JPS5811734B2 - ハンドウタイペレツトケンシユツブンリソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えば半導体ベレットをリードフレームに載置
ないしはベレットトレーに載置するための半導体ベレッ
ト検出分離装置に関する。

従来、半導体装置の製造においては、プレス抜きによシ
所定のリードパターンに打ち抜かれた細長い薄板状のリ
ードフレームの所定部に方形の半導体ベレットを取付け
ている。

そのため、半導体ベレットの良品のみがあらかじめその
ベレットを収納する治具（トレー）に載置しておく必要
がちる。

一方、半導体ベレットは、まず半導体ウェーハの一生面
に素子を多数個形成し、この素子を囲むように縦横方向
にスクライビング溝を施したものを例えば手やゴムロー
ラによって個々の半導体ベレットに分割される。

なお、半導体ベレットの裏面に接するベースフィルムに
は密着性のよい例えば塩化ビニリデン樹脂のフィルムが
使用されておシ、ベースフィルムとウェーハとの間には
十分な粘着力があるものである。

したがって、ベースフィルム上に載置された半導体ベレ
ットをはがしてベレットを収納する治具（トレー）に移
送しなければならないが、従来このような作業は、はと
んど人手にたよっていた。

その為、作業上極めて非能率であシ、半導体ベレットの
破損を招来する虞れも発生する。

本発明はかかる点にかんがみて成されたもので、ベース
フィルム上に載置された半導体ベレットの位置検出及び
半導体の治具（トレー）への移送を自動的に且つ確実に
行ない得るようにして上述の欠点を除こうとするもので
ある。

以下本発明による実施例について説明するに、第１図は
半導体ペレット検出分離装置の要部を示す路線図である
。

同図において、１は半導体ペレット検出分離装置の全体
、２はベレット位置検出機構、３はベレット分離機構、
４はベレット移送機構を夫々示している。

半導体ペレット検出分離装置１の要部はペレット位置検
出機構２、ベレット分離機構３及びベレット移送機構４
で構成される。

ペレット位置検出機構２は、基台６上の支柱７に支えら
れた腕８の遊端に取付けた発光部９と、半導体ベレット
が載置されたベースフィルムな所定位置に保持する載置
部１０と、この載置部１０を平面内の縦横方向にステッ
プ的に移送するＸ−Ｙフィダ一部１１と、上記発光部９
よシ光束を受光する受光素子とよ多構成される。

発光部９は電球保持体１３に装着された例えば白色タン
グステン電球のような光源を用いている。

載置部１０は第２図に詳細を示す如く、半導体ペレット
１５が載置された透明体よシなる枠付きのベースフィル
ム１６が載設固持される環状体１７と押え部１８と下板
１９と、Ｘ−Ｙフィダ一部に連結された支柱２０とよ多
構成される。

１６ａは枠付きベースフィルム１６の枠を示す。

環状体１７は前述のペレット分離機構３との関連におい
て有効な面積が保持される内径部２１を有している。

２２は、環状体１７と下板１９を連結する環状体である
。

押え部１８は下板１９よシ植立した支持板２３に回動自
在に取付けた枠付きベースフィルム抑え体２４を有し、
スプリング２５で常に枠付きベースフィルム１６を保持
している。

なお、このベースフィルム抑え体２４は図示の如く一対
でもよいが、それ以上に構成してもよい。

支柱２０はＸ−Ｙフィダ一部１１と下板１９を連結する
ためのものである。

受光素子は光電変換素子例えばホトトランジスタが好適
である。

なお、受光素子の具体的位置関係は後述のペレット分離
機構３の説明で明らかとなるが、この点が重要な点であ
る。

Ｘ−Ｙフィダ一部１１はペレット分離機構３に対して互
いに直交するＸ−Ｙ方向（縦、横方向）に微動する如く
構成されたもので、両方向の駆動源はステップイングモ
ータが用いられる。

微動方法は従来知られている親ねじな利用するもので、
例えば顕微鏡の載物台に用いられる縦横微動マイクロメ
ータの如き周知のものである。

ペレット分離機構３は第１図及び第２図に示す如く、支
柱７より支持されたＬ字状板２７に取付けられた駆動源
たるモータ２８と、このモータ２８の回転軸に取付けら
れた吻ム体２９と、突上げ体３０とより構成されも突上
げ体３０は第２図に示す如く、全体が円筒状になさべそ
の上端にはホトトランジスタ３１を収納するホルダ３２
が設けられている。

ホルダ３２の形状は、端面中央に直径０．５ｕｎのペレ
ット剥離ピン３３が取付けられている。

なお、その尖端には０．１ｍｍ程度の円周上の面取シが
施されている。

第３図Ａにおいて、３４はホルダ３２の端面の周辺に穿
設した一対のＬ字状溝を示し、この一対のＬ字状溝３４
は、前述の発光部９よシの光束なホトトランジスタ３１
に到達させるためのもので、その一辺ｌが半導体ペレッ
ト１５の一辺よ）わずかに小さくしている（例えば０．
２ｍｍ）。

