KR920020793A - 방전여기가스레이저장치 - Google Patents

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타꾸히로 오노
나오야 후리우치
케이치로 야마나카
켕이찌 타카하라
노부아끼 후루야
타케오 미야타
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다니이 아끼오
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Abstract

내용 없음

Description

방전여기가스레이저장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 제1실시예에 있어서의 방전여기가스레이저의 단면 모식도.
제4도는 본 발명의 제3실시예에 있어서의 방전여기가스레이저의 요부사시도.
제6도는 본 발명의 제4실시예에 있어서의 방진여기가스레이저의 단면모식도.
제8도는 본 발명의 제5실시예에 있어서의 방전여기가스레이저의 단면모식도.

Claims (29)

  1. 압력용기내에 봉입된 레이저가스와, 레이저의 사출방향을 긴쪽방향으로 하고, 또한 서로 대향해서 배치된 1조의 주방전전극과, 상기 긴쪽방향과 수직인 방향으로 상기 주방전전극사이를 통과해서 상기 레이저가스를 흐르도록 레이저가스흐름을 발생시키는 가스흐름발생수단과, 상기 주방전전극의 상류쪽 및 하류쪽의 적어도 어느한쪽에 배치되는 예비전리수단과 상기 주방전전극 및 예비전리수단의 어느한쪽의 주변을 통과한 레이저가스가 다른쪽에 직접 흐르지 않도록 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단을 가진 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 예비전리수단은 하류쪽에 설치되고, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단이, 예비전리수단 주변의 레이저가스를 통과시키기 위한 적어도 1개이상의 개구부와, 상기 개구부를 통해서 상기 예비전리수단주변의 레이저가스를 토출하기 위한 가스토출수단을 가지고, 상기 주방전전극의 주변을 통과한 레이저가스가 상기 예비 전리수단에 직업흐르지 않도록 레이저가스흐름을 제어하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단으로서 형성된 적어도 1개이상의 개구부는 간막이벽에 형성되고, 상기 간막이벽은 불순물가스발생이 적은 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 간막이벽은 상기 압력용기와 일체로 되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단으로서 형성된 적어도 1개 이상의 개구부가 주방전전극사이의 레이저가스를 예비전리하기 위한 자외선을 통과시키기 위한 창구멍을 겸하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 레이저가스의 예비전리수단은 불꽂간극예비전리수단인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 레이저 가스의 예비전리수단은 코로나예비전리수단인 것을 특징으로 하는 방전 여기가스레이저장치.
  8. 제7항에 있어서, 또, 상기 레이저가스를 냉각하기 위한 냉각수단을 가진 것을 특징으로 하는 방전 여기가스레이저장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 레이저가스는, 압력용기내를 순환하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 예비전리수단은 상류쪽에 설치되고, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단이, 예비전리수단방향으로 레이저가스흐름을 통과시키기 위한 적어도 l개이상의 개구부와, 상기 개구부를 통해서 상기 예비 전리 수단의 주변의 레이저가스가 상기 주방전수단에 직접 흐르지 않도록 레이저가스흐름을 제어하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단으로서 형성된 적어도 1개이상의 개구부는 간막이벽에 형성되고, 상기 간막이벽은 불순물가스발생이 적은 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 간막이벽은 상기 압력용기와 일체로 되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단으로서 형성된 1개이상의 개구부가 주방전전극사이의 레이저가스를 예비전리하기 위한 자외선을 통과시키기 위한 창구멍을 겸하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 레이저가스의 예비전리수단은 불꽃간극예비전리수단인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 레이저가스의 예비전리수단은 코로나예비전리수단인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  16. 제15항에 있어서, 또, 상기 레이저가스를 냉각하기 위한 냉각수단을 가진 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  17. 제16항에 있어서. 상기 레이저가스는 압력용기내를 순환하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  18. 압력용기내에 봉입된 레이저가스와, 레이저의 사출방향을 긴쪽방향으로 하고, 또한 서로 대향해서 배치된 1조의 주방전전극과, 상기 긴쪽방향과 수직인 방향으로 상기 주방전전극사이를 통과해서 상기 레이저가스를 흐르도록 레이저가스흐름을 발생시키는 가스흐름발생수단과, 상기 주장전전극의 상류쪽 및 하류쪽의 쌍방에 배치되는 예비전리수단과 상기 상류쪽에 배치한 예비전리수단근처의 레이저가스가 직접적으로 주방전전극사이에 흐르지 않도록 또한 상기 주방전전극을 통과한 레이저가스가 직접적으로 하류쪽에 배치한 예비전극에 흐르지 않도록 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단을 가진 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단이, 상류쪽예비전리수단에 및 상기 하류쪽예비전리수단으로부터 레이저가스를 통과시키기 위한 개구부와 상기 개구부를 통해서 상기 상류쪽예비전리수단을 향해서 레이저가스를 흡입하는 가스흡입수단과, 상기 개구부를 통해서 상기 하류쪽예비전리수단으로부터 레이저가스를 토출하는 가스토출수단을 가지고, 상기 제어수단은, 상기 상류쪽에 배치한 예비전리수단주변의 레이저가스가 직접적으로 주방전전극사이에 흐르지 않도록 또한 상기 주방전전극을 통과한 레이저가스가 직접적으로 하류쪽에 배치한 예비전극에 흐르지 않도록 레이저가스흐름을 제어하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 개구부는 압력용기를 구분하는 적어도 1개의 간막이벽에 형성되고, 상기 간막이벽은 불순물가스발생이 적은 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 간막이벽이 압력용기와 일체로 되어 있는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단의 가스흡입수단과 가스토출수단이 동일한 가스흡입토출수단인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  23. 제22항에 있어서, 또, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단의 가스흡입토출수단의 앞에 집진 수단을 배치한 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 레이저가스를 제어하는 제어수단의 가스흡입토출수단이 가스순화장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 레이저가스흐름을 제어하는 제어수단의 적어도 1개이상의 개구부가 주방전전극사이의 레이저가스를 예비전리하기 위한 자외선을 통과시키기 위한 창구멍을 겸하는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  26. 제25항에 있어서, 상기 레이저가스의 예비전리수단은 불꽂간극예비전리수단인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기 레이저가스의 예비전리수단은 코로나예비전리수단인 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  28. 제27항에 있어서, 또 상기 레이저가스를 냉각하기 위한 냉각기를 가진 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기 압력용기내에서 레이저가스가 순환되는 것을 특징으로 하는 방전여기가스레이저장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920006757A 1991-04-23 1992-04-22 방전여기가스레이저장치 KR950013054B1 (ko)

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