JP2006047148A - 形状測定装置、形状測定方法、形状解析装置、形状解析プログラム、記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基準平面を要することなく、測定対象面の形状を簡便かつ高精度に解析する形状測定装置を提供する。
【解決手段】測定部200は、直定規を被測定面に対してギャップをもって配置し、直定規と被測定面との距離を所定ピッチで測長する。そして、直定規を移動させて被測定面の略全面にわたって被測定面と直定規との距離を測定する。直定規形状記憶部320は、参照直線から直定規までの残差を直定規の形状示数として記憶している。平面形状仮設定部330は、参照平面から被測定面までの残差を被測定面の形状示数として被測定面の形状を仮設定する。連立式導出部340は、測定部200で得られた測定値は、直定規の参照直線と被測定面の参照平面との距離に直定規の形状示数と被測定面の形状示数とを加えた値に等しいとして、連立式を導出する。連立式演算部は、導出された連立式を解く。
【選択図】図7
Description
図15において、二面間を計測する光学干渉計600は、レーザー光源としての光源601と、撮像手段としてのCCDカメラ602と、光軸上に配設されたハーフミラー603と、を備えている。
このような構成において、光源601からの光を基準体701および測定対象体702に入射すると、測定対象面Eと基準面Dとの間で干渉が生じ、干渉縞が現れる。この干渉縞がCCDカメラ602で観察されると、観察像から基準面Dと測定対象面Eとの間隔が各サンプリング点で求められる。すると、各サンプリング点において、測定対象面Eが基準面Dに対して有する凹凸が測定される。
基準平面Dから測定対象面Eまでの間隔に基づいて測定対象面Eの平面度は評価されるので、基準平面Dに凹凸やうねりなどがあると、測定対象面Eの平面度を正確に求めることができないのは当然である。
特に一辺が1mにもなる大型平面の形状を測定するためには、それに応じた大型の基準平面を用意しなければならないところ、このような大型の基準面を高精度に仕上げることはほぼ不可能である。なお、小領域ごとに干渉計を用いた測定を行って、小領域ごとに取得された測定データを接続することにより大型の測定対象面Eを測定する方法もよく用いられるが、このような方法では接続する小領域数の2乗に比例する累積誤差が問題となる。
ここで、直定規と被測定面との相対位置を変えるとは、たとえば、直定規および被測定面の一方または双方を回転移動させたり平行移動させたり、あるいは回転移動と平行移動とを伴う移動をさせることをいう。
また、直定規の形状は既知であるところ、直定規を直線回帰する直線や直定規の最も高い2点を通る直線などを参照直線とし、この参照直線から直定規までの残差を直定規の形状をあらわす直定規形状示数として直定規形状記憶部に記憶させておく。
測定対象となる被測定面の形状については、被測定面の任意の3点を通る平面などを参照平面とし、この参照平面から被測定面までの残差を被測定面の形状をあらわす被測定面形状示数として仮に被測定面形状仮設定部に仮設定しておく。
そして、測定で得られた直定規と被測定面との距離に、直定規の形状示数と仮設定された被測定面の形状示数とを組み合わせて連立式を立てる。すなわち、測定で得られた直定規と被測定面との距離は、直定規の参照直線と被測定面の参照平面との距離に、直定規形状示数および被測定面形状示数を加えた値に等しいとして連立式を立てる。
すると、直定規の形状が既知であるので、この連立式を解くことにより被測定面の形状示数が求められる。
また、被測定面の形状測定は、直定規との距離を測定してこの測定データを解析処理することによって行われるので、たとえば干渉計の場合に必須となる基準の平面を用いることなく被測定面の形状を求めることができる。よって、基準平面の精度誤差等に影響されることなく、高精度な面形状測定を行うことができる。
また、できる限り一のライン上にて測定データを沢山取得できた方が直定規と被測定面との相対位置を変更する回数が少なくなるので測定効率が向上すること、また、測定データを取得する一のラインと他のラインとが交差あるいは極めて近接することがデータ接続の観点から好ましいことなどにより、直定規はできる限り長く、たとえば、被測定面の一辺あるいは対角線よりも長いことが好ましい。この点、直定規であれば、基準平面に比べて長くすることが容易であるという利点がある。
よって、サンプリング点は特に限定されず、任意の点で測定データを得ればよい。このように、サンプリング点を管理しなくてよいので、測定部での測定作業を簡便にすることができる。
