JPS58128782A - ガスレ−ザ装置の出力安定化方法 - Google Patents
ガスレ−ザ装置の出力安定化方法Info
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- JPS58128782A JPS58128782A JP1067382A JP1067382A JPS58128782A JP S58128782 A JPS58128782 A JP S58128782A JP 1067382 A JP1067382 A JP 1067382A JP 1067382 A JP1067382 A JP 1067382A JP S58128782 A JPS58128782 A JP S58128782A
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- laser output
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明は横方向ＩＩＪｊｉ！ガスレーザ装置のレーザ出
力を女定化するための方法に関する０ （ｂ） 技術の背景 横方同励起形ガスレーザａｍはレーザ光軸に対して画直
方向に放１１ｆ：行い、レーず媒質ガスｔｍ起してレー
ザ発光を得る装置でるるか、放電によシ励起し九媒質ガ
スのエネルギー準位間にレーダ発光に必要な反転分布の
状ａｔ維持するためには媒質ガスを冷却して下位準位の
分子ｗｍｔ下けることが必要でめる。
力を女定化するための方法に関する０ （ｂ） 技術の背景 横方同励起形ガスレーザａｍはレーザ光軸に対して画直
方向に放１１ｆ：行い、レーず媒質ガスｔｍ起してレー
ザ発光を得る装置でるるか、放電によシ励起し九媒質ガ
スのエネルギー準位間にレーダ発光に必要な反転分布の
状ａｔ維持するためには媒質ガスを冷却して下位準位の
分子ｗｍｔ下けることが必要でめる。
そこでこの方法として媒質ガスを強制的に循還送風させ
て冷却すると共に送風通路を狭窄してこの部分に放電々
億ｔ−設けることに１１風速を高めて冷却効果を増しま
た濱極部ｔ−水冷するなどの方法が帯しられている〇 第１図は横方向１ｔＩ２１起ガスレーザの斜視図、また
票２図はこの構成図でありて代衆的な炭酸ガスレーｆ装
置についてこの＃成を説明すると次のようになゐ。
て冷却すると共に送風通路を狭窄してこの部分に放電々
億ｔ−設けることに１１風速を高めて冷却効果を増しま
た濱極部ｔ−水冷するなどの方法が帯しられている〇 第１図は横方向１ｔＩ２１起ガスレーザの斜視図、また
票２図はこの構成図でありて代衆的な炭酸ガスレーｆ装
置についてこの＃成を説明すると次のようになゐ。
放電々極は畝１０本の針状（他１が一定の間隔ｔａｉ−
て一列に配列している１ｌａｌ憾と板状或はバイブ状で
内部が水冷されている電極２からな９、針状電ｌｉｌは
１１ＬＩＬ制磯抵抗會逼じて高圧電源３に績−されて放
電路が形成されている。
て一列に配列している１ｌａｌ憾と板状或はバイブ状で
内部が水冷されている電極２からな９、針状電ｌｉｌは
１１ＬＩＬ制磯抵抗會逼じて高圧電源３に績−されて放
電路が形成されている。
次に媒質ガスは炭酸ガｘ（ＣＯｘ）ｔｉｉｌｌ嵩（Ｎｎ
およびヘリウム（Ｈ・）で構成され、ガス圧がａｌＯＴ
ｏｒｒのものよりなるが、この場合Ｎ、ガスは励起用に
また■・は冷却用の目的で加えられてｉる・こ＼で放電
に際しては各針状電ｆｉＴｏた砂約１００ｍＡの電流が
流れるので媒質ガスの温度上昇が蓋しく、そのため謀質
ガスＯ循遁路に軸＠ｙアン虞はターボファンのような大
口径７アン４ ｔｆｆｌケて強制通風すると共に放電々
４を仁の狭窄１６５に設けて毎秒２０〜５０ｇの流速に
して冷却すると共に熱交換機６により媒質ガス自体【冷
却する方法がとられてｉる〇 （＠）従来技術と間慝点 炭酸ガスレーザなどの横方向励起ガスレーザにおける必
要條件はレーザ出力が安定して堆り出せることで心るが
、このガスＶ−ずＫは兼期的な出力変−と短期的な出力
変動と會伴りている・こ−で長期的な変−の原因はｆ！
直の汚染および媒質ガスの劣化などによるもので６９、
その中でも放電中にＣ０ｗガスの一酸化炭素（ＣＯ）へ
の解離や凡の一一化二ｉｉ系（ＮｇＯ）への結合が起ｐ
１籍にＣＯ！ガスの尚１解−によるガス組成の変化が大
傘な要因とされており、これを防ぐ方法として触ＩＫよ
る解蟻反応の制−が行われているが完全なものではなく
、経時的な出力減少はｄけられない状況におる。
