Vrd1−A2
を演算することによって算出される。
X=A1/sen1
を演算することによって算出される。
X'=X+X(sen3/sen1)
を算出することによって、CO2ガスの濃度XをX'に補正することができる。
20 信号処理回路
21,22 差動アンプ
23 ADコンバータ
24 DAコンバータ
25 制御部
31,41 基板
31a,41a キャビティ
32,33,42,43 絶縁膜
34,44 ヒータ保護膜
35,45 サーミスタ電極
36,46 サーミスタ保護膜
37a〜37d,47a〜47d 電極パッド
51 セラミックパッケージ
52 リッド
53 通気口
54 パッケージ電極
55 ボンディングワイヤ
56 外部端子
MH1,MH2 ヒータ抵抗
R1〜R3 抵抗
Rc,Rd1,Rd2 サーミスタ
S センサ部
S1 第1のセンサ部
S2 第2のセンサ部
S3 温度センサ
Vrd1 第1の検出信号
Vrd2 第2の検出信号
Claims (11)
- 第1のガスに対する検出感度が第1の検出感度であり、第2のガスに対する検出感度が第2の検出感度である第1の温度に加熱されることによって第1の検出信号を生成し、前記第1のガスに対する検出感度が前記第1の検出感度よりも低い第3の検出感度であり、前記第2のガスに対する検出感度が前記第3の検出感度よりも高い第4の検出感度である第2の温度に加熱されることによって第2の検出信号を生成するセンサ部と、
前記第2の検出信号に基づいて前記第2のガスの濃度に相当する第1の信号成分を算出するとともに、前記第1の検出信号と前記第1の信号成分に基づいて、前記第1のガスの濃度を算出する信号処理回路と、を備えることを特徴とするガスセンサ。 - 前記信号処理回路は、前記第2の検出信号と前記第4の検出感度に基づいて前記第2のガスの濃度を示す中間値を算出し、前記中間値と前記第2の検出感度に基づいて前記第1の信号成分を算出することを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記信号処理回路は、前記第1の検出信号から前記第1の信号成分を減じることによって、前記第1のガスの濃度を示す第2の信号成分を算出し、前記第2の信号成分と前記第1の検出感度に基づいて前記第1のガスの濃度を算出することを特徴とする請求項2に記載のガスセンサ。
- 前記信号処理回路は、前記第1の検出感度と前記第3の検出感度の比又は差に基づいて、前記第1のガスの濃度を補正することを特徴とする請求項3に記載のガスセンサ。
- 前記信号処理回路は、環境温度に基づいて、前記第1、第2及び第4の検出感度の少なくとも一つを補正することを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記第3の検出感度は、前記第1の検出感度の1/10以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記センサ部は、前記第1の温度に加熱される第1のセンサ部と、前記第2の温度に加熱される第2のセンサ部を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記第1のセンサ部と前記第2のセンサ部は、排他的に加熱されることを特徴とする請求項7に記載のガスセンサ。
- 前記センサ部は、熱伝導式のセンサであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記第1のガスはCO2ガスであり、前記第2のガスは水蒸気であることを特徴とする請求項9に記載のガスセンサ。
- 第1のガスに対する検出感度が第1の検出感度であり、第2のガスに対する検出感度が第2の検出感度である第1の温度にセンサ部を加熱することによって第1の検出信号を取得する第1の工程と、
前記第1のガスに対する検出感度が前記第1の検出感度よりも低い第3の検出感度であり、前記第2のガスに対する検出感度が前記第3の検出感度よりも高い第4の検出感度である第2の温度に前記センサ部を加熱することによって第2の検出信号を取得する第2の工程と、
前記第2の検出信号に基づいて前記第2のガスの濃度に相当する信号成分を算出する第3の工程と、
前記第1の検出信号と前記信号成分に基づいて前記第1のガスの濃度を算出する第4の工程と、を備えることを特徴とするガス濃度の検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017110557A JP6879060B2 (ja) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017110557A JP6879060B2 (ja) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018205105A true JP2018205105A (ja) | 2018-12-27 |
JP6879060B2 JP6879060B2 (ja) | 2021-06-02 |
Family
ID=64955683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017110557A Active JP6879060B2 (ja) | 2017-06-05 | 2017-06-05 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6879060B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110779963A (zh) * | 2018-07-25 | 2020-02-11 | 意法半导体有限公司 | 通过在气体传感器中进行脉冲加热的选择性多气体检测 |
US20210096095A1 (en) * | 2019-09-26 | 2021-04-01 | Tdk Corporation | Gas sensor with improved sensitivity and gas sensor component |
CN113008969A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-22 | 上海雷密传感技术有限公司 | 用于气体传感器的气体浓度测量方法、装置及气体检测仪 |
JP7456404B2 (ja) | 2021-03-12 | 2024-03-27 | オムロン株式会社 | 熱式センサ、及び熱式センサを用いた計測方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5752850A (en) * | 1980-09-13 | 1982-03-29 | Matsushita Electric Works Ltd | Gas leakage warning device |
JPS5814045A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複数ガス濃度計測装置 |
JPH0850109A (ja) * | 1994-08-08 | 1996-02-20 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ガス分析方法 |