また、基底関数の線形独立な要素の数を変化させることによって、被測定面の形状を解析する程度を変化させることができる。例えば、基底関数を多項式とした場合にはその関数の次数を上げることによって表面凹凸を高分解能に求めることができる一方、この次数を下げることによって、周期の長いうねりを求めることができる。
また、解析過程が線形な方程式で構成されているので、誤差の伝播を追うことができ、結果の不確かさを定量化することができる。
さらに、CPU(中央処理装置)やメモリ(記憶装置)を有するコンピュータを組み込んで、このコンピュータに各機能を実現させるようにプログラムを構成すれば、各機能におけるパラメータを容易に変更することができる。たとえば、直定規の形状示数を更新する場合や、被測定面の形状示数の仮設定を更新する場合などである。
そして、このプログラムを記録した記録媒体をコンピュータに直接差し込んでプログラムをコンピュータにインストールしてもよく、記録媒体の情報を読み取る読取装置をコンピュータに外付けし、この読取装置からコンピュータにプログラムをインストールしてもよい。なお、プログラムは、インターネット、LANケーブル、電話回線等の通信回線や無線によってコンピュータに供給されてインストールされてもよい。
(第1実施形態)
図1は、本発明の形状測定装置に係る第1実施形態の構成を示す図である。
形状測定装置100は、測定部200と、解析部(形状解析装置)300と、出力部400と、入力部500と、を備える。
まず、測定部200の構成について説明する。
測定部200は、被測定物Wが載置される基台部210と、基台部210の両側辺に立設された門型フレーム部(支持手段)220と、門型フレーム部220から吊り下げ支持された直定規230と、直定規230と被測定物Wとのギャップを測定する測長センサ240(図2参照)と、を備える。
基台部210は、被測定物Wが載置されるための略平坦な載置面212を有する定盤211と、定盤211の側方を取り囲む基枠部213と、を備える。
門型フレーム部220は、基枠部213の両側辺から立設された支柱221、221と、支柱221・221の上端を架橋する梁部222と、梁部222に摺動可能に設けられたスライダ部223と、スライダ部223に対して直定規230を回転可能に支持する回転支持部224と、を備える。
回転支持部224は、直定規230を略水平な状態で支持する。
なお、スライダ部223には、その摺動量を検出する変位検出手段(不図示)が設けられ、回転支持部224には直定規230の回転角を検出する回転角検出手段(不図示)が設けられている。これにより、直定規230の位置(座標値)および姿勢(角度)などが検出される。
直定規230は、幅狭で長手方向に長さを有する棒状である。直定規230は、その形状が既知であり、設置された際に被測定物Wに対向する測定面231は高精度に平面に仕上げられているとともに、その凹凸が予め把握されている。
測長センサ240は、図2に示されるように、本体筒部241と、本体筒部241から互いに反対方向に進退可能に設けられた第1スピンドル242および第2スピンドル244と、第1スピンドル242および第2スピンドル244の進退量を検出する検出部(不図示)と、を備える。
なお、第1スピンドル242および第2スピンドル244の先端には対象物(直定規230、被測定物W)に当接する接触子243、245がそれぞれ設けられている。
このような測定部200による測定動作(測定工程)について説明する。
まず、被測定物Wを定盤211の載置面212に載置するとともに、回転支持部224を介して直定規230をスライダ部223に取り付ける。このとき、図1または図2に示されるように、直定規230の測定面231と被測定物Wの被測定面Sとは略平行であって、所定のギャップをもって対向する状態にセットされる。なお、最初のセットにおける直定規230の位置は特に限定されない。
この状態で、図2に示されるように、第1スピンドル242の接触子243と第2スピンドル244の接触子245とをそれぞれ直定規230の測定面231と被測定物Wの被測定面Sとに当接させた状態で、測長センサ240を測定面231と被測定面Sとの間で移動させる。すると、測定面231の表面凹凸および被測定面Sの表面凹凸に応じて第1スピンドル242および第2スピンドル244が進退され、第1スピンドル242および第2スピンドル244の進退量の総和から直定規230の測定面231と被測定物Wの被測定面Sとのギャップ(距離)が測定される。このとき、所定のサンプリングピッチで測定データが取得される。
なお、図4中において、測定値m(x、y)が全体として傾斜する傾向をもつのは、直定規230と被測定物Wとが所定の角度(例えばα)をなす状態(例えば、図10参照)にセットされた場合における測定値m(x、y)を例示しているからである。
