JPH079406Y2 - 高繰り返しパルスガスレーザ装置 - Google Patents
高繰り返しパルスガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH079406Y2 JPH079406Y2 JP999288U JP999288U JPH079406Y2 JP H079406 Y2 JPH079406 Y2 JP H079406Y2 JP 999288 U JP999288 U JP 999288U JP 999288 U JP999288 U JP 999288U JP H079406 Y2 JPH079406 Y2 JP H079406Y2
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- JP
- Japan
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- discharge
- gas
- electrode
- laser
- laser device
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、エキシマレーザ装置等の高繰り返しパルスガ
スレーザ装置に関する。
スレーザ装置に関する。
（従来の技術） エキシマレーザなどのパルスガスレーザ装置では、一般
にレーザガス中でグロー放電を起こすことによりレーザ
を励起している。ところが、放電電極対間隙の放電空間
（以下、単に放電空間と称す）のレーザガスをいったん
放電すると放電空間が瞬間的に熱せられ、音波が発生
し、この音波が主原因となり引き続いて放電を行うとア
ーク放電になってしまう。アーク放電が発生するとレー
ザを励起できないばかりか、放電電極や高電圧スイッチ
ング素子やレーザガスを急速に劣化させる。
にレーザガス中でグロー放電を起こすことによりレーザ
を励起している。ところが、放電電極対間隙の放電空間
（以下、単に放電空間と称す）のレーザガスをいったん
放電すると放電空間が瞬間的に熱せられ、音波が発生
し、この音波が主原因となり引き続いて放電を行うとア
ーク放電になってしまう。アーク放電が発生するとレー
ザを励起できないばかりか、放電電極や高電圧スイッチ
ング素子やレーザガスを急速に劣化させる。
このアーク放電の発生を防ぎ、エキシマレーザ装置を高
繰り返し周波数で動作させるためには、放電空間に高速
なガス流を形成することが必要不可欠である。しかし、
放電によって発生する音波は数ms以上もの間にわたって
接続するから、放電空間に高速なガス流を形成するだけ
では、1KHz以上の繰り返し周波数で安定なレーザ動作を
得ることが困難である。この問題を解決するために、従
来の高繰り返しエキシマレーザ装置では、ガス流路をダ
クトで形成し、放電空間へのガス流の入口及び出口にそ
れぞれノズル部及びディフューザ部を設け、放電空間に
おけるレーザガスの放電で発生した音波を吸収するダン
パーをそのノズル部およびディフューザ部に設置するこ
とにより、1KHz以上の繰り返し周波数でのレーザ動作を
実現している。なお、この構成をエキシマレーザ装置に
用いた例としては、マセマティカル・サイエンス・ノー
スウエスト社（Mathematical Sciences Northwest,In
c.）によって発行された技術報告書「アドバンスト・レ
ーザ・デブロプメント・フォー・アイソトープ・セパレ
ーション（Advanced-Laser development for isotope s
eparation）DOE/ET/33067-T1 DE83016151」に詳しく記
述されている。
繰り返し周波数で動作させるためには、放電空間に高速
なガス流を形成することが必要不可欠である。しかし、
放電によって発生する音波は数ms以上もの間にわたって
接続するから、放電空間に高速なガス流を形成するだけ
では、1KHz以上の繰り返し周波数で安定なレーザ動作を
得ることが困難である。この問題を解決するために、従
来の高繰り返しエキシマレーザ装置では、ガス流路をダ
クトで形成し、放電空間へのガス流の入口及び出口にそ
れぞれノズル部及びディフューザ部を設け、放電空間に
おけるレーザガスの放電で発生した音波を吸収するダン
パーをそのノズル部およびディフューザ部に設置するこ
とにより、1KHz以上の繰り返し周波数でのレーザ動作を
実現している。なお、この構成をエキシマレーザ装置に
用いた例としては、マセマティカル・サイエンス・ノー
スウエスト社（Mathematical Sciences Northwest,In
c.）によって発行された技術報告書「アドバンスト・レ
ーザ・デブロプメント・フォー・アイソトープ・セパレ
ーション（Advanced-Laser development for isotope s
eparation）DOE/ET/33067-T1 DE83016151」に詳しく記
述されている。
（考案が解決しようとする課題） しかしながら、上述した従来の高繰り返しパルスガスレ
ーザ装置では、放電で発生した音波を吸収するためのダ
ンパーを設置するノズル部及びディフューザ部を直線的
にかなり、長く形成しなければならない。そこで、従来
の装置には、外形及び重量が非常に大きく、かつ製作費
が高いという問題点があった。
ーザ装置では、放電で発生した音波を吸収するためのダ
ンパーを設置するノズル部及びディフューザ部を直線的
