JPS58133365A - 無電解銅めつき液 - Google Patents

無電解銅めつき液

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JPS58133365A
JPS58133365A JP1539782A JP1539782A JPS58133365A JP S58133365 A JPS58133365 A JP S58133365A JP 1539782 A JP1539782 A JP 1539782A JP 1539782 A JP1539782 A JP 1539782A JP S58133365 A JPS58133365 A JP S58133365A
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JP
Japan
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polyethylene glycol
alkyl ether
electroless
copper plating
copper
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JP1539782A
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JPH0416550B2 (ja
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Akishi Nakaso
昭士 中祖
Kiyoshi Yamanoi
清 山野井
Toshiro Okamura
岡村 寿郎
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • C23C18/40Coating with copper using reducing agents

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Organic Chemistry (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発明は無電解鋼めっき歇、評しくは、^い引彊り強酸
と後れた耐折疲労漠藏に%つめっき銅か侍ら(LるJl
IifIL解鋼めっき液に関する。
無電解鋼めり@液から得られるめりき鋼の機械的特性τ
同上させるための開発研究に、こnlでにも盛んに行な
わnてきており、又塊在でも盛んな理由の1つは、この
無電層鋼めっき枝術t−7!J/)配−板の回路形成に
エム用すると大きな幼米が生llLるからである・丁な
わち、グリ/ト配−板の回N10年々尚密度化してンク
違っ次間の回路を導通δぜるスルホール径a壇々小きく
なってきている@この工うな傾向において、電気めっき
方法に較べて、平向部分とスルホール内Il@のめつき
要式に差の生じにくい無電解鋼めっIkが期待さnてい
るわけでめる。
菫九無電解鋼めっき、電気鋼めりきrおこない5回路以
外(D # tエツチング除去する方法においては、エ
ツチングにエフアンダーカット(mの厚さ方回において
、表11![I部分aエツチングレジストの鵬で寸法か
保持さnるtのの、1叡近傍でaエツチングか、より進
行するためにLgI細断面か逆台形になる・)が庄じる
ため鯛鉋回路tつくるのは−しいocntlc対して、
無電解−めっきでは1JIIi!1部分だけ全めっきで
付与するのでアンダーカットの問題がなく回路の細−化
に有利である0 しかし、crtまでの多くの無電解銅めりI!液から侍
ら扛るめりき銅に一般にプリント配線板の回路形成に用
いらnているビロリン酸鋼電気め−)I!から侍らnる
鋼に比べ1懺り強度p1び後に述べる方法で掬足した耐
折疲労強度に於て劣っている丸めにプリント配#lA1
1jLに部品搭載後、半田めげによる加熱などで回路か
切断しやすいなどの欠点かめるO ビロリンtIItfIs11E気めっきから侍らnる鋼
の引張り強度に一般に50〜60籾/−5また耐折疲労
!i!1LIILは1600〜21001gIでめるO
こnに対し、工業的なしベルでii2川さnている無電
解銅めつきから侍らnる鋼の引vRり強度は約50kg
/Ml?、1几耐折欽労強度は800〜1100回であ
るO 配l111回路が鵬密匿な配−板でvi、同時に^い接
続信餉性が豊水さnるので、無電解銅めっきに、前記し
几塊由で配−の高密に化にに有利であって%wtとんと
使用さnていないのが椀状である。
本発明は仁のL5な7flに−みてなさnたtので、銅
塩、錯化剤、還元剤s?LびF4′l調螢剤を言む無電
解めっ@献に金属銀、ヨタ化銀2Lび曽m蛤の少なくと
も一機と、ポリエチレングリコールS?よびそのアルキ
ルエーテルの少々<ト%−atを絵加したことt″tP
#稙とするものでめる◎金属銀、WIつ化−1又は金属
鉛は、ポリエチレングリコール又はそのアルキルエーテ
ルと併用して#&加する場合にポリエチレングリコール
又aそのアルキルエーテルだけt−amする場合に較べ
てめつき銅の引彊強緘を同上させることかでき、又同時
に^い耐折鋏労!II屓か侍らnる〇これらの金属銀、
曹り化銀又は金属鉛Q)添加亀に1■/Jあ扛は充分で
あるか、こn=9多くてもめつき液か不′ii:足にな
り分解するということばない・こnrc1金属銀、ヨク
化傘又は金属鉛のmstが他めて小さい次めでめる0水
に対して金属銀rr25℃の場合に2..8 X 10
−1g/Jlsヨク化111に20℃の場合に2..5
 X 10−@g/ j、金属鉛rX24℃Q)14曾
tic l I X 10−’ g / J T:ある
・金属−、ヨク化嫁又σ金属鉛のms度に上1し友工う
に憔めて小さいが、めつ電調の引張り強ifの同上と同
時に尚い耐折疲労強度を得るためには光分な#Ii[′
