JPH03190639A - ワーク吸着離脱装置 - Google Patents

ワーク吸着離脱装置

Info

Publication number
JPH03190639A
JPH03190639A JP1330749A JP33074989A JPH03190639A JP H03190639 A JPH03190639 A JP H03190639A JP 1330749 A JP1330749 A JP 1330749A JP 33074989 A JP33074989 A JP 33074989A JP H03190639 A JPH03190639 A JP H03190639A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solenoid valve
workpiece
polishing liquid
circuit
compressed air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1330749A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0818211B2 (ja
Inventor
Kiyoshi Mayahara
馬屋原 潔
Mamoru Inoue
守 井上
Kenichi Matsumura
憲一 松村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP1330749A priority Critical patent/JPH0818211B2/ja
Priority to US07/627,935 priority patent/US5131191A/en
Priority to KR1019900020865A priority patent/KR910011392A/ko
Publication of JPH03190639A publication Critical patent/JPH03190639A/ja
Publication of JPH0818211B2 publication Critical patent/JPH0818211B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B9/00Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
    • B24B9/02Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
    • B24B9/06Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B9/08Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass
    • B24B9/14Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of glass of optical work, e.g. lenses, prisms
    • B24B9/146Accessories, e.g. lens mounting devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/005Blocking means, chucks or the like; Alignment devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光学レンズ等の球面研磨装置のレンズハンドリ
ングに関するものであり、特にレンズの着脱を自動的に
行なう自動レンズ研磨装置のワーク吸着または離脱を行
なうワーク吸着離脱装置に関するものである。
従来の技術 以下、光学レンズ等の球面研磨に用いられる従来のワー
ク吸着離脱装置について図面を参照して説明する。
第3図は従来のワーク吸着離脱装置の構成図である。
1はワーク(レンズ)であり、ホルダー2に供給される
空気圧によって吸着あるいは離脱される。
3はワーク1を吸着するための真空源として使用される
真空ポンプであり前記ホルダー2に配管接続されている
。4は電磁弁であり圧縮空気源5から送られる圧縮空気
の経路と前記真空ポンプ3に接続される真空経路を切換
えてワーク1の吸着離脱を行なうものである。7は検出
器でありホルダー2と電磁弁4との間で分岐され配管接
続されている。9はモニター用の真空計である。10は
圧縮空気の流量を調整するスピードコントローラである
。以上の構成により、電磁弁を切換えることによってワ
ークを吸着あるいは離脱し、また吸着時にはワークの有
無を検出するワーク吸着検出回路を有し、ワークを吸着
して加工工具(図示せず)に加圧して後ワーク吸着状態
から電磁弁を切換えて離脱状態すなわち排気状態にし、
研磨液を加工工具およびワークに向けて供給しながら所
定の時間研磨加工を行なう。加工完了後、前記電磁弁を
吸着状態に切換えワークを吸着し、加工工具から取り外
す自動レンズ研磨装置におけるワーク吸着離脱装置を構
成している。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記のような構成では、繰り返しワーク
研磨を行なううちに、真空回路内に研磨液を吸入し真空
源である真空ポンプ内にまで研磨液を吸入するため、真
空ポンプが破損し、また加工中は真空経路の一部を排気
状態にするため分岐して配設した検出器へワーク吸着時
に吸入した研磨液を送り込む状態になり、検出器を破損
するという欠点を有し、ワーク吸着離脱装置として信頼
性の確保が困難であった。
本発明は上記欠点に鑑み、故障が少なく信頼性の高いワ
ーク吸着離脱装置を提供するものである。
