JPS58113805A - 案内誤差の検出・修正方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の属する技術分野 本発明は、被案内体の座標測定値に位置に依存する修正
をほどこす案内誤差の検出・修正方法及び装置に関する
。更に本発明は、被案内体の座標測定値に位置に依存す
る修正をほどこし、修正に使用される誤差値を本来の測
定過程前に決定する案内誤差の検出・修正方法に関する
。

本発明により、案内誤差が検出され、被案内体の位置決
め精度に及ぼす案内誤差の影響が補償される。

理論的には１個々の案内の際、５つの相異なる案内誤差
が生じうる。即ち、案内方向に対して平行な軸線及び案
内方向に対して垂直な２本の軸線の各々を中心として、
被案内体に６つの旋回（捩れ）が生じうる。更に案内方
向に対して垂直な前記２本の直交軸線に沿い、被案内体
に直線的な変位（ずれ）が生じうる。カロえて、案内方
向における被案内体の位置決めに使用する測定スケール
は、ピッチ誤差をともなうこともありうる。

これらの案内誤差は２つの類に分類することができる。

即ち、第１類は、所謂長い周期の案内誤差である。この
種の案内誤差は主として、案内面の平面度誤差や荷重の
変動にともなう案内要素（支承部及び案内体）の変形に
起因して生ずる。第２類は、短い周期の案内誤差である
。

この種の案内誤差は一般に、再現不能な特性を呈する。

いずれの類の案内誤差も、案内体の設計・構造に応じて
異なるものの、位置決め精度に悪影響を及ぼす。例えば
空気軸受を用いた案内系では短い周期の案内誤差はほと
んど無視できる程度であるが、ころがり軸受を用いた案
内系では短い周期の案内誤差は案内誤差全体に対し極め
て大きい割合を占める。

案内誤差の影響を補償するため、原理的には２つの方法
が考案されている。即ち案内誤差自体を補償する方法か
、又は案内誤差を検出して被案内体の位置のだめの測定
結果を修正する方第２２３１６４４号明細書、ドイツ連
邦共和国特許出願公告第１１５７８７７′号明細書、同
特許第１９１５９４０号明細書、同特許出願公開公報第
￥６４７１４７号記載の発明が採用するところである。

しかしかかる方法では、機械的（７） な費用・手間が高くつく。何故なら、著しい荷重にさら
される案内要素に精密な修正動作を強いることになるか
らである。

自動的に動作するプログラム制御を用い、被案内体の座
標測定値に位置に依存する修正をほどこす方法は、ドイ
ツ連邦共和国特許 第１６６８０６２号明細書から公知である。修正のため
に使用される誤差値は、本来の測定過程前に決定され、
表の形式でコンぎユータに記憶される。次いで記憶され
た値は、プログラムの制御命令の修飾に使用され、被案
内体はこの制御命令により自動的に位置決めされる。

しかし上記形式のプログラム制御は電子技術上比較的費
用・手間がかさむ。何故なら複数座標における位置決め
のためには、複数次元のデータアレイを修正のだめに記
憶しておかなければならないからである、っ機器のだめ
の制御命令を修正値から導出するので、機器の動作速度
は計算速度に依存する。

案内誤差を検出して被案内体の位置のための（８） 測定結果を修正するという第２の方法は、ドイツ連邦共
和国特許第１９６４４７０号明細書及び同特許出願公開
第２２４８１９４号明細書に記載された装置に関連して
取シ扱われている。

ドイツ連邦共和国特許第１９６４４７０号明細書では、
案内誤差を検出するために機器のすべての移動軸線に望
遠鏡系の光学系を配備し、これらの光学系が各々２つの
マーク対若しくはスケールを相手に結像し合うようにす
る。これらの望遠鏡系の光学結像系には、充分に高い解
像力を得るために、比較的大きいアパーチャを設けなけ
ればならない。しかしこれらの望遠鏡系の光学結像系の
配備は、高価・煩雑であるだけでなく、機器の寸法を著
しく増大せしめる。

これは一般には好ましくない。

ドイツ連邦共和国特許出願公告第２２４８１９４号明細
書に記載された門形測定機器は、門の移動方向で測定を
行なう２つのスケールを具備している。これらのスケー
ルは１つずつ、門の２本の脚柱のいずれかに配属されて
いる。しかしこのような構成によっても、垂直軸線を中
心とする門の捩れを検出しうるに過ぎず、案内方向に対
し垂直な変位は検出しえない。付カロ的にスケールを設
ければ、機器がそれだけ高価になってし捷う。

発明の目的 本発明の課題は、比較的に製造が簡単・安価で例えば座
標測定機器への使用に適する、案内誤差を検出し被案内
体の位置決めに及ぼす案内誤差の影響を修正する方法及
び装置を提供することである。

発明の構成と効果 本発明によればこの課題は次のようにして解決される。

即ち案内体に沿い移動可能な部分に設けた少なくとも２
つの付加測定装置により、移動方向に延在する基準線に
対する間隔を測定し、案内誤差を検出し、付加測定装置
の出力信号を座標測定装置の出力信号と結合し、案内誤
差の修正を行なうのである。

本発明の基本的課題を解決するため、更に本発明によれ
ば、測定された誤差値から近似関数を計算し、この近似
関数をコンピュータに記憶し、被案内体に結合されコン
ピュータに結合された測定装置の測定値を持続的に修正
するだめに、前記近似関数を使用し、次いでこのように
して修正された前記測定値を指示若しくは記録ユニット
に供給するのである。

かくして、例えば実質的に個々の軸線の測定領域全域に
延在する設定位置規準に対し測定機器の測定検出子を走
行移動させることにより、案内誤差に依存して生ずる例
えば測定機器の検出ヘッドの位置誤差を、一般に、測定
機器の最終調整後たった１回検出することにとどまる。

次いで目標値からの測定結果の検出誤差値から、近似関
数を算出する。この近似関数はほとんど記憶場所を必要
としない。各測定過程で、この近似関数は測定値の修正
に使用されるべく準備されている。その場合、修正関数
を比較的長い時間間隔をおいて反復してあらたに導出し
、例えば摩耗に基く案内誤差を修正できるようにすれば
好適である。

以上の方法は、長い周期の案内誤差による影響を修正す
る場合に適切であシ、案内方向で測定を行なうスケール
のピッチ誤差をも考慮できるというメリットがある。上
記方法の他のメリットとして、機器制御への干渉や構造
的変更を必要とせずに方法の実施が可能であることを指
摘することができる。熱論、測定値の修正にはある程度
の計算時間が必要となる。しかし一般には、この程度の
計算時間は機器の動作速度に影響を及ぼすことはない。

測定機器の動作速度は、本来の測定値検出過程よりも、
むしろ測定すべき点に到達するために要する時間により
決せられる。評価に用いる計算プログラムを適当に編成
すれは、測定すべき点に到達するまでの走行時間の間に
、修正値を先行の測定結果に作用させることが可能とな
る。

ところで、すべての考えうる修正を実施することは必要
ではない。例えば門形構成の測定機器の場合には、案内
軸線を中心とした門の捩れを修正することはそれ程重要
ではない。何故なら門により形成される基底が大きいの
で、かかる門の捩れはほとんど問題にならないからであ
る。他方、垂直軸線を中心とする捩れを考慮することは
必要である。この場合、門により形成される基底が小さ
く、門の幅によシ生ずるでと作用があるため、測定精度
に及ぼすこれらの影響が増大するからである。

既述のように本発明の基本的課題を解決するため、本発
明によれば、案内体に沿い移動可能な部分に設けた少な
くとも２つの付加測定装置によシ、移動方向に延在する
基準線との間隔を測定し、案内誤差を導出し、該付加測
定装置の出力信号を座標測定装置の出力信号と結合して
案内誤差の修正を行なう。

上記方法によれば、検出すべき案内誤差は、経常的に即
ち各測定の際に、２つ又は６つ以上の付加測定装置によ
シ検出される。上記方法のメリットは、再現不可能な特
性を呈する短い周期の案内誤差をも検出できることにあ
る。この方法を実施するだめの装置の費用は比較的安価
である。例えば検出すべき各案内誤差に対し、市販され
ている形式の付加検出子を各１つ設けさえすればよく、
ドイツ連邦共和国特許出願公告第２２４８１９４号明細
書記載の測定機器の場合のように完全な測長システムを
必要としないからである。

その場合、基準線自体を高い精度の設定直線規準として
形成する必要はいササかもない。むしろ安価に製作され
る基準線を使用し、設定直線規準に対する測定で一度検
出された誤差を、近似関数の形で記憶し、付加測定装置
の測定値の持続的な修正にこの近似関数を使用すること
が好適である。本発明の課題解決のために本発明により
提案された既述の２つの方法を併用することにより得ら
れる修正方法では、比較的安価な費用の下で、極めて高
い機器精度を達成することができる。何故なら基準線と
して例えば機器の既存の案内面を使用することができ、
付加検出子の端部をこの案内面に当接させればよいから
である。

本発明の他の実施例によれば、ブリッジの両側に各々１
つの駆動部を設け、移動方向に垂直に移動可能な少なく
とも２つの付加検出子を被案内体で支持しかつ被案内体
の移動領域に延在する基準面を案内体に対し平行に配設
しかつ付加検出子の端部を基準面に当接せしめて本発明
の方法を実施する位置誤差の影響の補償装置を構成して
装備したブリッジ形構造の座標測定機器において、ブリ
ッジの両側のいずれか少なくとも一方に２つの付加測定
装置を設け、ブリッジと移動方向に延在する基準線との
間隔を該付加測定装置で測定し、ブリッジの横方向案内
体に短かい基底を設け、これによシ垂直軸線を中心とし
たブリッジの小さい捩れが自由に生ずるようにした。

本発明は、被案内機器部分の位置決め精度に及ぼす案内
誤差の影響を除去する方法を提供するものであシ、測定
結果に案内誤差に依存する修正をほどとすことにより実
現している。

本発明の方法によれば、検出すべき機器の案内誤差が検
出され、修正関数により近似される。

修正関数は機器のコンピュータに記憶される。

後続の測定で、座標測定装置の誤差をともなう測定結果
が、この修正関数により修正される。

本発明の他の方法によれば、機器の移動部分に付加測定
装置を設け、案内体に平行に配設された基準面との間隔
を、付方ロ測定装置で測定する。この付加測定装置で、
測定過程中案内誤差が持続的に検出される。

測定機器のコンざユータに付加測定装置の出力信号を加
え、座標測定装置の誤差をともなう測定結果を修正する
。

付加測定装置としては例えば市販の誘導検出器を使用し
て案内体に平行な面に当接せしめるか、又は光電式略字
測定系を使用してスケールを検知せしめる。そしてこの
スケールの目盛りを案内方向に平行に付し、案内体の全
長にわたり延在せしめる。

実施例の説明 次に本発明を実施例につき図面により詳細に説明する。

第１図は、縦方向案内の略図である。第１図では５つの
案内誤差が略示されている。これらの誤差は、案内体１
に沿ってＸ方向に移動可能な被案内体２に生じうる誤差
である。即ちΔ７は横方向の変位であり、Δ２　は高さ
方向の変位であり、Ｄｘ　は案内縦軸線Ｘを中心にした
捩れであり、Ｄｚ　　は垂直軸線を中心にした捩れであ
り、Ｄｙ　　はＹ軸線を中心にした捩れである。

これらすべての案内誤差は、Ｘ方向における被案内体２
の位置に依存して、被案内体２の位置に影響を及ぼす。

第２図は、案内誤差の補償のだめの修正関数の経過を例
示する。第２図では、案内体１の横方向案内の非直線性
に基く周期の長い被案内体２の変位Δ７　を、移動領域
Ｘに対してプロットしである。第２図の実線３は、変位
内　の実測経過を例示したもので、実線３で示す変位内
はろμの値にまで達する。破線４ば、この実測値に最良
に適合せる８次の補償多項式である。

この補償多項式は、±０．４μ幅の帯状範囲内で実測値
を近似する。かくしてこの補償多項式の係数をコンピュ
ータのメモリに入力として加え、測定プログラムの枠内
で考慮することにより、Ｘ方向案内路の横方向案内誤差
にともない生ずるＹ方向での位置決め誤差を、この修正
関数を用い既述の方法に従うことによって、１オーダ低
減することができるっ 第５図は、案内誤差の検出装置の実施例を示す。第５図
において、案内体１９に沿いＸ方向に移動可能なスライ
ダ１８が略示されている。

このスライダ１８には、案内体１９の非直線性に基いて
、Ｙ方向で変位内　が生じ、図平面に対し垂直な軸線Ｚ
を中心にした捩れＤ２　　が生ずる。但し案内体１９の
非直線特性を、図では誇張して略示しである。スライダ
１８には付加検出子Ｍ１．　Ｍ２が取り付けである。付
加検出子Ｍ０と付加検出子Ｍ２　　との間の間隔はｂで
ある。付加検出子Ｊ　＋　Ｍ２は、Ｘ方向に延在する基
準面１７上を摺動する。