およびヘリウム（Ｈ・）で構成され、ガス圧がａｌＯＴ
ｏｒｒのものよりなるが、この場合Ｎ、ガスは励起用に
また■・は冷却用の目的で加えられてｉる・こ＼で放電
に際しては各針状電ｆｉＴｏた砂約１００ｍＡの電流が
流れるので媒質ガスの温度上昇が蓋しく、そのため謀質
ガスＯ循遁路に軸＠ｙアン虞はターボファンのような大
口径７アン４ ｔｆｆｌケて強制通風すると共に放電々
４を仁の狭窄１６５に設けて毎秒２０〜５０ｇの流速に
して冷却すると共に熱交換機６により媒質ガス自体【冷
却する方法がとられてｉる〇 （＠）従来技術と間慝点 炭酸ガスレーザなどの横方向励起ガスレーザにおける必
要條件はレーザ出力が安定して堆り出せることで心るが
、このガスＶ−ずＫは兼期的な出力変−と短期的な出力
変動と會伴りている・こ−で長期的な変−の原因はｆ！
直の汚染および媒質ガスの劣化などによるもので６９、
その中でも放電中にＣ０ｗガスの一酸化炭素（ＣＯ）へ
の解離や凡の一一化二ｉｉ系（ＮｇＯ）への結合が起ｐ
１籍にＣＯ！ガスの尚１解−によるガス組成の変化が大
傘な要因とされており、これを防ぐ方法として触ＩＫよ
る解蟻反応の制−が行われているが完全なものではなく
、経時的な出力減少はｄけられない状況におる。
一方短期的な出力変動の原因としては媒体ガス流の不均
一分布が挙げられる・ すなわち媒体ガスとしてｆ（ｅ８０％、Ｎ、１５％。
一分布が挙げられる・ すなわち媒体ガスとしてｆ（ｅ８０％、Ｎ、１５％。
Ｃ０ｍ５Ｓ機直の混合カスが用いられているが、この混
合が微視的に見て不拘−であること、媒体ガスが循還す
る通根で嶺撒との側突ＩＣ４づく抵抗の九めにｄＩ置餉
での風速が中央部に較べて低下することなどが原因して
レーザ出力の変動が生じておｐ、これｔ防ぐために放題
々＋ＩＬ部の送風側にメツＶ＆を置いて媒体ガスｔＩｔ
１に整流するなどの方法が行われているが完全ではなく
、レーザ出力の変動線速けられないのが機状である。
合が微視的に見て不拘−であること、媒体ガスが循還す
る通根で嶺撒との側突ＩＣ４づく抵抗の九めにｄＩ置餉
での風速が中央部に較べて低下することなどが原因して
レーザ出力の変動が生じておｐ、これｔ防ぐために放題
々＋ＩＬ部の送風側にメツＶ＆を置いて媒体ガスｔＩｔ
１に整流するなどの方法が行われているが完全ではなく
、レーザ出力の変動線速けられないのが機状である。
（西 発明の目的
本発明はレーザ出力が循還ガスの流速に比例する籍黴會
利用して短期的な出力夏ｍｆ：抑制することｔ目的とす
る０ （・）発明の構成 先に紀し九ようにレーザ発光が連続して行われるために
は放電により励起したＷ＆質カスのエネルギ一単位間に
反転分布の伏ｍ’ｉ績持することか必要で七のため媒体
ガスを冷却して下位準位の分子’１ｆｆｔ下けることが
行われているが、こ＼で、レーザ出力は循還する縄貞カ
スのＲ４に比例しているＯ 本発明はこの＠保を利用しレーザ出力（Ｄ−ｓｔ−取９
出し自−利得制御回路を用いて送風機の砿源ｋｌＩｌｌ
ｆｉ Ｌｙレーザ出力レベルの安定化を図るものである
〇 第３図は不発明に係る自＃、ｖＩｌ得制御回路で６って
、レーザ装置の元軸上に置かれ九半透膜反射板によりて
レーザ出カフの−ｓ１に分割しフォトトランジスタなど
の検知器により電気傅号に裳え、制御回路により送Ｊｉ
Ｌ機を源を１餐することによりレーザ出力音安定化せし
めるＯ こ＼で送風機は軸流フアン、ターボファンの何れでもよ
く、使用する原＃ＩＩＪ債の徳類により入力電圧或は周
波ａ ｔ １ｔｉｌＪ御し、これにより送風機の回転Ｉ
ＩＬを変えガス流速を制御するものでるる。
利用して短期的な出力夏ｍｆ：抑制することｔ目的とす
る０ （・）発明の構成 先に紀し九ようにレーザ発光が連続して行われるために
は放電により励起したＷ＆質カスのエネルギ一単位間に
反転分布の伏ｍ’ｉ績持することか必要で七のため媒体
ガスを冷却して下位準位の分子’１ｆｆｔ下けることが
行われているが、こ＼で、レーザ出力は循還する縄貞カ
スのＲ４に比例しているＯ 本発明はこの＠保を利用しレーザ出力（Ｄ−ｓｔ−取９
出し自−利得制御回路を用いて送風機の砿源ｋｌＩｌｌ
ｆｉ Ｌｙレーザ出力レベルの安定化を図るものである
〇 第３図は不発明に係る自＃、ｖＩｌ得制御回路で６って
、レーザ装置の元軸上に置かれ九半透膜反射板によりて
レーザ出カフの−ｓ１に分割しフォトトランジスタなど
の検知器により電気傅号に裳え、制御回路により送Ｊｉ
Ｌ機を源を１餐することによりレーザ出力音安定化せし
めるＯ こ＼で送風機は軸流フアン、ターボファンの何れでもよ