このように、直定規230の位置および姿勢を変えて測定を繰り返しおこない、例えば、図5に示されるように、被測定面Sの全面にわたって測定面231と被測定面Sとのギャップ(距離)のデータが取得されるまで繰り返す。すると、図6に示されるように、ラインごとに測定値m(x、y)が得られる。
解析部300の構成および解析処理について説明する。
図7は、解析部300の構成を示す図である。
解析部300は、測定データ記憶部310と、直定規形状記憶部320と、平面形状仮設定部(被測定面形状仮設定部)330と、連立式導出部340と、連立式演算部350と、平面形状算出部360と、中央演算処理部(CPU)370と、を備える。
直定規形状示数s(l)について説明する。
直定規230の測定面231は、高精度に仕上げられてはいるものの図8に示されるように凹凸を有する。そこで、例えば、このような測定面231を直線回帰する参照直線Rlを仮想的に設定する。そして、この参照直線Rlから測定面までの残差(距離)を測定面の形状をあらわす形状示数s(l)として設定し、直定規形状記憶部320に記憶させる(直定規形状記憶工程)。
なお、測定面231の形状は、従来知られた三面合わせ法や反転法などにより求めることが例として挙げられる(三面合わせ法、反転法については、たとえば、「Cris J Evans and Robert J.“Hocken, Self-Calibration: Reversal, Redundancy, Error Separation, and ‘Absolute Testing’”CIRP Annals,vol45(1996)pp617-633」に開示されている)。
基底記憶部331は、互いに線形独立な要素の組を有する基底B(x、y)を記憶している。基底B(x、y)としては、互いに線形独立な要素の組[B1(x、y)、B2(x、y)・・・・・BN(x、y)]のかたちで表されれば特に限定されることはなく、このような基底としては、例えば、スプライン関数、フーリエ級数、べき級数、ゼルニケ多項式などが例として挙げられ。このような基底B(x、y)となる関数は、入力部500により設定入力される。
そして、平面形状仮設定部330は、基底B(x、y)に対して適当な結合係数a=[a1、a2、・・・aN]を用いて基底関数を構成し、参照平面Rsと被測定面Sとの残差d(x、y)により、次のように被測定面Sの形状を仮設定する(被測定面形状仮設定工程)。
測定値mi(x、y)、直定規形状記憶部320に記憶された直定規形状s(l)、および、平面形状仮設定部330で仮設定された被測定面形状d(x、y)により次の式が成り立つ。
算出された被測定面形状は、出力部により出力される。図11に、求められた被測定面形状の例を示す。例えば、図11(A)に示されるようなサンプリング点から図11(B)に示される解析結果が得られる。
(1)被測定面Sと直定規230との相対位置を変えて被測定面Sの全面にわたって被測定面Sと直定規230との距離のデータを得ることができるので、いくらでも大きな被測定面を測定対象とすることができる。すなわち、測定可能領域に制限がなく、いかなる広さの面についても形状測定を行うことができる。
(2)被測定面Sの形状測定は、直定規230との距離を測定してこの測定データを解析処理することによって行われるので、たとえば干渉計の場合に必須となる基準の平面を用いることなく被測定面Sの形状を求めることができる。よって、基準平面の精度誤差等に影響されずに、高精度な面形状測定を行うことができる。
(5)解析部300における解析過程が線形な方程式で構成されているので、誤差の伝播を追うことができ、結果の不確かさを定量化することができる。
次に、本発明の変形例1について説明する。
第1実施形態においては、基底関数を用いて被測定面Sの形状をあらわして解析処理を行ったが、必ずしも基底関数を用いなくてもよい。
すなわち、変形例1として、ある設置姿勢における直定規230のラインと別の設置姿勢における直定規230のラインとが交差するようにし、これらのラインが交差する点において両者の測定点が存在するようにし、各交点において被測定面Sの形状が一致することを条件に連立方程式をたててもよい。この連立方程式を解くことにより、各ライン上における被測定面Sの相対的凹凸がわかる。このようにすれば、基底関数を用いなくても簡便に各測定点の相対位置を求めることができ、被測定面Sの形状を求めることができる。
測定部200における測定方法は、特に限定されない。たとえば、直定規230の測定面231と被測定物Wの被測定面Sとの距離を光干渉計やレーザー測距法等によって測定してもよい。
また、第1実施形態においては、直定規230と被測定面Sとの間で測長センサ240を移動させるとしたところ、図12に示されるように、測長センサ240が直定規230に沿って摺動できるように直定規230の側面に本体筒部241がかみ合うようにして、測長センサ240が直定規230に沿って正確に直線的に移動するようにしてもよい。すなわち、本体筒部241に設けられた断面コ字状の嵌合部が直定規230の側面に沿って設けられたレール232に嵌合して摺動するようにしてもよい。