対をなす付加検出子Ｍ工、　Ｍ２によシ、スライダ１８
の変位及び捩れを共通に検出することができる。即ちス
ライダ１８の捩れは、両付加検出子Ｍ１．　Ｍ２の測定
値の差値を間隔すで除算した値から算出される。他方ス
ライダ１８の変位は、付加検出子Ｍ工１Ｍ２の測定値の
平均値から算出される。第６ａ図〜第６ｄ図は、第５図
に略示した付加検出子Ｍ１　、　Ｍ２の測定値の組合せ
例を４つ示す。第６ａ図では、付加検出子Ｍ１の測定値
及び付加検出子Ｍ２　　の測定値の双方が０である。即
ち変位及び捩れのいずれも生じていない。第６ｂ図では
、付加検出子Ｍ□　の測定値と付加検出子Ｍ２　　の測
定値は、極性及び絶対値の双方で一致する。従って変位
のみが生ずる。

第６Ｃ図では、付加検出子Ｍ１　　の測定値と付加検出
子Ｍ２　　の測定値は、絶対値が相等しいが、極性が相
異なる。従って捩れのみ生ずる。第６ｄ図では、付加検
出子１Ｊエ　の測定値と付加検出子Ｍ２　　の測定値は
、極性及び絶対値の双方で相異なる。従って変位及び捩
れの双方が生じている。実際には、主として第６ｄ図に
略示した例が多いようである。

第６図及び第４図は、案内誤差検出装置を具備した測長
系の相対的に可動な２つの部分を示す。第６図において
、長手方向に延在する支持体（案内体）９の面９ａ、９
ｂ及び下面（図示されていない）には、それぞれ、縦方
向に延在する直線（測長スケール）の群６〜８が設けら
れている。このような設定直線規準によシ、案内のすべ
ての誤差を検出できる。即ち第４図の５つの読取ヘッド
１２〜１６を、案内方向Ｘの方向に延在する直方体の支
持体９の個所Ａ−Ｅに配設すれば、既述の６つの捩れ販
、　Ｄｙ、　Ｄ２及び変位勾、Δ２を検出することがで
きる。

これらの読取ヘッド１２〜１６は、第４図に図示したＵ
字形ケーシング１０に収容され、公知の形式の光電式格
子測定系を具備している。

支持体９の点Ａ／’Ｂ、Ｃ／Ｄ、Ａ／Ｅに配設された読
取ヘッド１２〜１６により、６つの直交立体座標軸ｘ、
ｙ、ｚを中心とする被案内体１０の捩れを検出すること
ができる。即ち第５図及び第６図につき説明したように
、個７ｇＴＡとＢ、個所ＣとＤ、個所ＡとＥにおける読
取ヘッドの測定値の差値を導出し、間隔の値で除算する
のである。

変位Δ９．Δ２を検出するには、既述のように、面９ａ
、９ｂに配設される読取ヘッド１２／１３゜１４／１５
の測定値の平均値を算出しさえすればよい。

更に支持体９には、面９ａ上に線片５で略示したスケー
ルを設けである。このスケールにより、第４図に図示し
たケーシング１０のＸ方向における移動を検出すること
ができる。ケーシング１０に収容された別の適当な読取
装置１１を設ければ、１座標方向での移動を検出しかつ
すべての案内誤差の影響を同時に検出できるコンパクト
な測定系を構成することができる。

かような測定系は、例えば測定機器や加工機器の案内装
置に付加するのに適しており、これによりかかる機器の
位置決め精度を飛躍的に向上させることができる。

更に、かかる測定系を移動可能に構成し、機器の最終調
整段階に配備すれば、高い案内精度が得られる。従来で
は、２つの相異なる装置、即ちレーず干渉計とオートコ
リメーション望遠鏡、を使用して測定機器の案内をチェ
ックしていた。つｔｂ直線性のチェックにはレーず干渉
計を使用し、傾きのチェックにはオートコリメーション
望遠鏡を使用していた。

第７図・第８図は本発明の実施例であるブリッジ形測定
機器を示す。第７図・第８図では、両側駆動の高速測定
機器がブリッジ構造に構成されており、この高速測定機
器には第５図で略示した測定系が装備されている。この
測定機器は４つのスタンド脚部２２〜２５を有する。ス
タンド脚部２２〜２５間には、工作物収容のための台２
１が設けられている。スタンド脚部２２〜２５は２つの
平行な案内レール２６．２７を支持している。２つの空
気軸受対３６ａ。

