JP7415493B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
20 信号処理回路
21,22 分圧回路
23,24 基準電圧源
25 バッファ
26 差動アンプ
27 ADコンバータ
28 DAコンバータ
29 制御部
35,45,65 サーミスタ電極
37a~37d,47a~47d,67a,67b 電極パッド
51 セラミックパッケージ
52 リッド
53 通気口
54 パッケージ電極
55 ボンディングワイヤ
56 外部端子
61 基板
61a~61c キャビティ
62,63 絶縁膜
64 ヒータ保護膜
65 サーミスタ電極
66 サーミスタ保護膜
A1,A2 アナログバッファ(バッファ回路)
MH1,MH2 ヒータ抵抗
R1~R6 抵抗
Rd1~Rd3 サーミスタ
S センサ部
S1 第1のガスセンサ部
S2 第2のガスセンサ部
S3 温度センサ部
SH1,SH2 サンプルホールド回路
SW1~SW3 スイッチ回路
V1,V2 電圧印加部
Claims (8)
- 測定対象ガスの濃度に応じて抵抗値が変化する第1の測温体と、前記第1の測温体を加熱する第1のヒータ抵抗を含む第1のガスセンサ部と、
環境温度を測定するための温度センサ部であって、前記環境温度に応じて抵抗値が変化する第2の測温体を含む温度センサ部と、
第3の測温体と、前記第3の測温体を加熱する第2のヒータ抵抗を含む第2のガスセンサ部と、
前記第1のヒータ抵抗に第1の制御電圧を印加する第1の電圧印加部と、
前記第2のヒータ抵抗に第2の制御電圧を印加する第2の電圧印加部と、を備え、
前記第1の測温体と前記第3の測温体は直列に接続され、
前記第1の電圧印加部は、前記温度センサ部の出力電圧に基づいて前記第1の制御電圧を変化させる第1のバッファ回路を含み、
前記第2の電圧印加部は、前記温度センサ部の出力電圧に基づいて前記第2の制御電圧を変化させる第2のバッファ回路を含み、
前記第1の制御電圧と前記第2の制御電圧が互いに異なる値であり、これにより前記第1の測温体と前記第3の測温体が互いに異なる温度に加熱されることを特徴とするガスセンサ。 - 前記温度センサ部は、前記第2の測温体に対して直列に接続された第1の抵抗を含み、
前記温度センサ部の出力電圧は、前記第2の測温体と前記第1の抵抗の接続点の電圧であり、
前記第1の電圧印加部は、前記温度センサ部の出力電圧に基づいて第1の調整電圧を生成する第1の分圧回路と、第1の基準電圧を生成する第1の基準電圧源とをさらに含み、
前記第1のバッファ回路は、前記第1の基準電圧に対して前記第1の調整電圧を加算又は減算することによって前記第1の制御電圧を生成することを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記第1のバッファ回路と前記温度センサ部の間に接続された第1のスイッチ回路と、
前記第1のバッファ回路と前記第1の基準電圧源の間に接続された第2のスイッチ回路と、をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のガスセンサ。 - 前記第2の電圧印加部は、前記温度センサ部の出力電圧に基づいて第2の調整電圧を生成する第2の分圧回路と、第2の基準電圧を生成する第2の基準電圧源とをさらに含み、
前記第2のバッファ回路は、前記第2の基準電圧に対して前記第2の調整電圧を加算又は減算することによって前記第2の制御電圧を生成することを特徴とする請求項3に記載のガスセンサ。 - 前記第1の分圧回路と前記第2の分圧回路の分圧比が互いに異なることを特徴とする請求項4に記載のガスセンサ。
- 前記第2のバッファ回路と前記第2の基準電圧源の間に接続された第3のスイッチ回路をさらに備え、
前記第1のスイッチ回路は、前記第1及び第2のバッファ回路と前記温度センサ部の間に接続されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のガスセンサ。 - 前記第1のバッファ回路と前記第1のヒータ抵抗の間に接続され、前記第1の制御電圧を保持するサンプルホールド回路をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のガスセンサ。
- 前記温度センサ部は、前記第2の測温体に対して並列に接続された第2の抵抗をさらに含むことを特徴とする請求項2乃至6のいずれか一項に記載のガスセンサ。
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