JPS58120511A - シランの精製法 - Google Patents
シランの精製法Info
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- JPS58120511A JPS58120511A JP145382A JP145382A JPS58120511A JP S58120511 A JPS58120511 A JP S58120511A JP 145382 A JP145382 A JP 145382A JP 145382 A JP145382 A JP 145382A JP S58120511 A JPS58120511 A JP S58120511A
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- Silicon Compounds (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP145382A JPS58120511A (ja) | 1982-01-07 | 1982-01-07 | シランの精製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP145382A JPS58120511A (ja) | 1982-01-07 | 1982-01-07 | シランの精製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58120511A true JPS58120511A (ja) | 1983-07-18 |
JPS621566B2 JPS621566B2 (zh) | 1987-01-14 |
Family
ID=11501860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP145382A Granted JPS58120511A (ja) | 1982-01-07 | 1982-01-07 | シランの精製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58120511A (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163518A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 高純度モノシラン |
JPS6163515A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Mitsui Toatsu Chem Inc | モノシランの製造方法 |
US4976942A (en) * | 1988-09-26 | 1990-12-11 | Japan Pionics, Ltd. | Method for purifying gaseous hydrides |
JPH03215310A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-20 | Osaka Titanium Co Ltd | 多結晶シリコンの製造方法 |
US5182089A (en) * | 1990-02-20 | 1993-01-26 | Mannesmann Aktiengesellschaft | Chemisorptive metal alloy and method of using the same |
CN109908892A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种超纯氢气纯化吸附剂材料及应用 |
-
1982
- 1982-01-07 JP JP145382A patent/JPS58120511A/ja active Granted
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6163518A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 高純度モノシラン |
JPS6163515A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-04-01 | Mitsui Toatsu Chem Inc | モノシランの製造方法 |
JPH0436090B2 (zh) * | 1984-09-03 | 1992-06-15 | Mitsui Toatsu Chemicals | |
US4976942A (en) * | 1988-09-26 | 1990-12-11 | Japan Pionics, Ltd. | Method for purifying gaseous hydrides |
JPH03215310A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-20 | Osaka Titanium Co Ltd | 多結晶シリコンの製造方法 |
JPH0694367B2 (ja) * | 1990-01-19 | 1994-11-24 | 大阪チタニウム製造株式会社 | 多結晶シリコンの製造方法 |
US5182089A (en) * | 1990-02-20 | 1993-01-26 | Mannesmann Aktiengesellschaft | Chemisorptive metal alloy and method of using the same |
CN109908892A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种超纯氢气纯化吸附剂材料及应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS621566B2 (zh) | 1987-01-14 |
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