JPS58110465A - ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材 - Google Patents
ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材Info
- Publication number
- JPS58110465A JPS58110465A JP56208639A JP20863981A JPS58110465A JP S58110465 A JPS58110465 A JP S58110465A JP 56208639 A JP56208639 A JP 56208639A JP 20863981 A JP20863981 A JP 20863981A JP S58110465 A JPS58110465 A JP S58110465A
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- Japan
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- hydroxyapatite
- hydroxy apatite
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- Granted
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56208639A JPS58110465A (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56208639A JPS58110465A (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58110465A true JPS58110465A (ja) | 1983-07-01 |
| JPS6127348B2 JPS6127348B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1986-06-25 |
Family
ID=16559564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56208639A Granted JPS58110465A (ja) | 1981-12-23 | 1981-12-23 | ハイドロキシ・アパタイトのスパッタリング用タ−ゲット部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58110465A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0339468A (ja) * | 1989-07-06 | 1991-02-20 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ハイドロキシアパタイト質ターゲット |
| CN1048291C (zh) * | 1997-12-12 | 2000-01-12 | 清华大学 | 医用植入物的离子束增强沉积羟基磷灰石镀层的制备方法 |
| CN102181840A (zh) * | 2011-06-22 | 2011-09-14 | 苏州晶纯新材料有限公司 | 一种钴酸锂靶材及其制备方法 |
| CN102206802A (zh) * | 2010-03-29 | 2011-10-05 | 北京品一材料科技有限责任公司 | 全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法 |
| CN102249661A (zh) * | 2011-06-22 | 2011-11-23 | 苏州晶纯新材料有限公司 | 一种磷酸锂靶材及其制备方法 |
| CN102285790A (zh) * | 2011-06-22 | 2011-12-21 | 苏州晶纯新材料有限公司 | 一种磷酸铁锂靶材及其制备方法 |
| GB2452823B (en) * | 2007-08-30 | 2012-08-22 | Hoya Corp | Method of producing fluoroapatite |
| CN114956790A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-08-30 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种近红外高透光的tco靶材及其制备方法 |
-
1981
- 1981-12-23 JP JP56208639A patent/JPS58110465A/ja active Granted
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| US8609055B2 (en) | 2007-08-30 | 2013-12-17 | Hoya Corporation | Method of producing fluoroapatite, fluoroapatite, and adsorption apparatus |
| CN102206802A (zh) * | 2010-03-29 | 2011-10-05 | 北京品一材料科技有限责任公司 | 全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法 |
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| CN114956790A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-08-30 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种近红外高透光的tco靶材及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6127348B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1986-06-25 |
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