もちろん半導体ペレット１５が長方形のものであれば、
その形状にしたがって適宜変形されるものである。

第３図Ｂはホルダ３２の他の例を示したもので、発光部
９よ）の光束をホトトランジスタ３１に到達させる孔部
３４′は半導体ペレット１５の四隅の位置、且つその周
辺よりわずかに内方に位置して穿設した小円孔である。

第１図において、３６は突上げ体３０を支持する受は部
、３７は突上げ体３０のカム２９による突上げを戻す戻
しばねを夫夫示している。

ペレット移送機構４は、第１図に示す位置と第４図に示
す位置との間を往復動するように作動されるもので、駆
動源（図示せず）よυカム体及び機構部（いずれも図示
せず）を介して行なわれる。

このペレット移送機構４の遊端には半導体ペレット１５
を吸着又は解除するコレットヘッド部４０が取付けられ
ている。

このコレットヘッド部４０は第５図に詳細に示す如く、
基部４１とこれに対して摺動自在に配設された吸着筒４
２とベースフィルム抑え部４３とよシなシ、基部４１と
吸着筒４２との間にはスプリング４４を介在して基部４
１に対して吸着筒４２を下側に押圧するようにし、且つ
前述の突上げ体３０の上動によってこの吸着筒４２がス
プリング４４に抗して上動するようになっている。

吸着筒４２の上部には、真空装置（図示せず）に連結さ
れたフレキシブルチューブ４５が取付けられる。

ベースフィルム抑え体４３は基部４１に一体に取付けら
れている。

４６はコレットヘッド部４０と機構部を連結する駆動ロ
ッド、４７は副ロッドを夫々示している。

再び第１図において、５０は半導体ペレット１５が配列
されるペレットトレー５１を所定位置に保持する載置部
、５２はこの載置部５０を平面上縦横方向（Ｘ−Ｙ方向
）にステップ的に移送するＸ−Ｙフィダ一部で、これの
具体的構造は前述のペレット位置検出機構２のＸ−Ｙフ
ィダ一部１１とほぼ同じ構造である。

しかして、発光部９よシの一定の光束の全てガ半導体ペ
レット１５によって遮断するまでベレット位置検出機構
２のＸ−Ｙフィダ一部１１が新組的に作動し、半導体ベ
レット１５が所定の設定位置に位置したとき、ホトトラ
ンジスタ３１には光束が到達せず、従ってこのとき電気
制御部によって電気信号が最大となるように構成し、更
にマイクロコンピュータによって所定の信号に変換した
後、ベレット移送機構４の駆動源にその信号が供給され
、その為ペレット移送機構４が第４図の位置まで移送さ
れ、一方ではベレット分離機構３のモータ２８に上記信
号が供給され、その為カム体２９の回動によって突上げ
体３０が北方に押圧され、ペレット移送機構４のコレッ
トヘット部４０に半導体ペレット１５が吸着された後、
ペレット移送機構４が元の位置（第１図の図示状態）に
戻シ、ベレットトレー５１上の所定の位置にその半導体
ペレット１５を載置するように構成されてめる。

上述の一連の動作はすべて電気制御部によって行なわれ
るものであるが、これらの点は従来手段に代替してもよ
い。

次に、半導体ペレット１５の位置検出からコレットヘッ
ド部による分離に至る工程について立入って説明するに
、第６図および第７図に示す如く、発光部９よシの光束
ａはその一部が半導体ペレット１５によって遮断される
が、他の一部の光束ａ′はベースフィルム１６を透過し
、更にホルダ３２のＬ字状溝３４を通過してホトトラン
ジスタ３１に到達する。

従ってベレット位置検出機構２のＸ−Ｙフィダ一部１１
が第７図に示す矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向に所定の間隔
（０，２ｕｔ）だけ微動され、前記光束ａ′が半導体ペ
レット１５によってホトトランジスタ３１に到達しなく
なるまで繰返し行なわれる。

しかして光束ａ′がホトトランジスタ３１に到達しなく
なる位置（第８図及び第９図参照）に設定されたとき、
電気制御部によって起電される電気信号が最大値となシ
、その電気信号がマイクロコンピュータを介してペレッ
ト移送機構４のコレットヘッド部４０が発光部９の光軸
に一致するまで移送される（第４図、第８図及び第９図
参照）。

もちろん第９図に示す位置となることはむしろ稀であっ
て、光束ａ′が半導体ペレット１５によって遮断された
時点では、厳密にはホルダ３２の中心と半導体ペレット
１５の中心とが一致しないが、この程度の誤差は極めて
微差であって、その後の動作（工程）の阻害とはならな
い。