３６ｂ及び３７ａ、３７ｂ上に塔載されたブリッジ（被
案内体）３８は、案内レール２６゜２７に沿って移動可
能である。ブリッジ３８はスライダ３３に対しては案内
路として作用する。

スライダ３３は垂直方向に可動なスピンドル３４を案内
する。スピンドル３４には検出子３５が取り付けである
。

ブリッジ３８の駆動は２つｎ’ｅニオ７３１　。

３２を介して行なわれる。ピニオン３１　、３２は案内
レール２６．２７に取り付けられたラック２８．２９に
係合する。ブリッジ３８の横方向案内のために、支承部
の対３９ａ、３９ｂを設けである。

Ｖニオン・ランク駆動系のピンチ誤差に基いて、垂直軸
線を中心にしたブリッジ３８の捩れが若干束ずる１っ支
承部３９ａ、３９ｂの基底が小さいので、ブリッジ３８
のこの捩れに抵抗することはない。そこで支承部３９ａ
、３９ｂのリンク作用によって、ブリッジ３８は自由に
傾斜した位置状態におかれることになる。このようにし
て、測定技術上検出の極めて難かしいブリッジ３８の曲
がりを回避することができる。

ブリッジ３８の傾き及び変位を検出するため、ブリッジ
３８にｉ−１：２つの検出子４０．４１を設けである。

検出子４０．４１は支承部３９ｂのだめの案内面におい
て案内レール２６の内側面に当接する。

検出子４０．４１の出力信号は測定機器のコンピュータ
４３に供給される。コンピュータ４３は、測定機器の図
示されていない６つの座標測定装置の測定値ｘｍ　、　
ｙ’ｍ　、　ｚｍ　　をも処理する。検出子４０．４１
の出力信号は適当な計算プログラムの枠内で座標測定装
置の測定値ｘｍ。

ｙｍ　、　ｚｍの修正に使用される。

このコンピュータ４３はメモリ４４を有しており、案内
レール２６の内側面に生ずる純然たる長い周期の直線誤
差が近似関数（第２図）の形でメモリ４４に入力されて
いる。

検出過程では、検出ヘッド３５から導出されるパルスに
より、検出時における座標測定値ｘｍ、　ｙｍ、　ｚｍ
　、が計数器４２からコンピュータ４３に転送される。

付加検出子４０．４１の測定値が記憶された近似関数に
より修正された後、評価プログラムの枠内で、測定値ｘ
ｍ　＋　’Ｙ”は付力日検出子４０．４１の測定値によ
り、第５図につき説明したように修正される。

このようにして２重に修正された測定結果は次いで指示
ユニット２０にディスプレイさ７れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の説明に供する縦方向案内の斜視略図、
第２図は本発明の説明に供する案内誤差補償のだめの修
正関数の１例を示すダイヤグラム、第６図は、本発明の
実施例の案内誤差検出装置を具備する測長系の相対的に
移動可能な２つの部分のうちの一方を示す一部を切欠し
た斜視略図、第４図はその他方の部分の一部を切欠した
斜視略図、第５図は本発明の実施例の案内誤差検出装置
の略図、第６ａ図〜第６ｄ図は第ε図の装置の動作の説
明に供するダイヤグラム、第７図は本発明の実施例のブ
リッジ形測定機器の平面略図、第８図は第７図のブリッ
ジ形測定機器力正面略図である。 Ｘ、縦軸、Δ７．得・・・変位、 販、ＤｙＩ　Ｄ７・・捩れ、　Ｍ工、　Ｍ２・・・付）
ＪＱ検出子、１．１９・・・案内体、２・・１０・・・
被案内体、３・・・勾の実測値、　４・・補償多項式、
９・・・支持体、１２〜１６・・読取ヘッド、１７・・
基準面、２０・・指示ユニット、１８．３３・・スライ
ダ、２６．２７・・・案内レール、３４・・スピンドル
、３５・・検出ヘッド、 ３６　ａ　、　３６　ｂ　、　３７　ａ　、　３７　ｂ
　・−空気軸受、３８・・・ブリッジ、４０．４１・・
・検出子、４２・・・計数器、４３・・・コンピュータ
、４４・・・メモリ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被案内体の座標測定値に位置に依存する修正をほど
   こし、修正に使用される誤差値を本来の測定過程前に決
   定する、案内誤差の検出・修正方法において、 測定された誤差値（３）から近似関数（４）を算出し、
   近似関数（４）をコンピュータ（４３）に記憶し、被案
   内体（３８）に結合されコンピュータ（４３）に結合さ
   れた測定装置の測定値（Ｙ）の持続的修正のために、近
   似関数（４）を使用し、修正された測定値を次いで指示
   若しくは記録ユニットに供給することを特徴とする案内
   誤差の検出・修正方法。 ２、被案内体の座標測定値に位置に依存する修正をほど
   こす案内誤差の検出・修正方法において、 案内体（９，１９）に沿い移動可能な部分（１０，１’
   ８）に設けた少なくとも２つの付加測定装置（１２〜１
   ６　：　Ｍｌ　１　Ｍ２　）により、移動方向（Ｘ）に
   延在する基準線（６〜８；１γ）に対する間隔を測定し
   、案内誤差を検出し、付加測定装置（１２〜１６　；Ｍ
   ｌ　＋　”２　）の出力信号を座標測定装置の出力信号
   と結合し、案内誤差の修正を行なうことを特徴とする、
   案内誤差の検出・修正方法。 ３、設定直線基準からの基準線（２６）の誤差を測定し
   、該誤差から近似関数を算出し、該近似関数をコンピュ
   ータ（４３，４４）に記憶し、付加測定装置（４０，４
   １）から得られる測定値の接続的修正のために、該近似
   関数を使用する特許請求の範囲第２項記載の案内誤差の
   検出・修正方法。 ４、被案内体の座標測定値に位置に依存する修正をほど
   こす案内誤差の検出・修正装置においで、 移動方向（Ｘ）に対し垂直方向に移動可能な少なくとも
   ２つの付加検出子（ＭＩ　Ｉ　Ｍ２　）を被案内体（１
   ８）により支持せしめ、被案内体（１８）の移動領域に
   延在する基準面（１７）を案内体（１９）に平行に配設
   し、基準面（１７）に付加検出子（Ｍ□１Ｍ２）の端部
   を摺動せしめたことを特徴とする案内誤差の検出・修正
   装置。 ５、基準面（１７）として設定平面基準を設けた特許請
   求の範囲第４項記載の案内誤差の検出・修正装置。 ６　案内体（２６）の固自体によ、り基準面（１７）を
   形成した特許請求の範囲第４項記載の案内誤差の検出・
   修正装置。 Ｚ　長手方向に延在する規準設定体（９）と、規準設定
   体（９）に対し相対的に移動可能なケーシング（１０）
   とから成り、案内方向での測定のだめのスケール目盛（
   ５）を規準設定体（９）に設け、スケール目盛（５）の
   読取ヘッド（１１）をケーシング（１０）に設けた、被
   案内体の座標測定値に位置に依存する修正をほどこす案
   内誤差の検出・修正装置（ろ） においで、少なくとも１つの他のスケール目盛（６〜８
   ）を、案内方向に延在する基準線の群の形で規準設定体
   （９）に設け、少なくとも２つの他の読取ヘッド（１２
   〜１６）を可動ケーシング（１０）に設け、少なくとも
   １つの座標でケーシング（１０）と規準設定体（９）と
   の間の間隔を読取ヘッドの個所において、前記読取ヘッ
   ド（１２〜１６）で測定することを特徴とする、案内誤
   差の検出・修正方法。 ８　縦方向案内のだめの移動可能な検査装置として構成
   した特許請求の範囲第７項記載の案内誤差の検出・修正
   装置。 ９　付方ロ設置形測定系として構成した特許請求の範囲
   第７項又は第８項記載の案内誤差の検出・修正装置。 １０　　ブリッジ（３８）の両側に各１つの駆動部を有
   し、案内体に沿い移動可能な部分に設けた少なくとも２
   つの付加測定装置により移動方向に延在する基準線に対
   する間隔を測定しく４） 案内誤差を検出し、付加測定装置の出力信号を座標測定
   装置の出力信号と結合し〜、案内誤差の修正を行なう位
   置誤差の影響を補償する装置を具備するブリッジ形構造
   の座標測定機器において、ブリッジ（３８）の両側の少
   なくとも一方に２つの付加測定装置（４０，４１）を設
   け、移動方向に延在する基準線とブリッジ（３８）との
   距離を、付加測定装置（４０゜４１）で測定し、ブリッ
   ジ（３８）の横方向案内体（３９ａ、３９ｂ）に短い基
   底を設け、垂直軸線を中心とするブリッジ（３８）の小
   さい捩れが前記短い基底に基いて自由に生じうるように
   したことを特徴とするブリッジ形構造の座標測定機器。