US5528225A (en) * | 1993-11-08 | 1996-06-18 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | Gas detecting method and apparatus |
JP2001091487A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-06 | Yazaki Corp | ガス検出装置 |
JP2009168463A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-30 | New Cosmos Electric Corp | ガス検知方法及びガス検知装置 |
JP2016170161A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | Tdk株式会社 | 熱伝導式ガスセンサ |
JP2017009472A (ja) * | 2015-06-24 | 2017-01-12 | Tdk株式会社 | ガス検出装置 |
-
2017
- 2017-06-05 JP JP2017110557A patent/JP6879060B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5752850A (en) * | 1980-09-13 | 1982-03-29 | Matsushita Electric Works Ltd | Gas leakage warning device |
JPS5814045A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複数ガス濃度計測装置 |
US5528225A (en) * | 1993-11-08 | 1996-06-18 | New Cosmos Electric Co., Ltd. | Gas detecting method and apparatus |
JPH0850109A (ja) * | 1994-08-08 | 1996-02-20 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ガス分析方法 |
JP2001091487A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-04-06 | Yazaki Corp | ガス検出装置 |
JP2009168463A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-07-30 | New Cosmos Electric Corp | ガス検知方法及びガス検知装置 |
JP2016170161A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | Tdk株式会社 | 熱伝導式ガスセンサ |
JP2017009472A (ja) * | 2015-06-24 | 2017-01-12 | Tdk株式会社 | ガス検出装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110779963A (zh) * | 2018-07-25 | 2020-02-11 | 意法半导体有限公司 | 通过在气体传感器中进行脉冲加热的选择性多气体检测 |
US20210096095A1 (en) * | 2019-09-26 | 2021-04-01 | Tdk Corporation | Gas sensor with improved sensitivity and gas sensor component |
US11898979B2 (en) * | 2019-09-26 | 2024-02-13 | Tdk Corporation | Gas sensor with improved sensitivity and gas sensor component |
CN113008969A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-22 | 上海雷密传感技术有限公司 | 用于气体传感器的气体浓度测量方法、装置及气体检测仪 |
JP7456404B2 (ja) | 2021-03-12 | 2024-03-27 | オムロン株式会社 | 熱式センサ、及び熱式センサを用いた計測方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6879060B2 (ja) | 2021-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7070175B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6939817B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6160667B2 (ja) | 熱伝導式ガスセンサ | |
JP7188445B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6679993B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP6879060B2 (ja) | ガスセンサ | |
WO2019065127A1 (ja) | ガスセンサ | |
JP7235057B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6631049B2 (ja) | ガス検出装置 | |
JP7307525B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2017166826A (ja) | ガスセンサ | |
JP2015227822A (ja) | 熱伝導式ガスセンサ | |
JP6119701B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP6729197B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2016133404A (ja) | ガス検出装置 | |
JP2021099220A (ja) | ガスセンサ | |
JP2022056487A (ja) | ガスセンサ | |
JP7415494B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP7351228B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP7415493B2 (ja) | ガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210330 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6879060 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |