JPS58114833A - ワ−ク吸脱着装置 - Google Patents
ワ−ク吸脱着装置Info
- Publication number
- JPS58114833A JPS58114833A JP21285481A JP21285481A JPS58114833A JP S58114833 A JPS58114833 A JP S58114833A JP 21285481 A JP21285481 A JP 21285481A JP 21285481 A JP21285481 A JP 21285481A JP S58114833 A JPS58114833 A JP S58114833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- work piece
- chuck table
- workpiece
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は硬脆材料、半導体、金属等をホイールを使用し
て所定の大きさに切断、又はダイシングする加工装置の
ワーク吸脱着装置に関するものである０すなわち、この
分野におけるホイールによる切断、ダイ７ング方法の原
理は第１図に示す通り、テーブル１の上にワーク２を載
置しテーブル１に対して、ホイール３の高さを一定に保
ち、ホイール３もしくはテーブル１を所定の送り速度で
移動距離を駆動させる。従ってホイール３の先端のダイ
ヤモンド刃でワーク２に直線的な切断溝又は切込み溝を
形成する。
て所定の大きさに切断、又はダイシングする加工装置の
ワーク吸脱着装置に関するものである０すなわち、この
分野におけるホイールによる切断、ダイ７ング方法の原
理は第１図に示す通り、テーブル１の上にワーク２を載
置しテーブル１に対して、ホイール３の高さを一定に保
ち、ホイール３もしくはテーブル１を所定の送り速度で
移動距離を駆動させる。従ってホイール３の先端のダイ
ヤモンド刃でワーク２に直線的な切断溝又は切込み溝を
形成する。
この場合、ワークを吸着する方法としては、一般に真空
による吸着方法であり、第２図にその吸着方法を説明す
る。ベース２１上に固定台２２が固定され、この固定台
２２の上にはスライドテーブル２３が具備されている。
による吸着方法であり、第２図にその吸着方法を説明す
る。ベース２１上に固定台２２が固定され、この固定台
２２の上にはスライドテーブル２３が具備されている。
スライドテーブル２３上には真空チャックテーブル２４
が設けられ、固定台２２上をスライドテーブル２３と一
体となって駆動する。この構成によりまずワーク２６を
真空チャックテーブル２４上に取付けるが、この時電磁
弁２６、真空発生装置２了及びフィルター２８は真空チ
ャックテーブル２４へ配管によって連結−されている０
その後、電磁弁２６を開に作動させ圧力空気を配管内を
通過させ、更に真空発生装置２７内を通過させることに
よって真空発生装置２７と真空チャックテーブル２４と
の間は真空となりワーク２６は真空吸着される。又、ワ
ーク２６の載った真空チャックテーブル２４と真空発生
装置２了との間にはフィルター、２８が設けられていて
ワーク２６側からのゴミ及びミストなどが真空発生装置
２７内へ流入するのを防止している。以上の動作によっ
てワーク２６を真空吸着させ、スライドテーブル２３を
モータなどにより駆動させホイール２９によって加工を
行なう。加工終了後はワーク２６を脱着するが、これは
電磁弁２６を閉に作動させ圧力空気の流入を切ってしま
い真空発生装置２７が作動しないようにしてワーク２５
の脱着を行う。この吸着方法はワークを直接、真空チャ
ックテーブル２４の吸着面へ載置し切込み溝の加工が行
える。しかし、この真空吸着では真空吸着したワークを
加工終了後、脱着する際、以下の欠点がある。すなわち
電磁弁２６を閉に作動させ圧力空気の流入を切り、真空
発生装置２７内への流入を切っても、真空チャックテー
ブル２４、フィルター２８、真空発生装置２７及び配管
の内部が真空状態となっている為に、ワーク２６の取り
外しが容易ではなく、不用意に負荷を加えて取り外そう
とすればワーク２６がホイール２９に衝突してホイール
２９が破損したり、又ホイールカバーあるいはテーブル
カバー等に衝突してワーク２６が割れたり、欠けたりし
て不良となるなどの欠点があった。
が設けられ、固定台２２上をスライドテーブル２３と一
体となって駆動する。この構成によりまずワーク２６を
真空チャックテーブル２４上に取付けるが、この時電磁
弁２６、真空発生装置２了及びフィルター２８は真空チ
ャックテーブル２４へ配管によって連結−されている０
その後、電磁弁２６を開に作動させ圧力空気を配管内を
通過させ、更に真空発生装置２７内を通過させることに
よって真空発生装置２７と真空チャックテーブル２４と
の間は真空となりワーク２６は真空吸着される。又、ワ
ーク２６の載った真空チャックテーブル２４と真空発生
装置２了との間にはフィルター、２８が設けられていて
ワーク２６側からのゴミ及びミストなどが真空発生装置
２７内へ流入するのを防止している。以上の動作によっ
てワーク２６を真空吸着させ、スライドテーブル２３を
モータなどにより駆動させホイール２９によって加工を
行なう。加工終了後はワーク２６を脱着するが、これは
電磁弁２６を閉に作動させ圧力空気の流入を切ってしま
い真空発生装置２７が作動しないようにしてワーク２５
の脱着を行う。この吸着方法はワークを直接、真空チャ
ックテーブル２４の吸着面へ載置し切込み溝の加工が行
える。しかし、この真空吸着では真空吸着したワークを
加工終了後、脱着する際、以下の欠点がある。すなわち
電磁弁２６を閉に作動させ圧力空気の流入を切り、真空
発生装置２７内への流入を切っても、真空チャックテー
ブル２４、フィルター２８、真空発生装置２７及び配管
の内部が真空状態となっている為に、ワーク２６の取り
外しが容易ではなく、不用意に負荷を加えて取り外そう
とすればワーク２６がホイール２９に衝突してホイール
２９が破損したり、又ホイールカバーあるいはテーブル
カバー等に衝突してワーク２６が割れたり、欠けたりし
て不良となるなどの欠点があった。
本発明は、真空発生装置からの圧力空気を外気に排出す
る通路に弁を設けるものである。すなわち、この弁が開
弁している時真空チャックテーブルは真空状態であるが
、ワークを真空チャックテーブルから脱着したい時は、
閉弁することにより、圧力空気を外気に排出させず、真
空チャックテーブルに導入するものである。このため、
ワークの脱着が容易である。
る通路に弁を設けるものである。すなわち、この弁が開
弁している時真空チャックテーブルは真空状態であるが
、ワークを真空チャックテーブルから脱着したい時は、
閉弁することにより、圧力空気を外気に排出させず、真
空チャックテーブルに導入するものである。このため、
ワークの脱着が容易である。
以下、本発明の一実施例を第３図、第４図により
１：説明する。４１はテーブルであり、このテー
ブル゛４１の上に固定台４２が固定され、この固定台４
２の上には左右に駆動するスライドテーブル４３が設け
られている。このスライドテーブル４３には真空チャッ
クテーブル４４が設けられており、真空チャツクテーブ
ル４４上面には切込み溝加工の場合のワーク４６又は切
断加工の場合のワーク４５の貼付けられたペース４６の
位置決め用の位置決めビン４７があり、この位置決めピ
ン４７にワーク４６又はペース４６を押し当て位置決め
する。
１：説明する。４１はテーブルであり、このテー
ブル゛４１の上に固定台４２が固定され、この固定台４
２の上には左右に駆動するスライドテーブル４３が設け
られている。このスライドテーブル４３には真空チャッ
クテーブル４４が設けられており、真空チャツクテーブ
ル４４上面には切込み溝加工の場合のワーク４６又は切
断加工の場合のワーク４５の貼付けられたペース４６の
位置決め用の位置決めビン４７があり、この位置決めピ
ン４７にワーク４６又はペース４６を押し当て位置決め
する。
この後真空チャックテーブル４４の固定されたスライド
テーブル４３をモータなどで送り機構によって駆動させ
所定の切込み溝加工あるいは切断加工をホイール４８に
よって行う。第４図に真空吸着原理の空気回路部の構成
を示す。４９は電磁弁であり、真空発生装置６ｏの仕様
圧力に調整して圧力空気を通過させ、更に真空発生装置
６ｏ内を通過させ消音のための排気マフラー５１を通っ
て外部へ空気を排出させる。この排気マフラー６１の代
わりに配管を使用して空気を外部へ排出させてもよい。
テーブル４３をモータなどで送り機構によって駆動させ
所定の切込み溝加工あるいは切断加工をホイール４８に
よって行う。第４図に真空吸着原理の空気回路部の構成
を示す。４９は電磁弁であり、真空発生装置６ｏの仕様
圧力に調整して圧力空気を通過させ、更に真空発生装置
６ｏ内を通過させ消音のための排気マフラー５１を通っ
て外部へ空気を排出させる。この排気マフラー６１の代
わりに配管を使用して空気を外部へ排出させてもよい。
６２はワーク４５又はペース４６が吸着されたかどうか
を検出する吸着確認用のスイッチである。真空発生装置
６０には圧力空気供給口、空気排出口及び真空吸引口が
具備されており、真空吸引口側はフィルター６４と連結
しているとともに、フィルター６４は史に真空チャック
テーブル４４と連結している。真空発生装置５０により
発生した真空によって、真空チャックテーブル４４に載
置されたワーク４６又はワーク４５の貼付けられたベー
ス４６を吸引することにより、真空チャックテーブル４
４の一ト面へいずれかが吸着されることとなる。その後
、ワーク４５をホイール４８により加工を行なうため、
所定巾寸法あるいは深さ寸法にホイール４８の位置を位
置決めし、スライドテーブル４３を駆動させ切込み溝あ
るいは切断溝の形成を行う。切込み溝加工の場合はワー
ク４６のみを吸着させて、所定のピンチ送りで切込み溝
を形成する。切断加工の場合はワーク４６の貼付けられ
たベース４６を吸着させ、所定のピッチ送りで、深さ方
向にはベース４６まで切込んで方法は電磁弁４９を開に
作動して圧力空気は流入させた壕まで、真空発生装置６
０と排気マフラー６１との間へ弁６３を設け、ワーク脱
着の際、この弁６３を瞬時閉じて圧力空気を真空チャッ
クテーブル４４側へ噴出させる構造となっており、圧力
空気を真空チャックテーブル４４のワーク吸着面に噴出
させることにより、ワーク及びワークの貼付けられたベ
ースは押し上げられることとなって簡単に真空チャック
テーブル４４から取り外すことができる。
を検出する吸着確認用のスイッチである。真空発生装置
