JPS58130511A - 薄膜変圧器 - Google Patents
薄膜変圧器Info
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- JPS58130511A JPS58130511A JP1272782A JP1272782A JPS58130511A JP S58130511 A JPS58130511 A JP S58130511A JP 1272782 A JP1272782 A JP 1272782A JP 1272782 A JP1272782 A JP 1272782A JP S58130511 A JPS58130511 A JP S58130511A
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- thin
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0033—Printed inductances with the coil helically wound around a magnetic core
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
寡発−は変圧器に関する、
ム発−〇目的け、ｉｉ！膜技術、フォトエツチング社術
を用いて集積回銘輯の［１で１ＩＩｉ或される回路に組
みこむことのできる変圧器１を提供することに凍・る・ ％にＷ４シ配鮭ケ考λた場合、配録密度を上げる霞約に
虻鉛トリック１陥が小さくなる傾向にあるが、それに伴
って磁気ヘッドでの再生出力が低下する・再生出力を大
き（する大めに、＊＊ｍｇＦ、ヘッドなどでけ＊Ｓ導体
から故る巻線の巻［を多（］２て再生出力を増すように
しているが、１ＩＩＩｉＩ導体ケ多層構造にするなど、
製作工程が接線になっている・本発明の薄−変圧器は、
高透磁率磁性薄膜および導体麺膜から成る薄ＳｔＳ気ヘ
ッド、あるいけ−気抵抗効果砕気ヘッドなどと薄膜材料
、製造工程が類似しているため、同−基樹上への同＃Ｆ
製作が各易であり、これらの磁気ヘッドの再生出力の電
圧増幅器として有効である・ 次に、提＃Ｌ′ｆＣ図面を参琳しながら本発−の詳細な
１１ｉ＋甲を行う・パーマロイなどの高透磁率磁性薄膜
１で除ＩＷＢ路を作り、巻綾上珈５および巻線下層２で
構成される巻線を高１！ＩＳ幕磁性薄膜に翰している。
を用いて集積回銘輯の［１で１ＩＩｉ或される回路に組
みこむことのできる変圧器１を提供することに凍・る・ ％にＷ４シ配鮭ケ考λた場合、配録密度を上げる霞約に
虻鉛トリック１陥が小さくなる傾向にあるが、それに伴
って磁気ヘッドでの再生出力が低下する・再生出力を大
き（する大めに、＊＊ｍｇＦ、ヘッドなどでけ＊Ｓ導体
から故る巻線の巻［を多（］２て再生出力を増すように
しているが、１ＩＩＩｉＩ導体ケ多層構造にするなど、
製作工程が接線になっている・本発明の薄−変圧器は、
高透磁率磁性薄膜および導体麺膜から成る薄ＳｔＳ気ヘ
ッド、あるいけ−気抵抗効果砕気ヘッドなどと薄膜材料
、製造工程が類似しているため、同−基樹上への同＃Ｆ
製作が各易であり、これらの磁気ヘッドの再生出力の電
圧増幅器として有効である・ 次に、提＃Ｌ′ｆＣ図面を参琳しながら本発−の詳細な
１１ｉ＋甲を行う・パーマロイなどの高透磁率磁性薄膜
１で除ＩＷＢ路を作り、巻綾上珈５および巻線下層２で
構成される巻線を高１！ＩＳ幕磁性薄膜に翰している。
高速ａ率磁性薄農からの磁束の漏洩がなければ入力用巻
線の巻数をＮ１％出力用巻線の巻１をＮ、とすると、入
力電圧のＮ ｍ ／ Ｎ １倍が出力電圧として取り出
せるが、実際にはＮ ｍ ／ Ｎ を倍より小さくなる
。
線の巻数をＮ１％出力用巻線の巻１をＮ、とすると、入
力電圧のＮ ｍ ／ Ｎ １倍が出力電圧として取り出
せるが、実際にはＮ ｍ ／ Ｎ を倍より小さくなる
。
次に製作方法を述べる。
まず基＠４に、４１！−線下層２となる金層を蒸着など
で、厚さがα５μｍ−５μｍ析度になるように付け、フ
ォトエツチングによって巻線下層２のν牡を作る・この
４！線下Ｎ２によってその上に１１Ｆなるーの段差が太
き（ｆ−る場合には、この巻線下層２の金Ｉ／ｓ擲体間
の隙間にａｉｄｓ、樹脂などの絶縁物を埋めこんで、ｔ
Ｉ線下層２の段差を砂利する。
で、厚さがα５μｍ−５μｍ析度になるように付け、フ
ォトエツチングによって巻線下層２のν牡を作る・この
４！線下Ｎ２によってその上に１１Ｆなるーの段差が太
き（ｆ−る場合には、この巻線下層２の金Ｉ／ｓ擲体間
の隙間にａｉｄｓ、樹脂などの絶縁物を埋めこんで、ｔ
Ｉ線下層２の段差を砂利する。
？？ Ｋ ８１０ ｓなどの蒸着あるいけスパッタ、）
るいはフォトレジストなどの警光性ｓｌｊ膓の塗布、焼
成によって第１層絶＃腓５を御さ数μｍ付ける◎この時
、巻線を＊成する大めに巻線下層２と巻線上ｌｌ１１５
を接続する大めの穴６をあける必要がある。
るいはフォトレジストなどの警光性ｓｌｊ膓の塗布、焼
成によって第１層絶＃腓５を御さ数μｍ付ける◎この時
、巻線を＊成する大めに巻線下層２と巻線上ｌｌ１１５
を接続する大めの穴６をあける必要がある。
第１Ｍ１ｌＦ［ｌ１５として＃光性樹脂を用いれば、８
１０ｓｅどにフォトレジストでバターニングしてさらに
エツチングで５ｉｎｓに大分あける工程が不必豐となり
、工程が知＆、これる。
１０ｓｅどにフォトレジストでバターニングしてさらに
エツチングで５ｉｎｓに大分あける工程が不必豐となり
、工程が知＆、これる。
糾いて、パーマロイなどの高透磁率磁性薄膜１ｆＦ！ｌ
ざ１μｍ〜５μｍ程度μ着あるいはスパッタし、過蟲な
４壮にエツチングする０ 次に第２１１ｉ１１１６縁膜７を第１層絶縁膜５と同様
に庫さ数μｍ付け、巻線下層２と巻線上層３を接続させ
る大めの穴６をあけてお（。
ざ１μｍ〜５μｍ程度μ着あるいはスパッタし、過蟲な
４壮にエツチングする０ 次に第２１１ｉ１１１６縁膜７を第１層絶縁膜５と同様
に庫さ数μｍ付け、巻線下層２と巻線上層３を接続させ
る大めの穴６をあけてお（。
次に・巻線上層となる金属を蒸着あるいけスパッタし、
エツチングによって」状を作る・巻線下Ｎｓ２あるいは
巻線上層５の金属導体の幅分１０μｍ１巻線のピッチｆ
ＳＯμｍとすると、高透磁率ｅ性薄膜１の長さ１ｍの間
に３Ｓ回巻きの巻線を施すことができる・ 以上で薄Ｓ変田器が製作されるが、全体と保諸１１１８
で被う＠ 氷見−の薄膜変圧器は薄ｌＩｓ気ヘッド叫の薄腹什され
たｓ艶回路の電圧増幅器として特に有効であるが、他の
集積回路にも組み込むことが可能である。
エツチングによって」状を作る・巻線下Ｎｓ２あるいは
巻線上層５の金属導体の幅分１０μｍ１巻線のピッチｆ
ＳＯμｍとすると、高透磁率ｅ性薄膜１の長さ１ｍの間
に３Ｓ回巻きの巻線を施すことができる・ 以上で薄Ｓ変田器が製作されるが、全体と保諸１１１８
で被う＠ 氷見−の薄膜変圧器は薄ｌＩｓ気ヘッド叫の薄腹什され
たｓ艶回路の電圧増幅器として特に有効であるが、他の
集積回路にも組み込むことが可能である。
以下、いくつか（応用ｉＰｌ’を述べる・ラジオ、テレ
ビ轡の受信機、送信機のＴｈ１ｌｌ波段あるいは中間周
波段は集積回銘什が進んでいるが、変圧器などのインダ
クタンス成分ｉｌｌ外付は部品となっている・第５図に
示すような、島透Ｓ率磁性薄−１を＄心とし１巻細下慴
２と巻線上ν５によって１１成さ引る４ｉＦ糾を高透磁
・隼薄障１に誇Ｌ７た構雀を略、つ巻線部とも２！−発
明のし用沙・ｆ多Ｚ、が、この巻線部品も含めてｉ′＃
明の薄ｔ１ｅ豫王赤婢インタクタンスＦｊＶ５＋をもつ
部品を４Ｊ積回ドの中に１みこむことによって、機上−
を−ｂ！する蔀ｄｔ、の点ｔ・ケシらすことができ、１
ｌｌ−ｆ？をざらに進めることができる。
ビ轡の受信機、送信機のＴｈ１ｌｌ波段あるいは中間周
波段は集積回銘什が進んでいるが、変圧器などのインダ
クタンス成分ｉｌｌ外付は部品となっている・第５図に
示すような、島透Ｓ率磁性薄−１を＄心とし１巻細下慴