なおこの点に注目して微位置補正機構を設けることもで
きる。

一方、ペレット移送機構４のコレットヘッド部４０が発
光部９０光軸に一致する位置に設定された時点で、上記
マイクロコンピュータよりｍ電気信号がベレット分離機
構４のモータ２８に供給される。

従って第１０図Ａに示す如く、突上げ体３０の上端に取
付けられたホルダ３２のベレット剥離ピン３３が矢印方
向に押上げられる。

そのため、この剥離ピン３３によって半導体ペレット１
５と共にベースフィルム１６がわずかにたわみながら上
方に押上げられ、コレットヘッド部４０の吸着筒４２に
半導体ペレット１５が接触する。

このとき真空装置（図示せず）が作動しく又は予め作動
されてもよい）、吸着筒４２に半導体ペレット１５が吸
着される。

更に第１０図Ｂに示す如く、突上げ体３０の上動によっ
て、その剥離ピン３３の端部がコレットヘッド部４００
ベースフィルム抑え体４３の下端附近に位置すると（最
上の位置）、吸着筒４２はコレットヘッド部４０のスプ
リング４４のばねに抗して押上げられる。

従って、ベースフィルム１６に貼着された半導体ペレッ
ト１５は、ベースフィルム１６に作用するベースフィル
ム抑Ｇ体４３の相対的押圧力によってほとんど剥離する
。

その後、突上げ体３０の下動によって、第１０図Ｃに示
す如く、半導体ペレット１５は吸着筒４２に吸着された
状態を保持すると共に、ベースフィルム１６は元の位置
に戻ることになる。

以上述べたように本発明は、ベースフィルム面に貼着さ
れた半導体ペレットの上下方向の一側には発光部を配設
し、他側には光電変換素子を配設して半導体ペレットの
位置を検出する如く構成すると共に、この発光部又は光
電変換素子の側に半導体ペレットを押圧する剥離ピンと
該剥離ピンの周囲に発行部の光束を通過させる透孔部を
一体的に形成した突き上げ体を配設し、真空チャックと
この真空チャックの周囲に配されたが一スフイルムの仰
え部を有するコレットヘッド部を半導体ペレットを挾ん
で突き上げ体と反対側に配設して構成されているので、
ベースフィルム上に貼着された半導体ペレットの位置を
正確に検出できると共に半導体装置ットに対し剥離ピン
がその中央部に正確に押当てられ、またベースフィルム
は真空チャック周囲に配されたコレットヘッド部の抑え
部によシ抑見られて、半導体ペレットはベースフィルム
から極めて容易に剥離され真空チャックに確実に吸着さ
れ半導体ペレットがペレットトレーに移送される工数が
大幅に軽減され、作業上極めて能率的に行なうことがで
きる。

従来はこれらの作業がほとんど人手にたよっていたが、
対象となる半導体ペレットは例えば１．５ｍｍ四方と極
めて小さく作業効率の向上は難しかったが、本発明によ
れば、かかる欠点は一挙に解決される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用して好適な半導体ペレット検出分
離装置の要部の路線的正面図、第２図はペレット位置検
出機構の載置部の例を示す第１図中■−■線に沿う縦断
面図、第３図Ａ及びＢは夫夫ホルダーの一例及び他の例
を示す第２図中ｍ−■線に沿う拡大平面図、第４図は半
導体ペレット検出分離装置の動作の説明に供する要部の
路線的正面図、第５図はペレット移送機構のコレットヘ
ッド部の例を示す縦断面図、第６図、第８図及び第１０
図Ａ、Ｂ、Ｃは夫々半導体ペレットの検出分離の動作の
説明に供する説明図、第７図は第６図中■−■線に沿う
平面図、第９図は第８図中■−■線に沿う平面図である
。 １は半導体ペレット検出分離装置、２はペレット位置検
出機構、３はペレット分離機構、４はペレット移送機構
、９は発光部、１５は半導体ペレット、１６はベースフ
ィルム、３０は突上げ体、３１はホトトランジスタ、３
２はホルダ、３３は剥離ピン、３４はＬ字状溝、４０は
コレットヘッド部、４２は吸着筒、４３はベースフィル
ム抑え部である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ベースフィルム面に貼着された半導体ベレットの上
   下方向の一側には発光部を配設し、他側には光電変換素
   子を配設して半導体ベレットの位置を検出する如く構成
   すると共に、上記発光部又は光電変換素子の側に、上記
   半導体ベレットを押圧する剥離ピンと該剥離ビンの周囲
   に上記発光部の光束を通過させる透孔部を一体的に形成
   した突き上げ体を配設し、真空チャックと該真空チャッ
   クの周囲に配された上記ベースフィルムの抑え部を有す
   るコレットヘッド部を上記半導体ベレットを挾んで上記
   突き上げ体と反対側に配設したことを特徴とする半導体
   ペレット検出分離装置。