JPS58111342A - ソフトランデイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱感填炉内へ被処理物を出し入れするだめのポ
ートローディング装置に関し、特に高温処理用として開
発されたソフトランディング装置に関するものである。

　　　　− 半導体製造工程においては、ウエーノ１等の被処理物を
拡散、ＣＶＤ、アニール処理するための熱処理炉を使用
しており、このためウェー７１を炉に出し入れするボー
ドローディング装置が必要とされる。この種の装置とし
て、従来ではボートローダ法に基づ〈装置やパドル法に
基づく装置が採用されているが、ボートローダ法ではウ
ェーハ治＾を内管内で移動させる際ＫＩｉｌＩ触部から
塵埃が発生してウェーハ欠陥の原因をつくるという欠点
があり、またパドル法ては長棒（パドル）を内管内に挿
入したまま熱処理を行なうために炉内に温度変化を生じ
させ、一定した温度下での熱処理ができないという欠点
がある。

このため、本出願人はこれらの欠点を除去したソフトラ
ンディング装置を開発しかつ提案している。この装置（
よれば、半導体ウェーハ等の被処理物を石英製の７オー
ク先端に搭載し、このフォークを炉内管に接触させない
ようＫして出し入れすることにより被処理物を炉内外に
出し入れでき、しかもこのときフォークは炉内管と非接
触状１１１に保たれるため塵埃が発生することはなく、
また炉内管で被処理物を自由に搭、降載してその移動は
自由であるため一定した温度下での熱処理を行なうこと
ができるという利益な得ろことができる。

しかしながら、このフォークは第１図に示すように、石
英製の円筒部材１の一端部２を長さの略１／３にわたっ
て削り取り、この削り取った残りの部位３をウェーハな
いしウェーハ治具の搭載部として形成した構成となって
いる。このため、このような削り取り作業を機械化する
ことは困離で手作業に頼らざるな得す、加工面荒さや寸
法精度に問題が生ずると共１１ｃｍ工作業に熟練度が要
求されるという問題がある。また、搭載部３は円筒部材
ｌの全円周の１７２〜五／３の円弧長であるため、材料
として無駄になる部分が多く省資源の点で好ましくない
と共にコスト高になるという問題もある。

したがって本発明の目的は、フォークを円筒部材と円弧
状部材との一体接続構造として形成することにより、フ
ォーク製作の機械化を可能にし、これにより加工効率の
向上を図ると共に加工精度な向上し、更に一方では省資
源な図ってコストの低減を達成することができるソフト
ランディング装置な提供することにある。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。

第２ｍは本発明装置の全体構成を示しており、このソフ
トランディング装置ｌＯは詳細な図示を省略した熱感瑞
炉の石英製の炉内管１１の開口側に隣設してあり、ウエ
ーノ・治具１２上に整列載置したつ２−ハ１３をこのウ
ェーハ治具」２と共に前記炉内管１１Ｐ３に搬入しかつ
取出すことができる。即ち、ソフトランディング載置ｌ
Ｏは基台１４とこの基台の後部に立設した背壁１５とを
有しており、この胃壁１５には前記炉内管１１の管軸方
向（以下、前後方向と称する）に延設した一対のガイド
レール１６．１６を上下に配置している。

このガイドレール１６．１６には支持台１７を滑動可能
に嵌合させ、かつこの支持台１７の一部に形成したブロ
ック１７１には前記ガイドレールと平行にかつ軸転可能
に９＠Ｌ５に支架した送り軸１８を嵌挿している。この
送り軸重８はその一端に固着したグーリ１９を前後動モ
ータ２０にベル）２１連結して軸転され、軸転されたと
きには前記ブーツク１７３１内に内鉄した機構によって
前記支持台１７を前後方向に移動できる。一方、前記支
持台１７は上下に立設したガイドロッド２２を有してお
り、略り字１１に形成した可動台２３を上下動可能に支
持している。

前記可動台２３の水平部上には前後方向と直角な方向（
以下、左右方向と称する）に移動可能な滑動台２４を載
置し、左右調整ボルト２５により可動台２３上での滑動
台２４の左右位置を調整できる。この滑動台２４上には
フォークを支持する上下揺動台２６を支持し、その下側
に設けた偏心カム２７ｖモータ２８にて回転することＫ
より上下揺動台２６を揺動することがで〔る。この上下
揺動台２６上にはフォーク受台２９をボルト３０にて取
り付け、更にこの受台２９上にはフォーク３１を二本の
ベルト２９８により固定してい金。