にかなり、長く形成しなければならない。そこで、従来
の装置には、外形及び重量が非常に大きく、かつ製作費
が高いという問題点があった。
本考案の目的は、このような課題点を解決した高繰り返
しパルスガスレーザ装置を提供することにある。
しパルスガスレーザ装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本考案は、放電により放電空間中のガスを励起して光の
誘導放出を起こさせる放電電極対と、前記放電空間に前
記ガスを高速に流すガス循環器とを少くとも備える高繰
り返しパルスガスレーザ装置であって、前記放電電極対
のうち少くとも一方の放電電極が開孔電極でなり、この
開孔電極の開孔部の裏側に吸音材が設置してあることを
特徴とする。
誘導放出を起こさせる放電電極対と、前記放電空間に前
記ガスを高速に流すガス循環器とを少くとも備える高繰
り返しパルスガスレーザ装置であって、前記放電電極対
のうち少くとも一方の放電電極が開孔電極でなり、この
開孔電極の開孔部の裏側に吸音材が設置してあることを
特徴とする。
（作用） 本考案の高繰り返しパルスガスレーザ装置においては、
放電電極対のうち少くとも一方を開孔電極で構成し、こ
の開孔電極の開孔部の裏側に吸音材を設置する構成を採
ることによって、放電空間での放電による音波の発生を
抑制している。このような構成の本考案のパルスガスレ
ーザ装置では、放電空間での音波の持続時間を1ms以下
に抑えることができ、1KHz以上の高繰り返し周波数でレ
ーザを安定に動作させることが可能になる。
放電電極対のうち少くとも一方を開孔電極で構成し、こ
の開孔電極の開孔部の裏側に吸音材を設置する構成を採
ることによって、放電空間での放電による音波の発生を
抑制している。このような構成の本考案のパルスガスレ
ーザ装置では、放電空間での音波の持続時間を1ms以下
に抑えることができ、1KHz以上の高繰り返し周波数でレ
ーザを安定に動作させることが可能になる。
さらに、本考案では、開孔電極の開孔部裏側に吸音材を
設置する構成を採るから、ガス流路に格別なダンパーを
設置する必要がなく、装置をコンパクトに設計すること
が可能になる。したがって本考案の採用により、装置の
外形及び重量が非常に小さくなり、製作費を低減するこ
とができる。
設置する構成を採るから、ガス流路に格別なダンパーを
設置する必要がなく、装置をコンパクトに設計すること
が可能になる。したがって本考案の採用により、装置の
外形及び重量が非常に小さくなり、製作費を低減するこ
とができる。
（実施例） 次に、図面を参照して本考案の実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は、本考案の第１の実施例を示す模式的な横断面
図で、本考案に係る部分だけを示してある。
図で、本考案に係る部分だけを示してある。
本実施例では、放電電極対の一方を通常の放電電極２と
し、残りのもう一方として開孔電極３を用い、この開孔
電極３の開孔部４の裏側に図の如く吸音材５を設置して
いる。このような構成を採ることによって、本実施例で
は、レーザガスの放電によって、放電空間６で発生する
音波の吸収を可能にしている。本実施例においては、吸
音材５で音波を吸収し、ガス流路を伝播する音波を低減
するから、その持続時間を1ms以下に抑えることが可能
となり、1KHz以上の高繰り返し周波数でレーザを安定に
動作させることが可能になる。
し、残りのもう一方として開孔電極３を用い、この開孔
電極３の開孔部４の裏側に図の如く吸音材５を設置して
いる。このような構成を採ることによって、本実施例で
は、レーザガスの放電によって、放電空間６で発生する
音波の吸収を可能にしている。本実施例においては、吸
音材５で音波を吸収し、ガス流路を伝播する音波を低減
するから、その持続時間を1ms以下に抑えることが可能
となり、1KHz以上の高繰り返し周波数でレーザを安定に
動作させることが可能になる。
さらに、ガス流路に寸法の大きいダンパーを格別に設置
する必要がないから、装置をコンパクトに設計すること
が可能になる。したがって、本実施例は外形及び重量が
非常に小さく、また製作費も少なくてすむ。
する必要がないから、装置をコンパクトに設計すること
が可能になる。したがって、本実施例は外形及び重量が
非常に小さく、また製作費も少なくてすむ。
第２図は、本考案の第２の実施例を示す模式的な横断面
図で、本考案に係る部分だけが示してある。
図で、本考案に係る部分だけが示してある。
本実施例では、放電電極対を第１の開孔電極10と第２の
開孔電極11との２つの開孔電極で形成し、第１の開孔電
極10の第１の開孔部14の裏側に第１の吸音材12を設置
し、第２の開孔電極11の第２開孔部15の裏側に第２の吸
音材13を設置する構成を採ることによって、放電空間６
で発生する音波をより速やかに吸収することが可能にな
る。したがって、ガス流路を伝播する音波をより低減で
き、音波の持続時間をより短くすることが可能となるか
ら、1KHz以上のより高い繰り返し周波数でのレーザ動作
をより安定に実行できる。
開孔電極11との２つの開孔電極で形成し、第１の開孔電
極10の第１の開孔部14の裏側に第１の吸音材12を設置
し、第２の開孔電極11の第２開孔部15の裏側に第２の吸
音材13を設置する構成を採ることによって、放電空間６
で発生する音波をより速やかに吸収することが可能にな
る。したがって、ガス流路を伝播する音波をより低減で
