JPS58110465A - ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材 - Google Patents

ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材

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JPS58110465A
JPS58110465A JP56208639A JP20863981A JPS58110465A JP S58110465 A JPS58110465 A JP S58110465A JP 56208639 A JP56208639 A JP 56208639A JP 20863981 A JP20863981 A JP 20863981A JP S58110465 A JPS58110465 A JP S58110465A
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JP
Japan
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hydroxyapatite
hydroxy apatite
fluorine
present
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JP56208639A
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JPS6127348B2 (enExample
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蛯原　正臣
正秀 井上
哲朗 小川
幸子 吉田
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Pentax Corp
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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