６０には圧力空気供給口、空気排出口及び真空吸引口が
具備されており、真空吸引口側はフィルター６４と連結
しているとともに、フィルター６４は史に真空チャック
テーブル４４と連結している。真空発生装置５０により
発生した真空によって、真空チャックテーブル４４に載
置されたワーク４６又はワーク４５の貼付けられたベー
ス４６を吸引することにより、真空チャックテーブル４
４の一ト面へいずれかが吸着されることとなる。その後
、ワーク４５をホイール４８により加工を行なうため、
所定巾寸法あるいは深さ寸法にホイール４８の位置を位
置決めし、スライドテーブル４３を駆動させ切込み溝あ
るいは切断溝の形成を行う。切込み溝加工の場合はワー
ク４６のみを吸着させて、所定のピンチ送りで切込み溝
を形成する。切断加工の場合はワーク４６の貼付けられ
たベース４６を吸着させ、所定のピッチ送りで、深さ方
向にはベース４６まで切込んで方法は電磁弁４９を開に
作動して圧力空気は流入させた壕まで、真空発生装置６
０と排気マフラー６１との間へ弁６３を設け、ワーク脱
着の際、この弁６３を瞬時閉じて圧力空気を真空チャッ
クテーブル４４側へ噴出させる構造となっており、圧力
空気を真空チャックテーブル４４のワーク吸着面に噴出
させることにより、ワーク及びワークの貼付けられたベ
ースは押し上げられることとなって簡単に真空チャック
テーブル４４から取り外すことができる。
以上本発明によれば、脱着の際には、ワークが簡単に増
り外せるので作業能率が向上するばかりでなく、ワーク
或いは砥石も破損する事がなくなって作業も安全である
等の利点がある。
り外せるので作業能率が向上するばかりでなく、ワーク
或いは砥石も破損する事がなくなって作業も安全である
等の利点がある。
第１図はホイールによる切断、ダイシング装置を示す概
略断面図、第２図は従来における真空吸着装置の斜視図
、第３図は同ワーク取付は部の拡大斜視図、第４図は本
発明の一実施例における真空吸着装置の斜視図、第６図
は同ワーク取付は部の拡大斜視図、第６図は同空気回路
部の構成図である。 ４４・・・・・・真空チャックテーブル、４８・・・・
・・ホイール、４９・・・・・・電磁弁、６０・・・・
・・真空発生装置、６３・・・・・・弁。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 第２図 ′ 第 ３ 図 ５
略断面図、第２図は従来における真空吸着装置の斜視図
、第３図は同ワーク取付は部の拡大斜視図、第４図は本
発明の一実施例における真空吸着装置の斜視図、第６図
は同ワーク取付は部の拡大斜視図、第６図は同空気回路
部の構成図である。 ４４・・・・・・真空チャックテーブル、４８・・・・
・・ホイール、４９・・・・・・電磁弁、６０・・・・
・・真空発生装置、６３・・・・・・弁。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 第２図 ′ 第 ３ 図 ５
Claims (1)
- ワークを載置し、かつこのワークを真空により吸引可能
な真空チャックテアプルと、回転可能でかつ前記ワーク
を切断するホイールと、圧力空気を調整する電磁弁と、
この電磁弁からの圧力空気を通過させることにより、前
記真空チャックテーブルからの空気を吸入し、真空チャ
ックテーブルに真空状態を発生させる真空発生装置と、
真空発生装置からの圧力空気を外気に排出する通路に設
けられ、開弁時には真空チャックテーブルが真空状態で
、閉弁時には真空チャックテーブルからワークが脱着す
るより開閉可能な弁からなるワーク吸脱着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21285481A JPS58114833A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | ワ−ク吸脱着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21285481A JPS58114833A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | ワ−ク吸脱着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58114833A true JPS58114833A (ja) | 1983-07-08 |
Family
ID=16629410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21285481A Pending JPS58114833A (ja) | 1981-12-29 | 1981-12-29 | ワ−ク吸脱着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58114833A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6353652U (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-11 | ||
| JPS63166352U (ja) * | 1986-03-24 | 1988-10-28 | ||