課題を解決するたの手段 上記問題点を解消するための本発明は、電磁切換弁によ
り真空発生源と圧縮空気源を切換え、ワーク吸着検出回
路を備えたワーク吸着離脱装置において、検出回路を開
閉する電磁弁と回路内に研磨液を分離するフィルターと
圧縮空気供給源に流量切換の電磁弁とを備えたものであ
る。
作   用 上記構成によれば、ワークの吸着動作を行ないワークが
吸着されたかどうかを知るに必要なタイミング時にのみ
電磁弁により検出回路を機能させるので、検出器内へ研
磨液が入り込むことを防御し、さらに真空経路内に空気
の流速を低下させて研磨液を分離するフィルターを設け
ているので、研磨液の吸入を防御することにより、研磨
液による機器の故障の発生をなくすことができる。
実施例 以下本発明の一実施例によるワーク吸着離脱装置につい
て図面を参照しながら説明する。
第1図は実施例の空気配管回路図を示すものである。1
はワークであり、ホルダー2に供給される空気圧により
吸着あるいは離脱される。3はワークを吸着するための
真空源として使用される真空ポンプであり、前記ホルダ
ー2に配管接続されている。4は電磁弁であり圧縮空気
源5から送られる圧縮空気の経路と前記真空ポンプ3に
接続される真空経路を切換えてワーク1の吸着離脱を行
なうものである。7は検出器であり、ホルダー2と電磁
弁4との間で分岐され電磁弁8を介して配管接続されて
いる。9はモニター用の真空計である。10.11はス
ピードコントローラであり、電磁弁4と圧縮空気源5の
間に並列に配管接続され、12は前記電磁弁4とスピー
ドコントローラ11の間に配管接続された電磁弁である
。13゜14はエアーフィルターであり真空経路内に配
管接続され、空気の流速を低下させて吸入された研磨液
を分離する。
以上のように構成されたワーク吸着離脱装置について、
以下第1図および第2図を用いてその動作を説明する。
まず第2図は、ワーク吸着離脱装置の動作をタイミング
線図を用いて示すものである。
研磨工程は、ワーク吸着離脱装置により、ワーク1をホ
ルダー2に吸着保持し、加工工具に加圧するまでの吸着
ハンドリング工程、研磨液をワークに向けて供給しなが
ら研磨を行なう加工工程、加工されたワークを吸着し加
工工具から取り出す吸着ハンドリング工程、ワークをホ
ルダーから取り出す工程で1工程が構成されている。
未加工のワーク1を吸着ハンドリングする工程において
、電源投入で連続運転を開始する真空ポンプ3に配管接
続されたホルダー2へ未加工ワークが供給され、電磁弁
4をOFF状態にするとワークを吸着する真空回路が構
成され、また同時に電磁弁8をON状態にすることによ
り、検出回路が構成される。この時ホルダー2かつ正し
くワーク1を吸着保持すれば検出スイッチ7が真空圧を
検知して作動しON状態となるので、電磁弁8の通電を
切り次工程へ進む。前記電磁弁8はタイマーで時間管理
され、ワークを吸着して後の一定時間内に検出スイッチ
7がONI、ない場合は次工程に進まないように制御さ
れている。吸着ハンドリングが完了すると電磁弁4をO
Nとし、真空回路から圧縮空気回路に切換える。
また電磁弁4をONとして真空回路を断ち同時に電磁弁
12をOFFにして圧縮空気回路に切替える。このこと
によりホルダー2へはスピードコントローラ10を通過
した圧縮エアーが供給されホルダー2がワーク1の吸着
から離脱に切替り、ワークは研磨加工工程に移る。
尚、スピードコントローラ10はスピードコントローラ
11に対して流量が著しく絞られた状態に調整されてい
る。研磨加工工程が完了すると、電磁弁4をOFFとし
て真空回路に切替え、同時に電磁弁8をONにして真空
回路の構成と検出回路を構成し、加工されたワーク1を
ホルダー2により吸着しワーク1を取り出す。この時、
検出スイッチ7がONすると同時に電磁弁8がOFFと
なり回路を遮断する。この吸着時に研磨液が真空経路内
に吸入されるが、吸入された研磨液は真空経路内に設け
られた、フィルター13により分離される。
加工が完了したワーク1を吸着ハンドリングした後、ホ
ルダー2からワーク1を取り出すため電磁弁4をONと
し、同時に電磁弁12をONすることにより、真空回路
から圧縮空気回路に切り換えられスピードコントローラ
10.11を通過した圧縮空気がホルダー2へ供給され
、加工完了したワーク1をホルダー2より取り出すこと
ができる。
各工程における電磁弁4、電磁弁8、検出スイッチ7、
電磁弁12の0N10FF状態の相互関係およびホルダ
ー2におけるエアブロ−状態は第2図に示す通りである
尚、実施例において真空源を真空ポンプ3としたが真空
゛ポンプ以外の真空源を用いてもよい。また研磨液を流
速差を利用して分離するためにフィルター13.14と
したが、配管チューブ容量より容積の大きな密閉容器を
接続しても同様の効果が得られる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、ワークの吸着状態を検出
する検出回路を開閉する手段と、回路内で加工液を分離
する手段と、圧縮空気の流量切換え手段とを備えたこと
により吸着検出を行なう検出器および真空ポンプ等への
加工液の流入を防止して機器の故障をなくすものであり
、特に全自動のレンズ研磨装置のワーク吸着離脱装置と
して高い効果を得るものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例におけるワーク吸着離脱装置
の構成図、第2図は同回路の動作を表すタイミング線図
、第3図は従来のワーク吸着装置の構成図である。 1・・・・・・ワーク、2・・・・・・ホルダー、3・
・・・・・真空ポンプ、4・・・・・・電磁弁、5・・
・・・・圧縮エアー源、7・・・・・・検出スイッチ、
8・・・・・・電磁弁、12・・・・・・電磁弁、13
.14・・・・・・エアーフィルター1−−−’7−タ 3−1−菓tごUフ 10−一−スピードコント叶ル 13、fイー−−フイルク

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  電磁切換弁により真空発生源と圧縮空気源を切換え、
    ワーク吸着検出回路を備えたワーク吸着離脱装置におい
    て、検出回路を開閉する電磁弁と、回路内に加工液を分
    離するフィルターと圧縮空気供給源に流量切換の電磁弁
    とを備えたことを特徴とするワーク吸着離脱装置。
JP1330749A 1989-12-19 1989-12-19 ワーク吸着離脱装置 Expired - Fee Related JPH0818211B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1330749A JPH0818211B2 (ja) 1989-12-19 1989-12-19 ワーク吸着離脱装置
US07/627,935 US5131191A (en) 1989-12-19 1990-12-17 Fluid circuit for work handling apparatus
KR1019900020865A KR910011392A (ko) 1989-12-19 1990-12-18 공작물 흡착이탈장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1330749A JPH0818211B2 (ja) 1989-12-19 1989-12-19 ワーク吸着離脱装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03190639A true JPH03190639A (ja) 1991-08-20
JPH0818211B2 JPH0818211B2 (ja) 1996-02-28

Family

ID=18236124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1330749A Expired - Fee Related JPH0818211B2 (ja) 1989-12-19 1989-12-19 ワーク吸着離脱装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5131191A (ja)
JP (1) JPH0818211B2 (ja)
KR (1) KR910011392A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014039973A (ja) * 2012-08-21 2014-03-06 Haruchika Seimitsu:Kk ワーク着脱方法およびレンズの加工・搬送装置
CN104440310A (zh) * 2014-12-02 2015-03-25 竹昌精密冲压件(上海)有限公司 一种数控机床自动吸真空装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103659513A (zh) * 2012-08-31 2014-03-26 昆山冠益玻璃有限公司 一种玻璃磨边机吸盘
NL2012565B1 (en) * 2014-04-03 2016-03-08 Rijk Zwaan Zaadteelt En Zaadhandel Bv Device and system for obtaining a sample of plant material.

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58114833A (ja) * 1981-12-29 1983-07-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd ワ−ク吸脱着装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4993200A (en) * 1986-03-11 1991-02-19 Kawasaki Steel Techno-Research Corp Pollution free blaster system and blaster head therefor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58114833A (ja) * 1981-12-29 1983-07-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd ワ−ク吸脱着装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014039973A (ja) * 2012-08-21 2014-03-06 Haruchika Seimitsu:Kk ワーク着脱方法およびレンズの加工・搬送装置
CN104440310A (zh) * 2014-12-02 2015-03-25 竹昌精密冲压件(上海)有限公司 一种数控机床自动吸真空装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5131191A (en) 1992-07-21
JPH0818211B2 (ja) 1996-02-28
KR910011392A (ko) 1991-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070058982A (ko) 워크 반송 장치 및 워크 반송 방법
JP4346935B2 (ja) 真空チャック装置
TWI651164B (zh) 加工裝置
JPH11165869A (ja) 半導体ウェーハ整列システムおよびこれを利用したウェーハ整列方法
JPH03190639A (ja) ワーク吸着離脱装置
JP2000252187A (ja) 基板保持装置およびそれを用いた基板処理装置
JP4785549B2 (ja) 吸着装置および切断装置
JPH04326546A (ja) 真空吸着装置および真空吸着装置の制御方法
US6592679B2 (en) Clean method for vacuum holding of substrates
JP2015016515A (ja) 工作機械システムおよび工作機械の制御方法
JP2007319960A (ja) 真空吸着装置、搬送装置、及び成形品取出機
JP3216184U (ja) 高低圧の空気吹出により分離する真空吸着装置
JPH08309684A (ja) 排気流量調整機構付き真空吸着装置
JP2006068971A (ja) 成形品取出装置
JPH1080887A (ja) 吸着式高速ロボットハンドシステム
JP2019162710A (ja) クランプシステム、クランプ方法およびクランプ装置
CN219066792U (zh) 气路自保持机构和加工设备
CN112071797A (zh) 用于晶圆载置的真空吸盘系统
JPH04199655A (ja) 真空吸着基板保持装置の真空配管
JPS63127844A (ja) 真空吸着装置
JP4292164B2 (ja) 吸着検出方法および吸着検出装置
CN211605127U (zh) 用于晶圆载置的真空吸盘系统
CN117697503B (zh) 一种负压吸附式夹具系统、工件加工设备及方法
JPH05285765A (ja) 真空チャックによるワーク固定方法
JP2000308934A (ja) 真空チャック

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees