JPH0434625B2 - - Google Patents

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JPH0434625B2
JPH0434625B2 JP61153411A JP15341186A JPH0434625B2 JP H0434625 B2 JPH0434625 B2 JP H0434625B2 JP 61153411 A JP61153411 A JP 61153411A JP 15341186 A JP15341186 A JP 15341186A JP H0434625 B2 JPH0434625 B2 JP H0434625B2
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JP
Japan
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plating
electroless copper
copper plating
plating solution
resist
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP61153411A
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English (en)
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JPS6311678A (ja
Inventor
Akishi Nakaso
Toshiro Okamura
Kyoshi Hasegawa
Yukihiko Wada
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Lincstech Circuit Co Ltd
Original Assignee
Hitachi AIC Inc
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi AIC Inc, Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi AIC Inc
Priority to JP15341186A priority Critical patent/JPS6311678A/ja
Publication of JPS6311678A publication Critical patent/JPS6311678A/ja
Publication of JPH0434625B2 publication Critical patent/JPH0434625B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • H05K3/182Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method
    • H05K3/184Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • C23C18/40Coating with copper using reducing agents

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は無電解銅めつき法に関する。 (従来の技術) 無電解銅めつき液を用いてプリント配線板を製
造する方法として、無電解銅めつき反応の触媒を
含有する接着剤層付き絶縁板を用い、導体配線と
なる部分以外にめつきレジスト形成し、導体配線
と接着剤層付き絶縁板との接着力を付与するため
に接着剤層表面を粗化した後、無電解銅めつきで
導体配線を形成する方法がある。 (発明が解決しようとする問題点) この方法は、めつきレジストの溝部分にめつき
で導体を形成するのでめつきレジストの解像度ま
で導体寸法精度をあげられること、無電解銅めつ
きは電気めつきに比べてめつきのつきまわり性が
優れているので小径スルーホール壁ににも均一な
めつき膜厚が得られること、この2の特長のため
めつきレジストを形成した後無電解銅めつきによ
つて導体を形成する方法はプリント配線板の配線
の高密度化に適している。 しかし、無電解銅めつきは非配線部分(レジス
ト上)にもめつきが析出する場合があり、この不
良発生が高密度配線めつきをする上での問題であ
つた。 本発明は非配線部分(レジスト上)へ銅析出不
良が発生しない無電解銅めつき法を提供するもの
である。 (問題点を解決するための手段) 本発明は絶縁性基板表面の導体配線となる部分
以外にめつきレジストを形成した後、無電解銅め
つきで導体配線を形成する方法に於て、使用する
無電解銅めつき液が銅イオン、銅イオンの錯化
剤、還元剤、PH調整剤、水、αα′−ジピリジルお
よび一般式R1O(―CH2CH2O)―nR2(R1、R2は水
素原子、炭素素1〜18のアルキル基、アルケニル
基である。但しR1、R2の両方が水素原子の場合
は含まない。)で表わされるポリオキシエチレン
エーテルを含有する無電解銅めつき液であるこ
と、無電解銅めつき工程を2工程に分けること、
第1工程の無電解銅めつき液の銅イオン、PH調整
剤および還元剤の内少くとも還元剤濃度を第2工
程の無電解銅めつき液の濃度よりも低濃度にする
ことによつてめつき活性を下げること、第1工程
の無電解銅めつき液への浸漬時間が5時間以下で
あることを特徴とする無電解銅めつき法である。 本発明で用いるプリント配線基板は、例えばめ
つき皮膜との接着力が付与できる接着剤層付絶縁
板であり、その接着剤層にはPdなどの無電解銅
めつき反応を開始させるめつき触媒を含有させた
ものが好ましい。めつきレジストは紫外線硬化型
のドライフイルム、紫外線硬化型インク、熱硬化
型インクなどが用いられる。 無電解銅めつき液は銅イオン、銅イオンの錯化
剤、還元剤、PH調整剤、水、αα′−ジピリジルお
よび一般式R1O(―CH2CH2O)―nR2(R1、R2は水
素原子、炭素素1〜18のアルキル基、アルケニル
基である。但しR1、R2の両方が水素原子の場合
は含まない。)で表わされるポリオキシエチレン
エーテルを含有する無電解銅めつき液であり、一
般のプリント配線板の導体厚さである30μm以上
までめつきが可能であり、またプリント配線板の
導体としての信頼性を有するものである。 従来、無電解銅めつきは一工程でおこなつてい
たが、本発明では2工程に分ける。第2工程のめ
つき液組成は、従来おこなつているめつき液組成
と同じであり、第1工程、第2工程のめつきで得
られるめつき膜厚の7割以上をこの工程でめつき
する。 第1工程のめつき液組成は、銅イオン、PH調整
剤および還元剤濃度の内少くとも還元剤を第2工
程の無電解銅めつき液の濃度よりも低濃度にする
ことによつてめつき活性を下げる。その濃度は第
2めつき工程のめつき析出速度の7割以下に第1
めつき工程のめつき析出速度が下るようにする。
第1工程のめつき時間は5時間以下である。5時
間を越えると、めつきの不析出個所が発生したり
めつき皮膜の特性が低下したりする。また短いと
非配線部分へのめつき析出の抑制効果が低下す
る。したがつて、30分から5時間の間で選ばれ
る。 (作用) レジスト上へのめつき析出は種々の検討の結
果、接着剤層付絶縁板にめつきレジストを形成し
た後、めつき導体と基板との接着力を付与するた
めにおこなつた接着剤層の粗化工程でPdなどの
めつき触媒を含有している粗化脆弱層が作られこ
の脆弱層からはがれた粒子がレジスト上に付着
し、この粒子に含まれるめつき触媒をもとにして
めつきが析出するものと推定された。本発明で第
1工程のめつき特性を下げることによつてレジス
ト上へのめつき析出が無くなつた。第1工程の低
活性めつき液では脆弱層からできた粒子に含まれ
るめつき触媒ではめつきが析出しないこと、第1
工程のめつき液への浸漬時間中にレジスト上に付
着した脆弱層からできた粒子が脱落するものと思
われる。次に第2工程のめつき液に浸漬し、所望
のめつき厚さまでめつきをおこなう。この方法に
よつてめつきレジスト上にめつき析出のないプリ
ント配線板の製造が可能となる。 本発明は、このように特定の組成を用いること
と、めつき工程を2段に分けることによつて、初
めて初期の目的である非配線部分へ銅析出不良が
発生しないようにできることの知見を得た結果、
なされたものである。 実施例 接着剤層付絶縁板(日立化成製、商品名ACL
−E−168)に紫外線硬化型ドライフイルム(日
立化成製、商品名SR−3000)を用いてめつきレ
ジストを形成した。次にクロム酸、硫酸を含む化
学粗化液に浸漬しめつきレジストで覆われていな
い接着剤層の表面を粗化した。次に温度が70±20
である組成(A)の第1工程のめつき液に3時間浸漬
した。次に温度が70±2℃である組成(B)の第2工
程のめつき液に12時間浸漬した。めつきレジスト
上への銅析出不良発生は見られなかつた。
【表】
【表】 になる量
めつき析出速度 (μm/h) 1.6 2.5