| JPH03190639A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワーク吸着離脱装置 |
| FR2700487A1 (fr) * | 1993-01-21 | 1994-07-22 | Aerospatiale | Palette de transport de pièces mécaniques usinées et installation automatisée de contrôle dimensionnel utilisant de telles palettes. |
| JP2008049437A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Okuma Corp | ワーク保持装置 |
| JP2014233796A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5238785B2 (ja) * | 1974-11-18 | 1977-09-30 |
-
1981
- 1981-12-29 JP JP21285481A patent/JPS58114833A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5238785B2 (ja) * | 1974-11-18 | 1977-09-30 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63166352U (ja) * | 1986-03-24 | 1988-10-28 | ||
| JPS6353652U (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-11 | ||
| JPH03190639A (ja) * | 1989-12-19 | 1991-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワーク吸着離脱装置 |
| FR2700487A1 (fr) * | 1993-01-21 | 1994-07-22 | Aerospatiale | Palette de transport de pièces mécaniques usinées et installation automatisée de contrôle dimensionnel utilisant de telles palettes. |
| JP2008049437A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Okuma Corp | ワーク保持装置 |
| JP2014233796A (ja) * | 2013-06-03 | 2014-12-15 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6386466B1 (en) | Cleaning apparatus | |
| JP4874602B2 (ja) | ウエーハの加工方法およびウエーハの加工方法に用いる粘着テープ | |
| JPH09262710A (ja) | ドリルシャンクへの切粉付着防止装置 | |
| JP2016122854A (ja) | ダイシング装置 | |
| WO2008027266A1 (en) | Debris removal system for cutting tools | |
| JPS5953141A (ja) | 切粉吸引装置を備えた切削工具装置 | |
| US20030170082A1 (en) | Multiple-port drill plate and method for debris containment | |
| JPS58114833A (ja) | ワ−ク吸脱着装置 | |
| JP2001277018A (ja) | 穿孔機械の被加工物保持装置 | |
| JP3313997B2 (ja) | パンチプレス用のバリ取り装置 | |
| JPS6137080B2 (ja) | ||
| TW202000329A (zh) | 刀輪清掃機構及刻劃裝置 | |
| JP3180295B2 (ja) | ダイシング装置 | |
| JP2002059361A (ja) | 半導体製造装置及びその製造方法 | |
| JP2018137300A (ja) | 剥離装置 | |
| JP2000308934A (ja) | 真空チャック | |
| JPH08117882A (ja) | プレス金型の除塵装置 | |
| JP2678853B2 (ja) | ウォータージェットによる脆性材料の加工方法 | |
| JPH07276179A (ja) | 工作機械の切屑回収装置 | |
| JPH09162270A (ja) | ウェハのダイシング装置 | |
| JP2003068680A (ja) | 加工液供給機構 | |
| CN214518229U (zh) | 一种镭雕机吸气治具 | |
| CN109664414B (zh) | 刀具切削装置 | |
| JPH0398738A (ja) | 加工機械の切屑除去装置 | |
| JPH04269123A (ja) | 放電加工機の加工屑除去装置 |