ただし、各測定ラインの相互の位置関係を決めることは必要になるので、例えば、格子状にサンプリングした場合、例えば図13に示されるように、対角方向の測定ラインL1、L2も必要になることに留意する。また、放射状にサンプリングした場合にも、例えば図14に示されるように、放射状のサンプリング点を横断する測定ラインが必要であり、例えば測定ラインL3〜L6が必要になる。
Claims (6)
- 形状既知の直定規を測定対象となる被測定面に対して所定ギャップをもって配置した状態で前記直定規と前記被測定面との距離を所定のサンプリングピッチで測長するとともに、前記直定規と前記被測定面とを相対移動させることにより前記被測定面の略全面にわたって前記被測定面と前記直定規との距離を測定する測定部と、
前記直定規に設定された参照直線から前記直定規までの残差を前記直定規の形状をあらわす直定規形状示数として記憶する直定規形状記憶部と、
前記被測定面に設定された参照平面から前記被測定面までの残差を前記被測定面の形状をあらわす被測定面形状示数として前記被測定面の形状を仮設定する被測定面形状仮設定部と、
前記測定部による測定で得られた測定値は、前記直定規の参照直線と前記被測定面の参照平面との距離に前記直定規形状示数と前記被測定面形状示数とを加えた値に等しいとして、連立式を導出する連立式導出部と、
導出された前記連立式を解く連立式演算部と、を備える
ことを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1に記載の形状測定装置において、
互いに線形独立な要素の組を有する所定の基底を記憶した基底記憶部を備え、
前記被測定面形状仮設定部は、前記基底と所定の結合係数との線形結合により前記被測定面形状の形状示数を仮設定し、
前記連立式演算部は、前記連立式導出部にて立てられた連立式から最小自乗解として前記結合係数を算出し、
前記被測定面形状は、前記連立式演算部により算出された結合係数と前記基底との線形結合により求められる
ことを特徴とする形状測定装置。 - 形状既知の直定規を測定対象となる被測定面に対して所定ギャップをもって対向させた状態で前記直定規と前記被測定面との距離を所定のサンプリングピッチで測長するとともに、前記直定規と前記被測定面とを順次相対移動させることにより前記被測定面の略全面にわたって前記被測定面と前記直定規との距離を測定する測定工程と、
前記直定規に設定された参照直線から前記直定規までの残差を前記直定規の形状をあらわす直定規形状示数として記憶する直定規形状記憶工程と、
前記被測定面に設定された参照平面から前記被測定面までの残差を前記被測定面の形状をあらわす被測定面形状示数とし、前記被測定面の形状を仮に設定する被測定面形状仮設定工程と、
前記測定部による測定で得られた測定値は、前記直定規の参照直線と前記被測定面の参照平面との距離に前記直定規形状示数と前記被測定面形状示数とを加えた値に等しいとして連立式を導出する連立式導出工程と、
導出された前記連立式を解く連立式演算工程と、を備える
ことを特徴とする形状測定方法。 - 形状既知の直定規を測定対象となる被測定面に対して所定ギャップをもって対向させた状態で前記直定規と前記被測定面との距離を所定のサンプリングピッチで測長するとともに、前記直定規と前記被測定面とを順次相対移動させることにより前記被測定面の略全面にわたって前記被測定面と前記直定規との距離を測定して得られた測定データを解析して前記被測定面の形状を解析する形状解析装置であって、
前記直定規に設定された参照直線から前記直定規までの残差を前記直定規の形状をあらわす直定規形状示数として記憶する直定規形状記憶部と、
前記被測定面に設定された参照平面から前記被測定面までの残差を前記被測定面の形状をあらわす被測定面形状示数とし、前記被測定面の形状を仮に設定する被測定面形状仮設定部と、
前記測定部による測定で得られた測定値は、前記直定規の参照直線と前記被測定面の参照平面との距離に前記直定規形状示数と前記被測定面形状示数とを加えた値に等しいとして、連立式を導出する連立式導出部と、
導出された前記連立式を解く連立式演算部と、を備える
ことを特徴とする形状解析装置。 - 形状既知の直定規を測定対象となる被測定面に対して所定ギャップをもって対向させた状態で前記直定規と前記被測定面との距離を所定のサンプリングピッチで測長するとともに、前記直定規と前記被測定面とを順次相対移動させることにより前記被測定面の略全面にわたって前記被測定面と前記直定規との距離を測定して得られた測定データを解析して前記被測定面の形状を解析する形状解析装置にコンピュータを組み込んで、このコンピュータを、