き、音波の持続時間をより短くすることが可能となるか
ら、1KHz以上のより高い繰り返し周波数でのレーザ動作
をより安定に実行できる。
また、第１図に示した本考案の第１の実施例と同様に、
ガス流路に寸法の大きなダンパーを格別に設置する必要
がなから、装置をコンパクトに設計できる。したがっ
て、装置の寸法及び重量において有利になると同時に製
作費の低減が可能になる。
ガス流路に寸法の大きなダンパーを格別に設置する必要
がなから、装置をコンパクトに設計できる。したがっ
て、装置の寸法及び重量において有利になると同時に製
作費の低減が可能になる。
（考案の効果） 以上に述べた様に、本考案の高繰り返しパルスガスレー
ザ装置によれば、レーザガスの放電によって放電空間に
発生した音波を速やかに吸収し音波の持続時間を大幅に
低減できるから、1KHz以上のより高い繰り返し周波数で
レーザを安定に動作させることが可能になる。
ザ装置によれば、レーザガスの放電によって放電空間に
発生した音波を速やかに吸収し音波の持続時間を大幅に
低減できるから、1KHz以上のより高い繰り返し周波数で
レーザを安定に動作させることが可能になる。
さらに、放電によって発生した音波を吸収するのに寸法
の大きなダンパーをガス流路に格別に設置する必要がな
いから、装置をコンパクトに設計することが可能にな
る。したがって、装置の外形寸法及び重量を低減できか
つ製作費も併せて低減することが可能になる。
の大きなダンパーをガス流路に格別に設置する必要がな
いから、装置をコンパクトに設計することが可能にな
る。したがって、装置の外形寸法及び重量を低減できか
つ製作費も併せて低減することが可能になる。
第１図及び第２図は、本考案の第１及び第２の実施例を
それぞれ示す模式的な横断面図である。 １……レーザ管、２……放電電極、３……開孔電極、４
……開孔部、５……吸音材、６……放電空間、７……ガ
ス循環器、８……ガスの流れ、９……ガス流ガイド板、
10……第１の開孔電極、11……第２の開孔電極、12……
第１の吸音材、13……第２の吸音材、14……第１の開孔
部、15……第２の開孔部。
それぞれ示す模式的な横断面図である。 １……レーザ管、２……放電電極、３……開孔電極、４
……開孔部、５……吸音材、６……放電空間、７……ガ
ス循環器、８……ガスの流れ、９……ガス流ガイド板、
10……第１の開孔電極、11……第２の開孔電極、12……
第１の吸音材、13……第２の吸音材、14……第１の開孔
部、15……第２の開孔部。
Claims (1)
- 【請求項１】放電により放電空間中のガスを励起して光
の誘導放出を起こさせる放電電極対と、前記放電空間に
前記ガスを高速に流すガス循環器とを少くとも備える高
繰り返しパルスガスレーザ装置において、前記放電電極
対のうち少くとも一方の放電電極が開孔電極でなり、前
記開孔電極の開孔部の裏側に吸音材が設置してあること
を特徴とする高繰り返しパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP999288U JPH079406Y2 (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 高繰り返しパルスガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP999288U JPH079406Y2 (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 高繰り返しパルスガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01115262U JPH01115262U (ja) | 1989-08-03 |
| JPH079406Y2 true JPH079406Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31217227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP999288U Expired - Lifetime JPH079406Y2 (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 高繰り返しパルスガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079406Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006229137A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Komatsu Ltd | パルス発振型放電励起レーザ装置 |
| JP4579002B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2010-11-10 | 株式会社小松製作所 | パルス発振型放電励起レーザ装置 |
-
1988
- 1988-01-27 JP JP999288U patent/JPH079406Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01115262U (ja) | 1989-08-03 |
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