比較例 実施例と同様の材料、工程で粗化までおこない
次に実施例の組成(B)の条件のめつき液に14時間浸
漬してめつきをおこなつた。 めつきレジスト上への銅析出不良発生率は30%
であつた。(発生率はプリント配線板50枚製造し
析出不良が発生したものの百分率である) (発明の効果) 本発明においてはめつきレジスト上への銅析出
不良がなくなり、高密度プリント配線板の製造が
可能になる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 絶縁性基板表面の導体配線となる部分以外に
    めつきレジストを形成した後、無電解銅めつきで
    導体配線を形成する無電解銅めつき法に於て使用
    する無電解銅めつき液が銅イオン、銅イオンの錯
    化剤、還元剤、PH調整剤、水、αα′−ジピリジル
    および一般式R1O(―CH2CH2O)―nR2(R1、R2
    水素原子、炭素素1〜18のアルキル基、アルケニ
    ル基である。但しR1、R2の両方が水素原子の場
    合は含まない。)で表わされるポリオキシエチレ
    ンエーテルを含有する無電解銅めつき液であるこ
    と、無電解銅めつき工程を2工程に分けること、
    第1工程の無電解銅めつき液の銅イオン、PH調整
    剤および還元剤の内少くとも還元剤濃度を第2工
    程の無電解銅めつき液の濃度よりも低濃度にする
    ことによつてめつき活性を下げること、第1工程
    の無電解銅めつき液への浸漬時間が5時間以下で
    あることを特徴とする無電解銅めつき法。
JP15341186A 1986-06-30 1986-06-30 無電解銅めつき法 Granted JPS6311678A (ja)

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JP15341186A JPS6311678A (ja) 1986-06-30 1986-06-30 無電解銅めつき法

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JPS6311678A JPS6311678A (ja) 1988-01-19
JPH0434625B2 true JPH0434625B2 (ja) 1992-06-08

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1340994C (en) 1989-09-21 2000-05-16 Rudolf Edgar Dr. Falk Treatment of conditions and disease
US6136793A (en) * 1992-02-20 2000-10-24 Hyal Pharmaceutical Corporation Formulations containing hyaluronic acid

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5178744A (ja) * 1974-12-30 1976-07-08 Hitachi Ltd Mudenkaidometsukieki
JPS58133365A (ja) * 1982-02-01 1983-08-09 Hitachi Chem Co Ltd 無電解銅めつき液

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