Cめる0 金属鉋、Hり化銀又σ金属蛤σ、[L5〜5sinの粒
状a粒状又a粉末状のものか使用さnる。
ポリエチレングリコール又aそのアルキルエーテルに、
金Jl蒙、ヨク化嫁および金属鉛と併せ絵肌する場合r
C1ポリエチレ/グリコール又はそのアルキルエーテル
t−添加しない場合4CjIPこり易いめっき液の分解
管抑制することができる。
ポリエチレングリコール又σそのアルキルエーテルに(
102g/1以上、好ましくにα05〜10 g74%
ll1kも好ましくに、1〜5g/l嶋訓さnるo t
si In i+t e’α02 g74未満〕場酋場
合っ11液の安建性か低下するO自力l瀘か多くても惑
影11は与えないが、一般に10g/jk超える添〃口
は不必賛である・ ポリエチレングリコールに、オキシエチレン% Ckh
−CH麿−〇九 tVT化曾物で、オキシエチレン数n=2〜80のもの
かめっIk銅の引張り強度會向上させる点で好ましい。
j!に好ましくはn=3〜24、最も好ましくにn=4
〜16のものが使用さnる0ポリエチレングリコールの
アルキルエーテルとしてflct〜C3のモノ又「;ジ
エーテルか使用さnる・こnらにめりI!敵に町#なt
のでめる〇 めりき析出状題の嵌面νLび親祭し易丁い工うにエツチ
ング処境し7t#IIr面の電子鵬懺−鯖祭から、上記
オキシエチレン数の蛇1円でrxm蝋か繊密でめり、−
f:の範囲を越えたものでσ徊成WI−粒か祖にな9、
かつめりI&銅箔に刈して泰直に配向する傾同が−めら
nた。このことから上記オキシエチレン数の範囲内のも
のρ≦、引快り頻度と耐折疲労強度に効果的なめっき析
出状mt−缶じさせていると考えらrLる。ホリエテレ
ングリコールのアルキル例えはメチルエーテルaホリエ
チレングリコールVC,dべて表面張力か小さいので界
lN1]活性酌′Jta加しなくて11めりさし几いも
のとめっき液とぐノ鋪ntL<できるという艮庚かめる
本発明に2いてベースとなる無電解−めつき敵はとくに
特殊な配付のtのでaない。銅塩、錯化剤、還元剤2工
びP#ii&14ki剤とから成る−1の無1を解餉め
っ@液が用いらnる。銅塩としてσ%健賊−、ハロゲン
化嗣、硝酸銅、酢絨銅等が、錯化剤とじてに、エチレン
ジ7ミン四酢酸、ロッシェル塩等が還元剤としてaホル
マリン。
バラホルムアルデヒド等が、F4′I崗贅剤としては水
酸化ナトリウム等が波相ざnる0代衆的な無111L′
M4めッlk&としてDs mW鋼5〜20g/J、エ
チレンジアゼン四酢敵、銅塩a廣の1.2〜5倍モル*
If:*、SZ%のホルマリン水III液2〜25 m
j/j 、…11.5〜1五〇のものか好ましい。鴎度
に90℃以下で行うのか良い・尚1本発明の無IN解銅
めっき猷rc H、ピロリド/#4.α−ピペリド/お
工ひ繍肪展アミノ酸の少なくと%1櫨金α02571以
上、好ましく rX [105〜l Og / j s
 jet %好IL<e’!1〜5g/l龜肌すること
一出米る〇 以上説明し友ように本軸明の無電解銅めっき液VCよっ
て侍られためっ@−a1^い1彊り強度と優れた耐折鼓
労浪[t−一つ−のでめる・実施劉1〜7 m1Mm104モル/1、エチレンジアミン四酢mcL
O5%#/J、ホルムアルデヒド(103モル/j、)
i(11,8の溶液に久六(/J舶加葡を礒力口して無
電解−めっ@液を作成した。
cCらりめっ@液に活性化錫塩し次ステンレス敏r凌漬
して70℃で無電解りつきtおこない、めっき膜厚25
〜65薊のw4舶τ侍た〇めりきの析出速度、侍らn次
鋼箔の引甑9強度耐折敦9I!I51戚a次衆のとりり
でめる〇同、引張plHA置に10鴎×70鵬の臥験片
を用いX洋611器表のテンシロン形万馳試験嶺會用い
、つかφ間隔15關引−ジ速腋1 mn+/ 分で創建
した□ 又、耐折疲労5!1度の測定&−IJ I S  P 
8115rc単じた[折鋏労緘駅指で20なった。折9
曲げ点の曲4A框牛径2鵜のものを便用し皮。この試*
@v−工扛ば耐折疲労調度が試耕仮断筐での折り曲げ回
数でボさn 6 。
以下余日 (注) 金属@:和光純薬工桑Lld製、願粒状金属船:Il東
化学■製、粒状 曹り化* :和光純薬工桑■婁、化学用試薬n  ;オ
キシエチレン数 代理人弁塩士 治 林 邦 彦 手続補正書1発) 特許庁長官殿 五補正をする者 事件との関係     特許出願人 名 称 (4451日立化成工業株式会社4゜代 理 
人 5補正の対象 以上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、@塩、−化銅、還元銅νLび田調整剤を含む無電S
    銅めりy!i欲に、金属嫁、ヨウ化銀おLび曾J14蛤
    の少なくとも一檀と、ボリエテレンクリー−ルお↓びそ
    のアルキルエーテルの少なくと一一檀t−添加した黒W
    L解鋼めりき敏◎2、ポリエチレングリコールお1びそ
    のアルキルエーテルの少な(とt−檀t(2,02g/
    1以上龜加する臀許−肯求の範咄第1埴記載の無電解銅
    めりI!液。 & ポリエチレングリコールおよびそのアルキルエーテ
    ルのオキシエチレン数か2〜80でるる%#’FIII
    !求の1@囲第1埃又に第2項記載の無電解めりき液。
JP1539782A 1982-02-01 1982-02-01 無電解銅めつき液 Granted JPS58133365A (ja)

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JPH0416550B2 JPH0416550B2 (ja) 1992-03-24

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Cited By (3)

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