く、使用する原＃ＩＩＪ債の徳類により入力電圧或は周
波ａ ｔ １ｔｉｌＪ御し、これにより送風機の回転Ｉ
ＩＬを変えガス流速を制御するものでるる。
（ｆ） 発明の効果
本発明は強制循濾式カスレーザ装置に２いて便来媒質ガ
スａｔ均等化するためにメツシー寺を用いて放電Ｏ均一
化が図られているが、レーザ出力の変ＩＮの抑制につい
ては不光分でめったのに対し自動利得制御回路を備える
本発明の実施により出力の７９ツキを黒くすることがで
きた。
スａｔ均等化するためにメツシー寺を用いて放電Ｏ均一
化が図られているが、レーザ出力の変ＩＮの抑制につい
ては不光分でめったのに対し自動利得制御回路を備える
本発明の実施により出力の７９ツキを黒くすることがで
きた。
１１！１図は強制傭趨式慣方向励起ガスレーザ装置の斜
視図、第２凶はこの祷成図ま九第３凶は本発明にか＼る
自１ＩＩｂオ０傅−御回路の傅成図でおる０図において
、１は針法ｌＩＬ惚、２は購憶、４は、送風機、５は狭
窄部、６は熱交換−９７はレーザ出力Ｏ
視図、第２凶はこの祷成図ま九第３凶は本発明にか＼る
自１ＩＩｂオ０傅−御回路の傅成図でおる０図において
、１は針法ｌＩＬ惚、２は購憶、４は、送風機、５は狭
窄部、６は熱交換−９７はレーザ出力Ｏ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 多数の直列に並んだ針状磁極とこれに対向し丸板状或は
管状電極により形成される放電々礪の放電方向に直交成
性平行してレーザ媒質ガスが送風循還する構成をとる強
割循瀘式横方向ｍ起ガスレーず装置において、レーザ出
力の変ａｔ検知する回路を設け、鋏回路の出力信号によ
り送風機の回転数ｔｇ葺することによりレーザ出力上安
定化するとと【特徴とするガスレーザ装置の出力安定化
方法・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1067382A JPS58128782A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | ガスレ−ザ装置の出力安定化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1067382A JPS58128782A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | ガスレ−ザ装置の出力安定化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58128782A true JPS58128782A (ja) | 1983-08-01 |
Family
ID=11756770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1067382A Pending JPS58128782A (ja) | 1982-01-26 | 1982-01-26 | ガスレ−ザ装置の出力安定化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58128782A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01291477A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH01321671A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
-
1982
- 1982-01-26 JP JP1067382A patent/JPS58128782A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01291477A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JP2659210B2 (ja) * | 1988-05-19 | 1997-09-30 | ファナック株式会社 | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH01321671A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
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