２と巻線上ν５によって１１成さ引る４ｉＦ糾を高透磁
・隼薄障１に誇Ｌ７た構雀を略、つ巻線部とも２！−発
明のし用沙・ｆ多Ｚ、が、この巻線部品も含めてｉ′＃
明の薄ｔ１ｅ豫王赤婢インタクタンスＦｊＶ５＋をもつ
部品を４Ｊ積回ドの中に１みこむことによって、機上−
を−ｂ！する蔀ｄｔ、の点ｔ・ケシらすことができ、１
ｌｌ−ｆ？をざらに進めることができる。
また、像小振幅信号を増幅する萬第１］彬増１−゛ｉ娑
−１の前置増＋ｌｌｌ−９％としても有効ｆ夛る。
−１の前置増＋ｌｌｌ−９％としても有効ｆ夛る。
第１図は、水分−の薄ｖＩ浚圧器の平面図で、第２ａ４
ｄ第１図のム−Ｂの１面図である・第５図は氷見甲の別
の＊ＩＩ＃す゛である＠ １・・・高透Ｓ率磁性ｌＩ＃ ２・・・−ｅ線下層 ３・・・巻線上層 ４・・・１＃徐 ５−＠１ｊＦ４１’ｍ１１ ６・・・巻線上層・巻線下ＮＩ結合穴 ７−＄ ２ ｒｆｈＰＭ勝 ８ ・・・イｋｌｉ 膜 以 上 出願人 株式会社 −訪和工會 代理人 弁理士 最上 縛 １ ５ 第３記 ４９−
ｄ第１図のム−Ｂの１面図である・第５図は氷見甲の別
の＊ＩＩ＃す゛である＠ １・・・高透Ｓ率磁性ｌＩ＃ ２・・・−ｅ線下層 ３・・・巻線上層 ４・・・１＃徐 ５−＠１ｊＦ４１’ｍ１１ ６・・・巻線上層・巻線下ＮＩ結合穴 ７−＄ ２ ｒｆｈＰＭ勝 ８ ・・・イｋｌｉ 膜 以 上 出願人 株式会社 −訪和工會 代理人 弁理士 最上 縛 １ ５ 第３記 ４９−
Claims (1)
- 閉ａ絡をＩｌｌ＊する磁性体、１磁性体に巻かれた入力
用の巻線、および出力用の導線からなる変圧器において
、胸、透参率ｓｖｔ薄−で閉磁路を構成し＃に声透Ｓ＊
磁性薄１１１Ｋ、絶絣層を介して前１１Ｍ１透磁率磁性
薄膜をはさみこむ２層の橋体薄膜がら謂る巻締を診した
ことを特徴とする薄物ｆ＋番。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1272782A JPS58130511A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 薄膜変圧器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1272782A JPS58130511A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 薄膜変圧器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58130511A true JPS58130511A (ja) | 1983-08-04 |
Family
ID=11813464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1272782A Pending JPS58130511A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 薄膜変圧器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58130511A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186460U (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-27 |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP1272782A patent/JPS58130511A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186460U (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-27 |
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