前記直定規に設定された参照直線から前記直定規までの残差を前記直定規の形状をあらわす直定規形状示数として記憶する直定規形状記憶部と、
前記被測定面に設定された参照平面から前記被測定面までの残差を前記被測定面の形状をあらわす被測定面形状示数とし、前記被測定面の形状を仮に設定する被測定面形状仮設定部と、
前記測定部による測定で得られた測定値は、前記直定規の参照直線と前記被測定面の参照平面との距離に前記直定規形状示数と前記被測定面形状示数とを加えた値に等しいとして、連立式を導出する連立式導出部と、
導出された前記連立式を解く連立式演算部と、して機能させる
ことを特徴とするコンピュータ読取可能な形状解析プログラム。 - 請求項5に記載の形状解析プログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読取可能な記録媒体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004229791A JP2006047148A (ja) | 2004-08-05 | 2004-08-05 | 形状測定装置、形状測定方法、形状解析装置、形状解析プログラム、記録媒体 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020003457A (ja) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 平面度校正方法及び装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58113805A (ja) * | 1981-12-23 | 1983-07-06 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | 案内誤差の検出・修正方法及び装置 |
JPS62162908A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面プロフイ−ル測定方法及び装置 |
JPH02118407A (ja) * | 1988-06-14 | 1990-05-02 | Hpo Hanseatische Prazisions & Orbittechnik Gmbh | 表面の非接触測定法 |
JP2003121131A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-23 | Mitsutoyo Corp | 走査型間隙量検出による真直度測定方法 |
JP2003227712A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Mitsutoyo Corp | エリアセンサを用いた表面形状測定系の自律校正方法 |
-
2004
- 2004-08-05 JP JP2004229791A patent/JP2006047148A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58113805A (ja) * | 1981-12-23 | 1983-07-06 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | 案内誤差の検出・修正方法及び装置 |
JPS62162908A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面プロフイ−ル測定方法及び装置 |
JPH02118407A (ja) * | 1988-06-14 | 1990-05-02 | Hpo Hanseatische Prazisions & Orbittechnik Gmbh | 表面の非接触測定法 |
JP2003121131A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-23 | Mitsutoyo Corp | 走査型間隙量検出による真直度測定方法 |
JP2003227712A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Mitsutoyo Corp | エリアセンサを用いた表面形状測定系の自律校正方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020003457A (ja) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 平面度校正方法及び装置 |
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