前記フォーク３１は、９３図に示すように、つ工−ハ等
を搭載する先端の搭載部３２と、比較的長寸の基部３３
とを同一材料の別部材にて形成している。つまり、搭載
部３２と基ｓ３３とは夫々石英を素材としているが、基
部３３は円筒状部材３４をそのまま使用し、搭載部３２
は同図に仮想線で示すように円筒状部材３５を軸方向に
切断して得られた円弧状部材３６を用いている。この円
弧状部材３６は円筒状部材３５のｌ／２〜１／３の円周
寸法としかつ基５３３に対して略ｌ／２の長さに形成し
【いる。そして、これら円筒状部材３４と円弧状部材３
６とを対向端部において溶接し、両者を真直に一体形成
してフォークとして構成しているのである。

以上の構成の）７トランデイング俟置によれば、７オー
ク３１の搭載部３２上にウェーハ等を載置した上でモー
タ２０を作動すれば、支持台１７はガイドレール１６＆
Ｃ沿って前進し、フォーク３１を炉内管１１ＦＰ３に進
入させる。このとき、ウェーハ等を搭載したことにより
フォーク３１が先端側に向けて下方に変形されれば、そ
−タ２８を作動させて上下揺動台２６を上方へ揺動させ
ることにより７オークの搭載部３２およびウェーハ等を
水平状ＩＩＫ保つことができる。そして、フォーク３１
を炉内管１１ＰｉＫ進入させた後はガイドロッド２２に
沿って可動台２３を微小下動させればウェーハ等を炉内
管１１内に設置することができ、以後フォークを炉内管
１１から退出させ或いは炉内管の開口部近傍で待機させ
ることは自由である。また、このようＫして設置したウ
ェーハ等はその熱処理の完了後に前述と逆のフォーク作
動によって炉内管外に取り出すことができる。

一方、フォーク３１は、前述のように搭載［１３２と基
部３３とを別体物から一体く形成しているので、加工作
業は円筒状部材３５の切断と、円筒状部材３４と円弧状
部材３６とのｆＩｉＷ！と極めて簡単な２作業となる。

つまり、搭載部３２は円筒状部材３５を軸方向に真直に
切断するだけでよく、かかる作業の機械化は容易である
。また、このようにすれば形成される円弧状部材３６の
円周（弧）長さによっては、一つの円筒状部材から二個
または三個の円弧状部材を形成することが可能であり、
省資源的にも有効である。更に、搭載部３２と基部３３
との一体化作業は、巣に両者を直列に衝き合わせた上で
衝曾部を加熱する作業でよく、既存のＨ１ｍ装置を殆ん
どそのまま利用することができる。

したがって、このようにして形成されたフォークは１機
械加工によって面精度や寸法精度が大巾に向上され、％
に近年のように炉内管の内径寸法とフォークの外径寸法
との差が小さくなっている場合には寸法精度の向上によ
って装置の安定稼動が実現される。また、フォークの加
工に際しても熟練度を必要とすることはなく、常に安定
した品質を得ることができる。

以上のように本発明のソフトランディグ装置によれば、
フォークを円筒部材と円弧状部体とを一体に接続した構
成としているので、フォークの機械加工を可能くしてフ
ォークの面精度や寸法精度を向上し、装置の安定稼動を
実現することができると共に、加工作業の効率の向上お
よび加工の容易化を図ることができる。また、円弧状部
材を用いることにより材料の有効利用を図ることができ
、省資源の点で有利になるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の７オークをその加工方法と共に示す斜視
図、ＩＩＥ２１１は本発明装置の全体構成図、第３図は
フォークをその加工方法と共に示す斜視図である。 ｌＯ・・・ソフトランディグ装置、１１・・・炉内管、
１２・・・ウェーハ治具、１７・・・支持台、１８・・
・送り軸、２０・・・モータ、２３・・・可動台、２６
・・・上下揺動台、３１・・・フォーク、３２・・・搭
載部、３３・・・基部、３４・・・円筒状部材、３６・
・・円弧状部材。 ・、　　、、　　−：ｊ゛

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、炉内管に対向して配置し、少なくともその先端に設
   けた搭載部に被処理物を搭載して前記炉内管に無接触で
   進入、退出できるようにしたフォークを有するソフトラ
   ンディング装置において、前記フォークは前記ｉＩＥ載
   部な構成する円弧状部材と、そのｆＩｉｌｓを構成する
   円筒状部材とを夫々別体に形成した上でこれらを一体に
   接続構成したことを特徴トスるソフトランディング装置
   。